本實(shí)用新型涉及光伏板制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種低壓擴(kuò)散石英舟。

背景技術(shù)：

晶體硅太陽能電池板制作工藝包括制絨、擴(kuò)散、刻蝕、沉積減反射膜、印刷電極等步驟，擴(kuò)散步驟一般采用石英舟作為承載工具。目前石英舟，通過擱置硅片的上槽棒和下槽棒配合使得硅片固定，而槽棒上的凹槽沒有額外固定硅片結(jié)構(gòu)，在推舟機(jī)構(gòu)的將硅片由凈化臺(tái)送入擴(kuò)散爐過程中容易造成硅片晃動(dòng)，從而造成硅片碎片、崩邊。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種低壓擴(kuò)散石英舟，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。所述低壓擴(kuò)散石英舟具有減少了崩邊現(xiàn)象，提高了產(chǎn)品質(zhì)量及合格率的特點(diǎn)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

一種低壓擴(kuò)散石英舟，包括一對端板、一對上槽棒以及下槽棒，一對上槽棒安裝在一對端板之間的上部同一水平位置，下槽棒安裝在一對端板之間的底部，且位于一對上槽棒之間，上槽棒相對的圓周面上均開設(shè)有插片槽，該插片槽開口的一端直徑大，遠(yuǎn)離開口的一端直徑變小；下槽棒的圓周面上開設(shè)有圓心角為θ的固定槽，該固定槽活動(dòng)連接有固定板，該固定板的一端上翹，另一端與固定槽的表面相吻合，同時(shí)還設(shè)有凸起。

優(yōu)選的，所述插片槽開口的一端呈“八”字形，遠(yuǎn)離開口的一端呈“幾”字形或者底面開口的等腰梯形。

優(yōu)選的，所述固定槽的圓心角θ為60°～87°。

優(yōu)選的，所述固定板設(shè)置為兩組，且以圓心角θ的角平分線對稱分布，同時(shí)底面的中部設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)部件，并通過轉(zhuǎn)動(dòng)部件與固定槽轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

所述固定槽圓心角為θ對應(yīng)的弦長大于硅片的厚度。

優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)動(dòng)部件為合頁或者兩端套設(shè)軸套的銷軸。

優(yōu)選的，所述凸起為球形或者最高點(diǎn)呈波紋狀。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：(一)通過兩個(gè)上槽棒開設(shè)的插片槽及下槽棒上的固定槽使硅片形成三點(diǎn)定位，使得硅片更加牢固且防止所載硅片晃動(dòng)；插片槽的開口端直徑大，另一端直徑小，可以保證硅片的邊緣底部兩點(diǎn)卡在槽底兩邊上，而硅片的底部不接觸槽底，既防止硅片晃動(dòng)，又減少硅片與槽底的接觸，避免硅片被污染，(二)當(dāng)硅片插入到固定槽時(shí)，硅片底部抵壓固定槽上的兩個(gè)固定板上翹端部，隨著插入深度增加，固定板上翹端部被下壓，固定板通過轉(zhuǎn)動(dòng)部件轉(zhuǎn)動(dòng)，此時(shí)通過另一端設(shè)置的凸起牢牢卡主硅片，防止所載硅片晃動(dòng)，由于固定槽弦長比所載硅片厚度大，這樣也保證了硅片的底部不接觸固定槽的底部，減少硅片與固定槽的接觸，避免硅片被污染，(三)插片槽、及固定槽的配合，減少了硅片在擴(kuò)散工藝中與舟之間的粘結(jié)力，進(jìn)而減少了崩邊現(xiàn)象，提高了產(chǎn)品質(zhì)量及合格率。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型放置硅片示意圖；

圖3為本實(shí)用新型上槽棒剖視示意圖；

圖4為本實(shí)用新型上槽棒插入硅片后俯視示意圖；

圖5為本實(shí)用新型下槽棒俯視示意圖；

圖6為本實(shí)用新型硅片未完全進(jìn)入到固定槽內(nèi)示意圖；

圖7為本實(shí)用新型硅片完全進(jìn)入到固定槽內(nèi)示意圖。

圖中：1端板、2上槽棒、20插片槽、3下槽棒、30固定槽、31固定板、32凸起、33轉(zhuǎn)動(dòng)部件、4硅片。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

請參閱圖1-7，本實(shí)用新型提供一種技術(shù)方案：

一種低壓擴(kuò)散石英舟，包括一對端板1、一對上槽棒2以及下槽棒3，一對上槽棒2安裝在一對端板1之間的上部同一水平位置，下槽棒3安裝在一對端板1之間的底部，且位于一對上槽棒2之間，上槽棒2相對的圓周面上均開設(shè)有插片槽20，該插片槽20開口的一端直徑大，遠(yuǎn)離開口的一端直徑變小，可以保證硅片4的邊緣底部兩點(diǎn)卡在槽底兩邊上，而硅片4的底部不接觸槽底，既防止硅片4晃動(dòng)，又減少硅片4與槽底的接觸；下槽棒3的圓周面上開設(shè)有圓心角為θ的固定槽30，該固定槽30活動(dòng)連接有固定板31，該固定板31的一端上翹，另一端與固定槽30的表面相吻合，同時(shí)還設(shè)有凸起32。

插片槽20開口的一端呈“八”字形，遠(yuǎn)離開口的一端呈“幾”字形或者底面開口的等腰梯形。

固定槽30的圓心角θ為60°～87°。

固定板31設(shè)置為兩組，且以圓心角θ的角平分線對稱分布，同時(shí)底面的中部設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)部件33，并通過轉(zhuǎn)動(dòng)部件33與固定槽30轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

固定槽30圓心角為θ對應(yīng)的弦長大于硅片4的厚度，避免硅片4與固定槽30槽壁接觸。

轉(zhuǎn)動(dòng)部件33為合頁或者兩端套設(shè)軸套的銷軸，可以使固定板31以中部為轉(zhuǎn)動(dòng)支點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)。

凸起32為球形或者最高點(diǎn)呈波紋狀，保證硅片4與之為點(diǎn)接觸，減少接觸面積、防止硅片4的晃動(dòng)，而發(fā)生崩邊損壞，凸起32使固定板31重心偏向凸起32，這樣可以使硅片離開固定槽30后固定板31復(fù)位，或者凸起32上涂磁性材料，使之同性保持相互排斥，使固定板31復(fù)位。

通過兩個(gè)上槽棒2開設(shè)的插片槽20及下槽棒3上的固定槽30使硅片4形成三點(diǎn)定位，使得硅片4更加牢固且防止推舟機(jī)構(gòu)所載硅片4晃動(dòng)；插片槽20的開口端直徑大，另一端直徑小，可以保證硅片4的邊緣底部兩點(diǎn)卡在槽底兩邊上，而硅片4的底部不接觸槽底，既防止硅片4晃動(dòng)，又減少硅片4與槽底的接觸，避免硅片被污染，當(dāng)硅片4插入到固定槽30時(shí)，硅片4底部其中兩點(diǎn)抵壓固定槽30上的兩個(gè)固定板31上翹端部，隨著插入深度增加，固定板31上翹端部被下壓，固定板31通過轉(zhuǎn)動(dòng)部件33轉(zhuǎn)動(dòng)，此時(shí)通過另一端設(shè)置的凸起32牢牢卡主硅片4，防止所載硅片4晃動(dòng)，由于固定槽30弦長比所載硅片4厚度大，這樣也保證了硅片4的底部不接觸固定槽30的底部，減少硅片4與固定槽30的接觸，避免硅片被污染，兩個(gè)上槽棒2及插片槽20、下槽棒及固定槽30的配合，減少了硅片4在擴(kuò)散工藝中與舟之間的粘結(jié)力，進(jìn)而減少了崩邊現(xiàn)象，提高了產(chǎn)品質(zhì)量及合格率。

盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本實(shí)用新型的原理和精神的情況下可以對這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。