固體攝像裝置及其制造方法
【專利摘要】一種固體攝像裝置及其制造方法，該固體攝像裝置包括：具有主面的攝像基板部，該主面包括具有多個(gè)像素的第1區(qū)域與具有多個(gè)像素的第2區(qū)域；透鏡部，在與主面相垂直的第1方向，與主面分開(kāi)，該透鏡部包括第1透鏡和第2透鏡，該第1透鏡在投影于主面上時(shí)，與第1區(qū)域的多個(gè)像素重合，該第2透鏡在投影于主面上時(shí)，與第2區(qū)域的多個(gè)像素重合；以及濾色器部，設(shè)置于攝像基板部和透鏡部之間，與攝像基板部分開(kāi)，該濾色器部包括第1濾色器和第2濾色器，該第1濾色器設(shè)置于第1區(qū)域和第1透鏡之間，具有第1色，該第2濾色器設(shè)置于第2區(qū)域和第2透鏡之間，具有不同于第1色的第2色。
【專利說(shuō)明】固體攝像裝置及其制造方法
[0001 ] 關(guān)聯(lián)申請(qǐng)
[0002]本申請(qǐng)享受以日本專利申請(qǐng)2013-189393號(hào)(申請(qǐng)日:2013年9月12)為基礎(chǔ)申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán)。本申請(qǐng)通過(guò)參照該基礎(chǔ)申請(qǐng)而包含基礎(chǔ)申請(qǐng)的全部的內(nèi)容。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本發(fā)明的實(shí)施方式一般涉及固體攝像裝置及其制造方法。

【背景技術(shù)】
[0004]例如，CMOS圖像傳感器、CCD圖像傳感器等的固體攝像裝置中，要求高精細(xì)化處理。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]發(fā)明所要解決的問(wèn)題
[0006]本發(fā)明要解決的課題在于提供謀求高精細(xì)化處理的固體攝像裝置。
[0007]用于解決問(wèn)題的手段
[0008]本發(fā)明的固體攝像裝置包括:攝像基板部，包括主面，該主面包括具有多個(gè)像素的第I區(qū)域以及具有多個(gè)像素的第2區(qū)域；透鏡部，在與上述主面相垂直的第I方向上與上述主面分開(kāi)，該透鏡部包括第I透鏡和第2透鏡，該第I透鏡在投影于上述主面上時(shí)，與上述第I區(qū)域的上述多個(gè)像素重合，該第2透鏡在投影于上述主面上時(shí)，與上述第2區(qū)域的上述多個(gè)像素重合；以及濾色器部，設(shè)置于上述攝像基板部和透鏡部之間，與上述攝像基板部分開(kāi)，該濾色器部包括第I濾色器和第2濾色器，該第I濾色器設(shè)置于上述第I區(qū)域和上述第I透鏡之間，具有第I色，該第2濾色器設(shè)置于上述第2區(qū)域和上述第2透鏡之間，具有不同于上述第I色的第2色。
[0009]通過(guò)上述方案，可提供謀求高精細(xì)化處理的固體攝像裝置。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為列舉第I實(shí)施方式的固體攝像裝置的例子的示意剖視圖；
[0011]圖2為列舉第I實(shí)施方式的固體攝像裝置的例子的示意俯視圖；
[0012]圖3為列舉第I實(shí)施方式的固體攝像裝置的動(dòng)作的例子的流程圖；
[0013]圖4為列舉第I實(shí)施方式的固體攝像裝置的例子的示意剖視圖；
[0014]圖5為列舉第I實(shí)施方式的固體攝像裝置的例子的示意剖視圖；
[0015]圖6為列舉第I實(shí)施方式的固體攝像裝置的例子的示意剖視圖；
[0016]圖7為列舉第2實(shí)施方式的固體攝像裝置的制造方法的例子的流程圖；
[0017]圖8(a)?圖8(c)為列舉第2實(shí)施方式的固體攝像裝置的制造方法的例子的步驟順序示意剖視圖；
[0018]圖9為列舉第2實(shí)施方式的固體攝像裝置的制造方法的例子的流程圖；
[0019]圖10(a)?圖10(c)為列舉第2實(shí)施方式的固體攝像裝置的制造方法的例子的步驟順序示意剖視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0020]按照本發(fā)明的實(shí)施方式，提供一種固體攝像裝置，該固體攝像裝置具有攝像基板部、透鏡部以及濾色器部。上述攝像基板部包括主面，該主面具有含多個(gè)像素的第I區(qū)域與含多個(gè)像素的第2區(qū)域。上述透鏡部在將與上述主面相垂直的第I方向，與該主面分開(kāi)。上述透鏡部包括第I透鏡和第2透鏡，在投影于上述主面上時(shí)，該第I透鏡與上述第I區(qū)域的上述多個(gè)像素重合，在投影于上述主面上時(shí)，第2透鏡與上述第2區(qū)域的上述多個(gè)像素重合。上述濾色器部設(shè)置于上述攝像基板部和透鏡部之間，與上述攝像基板部分開(kāi)。上述濾色器部包括第I濾色器和第2濾色器，該第I濾色器設(shè)置于上述第I區(qū)域和上述第I透鏡之間，具有第I色，第2濾色器設(shè)置于上述第2區(qū)域和上述第2透鏡之間，具有不同于上述第I色的第2色。
[0021]下面參照附圖，對(duì)本發(fā)明的各實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
[0022]另外，附圖是示意性或概念性的，各部分的厚度和寬度的關(guān)系，部分之間的尺寸的比例等不一定限于與現(xiàn)實(shí)的情況相同的情況下。另外，即使在表示相同的部分的情況下，還具有根據(jù)附圖，按照相互的尺寸、比例不同的方式表示的情況。
[0023]此外，在本申請(qǐng)的說(shuō)明書(shū)和附圖中，關(guān)于附圖，在與前述的部件相同的部件，采用同一符號(hào)，具體的說(shuō)明適當(dāng)省略。
[0024](第I實(shí)施方式)
[0025]圖1為列舉第I實(shí)施方式的固體攝像裝置的例子的示意剖視圖。
[0026]圖2為列舉第I實(shí)施方式的固體攝像裝置的例子的示意俯視圖。
[0027]圖1為沿圖2中的A1-A2線剖視圖。
[0028]如圖1和圖2所示的那樣，本實(shí)施方式的固體攝像裝置110包括攝像基板部10、透鏡部20以及濾色器部30。
[0029]攝像基板部10具有多個(gè)像素12。攝像基板部10具有主面10a。在相對(duì)主面1a平行的平面內(nèi)，設(shè)置多個(gè)像素12。
[0030]與主面1a相垂直的方向?yàn)閆軸方向(第I方向Dl)。與Z軸方向相垂直的I個(gè)方向?yàn)閄軸方向。與Z軸方向和X軸方向相垂直的方向?yàn)閅軸方向。
[0031]主面1a具有比如，多個(gè)區(qū)域。主面1a具有比如，第I區(qū)域11a、第2區(qū)域Ilb與第3區(qū)域11c。
[0032]第I區(qū)域Ila具有多個(gè)像素12。第2區(qū)域Ilb具有多個(gè)像素12。第3區(qū)域Ilc具有多個(gè)像素12。
[0033]像素12采用比如，具有pn結(jié)的光電二極管。像素12的結(jié)構(gòu)是任意的。像素12比如，將可見(jiàn)光、紅外光的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。攝像基板部10采用比如硅基板。在攝像基板部10上，不但設(shè)置像素12，也可設(shè)置具有CMOS元件等的電路部等。電路部也可包括后述的信號(hào)處理部70。
[0034]透鏡部20在第I方向Dl，與主面1a分開(kāi)。第I方向Dl (Z軸方向)為與主面1a相垂直的方向。透鏡部20包括多個(gè)透鏡21ο (比如，第I透鏡21a、第2透鏡21b和第3透鏡21c等)。
[0035]第I透鏡21a在投影于主面1a上時(shí)，與第I區(qū)域Ila的多個(gè)像素12重合。第2透鏡21b在投影于主面1a上時(shí)，與第2區(qū)域Ilb的多個(gè)像素12重合。第3透鏡21c在投影于主面1a上時(shí)，與第3區(qū)域Ilc的多個(gè)像素12重合。
[0036]透鏡21ο采用透光性的材料。透鏡21ο采用比如，透光性的樹(shù)脂。透鏡21ο采用丙烯樹(shù)脂或環(huán)氧樹(shù)脂等。透鏡21ο也可采用玻璃等。
[0037]濾色器部30設(shè)置于攝像基板部10和透鏡部20之間。濾色器部30與攝像基板部10分開(kāi)。濾色器部30包括多個(gè)濾色器31ο (比如，第I濾色器31a、第2濾色器31b和第3濾色器31c等)。
[0038]第I濾色器31a設(shè)置于第I區(qū)域Ila和第I透鏡21a之間。第I濾色器31a具有第I色。
[0039]第2濾色器31b設(shè)置于第2區(qū)域Ilb和第2透鏡21b之間。第2濾色器31b具有第2色。第2色不同于第I色。
[0040]第3濾色器31c設(shè)置于第3區(qū)域Ilc和第3透鏡21c之間。第3濾色器31c具有第3色。第3色不同于第I色，不同于第2色。
[0041]比如，第I色、第2色和第3色的相應(yīng)色分別與紅、綠和藍(lán)的色相對(duì)應(yīng)。在實(shí)施方式中，第I色、第2色和第3色是任意的。比如，第2濾色器31b的吸收的峰值波長(zhǎng)不同于第I濾色器31a的吸收的峰值波長(zhǎng)。比如，第3濾色器31c的吸收的峰值波長(zhǎng)不同于第I濾色器31a的吸收的峰值波長(zhǎng)，不同于第2濾色器31b的吸收的峰值波長(zhǎng)。比如，第2濾色器31b的透射的峰值波長(zhǎng)不同于第I濾色器31a的透射的峰值波長(zhǎng)。比如，第3濾色器31c的透射的峰值波長(zhǎng)不同于第I濾色器31a的透射的峰值波長(zhǎng)，不同于第2濾色器31b的透射的峰值波長(zhǎng)。
[0042]濾色器31ο包括比如，樹(shù)脂與分散于樹(shù)脂中的著色材料。樹(shù)脂采用比如，丙烯樹(shù)月旨、環(huán)氧樹(shù)脂或聚酰亞胺樹(shù)脂等。著色材料采用比如，顏料、染料等。濾色器31ο的厚度(沿Z軸方向的長(zhǎng)度)為比如，0.5微米(μπι)以上且5 μπι以下。
[0043]在本例子中，設(shè)置有樹(shù)脂層41。樹(shù)脂層41設(shè)置于攝像基板部10和濾色器部30之間。樹(shù)脂層41是透光性的。樹(shù)脂層41采用丙烯樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂等。在本例子中，樹(shù)脂層41的折射率大致為1.5。
[0044]通過(guò)樹(shù)脂層41，濾色器部30與攝像基板部10分開(kāi)。由此，透鏡部20也與攝像基板部10分開(kāi)。
[0045]攝像基板部10和透鏡部20之間的、沿第I方向(Ζ軸方向)的距離Dsl比如，為10 μ m以上且80 μ m以下。在本例子中，距離Dsl為45 μ m以上且55 μ m以下(大致50 μ m)。
[0046]如圖2列舉而所示的那樣，透鏡部20中包括的多個(gè)透鏡設(shè)置成六邊形。實(shí)施方式并不限于此，多個(gè)透鏡的配置和平面形狀是任意的。
[0047]在本例子中，第2透鏡21b的尺寸與第I透鏡21a的尺寸相同。在本例子中，第3透鏡21c的尺寸與第I透鏡21a的尺寸相同。
[0048]透鏡部20的透鏡21ο的尺寸(寬度)大于像素12的尺寸。與第I方向Dl相垂直的I個(gè)方向?yàn)榈?方向D2。第2方向D2與主面1a平行。在本例子中，在第2方向D2上，透鏡21ο的寬度成為最大。
[0049]透鏡21ο (比如，第I透鏡21a)的沿第2方向D2的長(zhǎng)度為透鏡長(zhǎng)度LI。透鏡長(zhǎng)度LI比如，為ΙΟμ--以上且ΙΟΟμπι以下。在本例子中，透鏡長(zhǎng)度LI為25 μ--以上且35 μ--以下(比如，30 μπι)。
[0050]另一方面，多個(gè)像素12的各像素的沿第2方向的長(zhǎng)度為像素長(zhǎng)度dl。像素長(zhǎng)度dl比如，為0.5以上且3 μπι以下。在本例子中，像素長(zhǎng)度dl比如，為1.0 μπι以上且1.5 μπι以下(比如，1.4 μ m)。
[0051]多個(gè)像素12的在第2方向的間距(pitch)為像素間距pi。像素間距pi比如為I μπι以上且5 μπι以下。在本例子中，像素間距pi比如為2.0 μπι以上且3.0 μπι以下(比如，2.8 μ m) ο
[0052]比如，透鏡長(zhǎng)度LI為像素長(zhǎng)度dl的6倍以上且100倍以下。在本例子中，透鏡長(zhǎng)度LI為像素長(zhǎng)度dl的7倍以上且72倍以下。
[0053]比如，透鏡長(zhǎng)度LI為像素間距pi的3倍以上且50倍以下。
[0054]比如，距離Dsl為透鏡長(zhǎng)度LI的0.5倍以上且5倍以下。
[0055]在實(shí)施方式的固體攝像裝置110中，光經(jīng)由透鏡部20和濾色器部30，射入像素12。與射入像素12中的光的強(qiáng)度對(duì)應(yīng)地，通過(guò)像素12而獲得的電信號(hào)變化。
[0056]圖3為列舉第I實(shí)施方式的固體攝像裝置的動(dòng)作的例子的流程圖。
[0057]圖3列舉在信號(hào)處理部70 (參照?qǐng)D1)中進(jìn)行的處理的例子。
[0058]如圖3所示的那樣，在本實(shí)施方式中，生成基于亮度信息的像(步驟S10)。另外，向已生成的像數(shù)據(jù)給予色信息(步驟S20)。
[0059]比如，在信號(hào)處理部70中，進(jìn)行第I處理。在第I處理中，基于由第I區(qū)域Ila所包括的多個(gè)像素12而獲得的第I信號(hào)內(nèi)具有的第I亮度信息，以及由第2區(qū)域Ilb所包括的多個(gè)像素12而獲得的第2信號(hào)內(nèi)具有的第2亮度信息，來(lái)生成像數(shù)據(jù)。在信號(hào)處理部70中，還進(jìn)行第2處理。在第2處理中，向已生成的像數(shù)據(jù)給予色信息。
[0060]比如，考慮根據(jù)亮度信息和色信息，導(dǎo)出與相鄰的微透鏡對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)的差，重構(gòu)距離信息的參考例子。在這種情況下，進(jìn)行與色信息有關(guān)的數(shù)據(jù)處理，因此處理復(fù)雜。
[0061]與此相對(duì)，在本實(shí)施方式中，首先，根據(jù)亮度信息，重構(gòu)距離信息，生成像數(shù)據(jù)。然后，追加色信息。由此，重構(gòu)時(shí)的處理變得簡(jiǎn)單，是有利的。
[0062]在本實(shí)施方式的固體攝像裝置110中，I個(gè)濾色器31ο以包括多個(gè)像素12的較大的面積而設(shè)置。濾色器31ο的位置的誤差對(duì)檢測(cè)信號(hào)的影響變小。
[0063]比如，具有使各濾色器與各像素12對(duì)應(yīng)而設(shè)置的參考例子。在這種情況下，I個(gè)濾色器的間距與像素相同。在濾色器的位置精度低的情況下，容易產(chǎn)生混色。在像素變成高精細(xì)時(shí)，混色變得顯著。于是，在這樣的參考例子中，高精細(xì)化處理困難。
[0064]另一方面，在本實(shí)施方式中，I個(gè)濾色器31ο按照具有多個(gè)像素12的較大的面積而設(shè)置。I個(gè)濾色器31ο中的位置偏移在I個(gè)像素12中縮小。由此，抑制濾色器31ο的位置的誤差造成的混色。即，在本實(shí)施方式中，即使在像素12變小的情況下，仍難以產(chǎn)生混色。即，按照本實(shí)施方式，由于抑制混色，故高精細(xì)化處理變得容易。
[0065]如圖1所列舉的那樣，在本實(shí)施方式中，透鏡21ο的上表面呈凸?fàn)?，底面為平面。艮P，第I透鏡21a具有第I面21aa與第2面21ab。第I面21aa與濾色器部30對(duì)置。第2面21ab為與第I面21aa相反一側(cè)的面。第I面21aa與主面1a相平行。第I面21aa為平面。第2面21ab具有曲面的部分。
[0066]第I面21aa為平面，濾色器31ο也為平面狀。濾色器31ο的厚度在面內(nèi)(Χ_Υ平面內(nèi))，實(shí)質(zhì)上是均勻的。濾色器31ο的光學(xué)特性(比如，色)在面內(nèi)容易均勻。
[0067]在本實(shí)施方式中，從I個(gè)濾色器31ο的面內(nèi)的第I部分通過(guò)的光射入多個(gè)像素12中的I個(gè)。從I個(gè)濾色器310的面內(nèi)的第2部分通過(guò)的光射入多個(gè)像素12中的另I個(gè)。通過(guò)提高I個(gè)濾色器31ο的色的面內(nèi)的均勻性，射入多個(gè)像素12中的光的色變得均勻。由此，可進(jìn)行色特性良好的攝像。
[0068]圖4為列舉第I實(shí)施方式的固體攝像裝置的例子的示意剖視圖。
[0069]圖4為相當(dāng)于沿圖2中的Α1-Α2線的剖視圖。
[0070]如圖4所示的那樣，在本實(shí)施方式的另一固體攝像裝置111中，不但設(shè)置攝像基板部10、透鏡部20以及濾色器部30，還設(shè)置有微透鏡部50。微透鏡部50設(shè)置于攝像基板部10與濾色器部30之間，除此以外的方面與固體攝像裝置110相同。
[0071]微透鏡部50具有多個(gè)微透鏡52。多個(gè)微透鏡52的各個(gè)微透鏡設(shè)置于多個(gè)像素12的各個(gè)像素與濾色器部30之間。
[0072]在本例子中，設(shè)置有樹(shù)脂層41。微透鏡部50設(shè)置于攝像基板部10和樹(shù)脂層41之間。多個(gè)微透鏡52的各個(gè)微透鏡設(shè)置于多個(gè)像素12的各個(gè)像素與樹(shù)脂層41之間。
[0073]微透鏡52將光聚光在像素12的感光部分上。由此，靈敏度可提高。
[0074]多個(gè)微透鏡52的折射率比如，高于樹(shù)脂層41的折射率。由此，可利用光的折射效果，對(duì)光進(jìn)行聚光。
[0075]比如，樹(shù)脂層41的折射率大致為1.5。此時(shí)，微透鏡52的折射率設(shè)定為高于1.5。比如，微透鏡52采用氮化硅(或氮氧化硅)等。此時(shí)，微透鏡52的折射率大致為2.2。
[0076]同樣對(duì)于固體攝像裝置111，可提供可進(jìn)行高精細(xì)化處理的固體攝像裝置。通過(guò)設(shè)置微透鏡52，靈敏度可提高。
[0077]圖5為列舉第I實(shí)施方式的固體攝像裝置的例子的示意剖視圖；
[0078]圖5為相當(dāng)于沿圖2中的Α1-Α2線的剖視圖。
[0079]如圖5所示的那樣，在本實(shí)施方式的另一固體攝像裝置112中，設(shè)置有攝像基板部10、透鏡部20以及濾色器部30，還設(shè)置有微透鏡部50。在本例子中，攝像基板部10與濾色器部30之間的區(qū)域構(gòu)成空隙42。除此以外的方面與固體攝像裝置110相同。
[0080]在攝像基板部10與濾色器部30之間的區(qū)域(空隙42)中，填充有比如，空氣或惰性氣體等。
[0081]比如，在本例子中，透鏡長(zhǎng)度LI大致為30 μ m。此時(shí)，距離Dsl大致為30 μ m。距離Dsl為比如，25 μπι以上且35 μπι以下。距離Dsl為比如，28 μπι以上且32 μπι以下。
[0082]同樣對(duì)于固體攝像裝置112，可提供可進(jìn)行高精細(xì)化處理的固體攝像裝置。
[0083]圖6為列舉第I實(shí)施方式的固體攝像裝置的例子的示意剖視圖。
[0084]圖6為相當(dāng)于沿圖2中的Al-Al線的剖視圖。
[0085]如圖6所示的那樣，在本實(shí)施方式的另一固體攝像裝置113中，攝像基板部10與濾色器部30之間的區(qū)域?yàn)榭障?2。另外，設(shè)置有微透鏡50。其以外的方面與固體攝像裝置110相同。
[0086]同樣對(duì)于固體攝像裝置113，可提供可進(jìn)行高精細(xì)化處理的固體攝像裝置。
[0087](第2實(shí)施方式)
[0088]本實(shí)施方式涉及固體攝像裝置的制造方法。
[0089]圖7為列舉第2實(shí)施方式的固體攝像裝置的制造方法的例子的流程圖。
[0090]如圖7所示的那樣，在本實(shí)施方式的制造方法中，形成樹(shù)脂層41 (步驟S110)。接著，形成濾色器部30 (步驟S120)。然后，形成透鏡部20 (步驟S130)。下面對(duì)這些處理的例子進(jìn)行說(shuō)明。
[0091]圖8(a)?圖8(c)為列舉第2實(shí)施方式的固體攝像裝置的制造方法的例子的步驟順序示意剖視圖。
[0092]如圖8(a)所示的那樣，攝像基板部10包括具有多個(gè)像素12的第I區(qū)域11a，與具有多個(gè)像素12的第2區(qū)域lib。在該攝像基板部10的主面1a上，形成透光性的樹(shù)脂層41ο
[0093]如圖8(b)所示的那樣，在樹(shù)脂層41上形成濾色器部30。濾色器部30包括第I濾色器31a與第2濾色器31b。第I濾色器31a在投影于主面1a上時(shí)，與第I區(qū)域Ila重合。第I濾色器31a具有第I色。第2濾色器31b在投影于主面1a上時(shí)，與第2區(qū)域Ilb重合。第2濾色器31b具有不同于第I色的第2色。
[0094]如圖8(c)所示的那樣，在濾色器部30上，形成透鏡部20。透鏡部20包括第I透鏡21a和第2透鏡21b。第I透鏡21a在投影于主面1a上時(shí)，與第I區(qū)域Ila重合。第2透鏡21b在投影于主面1a上時(shí)，與第2區(qū)域Ilb重合。
[0095]在本制造方法中，形成有較大尺寸的濾色器31ο，該濾色器31ο具有多個(gè)像素12。緩和濾色器31ο的位置精度，生產(chǎn)率提高。
[0096]樹(shù)脂層41的形成采用印刷、旋轉(zhuǎn)器涂布等的任意的方法。樹(shù)脂層41的形成采用比如，光刻法。透鏡部20的形成采用比如，光刻法或刻印法(imprint)等。
[0097]下面對(duì)透鏡部20的形成方法的例子進(jìn)行說(shuō)明。在該方法中，采用刻印法。
[0098]圖9為列舉第2實(shí)施方式的固體攝像裝置的制造方法的例子的流程圖。
[0099]如圖9所示的那樣，在本實(shí)施方式的制造方法的透鏡部20的形成中，形成樹(shù)脂膜(步驟S131)。接著，在樹(shù)脂膜上形成凹凸(步驟S132)。然后，使樹(shù)脂膜固化(步驟S133)。對(duì)這些處理的例子進(jìn)行說(shuō)明。
[0100]圖10(a)?圖10(c)為列舉第2實(shí)施方式的固體攝像裝置的制造方法的例子的步驟順序示意剖視圖。
[0101]如圖10(a)所示的那樣，將樹(shù)脂膜22形成于濾色器部30。樹(shù)脂膜22成為透鏡21ο (第I透鏡21a、第2透鏡21b和第3透鏡21c等)。
[0102]如圖10 (b)所不的那樣，配備有模(Mold) 60。在模60中設(shè)置有凹凸61。凹凸61的形狀與透鏡21ο (第I透鏡21a、第2透鏡21b和第3透鏡21c等)的形狀相對(duì)應(yīng)。使模60的凹凸61與樹(shù)脂膜22接觸。
[0103]如圖10(c)所示的那樣，在樹(shù)脂膜22的表面上，形成反映凹凸61的凹凸23。樹(shù)脂膜22的凹凸23包括第I透鏡狀凹凸24a、第2透鏡狀凹凸24b和第3透鏡狀凹凸24c等。
[0104]使樹(shù)脂膜22固化，形成透鏡21ο。S卩，由第I透鏡狀凹凸24a，形成第I透鏡21a。由第2透鏡狀凹凸24b，形成第2透鏡21b。由第3透鏡狀凹凸24c，形成第3透鏡21c。
[0105]關(guān)于固化，進(jìn)行比如，加熱以及光照射中的至少任意者。在固化的處理中，進(jìn)行與樹(shù)脂膜22的特性相對(duì)應(yīng)的處理。固化中的至少一部分在比如，凹凸61與樹(shù)脂膜22接觸的狀態(tài)進(jìn)行。固化中的至少一部分也可在比如，凹凸61與樹(shù)脂膜22分開(kāi)的狀態(tài)進(jìn)行。
[0106]在本例子中，透鏡部20的形成采用刻印法。在實(shí)施方式中，透鏡21ο的尺寸大于像素12的尺寸。由此，在透鏡21ο的形成中，緩和精度。由此，可采用生產(chǎn)率較高的方法。
[0107]在本實(shí)施方式中，能夠以$父尚的生廣率，制造可進(jìn)彳丁尚精細(xì)化處理的固體攝像裝置。
[0108]按照實(shí)施方式，可提供可進(jìn)行高精細(xì)化處理的固體攝像裝置及其制造方法。
[0109]以上參照具體例子，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明。但是，本發(fā)明的實(shí)施方式并不限定于這些具體例子。關(guān)于比如，固體攝像裝置中包括的攝像基板部、像素、微透鏡、濾色器部、濾色器、透鏡部、透鏡和信號(hào)處理部等的各部件的具體結(jié)構(gòu)，本領(lǐng)域的技術(shù)人員從公知的范圍而適當(dāng)選擇，由此，同樣地實(shí)施本發(fā)明，只要可獲得相同的效果，均包括在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
[0110]另外，只要包括本發(fā)明的實(shí)質(zhì)，在技術(shù)可能的范圍內(nèi)將各具體例子中的任意2個(gè)以上的部件組合成的方案也可包括在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
[0111]此外，只要包括本發(fā)明的實(shí)質(zhì)，作為本發(fā)明的實(shí)施方式，根據(jù)上述的固體攝像裝置及其制造方法，本領(lǐng)域的技術(shù)人員會(huì)適當(dāng)進(jìn)行設(shè)計(jì)變更而實(shí)施的全部的固體攝像裝置及其制造方法也屬于本發(fā)明的范圍。
[0112]還有，在本發(fā)明的思想的范疇內(nèi)，如果是本領(lǐng)域的技術(shù)人員，會(huì)想到各種變更例子和修正例子，關(guān)于這些變更例子和修正例子，解釋為屬于本發(fā)明的范圍內(nèi)的方案。
【權(quán)利要求】
1.一種固體攝像裝置，包括: 攝像基板部，包括主面，該主面包括具有多個(gè)像素的第I區(qū)域以及具有多個(gè)像素的第2區(qū)域； 透鏡部，在與上述主面相垂直的第I方向上與上述主面分開(kāi)，該透鏡部包括第I透鏡和第2透鏡，該第I透鏡在投影于上述主面上時(shí)，與上述第I區(qū)域的上述多個(gè)像素重合，該第2透鏡在投影于上述主面上時(shí)，與上述第2區(qū)域的上述多個(gè)像素重合；以及 濾色器部，設(shè)置于上述攝像基板部和透鏡部之間，與上述攝像基板部分開(kāi)，該濾色器部包括第I濾色器和第2濾色器，該第I濾色器設(shè)置于上述第I區(qū)域和上述第I透鏡之間，具有第I色，該第2濾色器設(shè)置于上述第2區(qū)域和上述第2透鏡之間，具有不同于上述第I色的第2色。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置， 還包括透光性的樹(shù)脂層，該樹(shù)脂層設(shè)置于上述攝像基板部和上述濾色器部之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置， 還包括微透鏡部，該微透鏡部設(shè)置于上述攝像基板部和上述濾色器部之間，具有多個(gè)微透鏡， 上述多個(gè)微透鏡的各個(gè)微透鏡設(shè)置于上述多個(gè)像素的各個(gè)像素和上述濾色器部之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置，還包括: 微透鏡部，該微透鏡部設(shè)置于上述攝像基板部和上述濾色器部之間，具有多個(gè)微透鏡；以及 透光性的樹(shù)脂層，該樹(shù)脂層設(shè)置于上述微透鏡部和上述濾色器部之間， 上述多個(gè)微透鏡的各個(gè)微透鏡設(shè)置于上述多個(gè)像素的各個(gè)像素和上述樹(shù)脂層之間， 上述多個(gè)微透鏡的折射率高于上述樹(shù)脂層的折射率。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置， 上述第I透鏡的沿與上述主面相平行的第2方向的長(zhǎng)度為上述多個(gè)像素的各個(gè)像素的沿上述第2方向的長(zhǎng)度的6倍以上且100倍以下。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置， 上述攝像基板部和上述透鏡部之間的、沿上述第I方向的距離為上述第I透鏡的沿與上述主面相平行的第2方向的長(zhǎng)度的0.5倍以上且5倍以下。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置， 上述第I透鏡的沿與上述主面相平行的第2方向的長(zhǎng)度為上述多個(gè)像素的沿上述第2方向的間距的3倍以上且50倍以下。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置， 上述第I透鏡包括與上述濾色器部對(duì)置的第I面，以及與上述第I面相反側(cè)的第2面， 上述第I面與上述主面相平行， 上述第2面具有曲面的部分。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置， 還包括信號(hào)處理部，該信號(hào)處理部實(shí)施下述的處理，包括: 第I處理，基于由上述第I區(qū)域中包括的上述多個(gè)像素而獲得的第I信號(hào)中包括的第I亮度信息，與由上述第2區(qū)域中包括的上述多個(gè)像素而獲得的第2信號(hào)中包括的第2亮度信息，來(lái)生成像數(shù)據(jù)；以及 第2處理，對(duì)上述已生成的像數(shù)據(jù)給予色信息。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置， 上述攝像基板部還包括第3區(qū)域，該第3區(qū)域設(shè)置于上述主面內(nèi)并具有上述多個(gè)像素，上述透鏡部還包括第3透鏡，該第3透鏡在投影于上述主面內(nèi)時(shí)，使上述第3區(qū)域的上述多個(gè)像素重合， 上述濾色器部也包括第3濾色器，該第3濾色器設(shè)置于上述第3區(qū)域和上述第3透鏡之間，具有不同于上述第I色且不同于上述第2色的第3色。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置， 上述第I透鏡的沿與上述主面相平行的第2方向的長(zhǎng)度為上述多個(gè)像素的各個(gè)像素的沿上述第2方向的長(zhǎng)度的7倍以上且72倍以下。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置， 上述攝像基板部和上述透鏡部之間的、沿上述第I方向的距離為上述第I透鏡的沿與上述主面相平行的第2方向的長(zhǎng)度的0.5倍以上且3倍以下。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置， 上述第I透鏡的沿與上述主面相平行的第2方向的長(zhǎng)度為上述多個(gè)像素的各個(gè)像素沿上述第2方向的長(zhǎng)度的6倍以上且100倍以下， 上述攝像基板部和上述透鏡部之間的、沿上述第I方向的距離為上述第I透鏡的沿與上述主面相平行的第2方向的長(zhǎng)度的0.5以上且5倍以下， 上述第I透鏡的沿上述第2方向的長(zhǎng)度為上述多個(gè)像素的沿與上述主面相平行的第2方向的間距的3倍以上且50倍以下。
14.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固體攝像裝置， 上述樹(shù)脂層包含丙烯樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂中的至少任意之一。
15.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固體攝像裝置， 上述樹(shù)脂層包含丙烯樹(shù)脂。
16.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固體攝像裝置， 上述樹(shù)脂層包含環(huán)氧樹(shù)脂。
17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置， 上述攝像基板部和上述濾色器部之間為空隙。
18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置， 還包括空隙，該空隙設(shè)置于上述攝像基板部和上述濾色器部之間，在該空隙中填充有空氣或惰性氣體。
19.一種固體攝像裝置的制造方法，在該方法中: 在攝像基板部的主面上形成透光性的樹(shù)脂層，該攝像基板部包括上述主面，該主面包括具有多個(gè)像素的第I區(qū)域以及具有多個(gè)像素的第2區(qū)域； 在該樹(shù)脂層上方形成濾色器部，該濾色器部包括第I濾色器和第2濾色器，該第I濾色器在投影于上述主面上時(shí)與上述第I區(qū)域重合，具有第I色，該第2濾色器在投影于上述主面上時(shí)與上述第2區(qū)域重合，具有不同于上述第I色的第2色； 在上述濾色器部上形成透鏡部，該透鏡部具有第I透鏡和第2透鏡，該第I透鏡在投影于上述主面上時(shí)，與上述第I區(qū)域重合，該第2透鏡在投影于上述主面上時(shí)，與上述第2區(qū)域重合。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的固體攝像裝置的制造方法， 在上述透鏡部的形成中，包括: 在上述濾色器部上方，形成成為上述第I透鏡和第2透鏡的樹(shù)脂膜； 使設(shè)置有與上述第I透鏡和上述第2透鏡的形狀相對(duì)應(yīng)的凹凸的模與上述樹(shù)脂膜的表面接觸，在該樹(shù)脂膜的上述表面上形成反映了上述凹凸的凹凸； 使上述樹(shù)脂膜固化，形成上述第I透鏡和上述第2透鏡。
【文檔編號(hào)】H01L21/78GK104517986SQ201410589069
【公開(kāi)日】2015年4月15日 申請(qǐng)日期:2014年9月12日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月12日
【發(fā)明者】增田梨沙, 岡田直忠, 鈴木和拓, 上野梨紗子, 小林光吉, 舟木英之 申請(qǐng)人:株式會(huì)社東芝