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芯片埋入基板的封裝方法及其結(jié)構(gòu)與流程

文檔序號(hào):12011672閱讀:來源:國知局
芯片埋入基板的封裝方法及其結(jié)構(gòu)與流程

技術(shù)特征:
1.一種芯片埋入基板的封裝方法,其特征在于,所述芯片具有第一接觸面和第二接觸面,包括以下步驟:步驟S1:在所述基板設(shè)置至少一個(gè)芯片埋入部,所述芯片埋入部為通孔和/或凹槽,所述芯片埋入部的數(shù)目與所需封裝芯片的數(shù)目相同,所述芯片埋入部的深度與所需封裝的芯片厚度匹配;步驟S2:將所述芯片埋入所述芯片埋入部;步驟S3:在芯片的第一接觸面和/或第二接觸面布線,以及基板上對應(yīng)布線,形成布線層,使得所述基板和所述芯片之間電氣連接;所述芯片埋入部為所述凹槽,所述步驟S2具體為:在所述凹槽底面打出凹坑;在所述凹坑處植入錫球或點(diǎn)上導(dǎo)電粘結(jié)材料,在所述凹坑內(nèi)形成焊點(diǎn);將所述芯片第一接觸面與所述焊點(diǎn)對接粘結(jié),使得所述芯片埋入所述凹槽;所述芯片埋入部為所述通孔,所述步驟S2具體為:在所述基板的一個(gè)表面涂覆感光材料,形成感光材料層;將所述芯片的第二接觸面與所述感光材料層連接,使得所述芯片固定于所述通孔;在所述芯片與所述通孔之間的間隙中填入用于固定所述芯片的粘結(jié)材料;去除所述感光材料層。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片埋入基板的封裝方法,其特征在于,所需封裝的芯片具有不同的厚度。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片埋入基板的封裝方法,其特征在于,步驟S1中形成所述凹槽的具體過程為:取厚銅箔蝕刻出與所述通孔位置分布一致的凸部;將所述基板和厚銅箔通過絕緣介質(zhì)層進(jìn)行層壓連接,所述凸部與所述通孔嵌合形成所述凹槽;或直接于基板開設(shè)所述凹槽。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片埋入基板的封裝方法,其特征在于,將所述芯片埋入所述凹槽的具體過程為:將非導(dǎo)電粘結(jié)材料涂覆于所述凹槽底面,形成粘結(jié)層;將所述芯片第一接觸面與所述粘結(jié)層對接粘結(jié),使得所述芯片埋入所述凹槽。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片埋入基板的封裝方法,其特征在于,將所述芯片埋入所述凹槽的具體過程為:將導(dǎo)電粘結(jié)材料點(diǎn)在所述凹槽的底面,在所述凹槽的底面形成焊點(diǎn);將所述芯片第一接觸面與所述焊點(diǎn)對接粘結(jié),使得所述芯片埋入所述凹槽。6.一種芯片埋入基板的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述芯片埋入基板的封裝結(jié)構(gòu)包括基板、芯片和布線層,所述基板設(shè)置有至少一個(gè)芯片埋入部,所述芯片具有第一接觸面和第二接觸面,所述芯片埋入部為通孔和/或凹槽,所述芯片埋入部的深度與對應(yīng)埋入的芯片的厚度匹配,所述布線層包括布設(shè)在所述芯片第一接觸面和/或第二接觸面的布線,以及基板上對應(yīng)所述芯片的布線而布設(shè)的用于實(shí)現(xiàn)所述芯片與基板之間電氣連接的布線;所述芯片埋入部為所述凹槽時(shí),所述凹槽底面具有凹坑,所述凹坑內(nèi)具有焊點(diǎn),所述焊點(diǎn)為錫球或?qū)щ娬辰Y(jié)材料,所述芯片第一接觸面與所述焊點(diǎn)對接粘結(jié);所述芯片埋入部為所述通孔時(shí),所述芯片與所述通孔之間的間隙中具有用于固定所述芯片的粘結(jié)材料。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的芯片埋入基板的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,還包括銅箔和絕緣介質(zhì)層,所述銅箔具有與所述通孔位置分布一致的凸部,所述凸部的高度與所述芯片厚度成反比關(guān)系,所述絕緣介質(zhì)層設(shè)置于所述基板和所述銅箔之間以連接所述基板和所述銅箔,且所述通孔和所述凸部嵌合形成所述凹槽。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的芯片埋入基板的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述至少一個(gè)芯片具有不同的厚度。9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的芯片埋入基板的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述芯片第一接觸面沒有焊盤時(shí),采用非導(dǎo)電粘結(jié)材料在所述凹槽底面形成粘結(jié)層,通過所述粘結(jié)層將所述第一接觸面和所述凹槽底面連接。10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的芯片埋入基板的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述芯片第二接觸面有焊盤時(shí),在所述第二接觸面焊盤采用導(dǎo)電粘結(jié)材料形成與所述焊盤對應(yīng)的焊點(diǎn),通過所述焊點(diǎn)將所述第一接觸面和所述凹槽底面連接,和/或所述基板,具有第一金屬層、介電層和第二金屬層,在所述第二金屬層蝕刻與所述第二接觸面焊盤對應(yīng)的凹坑,再在所述凹坑中植入錫球或點(diǎn)上導(dǎo)電粘結(jié)材料形成焊點(diǎn),通過所述焊點(diǎn)將所述第一接觸面和所述凹槽底面連接。
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