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自動調(diào)節(jié)硅片制絨工藝的裝置的制造方法

文檔序號:8224836閱讀:405來源:國知局
自動調(diào)節(jié)硅片制絨工藝的裝置的制造方法
【專利說明】自動調(diào)節(jié)硅片制絨工藝的裝置
[0001]
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]本發(fā)明涉及太陽能電池表面結(jié)構(gòu)化的制絨工藝領(lǐng)域,特別涉及一種自動調(diào)節(jié)硅片制絨工藝的裝置。
【背景技術(shù)】
[0003]太陽能電池片的表面結(jié)構(gòu)化制程是太陽能電池生產(chǎn)中非常重要的一步,對后面電池片制程的各項工藝有著重大的影響,而進行鏈式酸制絨是時下太陽能電池最常用的表面結(jié)構(gòu)化方法?,F(xiàn)在生產(chǎn)線上制絨工藝的調(diào)整通常是工藝人員通過測量硅片的減薄量,然后根據(jù)減薄量的結(jié)果,進行工藝的調(diào)節(jié),以維持工藝的穩(wěn)定性。這種做法存在兩個問題,第一,根據(jù)減薄量的結(jié)果進行工藝的調(diào)節(jié)始終是滯后的,如果工藝出現(xiàn)了問題,不能及時調(diào)節(jié),那么這期間可能會出現(xiàn)一些制絨不合格的硅片;第二,工藝人員的調(diào)節(jié)結(jié)果不一定準確,制絨出來的硅片也就沒有達到最好的結(jié)果。本發(fā)明克服了現(xiàn)有工藝的不足,提供了一種自動調(diào)節(jié)硅片制絨工藝的裝置,可以實時對制絨工藝進行自動調(diào)節(jié),維持工藝的穩(wěn)定性,確保制絨效果達到最好,提升產(chǎn)品質(zhì)量。
[0004]

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明為了克服現(xiàn)有工藝的不足,提供一種自動調(diào)節(jié)硅片制絨工藝的裝置,可以實時對制絨工藝進行自動調(diào)節(jié),維持工藝的穩(wěn)定性,確保制絨效果達到最好,提升產(chǎn)品質(zhì)量。
[0006]本發(fā)明為了解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種自動調(diào)節(jié)硅片制絨工藝的裝置,該裝置由反射率測量系統(tǒng)、硅片厚度測量系統(tǒng)和反饋控制系統(tǒng)組成,所述反射率測量系統(tǒng)設(shè)置于制絨設(shè)備的下料端,所述硅片厚度測量系統(tǒng)設(shè)置于制絨設(shè)備的上料端與下料端,所述反饋控制系統(tǒng)分別與反射率測量系統(tǒng)、硅片厚度測量系統(tǒng)及制絨設(shè)備主控計算機相連接,所述反饋控制系統(tǒng)收集反射率測量系統(tǒng)和硅片厚度測量系統(tǒng)測得的信號,經(jīng)內(nèi)部算法處理后,下達指令予制絨設(shè)備主控計算機,對制絨設(shè)備的工藝參數(shù)進行自動調(diào)節(jié)。
[0007]制絨設(shè)備主控計算機對制絨設(shè)備的工藝參數(shù)進行自動調(diào)節(jié),如反射率的調(diào)節(jié),厚度減薄量的調(diào)節(jié),溫度的調(diào)節(jié),傳輸速度的調(diào)節(jié)及補液系數(shù)的調(diào)節(jié);
作為本發(fā)明的進一步改進,所述反射率測量系統(tǒng)由激光反射率測量儀組成,無接觸測量娃片的反射率。
[0008]作為本發(fā)明的進一步改進,所述硅片厚度測量系統(tǒng)由電容測厚儀、電感測厚儀或電阻測厚儀組成,安裝在制絨設(shè)備的上料端和下料端,無接觸測量硅片的厚度變化;
作為本發(fā)明的進一步改進,所述反饋控制系統(tǒng)由可編程邏輯控制器或計算機組成。
[0009]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明適用于太陽能電池表面結(jié)構(gòu)化的制絨工藝,該發(fā)明裝置對硅片制絨工藝的自動調(diào)節(jié),有效解決了工藝人員對工藝的調(diào)控問題,增強了工藝的準確性與穩(wěn)定性,提升產(chǎn)品質(zhì)量。
[0010]
【附圖說明】
[0011]圖1為本發(fā)明自動調(diào)節(jié)硅片制絨工藝裝置安裝在制絨設(shè)備上的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖中標示:1-反射率測量系統(tǒng)、2-硅片厚度測量系統(tǒng)、3-反饋控制系統(tǒng)、4-制絨設(shè)備主控計算機、5-上料端、6_下料端、7_制域槽、8_滾輪、9_娃片、10-制域設(shè)備。
[0012]
【具體實施方式】
[0013]為了加深對本發(fā)明的理解,下面將結(jié)合實施例和附圖對本發(fā)明作進一步詳述,該實施例僅用于解釋本發(fā)明,并不構(gòu)成對本發(fā)明保護范圍的限定。
[0014]如圖1所示:一種自動調(diào)節(jié)硅片制絨工藝的裝置安裝在制絨設(shè)備10上,包括反射率測量系統(tǒng)1、硅片厚度測量系統(tǒng)2、反饋控制系統(tǒng)3、制絨設(shè)備主控計算機4、上料端5,下料端6,制絨槽7,滾輪8,硅片9。
[0015]反射率測量系統(tǒng)I設(shè)置于制絨設(shè)備10的下料端6,當硅片9經(jīng)過下料端6時,反射率測量系統(tǒng)I無接觸測得硅片的反射率;在本實例中,由激光反射率測量儀測量硅片的反射率。
[0016]硅片厚度測量系統(tǒng)2設(shè)置于制絨設(shè)備10的上料端5與下料端6 ;當硅片9經(jīng)過上料端5和下料端6時,硅片厚度測量系統(tǒng)2測得硅片9減薄量的變化;在本實例中,硅片厚度的變化由電容測厚儀測得。
[0017]反饋控制系統(tǒng)3分別與反射率測量系統(tǒng)1、硅片厚度測量系統(tǒng)2及制絨設(shè)備主控計算機4相連接;在本實例中,反饋控制系統(tǒng)是具有完成內(nèi)部算法功能的計算機。
[0018]反饋控制系統(tǒng)3收集反射率測量系統(tǒng)I和硅片厚度測量系統(tǒng)2測得的信號,經(jīng)內(nèi)部算法處理后,下達指令予制絨設(shè)備主控計算機4 ;
制絨設(shè)備主控計算機4對制絨設(shè)備10的工藝參數(shù)進行自動調(diào)節(jié),在本實例中,對反射率的調(diào)節(jié),厚度減薄量的調(diào)節(jié),溫度的調(diào)節(jié),傳輸速度的調(diào)節(jié)及補液系數(shù)的調(diào)節(jié);
以上所述僅為本發(fā)明示意性的【具體實施方式】,并非用以限定本發(fā)明的范圍。任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明的構(gòu)思和原則的前提下所作的等同變化、修改與結(jié)合,均應(yīng)屬于本發(fā)明保護的范圍。
【主權(quán)項】
1.一種自動調(diào)節(jié)硅片制絨工藝的裝置,其特征在于:該裝置由反射率測量系統(tǒng)(1)、硅片厚度測量系統(tǒng)(2)和反饋控制系統(tǒng)(3)組成,所述反射率測量系統(tǒng)(I)設(shè)置于制絨設(shè)備(10)的下料端(6),所述硅片厚度測量系統(tǒng)(2)設(shè)置于制絨設(shè)備(10)的上料端(5)與下料端(6),所述反饋控制系統(tǒng)(3)分別與反射率測量系統(tǒng)(1)、硅片厚度測量系統(tǒng)(2)及制絨設(shè)備主控計算機(4)相連接,所述反饋控制系統(tǒng)(3)收集反射率測量系統(tǒng)(I)和硅片厚度測量系統(tǒng)(2)測得的信號,經(jīng)內(nèi)部算法處理后,下達指令予制絨設(shè)備主控計算機(4),對制絨設(shè)備(10)的工藝參數(shù)進行自動調(diào)節(jié)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動調(diào)節(jié)硅片制絨工藝的裝置,其特征在于:所述反射率測量系統(tǒng)(I)由激光反射率測量儀組成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動調(diào)節(jié)硅片制絨工藝的裝置,其特征在于:所述硅片厚度測量系統(tǒng)(2)由電容測厚儀、電感測厚儀或電阻測厚儀組成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動調(diào)節(jié)硅片制絨工藝的裝置,其特征在于:所述反饋控制系統(tǒng)(3)由可編程邏輯控制器或計算機組成。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種自動調(diào)節(jié)硅片制絨工藝的裝置,該裝置由反射率測量系統(tǒng)、硅片厚度測量系統(tǒng)、反饋控制系統(tǒng)組成,反射率測量系統(tǒng)設(shè)置于制絨設(shè)備的下料端,硅片厚度測量系統(tǒng)設(shè)置于制絨設(shè)備的上料端與下料端,反饋控制系統(tǒng)分別與反射率測量系統(tǒng)、硅片厚度測量系統(tǒng)及制絨設(shè)備主控計算機相連接,反饋控制系統(tǒng)收集反射率測量系統(tǒng)和硅片厚度測量系統(tǒng)測得的信號,經(jīng)內(nèi)部算法處理后,下達指令予制絨設(shè)備主控計算機,對制絨設(shè)備的工藝參數(shù)進行自動調(diào)節(jié)。本發(fā)明適用于太陽能電池表面結(jié)構(gòu)化的制絨工藝,本發(fā)明裝置對硅片制絨工藝的自動調(diào)節(jié),有效解決了工藝人員對工藝的調(diào)控問題,增強了工藝的準確性與穩(wěn)定性,提升產(chǎn)品質(zhì)量。
【IPC分類】H01L21-67, H01L31-18
【公開號】CN104538330
【申請?zhí)枴緾N201410748135
【發(fā)明人】陶龍忠, 樂雄英, 楊灼堅, 張堯, 李海波
【申請人】蘇州潤陽光伏科技有限公司
【公開日】2015年4月22日
【申請日】2014年12月10日
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