專利名稱：太陽能電池的制造方法及太陽能電池的制造裝置的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及一種太陽能電池的制造方法及太陽能電池的制造裝置。
背景技術(shù)：
以往，已知有如下述專利文獻I所述的為了在太陽能電池的單元中添加摻雜劑而對單元照射離子束來注入離子的裝置。該裝置中通過RF (Radio Frequency)源及天線來產(chǎn)生等離子體，并使離子從該等離子體朝向單元進行加速，從而將離子注入到單元中。該裝置中，進行2種不同的能量離子注入，或者使用2種不同的摻雜劑進行連續(xù)注入。并且，進行連續(xù)注入的期間使單元的表背反轉(zhuǎn)來在單元的表面及背面進行離子注入，或者使用掩模來改變注入圖案。專利文獻1:日本特表2011-513997號公報上述的以往裝置中雖然離子束照射到預定區(qū)域，但存在在該照射區(qū)域內(nèi)無法保持離子束的均勻性的情況。此時，在單元的面內(nèi)產(chǎn)生離子注入量的偏差。另外，還能夠想到對排列的多個單元同時照射離子束時，不僅在各單元的面內(nèi)·產(chǎn)生離子注入量的偏差，還在多個單元之間產(chǎn)生離子注入量的偏差。如此，對多個單元同時照射離子束時，很難在各單元的面內(nèi)使離子注入量均勻，并在多個單元之間使離子注入量均勻。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種太陽能電池的制造方法及太陽能電池的制造裝置，其在對多個單元同時照射離子束時，能夠在各單元的面內(nèi)使離子注入量均勻，并且能夠在多個單元之間使離子注入量均勻。解決上述課題的太陽能電池的制造方法，一邊沿輸送方向輸送至少在I個方向排列配置有多個單元的載置臺，一邊通過對多個單元照射離子束來向多個單元注入離子，其特征在于，包括:第I離子注入工序，以使多個單元通過離子束的預定照射區(qū)域的方式輸送載置臺，并對多個單元照射離子束；載置臺旋轉(zhuǎn)工序，使載置臺旋轉(zhuǎn)預定角度來改變載置臺的配置；及第2離子注入工序，以使多個單元通過照射區(qū)域的方式輸送旋轉(zhuǎn)后的載置臺，并對多個單元照射離子束。根據(jù)該太陽能電池的制造方法，在第I離子注入工序中，多個單元通過離子束的預定照射區(qū)域，并對多個單元照射離子束。接著，在載置臺旋轉(zhuǎn)工序中，載置臺旋轉(zhuǎn)預定角度，從而改變載置臺的配置。之后，在第2離子注入工序中輸送旋轉(zhuǎn)后的載置臺，以使多個單元通過照射區(qū)域。在該第2離子注入工序中，由于各單元相對于離子束照射區(qū)域的配置與第I離子注入工序的配置不同，因此在照射區(qū)域內(nèi)離子束不均勻時也能夠防止該不均勻性直接影響多個單元中的離子注入量的分布。因此，能夠在各單元的面內(nèi)使離子注入量均勻，進一步能夠在多個單元之間使離子注入量均勻。并且，在上述太陽能電池的制造方法中，多個單元在I個方向及與I個方向正交的方向分別排列配置有多個，與輸送方向正交的方向上的照射區(qū)域的寬度大于I個方向及與I個方向正交的方向上的多個單元的兩端的寬度。此時，由于單元在2個方向分別排列配置有多個，因此，即使在使載置臺旋轉(zhuǎn)前及旋轉(zhuǎn)后這二者中的任一情況下，均能夠使多個單元在照射區(qū)域的寬度范圍內(nèi)通過。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)效率的提高。并且，在上述太陽能電池的制造方法中，多個單元在I個方向及與I個方向正交的方向上分別配置有相同數(shù)量。此時，在使載置臺旋轉(zhuǎn)前及旋轉(zhuǎn)后這二者中的任一情況下，均能夠使相同數(shù)量的單元在照射區(qū)域的寬度范圍內(nèi)通過。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)效率的提高。并且，在上述太陽能電池的制造方法中，第2離子注入工序中的載置臺的輸送方向為與第I離子輸入工序中的載置臺的輸送方向相同的方向。此時，能夠進行沿恒定方向連續(xù)輸送多個載置臺的所謂內(nèi)聯(lián)方式下的離子注入。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)量的增加。并且，在上述太陽能電池的制造方法中，在載置臺旋轉(zhuǎn)工序中使載置臺在大氣壓環(huán)境下旋轉(zhuǎn)。通常，離子束的照射是在真空環(huán)境下進行的。根據(jù)上述方法，由于在大氣壓環(huán)境下設置旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，因此容易確認機器的動作或容易進行維護，并且，也容易修復維護后的
>J-U ρ α裝直。并且，在上述太陽能電池的制造方法中，第2離子注入工序中的載置臺的輸送方向為與第I離子注入工序中的載置臺的輸送方向相反的方向。此時，能夠進行在第I離子注入工序使多個單元通過照射區(qū)域之后，直接沿相反的方向輸送載置臺來使多個單元通過照射區(qū)域的所謂批量式的離子注入。由此，能夠縮小占用空間。并且，解決了上述課題的太陽能電池的制造裝置，其特征在于，具備:載置臺，至少在I個方向排列配置有多個單元；射束產(chǎn)生機構(gòu)，為了向載置臺上的多個單元注入離子而對預定照射區(qū)域照射離子束；輸送機構(gòu)，以使多個單元通過離子束的照射區(qū)域的方式輸送載置臺；及載置臺旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，使載置臺旋轉(zhuǎn)預定角度來改變載置臺的配置。根據(jù)該太陽能電池的制造裝置，多個單元通過輸送機構(gòu)通過離子束的預定照射區(qū)域，并對多個單元照射離子束。接著，能夠通過載置臺旋轉(zhuǎn)機構(gòu)將載置臺旋轉(zhuǎn)預定角度來改變載置臺的配置。之后，通過輸送機構(gòu)輸送旋轉(zhuǎn)后的載置臺，從而多個單元通過照射區(qū)域，離子束再次照射至多個單元。此時，由于各單元相對于離子束的照射區(qū)域的配置與前一次輸送時的配置不同，因此，即使在照射區(qū)域內(nèi)離子束不均勻時，也能夠防止該不均勻性直接影響多個單元中的離子注入量的分布。由此，能夠在各單元的面內(nèi)使離子注入量均勻，進一步能夠在多個單元之間使離子注入量均勻。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，當對多個單元同時照射離子束時，能夠在各單元的面內(nèi)使離子注入量均勻，并且能夠在多個單元之間使離子注入量均勻。


圖1是示意表示太陽能電池的制造裝置的一實施方式的俯視圖。圖2 (a)是表示圖1中的托板及配置于載置臺上的單元及離子束的照射區(qū)域的俯視圖，圖2 (b)是托板、載置臺及單元的截面圖。圖3是示意表示太陽能電池的制造裝置的其他實施方式的俯視圖。圖4 (a) (C)是表示基于圖3的制造裝置的離子注入步驟的俯視圖。圖5 (a) (C) 是表示緊接圖4的離子注入步驟的俯視圖。
圖6 (a) (c)是表示緊接圖5的離子注入步驟的俯視圖。圖中:1、1A-離子注入裝置，3-托盤(載置臺)，4_單元，11-第I輸送裝置(輸送機構(gòu))，16-離子束產(chǎn)生裝置(射束產(chǎn)生機構(gòu))，17-離子束照射區(qū)域，20-托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)(載置臺旋轉(zhuǎn)機構(gòu))，22-輸送裝置(輸送機構(gòu))，A、B-輸送方向。
具體實施例方式以下，參考附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。另外，

中對相同要件附加相同符號并省略重復的說明。如圖1所示，離子注入裝置(太陽能電池的制造裝置)1為通過對多個單元4照射離子束來將離子注入于各單元4的裝置。離子注入裝置I具備:正方形板狀的托盤(載置臺)3，縱橫排列配置有多個正方形板狀的單元4 ;長方形板狀的托板2，載置有托盤3 ;及輸送裝置11 14，用于在環(huán)繞軌道上輸送托板2、托盤3及單元4。離子注入裝置I為在環(huán)繞軌道上連續(xù)輸送多個托板2及托盤3并對配置于各托盤3上的多個單元4依次進行離子注入的所謂直線式離子注入裝置。離子注入裝置I具備:工藝腔室6，內(nèi)部被設為真空；裝載鎖定腔室7，配置于工藝腔室6的前段并使其內(nèi)部由大氣壓變?yōu)檎婵?；及卸載鎖定腔室8，配置于工藝腔室6的后段并使其內(nèi)部由真空變?yōu)榇髿鈮?。裝載鎖定腔室7及卸載鎖定腔室8用于將工藝腔室6的內(nèi)部從大氣壓環(huán)境隔斷并使其內(nèi)部維持成真空狀態(tài)。工藝腔室6具有在內(nèi)部容納3個托板2的容積。裝載鎖定腔室7及卸載鎖定腔室8在內(nèi)部分別具有容納I個托板2的容積。在裝載鎖定腔室7的入口側(cè)及出口側(cè)設置有第I閘閥IOA及第2閘閥10B。在卸載鎖定腔室8的入口側(cè)及出口側(cè)設置有第3閘閥IOC及第4閘閥10D。離子注入裝置I具備產(chǎn)生添加于單元4的摻雜劑的離子束的離子束產(chǎn)生裝置(射束產(chǎn)生機構(gòu))16。在工藝腔 室6內(nèi)形成有被照射離子束的區(qū)域即離子束照射區(qū)域17。離子束照射區(qū)域17呈具有比托盤3寬幅的長邊的長方形狀。第I輸送裝置11沿輸送方向A輸送托板2及托盤3，以使托盤3上的多個單元4在工藝腔室6內(nèi)通過離子束照射區(qū)域17。第I輸送裝置11將托板2及托盤3從裝載鎖定腔室7的入口側(cè)輸送至卸載鎖定腔室8的出口側(cè)。第2輸送裝置12將從卸載鎖定腔室8送出的托板2及托盤3沿與輸送方向A正交的方向輸送。第3輸送裝置13將通過第2輸送裝置12輸送的托板2及托盤3沿與輸送方向A相反的方向輸送。第4輸送裝置14將通過第3輸送裝置13輸送的托板2及托盤3輸送至裝載鎖定腔室7的入口側(cè)。第I 第4輸送裝置11 14以恒定的速度輸送托板2及托盤3。離子注入裝置I具備用于產(chǎn)生空氣淋浴來凈化單元4的空氣凈化裝置。在第3輸送裝置13的輸送路徑上形成有空氣淋浴區(qū)域18?？諝鈨艋b置通過該空氣淋浴來冷卻單元4并且除去附著于單元4的粒子。空氣淋浴區(qū)域18具有比托盤3寬幅的短邊并且呈沿輸送方向A延伸的長方形狀。另外，也可以代替空氣凈化來進行基于氮氣的凈化。在裝載鎖定腔室7的入口側(cè)設置有用于搬出經(jīng)過預定次數(shù)離子注入的單元4的搬入/搬出裝置19。該搬入/搬出裝置19將托板2及托盤3連同單元4 一同搬出，并且將未注入離子的單元4與托板2及托盤3 —同搬入系統(tǒng)內(nèi)。圖2 (a)是表示配置于托板2及托盤3上的單元4及離子束照射區(qū)域17的俯視圖，圖2 (b)是托板2、托盤3及單元4的截面圖。如圖2 (a)所示，在托板2上配置有縱向(圖(a)中的輸送方向A)排列5個、橫向排列5個共25個單元4。各單元4在與鄰接的單元4之間具有相等間隔而配置。各單元4例如由多晶硅構(gòu)成。并且，托板2及托盤3例如由A6061構(gòu)成。與輸送方向A正交的方向上的離子束照射區(qū)域17的寬度(圖2 (a)所示的寬度Wb)大于托盤的橫向?qū)挾?圖2 (a)所示的寬度Wt)及縱向長度。即在與輸送方向A正交的方向上的離子束照射區(qū)域17的寬度大于縱橫排列的相當于5個的單元4的兩端的覽度。托板2上形成有托盤3所嵌入的正方形的槽2a。槽2a呈與托盤3的外形相對應的形狀。托盤3即使在相對于托板2旋轉(zhuǎn)90度的狀態(tài)下，也能夠嵌入于托板2的槽2a內(nèi)。另外，即使托盤3為非正方形形狀時，托板2的槽2a在使托盤3旋轉(zhuǎn)預定角度的情況下，也能夠使托盤3嵌入其中。例如，托盤3為長方形時，托板2的槽2a能夠設為具有比托盤3的長邊略微長的邊的正方形狀。在本實施方式的離子注入裝置I中，如圖1所示，在卸載鎖定腔室8的后段設置有使托盤3順時針旋轉(zhuǎn)90度來改變托盤3的配置的托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)(載置臺旋轉(zhuǎn)機構(gòu))20。托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)20抬起托盤3而使其從托板2上暫且浮起，并使托盤3順時針旋轉(zhuǎn)90度后放回到托板2上。托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)20以托盤3的中心點為中心旋轉(zhuǎn)托盤3。托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)20具有用于操作托盤3的臂部和夾緊部。托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)20配置在大氣壓環(huán)境下。S卩，托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)20在大氣壓環(huán)境下使托盤3旋轉(zhuǎn)。接著，對基于離子注入裝置I的離子注入方法(太陽能電池的制造方法)進行說明。圖1中，為了便于理解，對配置于托盤3上的單元4中特定的單元4加上黑色圓點來示出。如圖1所示，首先，通過第I輸送裝置11沿輸送方向A輸送托板2及托盤3，經(jīng)裝載鎖定腔室7使其進入到 工藝腔室6內(nèi)。在工藝腔室6內(nèi)，輸送托板2及托盤3，以使25個單元通過離子束照射區(qū)域17，并對各單元4照射離子束來注入離子(第I離子注入工序)。之后，經(jīng)過卸載鎖定腔室8將托板2及托盤3輸送到大氣壓環(huán)境中。接著，若托盤3及托板2位于托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)20下方，則運轉(zhuǎn)托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)20來使托盤3順時針旋轉(zhuǎn)90度，從而改變托盤3的配置(載置臺旋轉(zhuǎn)工序)。如圖1所示，在旋轉(zhuǎn)后的托盤3中加上黑色圓點的單元4移動到圖示右側(cè)。此后，通過第2輸送裝置12及第3輸送裝置13輸送托盤3。通過第3輸送裝置13將托板2及托盤3沿與輸送方向A相反的方向輸送。此時，輸送托板2及托盤3，以使25個單元4通過空氣淋浴區(qū)域18，從而凈化各單元4。接著，通過第4輸送裝置14將托板2及托盤3輸送到裝載鎖定腔室7的入口側(cè)。之后，將托板2及旋轉(zhuǎn)后的托盤3沿輸送方向A輸送，并在工藝腔室6內(nèi)對各單元4照射離子束來注入離子(第2離子注入工序)。在離子注入裝置I中，每I個托盤3進行4次這樣的離子注入。即，分4次進行離子注入。另外，當通過托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)20使托盤3旋轉(zhuǎn)90度時，優(yōu)選離子注入的分割次數(shù)為4n次(η為正整數(shù))。通過如此使托盤3旋轉(zhuǎn)之后進行離子注入，即使在離子束在離子束照射區(qū)域17內(nèi)不均勻的情況下，也能夠消除各單元4的面內(nèi)及多個單元4之間的離子注入量的不均勻性。根據(jù)以上說明的離子注入裝置I及基于離子注入裝置I的離子注入方法，在第I離子注入工序中，多個單元4通過離子束照射區(qū)域17，離子束照射到多個單元4。此后，在載置臺旋轉(zhuǎn)工序中，托盤3通過托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)20旋轉(zhuǎn)90度從而改變托盤3的配置。并且，在第2離子注入工序中，輸送旋轉(zhuǎn)后的托盤3，以使多個單元4通過離子束照射區(qū)域17。由于在該第2離子注入工序中，各單元4相對于離子束照射區(qū)域17的配置與第I離子注入工序中的配置不同，因此即使在離子束在離子束照射區(qū)域17內(nèi)不均勻的情況下，也能夠防止該不均勻性直接影響多個單元4中的離子注入量的分布。由此，在各單元4的面內(nèi)離子注入量變得均勻，進一步在多個單元4之間離子注入量變得均勻。以往，為了實現(xiàn)離子束本身的均勻化而在離子束產(chǎn)生裝置16側(cè)進行調(diào)整時，需要特別的控制或裝置。然而，根據(jù)離子注入裝置I則在離子束產(chǎn)生裝置16中不需要使用特別的控制或裝置，就能夠以簡單且廉價的結(jié)構(gòu)實現(xiàn)離子注入量的均勻化。并且，多個單元4分別縱橫排列配置有多個，與輸送方向A正交的方向上的離子束照射區(qū)域17的寬度Wb大于縱橫2個方向上的多個單元4的兩端的寬度。此時，由于單元4在2個方向分別排列配置有多個，因此無論在使托盤3旋轉(zhuǎn)前及旋轉(zhuǎn)后，均能夠使多個單元4在離子束照射區(qū)域17的寬度Wb的范圍內(nèi)通過。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)效率的提高。并且，由于多個單元4在縱橫2個方向分別配置有相同數(shù)量(上述例子中為5個)，因此無論在使托盤3旋轉(zhuǎn)前及旋轉(zhuǎn)后，均能夠使相同數(shù)量的單元4在離子束照射區(qū)域17的寬度Wb的范圍內(nèi)通過。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)效率的提高。并且，第2離子注入工序中的托盤3的輸送方向為與第I離子注入工序中的托盤的輸送方向相同的方向，進行沿恒定方向連續(xù)輸送多個托盤3的所謂內(nèi)聯(lián)方式下的離子注入。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)量的提高。并且，在載置臺旋 轉(zhuǎn)工序中，通過托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)20使托盤3在大氣壓環(huán)境下旋轉(zhuǎn)。通常，離子束的照射是在真空環(huán)境下進行的。根據(jù)該方法，由于在大氣壓環(huán)境下設置托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)20，因此容易確認機器的動作或容易進行維護，并且，也容易修復維護后的裝置。圖3是示意表示離子注入裝置的其他實施方式的俯視圖。圖3所示的離子注入裝置IA與圖1所示的離子注入裝置I不同，其為使托板2及托盤3沿輸送方向B往復移動來進行離子注入的所謂批量式離子注入裝置。離子注入裝置IA具備用于使托板2及托盤3往復移動的輸送裝置22。在工藝腔室6A內(nèi)形成有離子束照射區(qū)域17，輸送方向B上的離子束照射區(qū)域17的兩側(cè)設置有托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)20A、20B。托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)20A、20B具有與托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)20相同的機構(gòu)，但被設為能夠在真空環(huán)境下動作的規(guī)格。圖4 圖6是表示基于離子注入裝置IA的離子注入步驟的俯視圖。在離子注入裝置IA中，首先，將托板2及托盤3搬入到裝載鎖定腔室7內(nèi)(參考圖4 (a))。其次，通過輸送裝置22將托板2及托盤3搬入到工藝腔室6A內(nèi)，使多個單元4通過離子束照射區(qū)域17來進行第I次離子注入(第I離子注入工序，參考圖4(b))。接著，在離子束照射區(qū)域17夕卜，通過托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)20B使托盤3順時針旋轉(zhuǎn)90度(載置臺旋轉(zhuǎn)工序，參考圖4 (C))。接著，通過輸送裝置22輸送托板2及旋轉(zhuǎn)后的托盤3，使多個單元4通過離子束照射區(qū)域17來進行第2次離子注入(第2離子注入工序，參考圖5(a))。接著，在離子束照射區(qū)域17外，通過托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)20A使托盤3順時針旋轉(zhuǎn)90度(參考圖5 (b))。接著，通過輸送裝置22輸送托板2及旋轉(zhuǎn)后的托盤3，使多個單元4通過離子束照射區(qū)域17來進行第3次離子注入(參考圖5 (C))。
接著，在離子束照射區(qū)域17外，通過托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)20B使托盤3順時針旋轉(zhuǎn)90度(參考圖6 (a))。接著，通過輸送裝置22輸送托板2及旋轉(zhuǎn)后的托盤3，使多個單元4通過離子束照射區(qū)域17來進行第4次離子注入(參考圖6 (b))。之后，將托板2及托盤3從工藝腔室6A搬出，經(jīng)過裝載鎖定腔室7搬出(參考圖6 (C))。在離子注入裝置IA中每I個托盤3進行4次這樣的離子注入。即，分4次進行離子注入。另外，當通過托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)20A、20B使托盤3旋轉(zhuǎn)90度時，優(yōu)選離子注入的分割次數(shù)為4n次(η為正整數(shù))。根據(jù)該離子注入裝置1Α，與之前的實施方式的離子注入裝置I相同，由于托盤3的旋轉(zhuǎn)，而各單元4相對于離子束照射區(qū)域17的配置在各離子注入工序中不同，因此在各單元4的面內(nèi)離子注入量變得均勻，進一步在多個單元4之間離子注入量變得均勻。并且，由于無論在使托盤3旋轉(zhuǎn)前及旋轉(zhuǎn)后，均能夠使相同數(shù)量的單元4在離子束照射區(qū)域17的寬度Wb的范圍內(nèi)通過，因此能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)效率的提高。并且，第2離子注入工序中的托盤的輸送方向為與第I離子注入工序中的托盤的輸送方向相反的方向，進行在第I離子注入工序中使多個單元通過照射區(qū)域之后，直接向相反的方向輸送托盤來使多 個單元通過照射區(qū)域的所謂批量式的離子注入。由此，占用空間變小。以上，對本發(fā)明的實施方式進行了說明，但本發(fā)明不限于上述實施方式。例如，托盤3上的多個單元4的配置不限于5 X 5列?？梢允? X 5列之外的η X η列，也可以是η Xm列(m為2以上的整數(shù))。當為nXm列時，也能夠使多個單元在離子束照射區(qū)域17的寬度的范圍內(nèi)通過，從而能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)效率的提高。并且，單元4的配置也可以是一列。基于托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)20、20A、20B的旋轉(zhuǎn)角度不限于90度，例如也可以是45度、60度、180度等?；谕斜P旋轉(zhuǎn)機構(gòu)20、20A、20B的旋轉(zhuǎn)不限于以托盤3的中心點為中心的情況，也可以是托盤3中的中心點以外的點，還可以是托盤3的外側(cè)的點。即，在第2離子注入工序時，只要托盤3相對于第I離子注入工序時的方向旋轉(zhuǎn)預定角度即可。并且，不限于通過托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)20、20A、20B直接旋轉(zhuǎn)托盤3的情況，也可以通過旋轉(zhuǎn)托板2來旋轉(zhuǎn)托盤3。本申請主張基于2012年2月6日申請的日本專利申請第2012-023252號的優(yōu)先權(quán)。該申請的全部內(nèi)容通過參考援用于本說明書中。
權(quán)利要求
1.一種太陽能電池的制造方法，通過一邊沿輸送方向輸送至少在I個方向排列配置有多個單元的載置臺，一邊對所述多個單元照射離子束，從而向所述多個單元注入離子，其特征在于，包括: 第I離子注入工序，以使所述多個單元通過所述離子束的預定照射區(qū)域的方式輸送所述載置臺，并對所述多個單元照射所述離子束； 載置臺旋轉(zhuǎn)工序，使所述載置臺旋轉(zhuǎn)預定角度來改變所述載置臺的配置；及 第2離子注入工序，以使所述多個單元通過所述照射區(qū)域的方式輸送旋轉(zhuǎn)后的載置臺，并對所述多個單元照射所述離子束。
2.如權(quán)利要求1所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于， 所述多個單元在所述I個方向及與所述I個方向正交的方向上分別排列配置有多個， 與所述輸送方向正交的方向上的所述照射區(qū)域的寬度大于所述I個方向及與所述I個方向正交的方向上的所述多個單元的兩端的寬度。
3.如權(quán)利要求2所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于， 所述多個單元在所述I個方向及與所述I個方向正交的方向上分別配置有相同數(shù)量。
4.如權(quán)利要求1 3中任一項所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于， 所述第2離子注入工序中的所述載置臺的輸送方向為與所述第I離子注入工序中的所述載置臺的輸送方向相同的方向。
5.如權(quán)利要求1 3中任一項所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于， 所述第2離子注入工序中的所述載置臺的輸送方向為與所述第I離子注入工序中的所述載置臺的輸送方向相反的方向。
6.如權(quán)利要求1 5中任一項所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于， 在所述載置臺旋轉(zhuǎn)工序中，使所述載置臺在大氣壓環(huán)境下旋轉(zhuǎn)。
7.一種太陽能電池的制造裝置，其特征在于，具備: 載置臺，至少在I個方向排列配置有多個單元； 射束產(chǎn)生機構(gòu)，為了對所述載置臺上的所述多個單元注入離子而對預定照射區(qū)域照射離子束； 輸送機構(gòu)，以使所述多個單元通過所述離子束的所述照射區(qū)域的方式輸送所述載置臺；及 載置臺旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，使所述載置臺旋轉(zhuǎn)預定角度來改變所述載置臺的配置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種太陽能電池的制造方法及太陽能電池的制造裝置，其能夠在各單元面內(nèi)使離子注入量均勻，并且能夠在多個單元之間使離子注入量均勻。在第1離子注入工序中，使多個單元(4)通過離子束照射區(qū)域(17)，對多個單元(4)照射離子束后，在載置臺旋轉(zhuǎn)工序中通過托盤旋轉(zhuǎn)機構(gòu)(20)使托盤(3)旋轉(zhuǎn)90度，從而改變托盤(3)的配置。之后，在第2離子注入工序中，輸送旋轉(zhuǎn)后的托盤，以使多個單元(4)通過離子束照射區(qū)域(17)。在該第2離子注入工序中，使各單元(4)相對于離子束照射區(qū)域(17)的配置與第1離子注入工序的配置不同。由此，在各單元(4)的面內(nèi)使離子注入量均勻，進一步在多個單元(4)之間使離子注入量均勻。
文檔編號H01L21/265GK103247716SQ20131004784
公開日2013年8月14日 申請日期2013年2月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月6日
發(fā)明者村上喜信 申請人:住友重機械工業(yè)株式會社