一種引線框架的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種引線框架的制作方法,它以矩形的銅合金片為基材,包括以下步驟:半蝕刻,使在銅合金片基材正面形成呈矩陣排列的圓形凸臺;對根據(jù)預(yù)制作的集成電路元件中芯片的大小及需要焊引線的數(shù)量所涉及到的圓形凸臺進(jìn)行表面電鍍;對蝕刻區(qū)進(jìn)行塑封;對塑封區(qū)下面的區(qū)域從背面進(jìn)行蝕刻并蝕穿;對蝕刻區(qū)進(jìn)行絕緣;切割成型。該方法可以用于制作不同尺寸的引線框架,且成本低、適用范圍廣。
【專利說明】一種引線框架的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及引線框架【技術(shù)領(lǐng)域】,具體涉及一種引線框架的制作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]引線框架作為集成電路的芯片載體,是制作生產(chǎn)集成電路半導(dǎo)體元件的基本部件。引線框架一般包括多個呈矩陣排列的功能單元,所述功能單元包括中間的裝片區(qū)(用于安裝芯片)和裝片區(qū)周圍的打線區(qū)(打線區(qū)由多個小焊點組成)。這種引線框架一旦制成,裝片區(qū)與打線區(qū)的尺寸便是固定的,即換過來說,制備不同尺寸(包括裝片區(qū)、打線區(qū))的引線框架,就需要不同尺寸的模具。所以該引線框架制備過程中,為了制備不同尺寸的引線框架,需要不同尺寸的模具,這使得引線框架的制備成本高。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種引線框架的制作方法,該方法可以用于制作不同尺寸的引線框架,且成本低、適用范圍廣。
[0004]本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為:
[0005]一種引線框架的制作方法,以矩形的銅合金片為基材,其特征在于包括以下步驟:
[0006](I)半蝕刻:對銅合金片基材正面進(jìn)行半蝕刻,使在銅合金片基材正面形成呈矩陣排列的圓形凸臺,圓形凸臺的截面圓直徑為0.25-0.35mm、相鄰圓形凸臺同一水平面的截面圓的圓心距為0.5mm。
[0007](2)電鍍:根據(jù)預(yù)制作的集成電路元件中芯片的大小及需要焊引線的數(shù)量選擇合適位置的圓形凸臺進(jìn)行表面電鍍,形成電鍍區(qū),電鍍金屬為銀或鎳鈀金。舉個例子,在圓形凸臺的截面圓直徑為0.25mm、相鄰圓形凸臺同一水平面的截面圓的圓心距為0.5mm的情況下:若需安裝的芯片為IcmXlcm的方形片、需要焊引線的數(shù)量為88根,則電鍍選擇的圓形凸臺為一個23X23方形矩陣圓形凸臺的最外面一圈;若需安裝的芯片為IcmX Icm的方形片、需要焊引線的數(shù)量為180根,則電鍍選擇的圓形凸臺為一個24X24方形矩陣圓形凸臺的最外面兩圈;若需安裝的芯片為0.5cmX0.5cm的方形片、需要焊引線的數(shù)量為48根,則電鍍選擇的圓形凸臺為一個13X13方形矩陣圓形凸臺的最外面一圈。這里面電鍍區(qū)作為焊引線之用、即相當(dāng)于打線區(qū),電鍍區(qū)內(nèi)部的區(qū)域作為裝芯片之用、即相當(dāng)于裝片區(qū),而電鍍區(qū)和內(nèi)部的裝片區(qū)合起來就組成了引線框架的功能單元。
[0008](3)塑封:對步驟(I)中半蝕刻形成的蝕刻區(qū)進(jìn)行塑封,塑封的材料為環(huán)氧樹脂。
[0009](4) 二次背面蝕刻:對銅合金片基材上塑封區(qū)下面的區(qū)域繼續(xù)蝕刻并蝕穿,使銅合金片基材形成若干個呈矩陣排列的圓柱形臺。
[0010](5)絕緣:對步驟(4)中蝕刻形成的蝕刻區(qū)進(jìn)行絕緣,絕緣的材料為綠油。
[0011](6)切割成型:根據(jù)使用需要進(jìn)行切割,形成包括一個或若干個呈矩陣排列的功能單元的引線框架。若使用僅需要一個功能單元就夠了,那么就切割形成一個功能單元的引線框架,若使用需要多個功能單元,那么就切割成相應(yīng)數(shù)量功能單元的引線框架。
[0012]本發(fā)明引線框架的制作方法在進(jìn)行蝕刻時,僅僅是蝕刻形成呈矩陣排列的圓形凸臺,不管預(yù)制作的集成電路元件需要的芯片尺寸是什么、焊引線的數(shù)量為多少,蝕刻步驟和使用的模具都一樣,而至于預(yù)制作的集成電路中裝片區(qū)和打線區(qū)的規(guī)格,只要通過電鍍時對電鍍位置進(jìn)行一個適合的選擇即可,所以本發(fā)明引線框架的制作方法步驟簡單、使用一個模具就可以實現(xiàn)制作不同尺寸的引線框架、制作成本低、適用范圍廣。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0013]圖1所示的是本發(fā)明引線框架制作方法的工序示意圖。
[0014]其中:1、銅合金片;2、圓形凸臺;3、電鍍區(qū);4、塑封區(qū);5、圓柱形臺;6、絕緣區(qū)。
【具體實施方式】
[0015]以下結(jié)合實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步具體描述,但不局限于此。
[0016]如圖1所示,本實施例引線框架的制作方法,該方法以矩形的銅合金片I為基材,具體包括以下步驟:
[0017](I)半蝕刻:對銅合金片I基材正面進(jìn)行半蝕刻,使在銅合金片I基材正面形成呈矩陣排列的圓形凸臺2,圓形凸臺2的截面圓直徑為0.25-0.35mm、相鄰圓形凸臺12同一水平面的截面圓的圓心距為0.5mm,得到圖1 (a)所示;
[0018](2)電鍍:根據(jù)預(yù)制作的集成電路元件中芯片的大小及需要焊引線的數(shù)量選擇合適位置的圓形凸臺2進(jìn)行表面電鍍,形成電鍍區(qū)3,電鍍金屬為銀或鎳鈀金,當(dāng)為鎳鈀金時在基材表面依次電鍍鎳層0.5-2.0um、鈀層20-150nm、金層3_15nm,得到如圖1 (b)所示;
[0019](3)塑封:對步驟(1)中半蝕刻形成的蝕刻區(qū)進(jìn)行塑封,形成塑封區(qū)4,塑封的材料為環(huán)氧樹脂,得到如圖1 (C)所示;
[0020](4)二次背面蝕刻:對銅合金片I基材上塑封區(qū)4下面的區(qū)域繼續(xù)蝕刻并蝕穿,使銅合金片I被蝕刻成呈矩陣排列的圓柱形臺5,得到如圖1 (d)所示;
[0021](5)絕緣:對步驟(4)中蝕刻形成的蝕刻區(qū)進(jìn)行塑封,形成絕緣區(qū)6,絕緣的材料為綠油,如圖1 (e)所示;
[0022](6)切割成型:根據(jù)使用需要進(jìn)行切割,形成包括一個功能單元的引線框架,如圖1(f)所示。
[0023]本發(fā)明的上述實施例是對本發(fā)明的說明而不能用于限制本發(fā)明,與本發(fā)明的權(quán)利要求書相當(dāng)?shù)暮x和范圍內(nèi)的任何改變,都應(yīng)認(rèn)為是包括在權(quán)利要求書的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種引線框架的制作方法,以矩形的銅合金片為基材,其特征在于包括以下步驟: (1)半蝕刻:對銅合金片基材正面進(jìn)行半蝕刻,使在銅合金片基材正面形成呈矩陣排列的圓形凸臺,圓形凸臺的截面圓直徑為0.25-0.35_、相鄰圓形凸臺同一水平面的截面圓的圓心距為0.5mm ; (2)電鍍:對根據(jù)預(yù)制作的集成電路元件中芯片的大小及需要焊引線的數(shù)量所涉及到的圓形凸臺進(jìn)行表面電鍍,電鍍金屬為銀或鎳鈀金; (3)塑封:對步驟(I)中半蝕刻形成的蝕刻區(qū)進(jìn)行塑封,塑封的材料為環(huán)氧樹脂; (4)背面蝕刻:對銅合金片基材上塑封區(qū)下面的區(qū)域從背面進(jìn)行蝕刻并蝕穿,使銅合金片基材形成若干個呈矩陣排列的圓柱形臺; (5)絕緣:對步驟(4)中蝕刻形成的蝕刻區(qū)進(jìn)行絕緣,絕緣的材料為綠油; (6)切割成型:根據(jù)使用需要進(jìn)行切割,形成包括一個或多個呈矩陣排列的功能單元的引線框架。
【文檔編號】H01L21/48GK103531486SQ201310455710
【公開日】2014年1月22日 申請日期:2013年9月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月28日
【發(fā)明者】黎超豐, 鄧道斌, 鄭康定, 李昌文, 林海見 申請人:寧波康強(qiáng)電子股份有限公司