專利名稱：晶圓缺口邊緣中心預(yù)對準(zhǔn)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種預(yù)對準(zhǔn)方法，特別是指一種IC制造領(lǐng)域晶圓缺口邊緣中心的確定方法。
背景技術(shù)：
隨著科技的發(fā)展，工業(yè)生產(chǎn)規(guī)模越來越大，因此人力成本會增加，且效率要求也越來越高，漸漸的在工廠中大量引入自動化或半自動化工具，如IC制造中很多工藝都需要預(yù)先獲得晶圓準(zhǔn)確的定位和姿態(tài)。當(dāng)半導(dǎo)體工藝從微米級發(fā)展到深亞微米級、納米級別，IC制造設(shè)備對各個分系統(tǒng)的要求達(dá)到了非常苛刻的地步。作為IC制造設(shè)備關(guān)鍵部件之一的晶圓預(yù)對準(zhǔn)裝置，其工作性能直接影響整個IC制造工藝的精度和效率。晶圓缺口定位是晶圓預(yù)對準(zhǔn)的主要任務(wù)之一。在現(xiàn)有晶圓缺口定位的方法中，邊緣變化率法對相鄰的3個采 樣點(diǎn)計(jì)算夾角，進(jìn)而設(shè)定合適的閾值，這種方法的計(jì)算量較大，同時該方法要求采集的相鄰數(shù)據(jù)振幅不能變化太大。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于以上內(nèi)容，有必要提供一種簡便高效定位晶圓缺口中心的方法。一種晶圓缺口邊緣中心預(yù)對準(zhǔn)方法，包括以下步驟:提供一旋轉(zhuǎn)臺電機(jī)，用以支撐旋轉(zhuǎn)一晶圓；一傳感器，用以采集晶圓邊緣數(shù)據(jù)和獲取相對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)臺電機(jī)的碼盤值；該方法還包括以下步驟:數(shù)據(jù)采樣:所述旋轉(zhuǎn)臺電機(jī)帶動所述晶圓旋轉(zhuǎn)，所述傳感器采集所述晶圓旋轉(zhuǎn)一周過程中的邊緣數(shù)據(jù)，并同時獲取取對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)臺電機(jī)的碼盤值數(shù)據(jù)；數(shù)據(jù)初處理:將所述傳感器得到的晶圓缺口數(shù)據(jù)及對應(yīng)的電機(jī)臺碼盤值數(shù)據(jù)分別進(jìn)行一階差分；初處理數(shù)據(jù)歸一化:一階差分求比值，用以進(jìn)行數(shù)據(jù)歸一化；歸一化數(shù)據(jù)處理:比值后求一階差分，用以突出突變點(diǎn)；缺口范圍確定:根據(jù)比值差分，設(shè)置閾值，超出閾值的點(diǎn)便為缺口的范圍內(nèi)的點(diǎn)；由當(dāng)前判定得到的缺口范圍內(nèi)最大位置值點(diǎn)與最小位置值點(diǎn)的差，作為缺口范圍的初值，將該初值左右各擴(kuò)大一倍，即認(rèn)為是正常的缺口范圍；確定缺口邊緣中心:根據(jù)缺口范圍內(nèi)的詳細(xì)采樣數(shù)據(jù)，即可得到缺口邊緣的最低點(diǎn)的位置。在一實(shí)施方式中，所述傳感器在旋轉(zhuǎn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)第i角度時采樣得到晶圓邊緣值為:Li; i e (I，2，3....N) ,QiS對應(yīng)旋轉(zhuǎn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)第i角度時的碼盤值。在一實(shí)施方式中，所述晶圓邊緣數(shù)據(jù)進(jìn)行一階差分之后得到差分值為:ALi=Lw-Li,對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)臺電機(jī)的碼盤值數(shù)據(jù)進(jìn)行一階差分之后得到的差分值為:AQi =Qi+i_Qi i ε (1,2,3...N)。在一實(shí)施方式中，所述晶圓缺口邊緣數(shù)據(jù)的一階差分值與所述碼盤值數(shù)據(jù)的一階差分值的比值為
權(quán)利要求
1.一種晶圓缺口邊緣中心預(yù)對準(zhǔn)方法，包括以下步驟:提供一旋轉(zhuǎn)臺電機(jī)，用以支撐旋轉(zhuǎn)一晶圓；一傳感器，用以采集晶圓邊緣數(shù)據(jù)和獲取相對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)臺電機(jī)的碼盤值；其特征在于:該方法還包括以下步驟: 數(shù)據(jù)采樣:所述旋轉(zhuǎn)臺電機(jī)帶動所述晶圓旋轉(zhuǎn)，所述傳感器采集所述晶圓旋轉(zhuǎn)一周過程中的邊緣數(shù)據(jù)，并同時獲取取對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)臺電機(jī)的碼盤值數(shù)據(jù)； 數(shù)據(jù)初處理:將所述傳感器得到的晶圓缺口數(shù)據(jù)及對應(yīng)的電機(jī)臺碼盤值數(shù)據(jù)分別進(jìn)行一階差分； 初處理數(shù)據(jù)歸一化:一階差分求比值，用以進(jìn)行數(shù)據(jù)歸一化； 歸一化數(shù)據(jù)處理:比值后求一階差分，用以突出突變點(diǎn)； 缺口范圍確定:根據(jù)比值 差分，設(shè)置閾值，超出閾值的點(diǎn)便為缺口的范圍內(nèi)的點(diǎn)；由當(dāng)前判定得到的缺口范圍內(nèi)最大位置值點(diǎn)與最小位置值點(diǎn)的差，作為缺口范圍的初值，將該初值左右各擴(kuò)大一倍，即認(rèn)為是正常的缺口范圍； 確定缺口邊緣中心:根據(jù)缺口范圍內(nèi)的詳細(xì)采樣數(shù)據(jù)，即可得到缺口邊緣的最低點(diǎn)的位置。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓缺口邊緣中心預(yù)對準(zhǔn)方法，其特征在于:所述傳感器在旋轉(zhuǎn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)第i角度時采樣得到晶圓邊緣值為:Li; i e (I，2，3...N) ,Qi為對應(yīng)旋轉(zhuǎn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)第i角度時的碼盤值。
3.如權(quán)利要求1所述的晶圓缺口邊緣中心預(yù)對準(zhǔn)方法，其特征在于:所述晶圓邊緣數(shù)據(jù)進(jìn)行一階差分之后得到差分值為=ALi = Lw-Li,對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)臺電機(jī)的碼盤值數(shù)據(jù)進(jìn)行一階差分之后得到的差分值為=AQi = Qw-Qi, i e (1，2，3...N)。
4.如權(quán)利要求3所述的晶圓缺口邊緣中心預(yù)對準(zhǔn)方法，其特征在于:所述晶圓缺口邊緣數(shù)據(jù)的一階差分值與所述碼盤值數(shù)據(jù)的一階差分值的比值為=^T= n+l _ η ’AQi Qi+1- Qi(i+1)，i e (1，2，3...N)。
5.如權(quán)利要求4所述的晶圓缺口邊緣中心預(yù)對準(zhǔn)方法，其特征在于:比值的一階差分值為 A = ^i+1- = -^l = LQi+2) = L0i+l) - L0i+l) = Lq，由此值可突出突變Δ^ + 1 + 2) — ^(i + 1) ^(i + 1) —點(diǎn)。
6.如權(quán)利要求5所述的晶圓缺口邊緣中心預(yù)對準(zhǔn)方法，其特征在于:對于形狀為尖錐形或圓弧形的缺口，可認(rèn)為缺口范圍內(nèi)傳感器采樣數(shù)據(jù)的最小值即為缺口邊緣中心點(diǎn)。
全文摘要
一種晶圓缺口邊緣中心預(yù)對準(zhǔn)方法，包括以下步驟提供一旋轉(zhuǎn)臺電機(jī)，用以支撐旋轉(zhuǎn)一晶圓；一傳感器，用以采集晶圓邊緣數(shù)據(jù)和獲取相對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)臺電機(jī)的碼盤值；該方法還包括數(shù)據(jù)采樣、數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換、數(shù)據(jù)初處理、初處理數(shù)據(jù)歸一化、歸一化數(shù)據(jù)處理、缺口范圍確定，根據(jù)范圍內(nèi)數(shù)據(jù)找出最低點(diǎn)，便為晶圓缺口邊緣中心位置。本發(fā)明提供的方法簡便高效。
文檔編號H01L21/66GK103199046SQ20121000224
公開日2013年7月10日 申請日期2012年1月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月5日
發(fā)明者徐方, 曲道奎, 鄒風(fēng)山, 賈凱, 陳守良, 李學(xué)威, 宋吉來, 褚明杰 申請人:沈陽新松機(jī)器人自動化股份有限公司