專利名稱：固體電解電容器及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及小型大電容的固體電解電容器及其制造方法。
背景技術(shù)：
在專利文獻I中公開了層疊有多個 閥作用金屬箔的現(xiàn)有的固體電解電容器。專利文獻I的固體電解電容器的制造方法如下所述。準備在表面上具有電介質(zhì)氧化被膜的閥作用金屬箔。接著，將作為陽極電極片而發(fā)揮功能的閥作用金屬箔劃分為引線部和陰極部(陽極電極片的陰極側(cè)的部分)，并在陰極部表面上形成電介質(zhì)氧化被膜、固體電解質(zhì)層和導(dǎo)電體層。并且，將該閥作用金屬箔層疊多張后，將層疊的引線部通過焊接捆束，另一方面，層疊的陰極部經(jīng)由導(dǎo)電體層彼此電連接。之后，在引線部和陰極部連接外部端子，并對層疊的閥作用金屬箔進行密封。在這樣得到的固體電解電容器中，閥作用金屬箔中的形成有陰極部、電介質(zhì)氧化被膜、固體電解質(zhì)層的區(qū)域有助于電容形成。在先技術(shù)文獻專利文獻專利文獻I :日本特開2000-68158號公報

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的問題然而，在專利文獻I所示的現(xiàn)有的固體電解電容器中，將陽極電極片的一部分作為不貢獻于電容形成的引線部來使用，因此存在用于形成電容的面積受限這樣的問題。另外，存在由于將多個引線部層疊并捆束而導(dǎo)致不貢獻于電容形成的區(qū)域的占有率變高，且由于在多個陽極電極片間形成的導(dǎo)電體層而使得固體電解電容器的厚度增大這樣的問題。因此，就專利文獻I所記載的現(xiàn)有的固體電解電容器而言，無法滿足與近年來的電子設(shè)備的小型薄型化相伴的進一步小型大電容化的要求。進而，在現(xiàn)有的固體電解電容器的制造方法中，由于在各陽極電極片上分別形成固體電解質(zhì)，因此制造工序復(fù)雜。因此，本發(fā)明的目的在于提供一種容易地實現(xiàn)小型大電容化的固體電解電容器及其制造方法。解決問題的手段為了達成以上的目的，本發(fā)明涉及的固體電解電容器具備將在表面上具有電介質(zhì)氧化被膜的多個閥作用金屬箔帶有間隙地層疊且在厚度方向上相鄰的所述閥作用金屬箔之間通過局部導(dǎo)通部而電連接的層疊電容部、以及具有陽極引線部和接合區(qū)域的陽極金屬板，所述層疊電容部帶有間隙地通過局部導(dǎo)通部與所述陽極金屬板的接合區(qū)域的至少單面電連接，在所述閥作用金屬箔之間的間隙、所述陽極金屬板與層疊電容部的間隙及層疊電容部的外表面上連續(xù)地形成有固體電解質(zhì)層，導(dǎo)電層以覆蓋所述固體電解質(zhì)層的外表面且與所述陽極金屬板的陽極引線部電絕緣的方式形成。如上那樣構(gòu)成的本發(fā)明的固體電解電容器由于能夠不利用所述閥作用金屬箔的一部分而通過陽極金屬板的陽極引線部來形成引線部，因此能夠?qū)㈤y作用金屬箔的表面有效地用于電容形成。另外，在本發(fā)明涉及的固體電解電容器中，能夠通過比閥作用金屬箔的數(shù)目少的例如一個引線部來構(gòu)成陽極側(cè)的端子，因此能夠減小引線部體積相對于固體電解電容器的全部體積所占的比例，實現(xiàn)小型化。進而，沒有將所述導(dǎo)電層形成在相鄰的閥作用金屬箔之間，而在所述層疊電容部的外表面上隔著所述固體電解質(zhì)層設(shè)置所述導(dǎo)電層，因此能夠減薄層疊電容部的厚度。在本發(fā)明涉及的固體電解電容器中，優(yōu)選相鄰的閥作用金屬箔之間在層疊電容部的側(cè)面電連接(導(dǎo)通)，這樣，能夠通過導(dǎo)通來減少不貢獻于電容形成的部分，能夠?qū)㈤y作 用金屬箔的表面更有效地用于電容形成。在本發(fā)明涉及的固體電解電容器中，優(yōu)選所述層疊電容部具有第一層疊電容部和第二層疊電容部，在所述陽極金屬板的一個面上連接所述第一層疊電容部，在所述陽極金屬板的另一個面上連接所述第二層疊電容部，這樣，實現(xiàn)進一步的大電容化。本發(fā)明涉及的固體電解電容器的第一制造方法包括層疊電容部制作工序，其中經(jīng)由閥作用金屬箔準備工序、閥作用金屬箔層疊工序和導(dǎo)通部形成工序來制作層疊電容部，所述閥作用金屬箔準備工序是指準備在表面上具有電介質(zhì)氧化被膜的多個閥作用金屬箔的工序，所述閥作用金屬箔層疊工序是指將所述多個閥作用金屬箔以帶有能夠供聚合液浸入的間隙的狀態(tài)層疊的工序，所述導(dǎo)通部形成工序是指將在厚度方向上相鄰的所述閥作用金屬箔之間通過部分導(dǎo)通部電連接的工序；陽極金屬板準備工序，準備具有陽極引線部和接合區(qū)域的陽極金屬板；陽極金屬板與層疊電容部連接工序，將所述層疊電容部以帶有能夠供聚合液浸入的間隙的狀態(tài)與所述陽極金屬板的接合區(qū)域的至少單面接合，且將所述陽極金屬板的接合區(qū)域與所述層疊電容部的閥作用金屬箔通過局部導(dǎo)通部電連接；固體電解質(zhì)層形成工序，通過將所述陽極金屬板和所述層疊電容部一起浸滲在聚合液中，由此在所述各閥作用金屬箔之間的間隙、所述陽極金屬板與層疊電容部的間隙及層疊電容部的外表面上連續(xù)地形成固體電解質(zhì)層；以及導(dǎo)電層形成工序，將導(dǎo)電層以與所述陽極金屬板的引線部電絕緣的狀態(tài)形成在形成有所述固體電解質(zhì)層的所述層疊電容部的外表面上。如上那樣構(gòu)成的本發(fā)明的固體電解電容器的第一制造方法通過準備所述陽極金屬板并在該陽極金屬板的接合區(qū)域中接合層疊電容部，將所述層疊電容部浸滲在聚合液中，由此能夠一并在多個閥作用金屬箔各自的表面整體上形成固體電解質(zhì)層。另外，在本發(fā)明涉及的固體電解電容器的第一制造方法中，能夠不利用所述閥作用金屬箔的一部分而通過陽極金屬板的陽極引線部來形成引線部。另外，沒有將所述導(dǎo)電層形成在相鄰的閥作用金屬箔之間，而能夠在所述層疊電容部的外表面上隔著所述固體電解質(zhì)層形成所述導(dǎo)電層，能夠減薄層疊電容部的厚度。本發(fā)明涉及的固體電解電容器的第一制造方法中，所述閥作用金屬箔準備工序及所述閥作用金屬箔層疊工序是以大張閥作用金屬箔的狀態(tài)實施的，從而供給多個用于形成固體電解電容器的所述閥作用金屬箔，所述導(dǎo)通部形成工序包括將所述導(dǎo)通部以分布在所述大張閥作用金屬箔的多個部位的方式形成的工序，所述層疊電容部制作工序還包括以各所述層疊電容部含有至少一個所述導(dǎo)通部的方式對大張閥作用金屬箔進行分割，由此取出多個所述層疊電容部的工序。這樣，能夠高效且大量地制作所述層疊電容部。本發(fā)明涉及的固體電解電容器的第二制造方法包括陽極金屬板準備工序，準備具有陽極引線部和接合區(qū)域的陽極金屬板；閥作用金屬箔準備工序，準備在表面上具有電介質(zhì)被膜的多個閥作用金屬箔；層疊電容部制作工序，經(jīng)由閥作用金屬箔層疊工序和導(dǎo)通部形成工序來制作層疊電容部，其中所述閥作用金屬箔層疊工序是指在所述陽極金屬板的接合區(qū)域上將所述多個閥作用金屬箔以帶有能夠供聚合液浸入的間隙的狀態(tài)層疊的工序，所述導(dǎo)通部形成工序是指將在厚度方向上相鄰的所述閥作用金屬箔之間通過部分導(dǎo)通部電連接的工序；陽極金屬板與層疊電容部連接工序，將所述陽極金屬板的接合區(qū)域與所述層疊電容部的閥作用金屬箔通過局部導(dǎo)通部電連接；固體電解質(zhì)層形成工序，通過將所述陽極金屬板和所述層疊電容部一起浸滲在聚合液中，由此在所述各閥作用金屬箔之間的間 隙、所述陽極金屬板與層疊電容部的間隙及層疊電容部的外表面上連續(xù)地形成固體電解質(zhì)層；導(dǎo)電層形成工序，將導(dǎo)電層以與所述陽極金屬板的引線部電絕緣的狀態(tài)形成在形成有所述固體電解質(zhì)層的所述層疊電容部的外表面上。如上那樣構(gòu)成的本發(fā)明的固體電解電容器的第二制造方法除了具有與所述第一制造方法同樣的作用效果外，還能夠同時進行制作層疊電容部的操作和將層疊電容部接合到陽極金屬板的接合區(qū)域中的操作，并且，例如能夠采用利用側(cè)面來使相鄰的閥作用金屬箔之間導(dǎo)通的方法等，選擇導(dǎo)通方法時的自由度變大。另外，在本發(fā)明涉及的固體電解電容器的第二制造方法中，優(yōu)選在所述層疊電容部制作工序中，將所述層疊電容部的側(cè)面的一部分接合而使相鄰的閥作用金屬箔之間電接
口 ο這樣，能夠通過導(dǎo)通部來減少不貢獻于電容形成的部分的面積，能夠?qū)㈤y作用金屬箔的表面更有效地用于電容形成。這種情況下，為了獲得閥作用金屬箔之間的穩(wěn)定的導(dǎo)通，更優(yōu)選在所述層疊電容部的對置的側(cè)面上分別接合而使相鄰的閥作用金屬箔之間導(dǎo)通。在本發(fā)明涉及的固體電解電容器的第一和第二制造方法中，也可以在所述陽極金屬板準備工序中，包括將多個所述陽極金屬板并置接合到引導(dǎo)板上的操作，在所述固體電解質(zhì)層形成工序中，將分別與所述陽極金屬板接合的多個層疊電容部一并浸滲在所述聚合液中。這樣，能夠在大量的層疊電容部一并形成固體電解質(zhì)層。在本發(fā)明涉及的固體電解電容器的第一和第二制造方法中，也可以在所述陽極金屬板準備工序中，包括通過對矩形的大張陽極金屬板的沖裁加工而形成沿著所述大張陽極金屬板的一邊的引導(dǎo)件部和與所述引導(dǎo)件部一體化的所述多個陽極金屬板的操作，在所述固體電解質(zhì)層形成工序中，將分別與所述陽極金屬板接合的多個層疊電容部一并浸滲在所述聚合液中。這樣，能夠在大量的層疊電容部一并形成固體電解質(zhì)層，且能夠省略將多個陽極金屬板并置接合到引導(dǎo)板上的工序而減少工序數(shù)。本發(fā)明涉及的固體電解電容器的第三制造方法包括未化成閥作用金屬箔準備工序，準備多個未化成閥作用金屬箔；未化成閥作用金屬箔層疊工序，將所述多個未化成閥作用金屬箔以帶有能夠供化成液和聚合液浸入的間隙的狀態(tài)層疊；未化成層疊電容部制作工序，經(jīng)由導(dǎo)通部形成工序來制作未化成層疊電容部，所述導(dǎo)通部形成工序是指將在厚度方向上相鄰的所述未化成閥作用金屬箔彼此通過局部導(dǎo)通部電連接的工序；陽極金屬板準備工序，準備具有陽極引線部和接合區(qū)域的陽極金屬板；陽極金屬板與未化成層疊電容部連接工序，將所述未化成層疊電容部以帶有能夠供化成液和聚合液浸入的間隙的狀態(tài)與所述陽極金屬板的接合區(qū)域的至少單面接合，并且將所述陽極金屬板的接合區(qū)域與所述未化成層疊電容部的閥作用金屬箔通過局部導(dǎo)通部電連接；層疊電容部制作工序，通過將所述未化成層疊電容部和陽極金屬板浸滲在化成液中并進行陽極氧化，由此在所述各閥作用金屬箔之間的間隙、所述陽極金屬板與層疊電容部的間隙及層疊電容部的外表面上形成電介質(zhì)氧化被膜；固體電解質(zhì)層形成工序，通過將所述層疊電容部浸滲在聚合液中，由此在所述各閥作用金屬箔之間的間隙、所述陽極金屬板與層疊電容部的間隙、及層疊電容部的外表面上隔著所述電介質(zhì)氧化被膜形成固體電解質(zhì)層；導(dǎo)電層形成工序，在形成有所述固體電解質(zhì)層的所述層疊電容部的外表面上隔著固體電解質(zhì)層形成導(dǎo)電層。如上那樣構(gòu)成的本發(fā)明的固體電解電容器的第三制造方法除了具有與所述第一 制造方法同樣的作用效果以外，由于在未化成層疊電容部制作工序中，將多個未化成閥作用金屬箔層疊并將相鄰的未化成閥作用金屬箔之間通過導(dǎo)通部連接，因此與將形成有電介質(zhì)氧化被膜的閥作用金屬箔層疊并將相鄰的未化成閥作用金屬箔之間通過導(dǎo)通部連接的情況相比，能夠提高接合性。在本發(fā)明涉及的固體電解電容器的第三制造方法中，可以是所述未化成閥作用金屬箔準備工序及所述未化成閥作用金屬箔層疊工序是以大張閥作用金屬箔的狀態(tài)實施的，從而供給多個用于形成固體電解電容器的所述未化成閥作用金屬箔，所述導(dǎo)通部形成工序包括將所述導(dǎo)通部以分布在所述大張閥作用金屬箔的多個部位的方式形成的工序，所述未化成層疊電容部制作工序還包括通過以各所述未化成層疊電容部含有至少一個所述導(dǎo)通部的方式對大張閥作用金屬箔進行分割，由此取出多個所述層疊電容部的工序。這樣，能夠高效且大量地制作所述未化成層疊電容部。本發(fā)明涉及的固體電解電容器的第四制造方法包括陽極金屬板準備工序，準備具有陽極引線部和接合區(qū)域的陽極金屬板；未化成閥作用金屬箔準備工序，準備多個未化成閥作用金屬箔；閥作用金屬箔層疊工序，將所述多個未化成閥作用金屬箔以在所述多個未化成閥作用金屬箔之間及所述未化成閥作用金屬箔與所述陽極金屬板之間分別具有能夠供化成液和聚合液浸入的間隙的方式層疊在所述陽極金屬板的接合區(qū)域上；未化成層疊電容部制作工序，將在厚度方向上相鄰的未化成閥作用金屬箔彼此通過局部導(dǎo)通部電連接；未化成層疊電容部與陽極金屬箔連接工序，將所述未化成層疊電容部與陽極金屬板通過局部導(dǎo)通部電連接；層疊電容部制作工序，通過將所述未化成層疊電容部和陽極金屬板浸滲在化成液中并進行陽極氧化，由此在所述各閥作用金屬箔之間的間隙、所述陽極金屬板與層疊電容部的間隙、及層疊電容部的外表面上形成電介質(zhì)氧化被膜；固體電解質(zhì)層形成工序，通過將所述層疊電容部和陽極金屬板浸滲在聚合液中，由此在所述各閥作用金屬箔之間的間隙、所述陽極金屬板與層疊電容部的間隙、及層疊電容部的外表面上隔著所述電介質(zhì)被膜形成固體電解質(zhì)層；導(dǎo)電層形成工序，在形成有所述固體電解質(zhì)層的所述層疊電容部的外表面上隔著固體電解質(zhì)層形成導(dǎo)電層。如上那樣構(gòu)成的本發(fā)明的固體電解電容器的第四制造方法除了具有與所述第二制造方法同樣的作用效果以外，由于在未化成層疊電容部制作工序中將多個未化成閥作用金屬箔層疊并將相鄰的未化成閥作用金屬箔之間通過導(dǎo)通部連接，因此與將形成有電介質(zhì)氧化被膜的閥作用金屬箔層疊并將相鄰的未化成閥作用金屬箔之間通過導(dǎo)通部連接的情況相比，能夠提高接合性。另外，在本發(fā)明涉及的固體電解電容器的第四制造方法中，優(yōu)選在所述未化成層疊電容部制作工序中，將所述未化成層疊電容部的側(cè)面的一部分接合而使相鄰的未化成閥作用金屬箔之間導(dǎo)通。這樣，能夠通過導(dǎo)通部來減少不貢獻于電容形成的部分的面積，能夠?qū)⑽椿砷y作用金屬箔的表面更有效地用于電容形成。 這種情況下，為了獲得未化成閥作用金屬箔之間的穩(wěn)定的導(dǎo)通，更優(yōu)選在所述未化成層疊電容部的對置的側(cè)面上分別接合而使相鄰的未化成閥作用金屬箔之間導(dǎo)通。另外，在本發(fā)明涉及的固體電解電容器第三和第四制造方法中，優(yōu)選所述陽極金屬板準備工序包括將多個所述陽極金屬板并置接合到引導(dǎo)件板上的操作，在所述層疊電容部制作工序中，將分別與所述陽極金屬板接合的多個未化成層疊電容部一并浸滲在所述化成液中，在所述固體電解質(zhì)層形成工序中，將分別與所述陽極金屬板接合的多個層疊電容部一并浸滲在所述聚合液中。這樣，能夠?qū)Υ罅康奈椿蓪盈B電容部一并進行化成處理，并且能夠在層疊電容部一并形成固體電解質(zhì)層。另外，在本發(fā)明涉及的固體電解電容器的第三和第四制造方法中，優(yōu)選所述陽極金屬板準備工序包括通過對矩形的大張陽極金屬板的沖裁加工而形成沿著所述大張陽極金屬板的一邊的引導(dǎo)件部和與所述引導(dǎo)件部一體化的所述多個陽極金屬板的操作，在所述層疊電容部制作工序中，將分別與所述陽極金屬板接合的多個未化成層疊電容部一并浸滲在所述化成液中，將分別與所述陽極金屬板接合的多個層疊電容部一并在所述固體電解質(zhì)層形成工序中浸滲在所述聚合液中。這樣，能夠?qū)Υ罅康奈椿蓪盈B電容部一并進行化成處理，并且能夠在層疊電容部一并形成固體電解質(zhì)層，此外能夠省略將多個陽極金屬板并置接合到引導(dǎo)板上的工序，從而減少工序數(shù)。在本發(fā)明涉及的固體電解電容器的第一 第四制造方法中，進而優(yōu)選包括在所述導(dǎo)電層形成工序后將所述陽極引線部沿著所述層疊電容部折彎的折彎工序，在所述折彎工序與所述導(dǎo)電層形成工序之間，在所述層疊電容部中的與折彎的所述陽極引線部對置的部分形成絕緣膜。這樣，能夠?qū)㈥枠O引線部沿著所述層疊電容部向內(nèi)側(cè)折彎，形成得更為小型。發(fā)明效果如以上所說明的那樣，根據(jù)本發(fā)明，能夠提供體積電容比(體積/電容)大且實現(xiàn)進一步的小型大電容化的固體電解電容器及其制造方法。


圖I是本發(fā)明涉及的實施方式I的固體電解電容器的制造方法的工序流程圖。圖2表示本發(fā)明涉及的實施方式I的固體電解電容器的制造方法中的制作層疊電容部I的工序，(al)是表示大張閥作用金屬層疊板100的結(jié)構(gòu)的俯視圖，(a2)是(al)中的A-A’線處的剖視圖，(bl)是從大張閥作用金屬層疊板100裁斷而得到的層疊電容部I的俯視圖，(b2)是(bl)的B-B’線處的剖視圖，(b3)是將(b2)的剖面中的閥作用金屬箔Ia間放大而示出的剖視圖。圖3表示在實施方式I的制造方法中，將層疊電容部I陽極氧化的工序，(a)是將多個陽極金屬板2分別固定到金屬制引導(dǎo)件50上時的俯視圖，(b)是在固定于金屬制引導(dǎo)件50的多個陽極金屬板2上分別形成有第一掩膜2a時的俯視圖，(Cl)是將層疊電容部I安裝到陽極金屬板2上時的俯視圖，(c2)是(Cl)的C-C’線處的剖視圖，(d)是陽極氧化工序時的圖。 圖4表示在實施方式I的制造方法中，在陽極氧化了的層疊電容部I上形成固體電解質(zhì)層3及導(dǎo)電層4的工序，(a)是第二抗蝕劑層2c形成時的俯視圖，(bl)是形成固體電解質(zhì)層3時的圖，(b2)是形成有固體電解質(zhì)層3的層疊電容部I的剖視圖，(Cl)是形成導(dǎo)電層4時的圖，(c2)是形成有導(dǎo)電層4的層疊電容部I的剖視圖。圖5表示在實施方式I的制造方法中，利用由形成有導(dǎo)電層4的層疊電容部I和陽極金屬板2構(gòu)成的電容器兀件10來制作固體電解電容器的工序，(al)是表不制作出的電容器元件10的結(jié)構(gòu)的俯視圖，(a2)是電容器元件10的側(cè)視圖，(b)是將電容器元件10的陽極引線部2t折彎時的側(cè)視圖，(c)是將電容器元件10安裝到基板9上時的側(cè)視圖，(d)是在安裝于基板9的電容器元件10上形成有密封部6的剖視圖。圖6是通過本發(fā)明涉及的實施方式I的制造方法制作出的固體電解電容器的剖視圖。圖7是在本發(fā)明涉及的實施方式2的固體電解電容器的制造方法中，在形成導(dǎo)電層4后在導(dǎo)電層4上分別形成有絕緣膜22的俯視圖。圖8表示在實施方式2的制造方法中，利用電容器元件20來制作固體電解電容器的工序，(al)是電容器元件20的俯視圖，(a2)是電容器元件20的側(cè)視圖，(b)是將電容器元件20的陽極引線部2t沿著層疊電容部I折彎時的側(cè)視圖，(c)是在設(shè)有陰極端子7及陽極端子8的基板9上安裝電容器元件20并在電容器元件20整體上通過環(huán)氧樹脂等形成密封部6的剖視圖。圖9是本發(fā)明涉及的實施方式2的固體電解電容器的剖視圖。圖10是本發(fā)明涉及的實施方式3的固體電解電容器的制造方法的工序流程圖。圖11表示在本發(fā)明涉及的實施方式3的固體電解電容器的制造方法中，制作電容器元件的工序，(a)是在金屬制引導(dǎo)件50上將陽極金屬板2以規(guī)定的間隔安裝的俯視圖，(bl)是在陽極金屬板2的接合區(qū)域2s中構(gòu)成層疊電容部31的俯視圖，(b2)是(bl)的D-D’線處的剖視圖。圖12是本發(fā)明涉及的實施方式4的固體電解電容器的制造方法的工序流程圖。圖13表示在本發(fā)明涉及的實施方式4的固體電解電容器的制造方法中，制作層疊電容部I的工序，(al)是表示大張閥作用金屬層疊板100的結(jié)構(gòu)的俯視圖，(a2)是(al)的E-E’線處的剖視圖，(b)是表示大張陽極金屬板40的結(jié)構(gòu)的俯視圖，(c)是從大張閥作用金屬層疊板100裁斷而得到的層疊電容部I的俯視圖，(dl)是將層疊電容部I安裝到各陽極金屬板42的接合區(qū)域42s中的俯視圖，(d2)是(dl)的F-F’線處的剖視圖，(e)是從大張陽極金屬板40分離而得到的金屬制引導(dǎo)部50a的俯視圖。圖14是表示通過本發(fā)明涉及的實施方式I的制造方法制作出的固體電解電容器的變形例的剖視圖。圖15表示在制作比較例涉及的固體電解電容器的電容器元件的工序中，將鋁箔片202陽極氧化的工序，(a)是將多個陽極金屬板2分別固定到金屬制引導(dǎo)件50上時的俯視圖，(b)是在固定于金屬制引導(dǎo)件50的多個陽極金屬板2上分別形成有第一掩膜202a時的俯視圖，(c)是陽極氧化工序時的圖。圖16表示在制作比較例涉及的固體電解電容器的電容器元件的工序中，在陽極氧化了的鋁箔片202上形成固體電解質(zhì)層203、碳被膜層204a及銀被膜層204b的工序，(d) 是第二抗蝕劑層202c形成時的俯視圖，(e)是形成固體電解質(zhì)層203時的圖，(f)是形成碳 被膜層204a及銀被膜層204b時的圖。圖17表示在制作比較例涉及的固體電解電容器的電容器元件的工序中，利用形成有固體電解質(zhì)層203、碳被膜層204a及銀被膜層204b的鋁箔片202來制作電容器元件的工序，(fl)是形成有固體電解質(zhì)層203、碳被膜層204a及銀被膜層204b的鋁箔片202的俯視圖，(f2)是形成有固體電解質(zhì)層203、碳被膜層204a及銀被膜層204b的鋁箔片202的俯視圖，(gl)是表示通過將(fl)及(f2)所示的鋁箔片202各重疊三片，并利用各重疊三片而成的層疊部將陰極引線框及陽極引線框夾入而形成的層疊體的俯視圖。(g2)是表示通過將(fl)及(f2)所示的鋁箔片202各重疊三片，并利用各重疊三片而成的層疊部將陰極引線框207a及陽極引線框202t夾入而形成的層疊體的剖視圖。(hi)是將(gl)及(g2)所示的層疊體用密封樹脂206密封而得到的比較例的電容器元件的俯視圖。(hi)是將(gl)及(g2)所示的層疊體用密封樹脂206密封而得到的比較例的電容器元件的剖視圖。
具體實施例方式以下，參照附圖對本發(fā)明涉及的實施方式的固體電解電容器詳細地進行說明。需要說明的是，在以下的說明中，根據(jù)需要而使用了表示特定的方向或位置的用語(例如，“上”、“下”、“右”、“左”及包括這些用語在內(nèi)的其它用語)，但這些用語的使用是為了參照著附圖而易于發(fā)明的理解，本發(fā)明的技術(shù)范圍并不受這些用語的意思的限制。另外，多個圖中示出的同一符號的部分表示同一部分或相當?shù)牟糠?。如圖6所示，本發(fā)明涉及的實施方式的固體電解電容器具備層疊部5，該層疊部5具有通過將分別在表面具有電介質(zhì)氧化被膜dl的多個閥作用金屬箔Ia經(jīng)由固體電解質(zhì)層3層疊而成的兩個層疊電容部I ;設(shè)置在兩個層疊電容部I之間的陽極金屬板2。在層疊部5中，相鄰的閥作用金屬箔Ia之間及閥作用金屬箔Ia與陽極金屬板2之間通過貫通電介質(zhì)氧化被膜dl及固體電解質(zhì)層3的局部導(dǎo)通部IOOb而連接。需要說明的是，局部導(dǎo)通部IOOb是指設(shè)置在閥作用金屬箔Ia的一部分上的、相鄰的閥作用金屬箔Ia彼此的連接點。另外，在閥作用金屬箔Ia之間的間隙、閥作用金屬箔Ia與陽極金屬板2之間的間隙、兩個層疊電容部I的外表面上連續(xù)地設(shè)有固體電解質(zhì)層3。并且，在兩個層疊電容部I的外表面形成的固體電解質(zhì)層3的表面上形成有由碳被膜層4a及銀被膜層4b構(gòu)成的導(dǎo)電層4，銀被膜層4b與基板9的陰極端子7連接。另外，就陽極側(cè)來說，作為陽極金屬板2的一端部的陽極引線部2t以與碳被膜層4a及銀被膜層4b不導(dǎo)通的方式被絕緣而從層疊部5引出，與基板9的陽極端子8連接。需要說明的是，由碳被膜層4a及銀被膜層4b所構(gòu)成的導(dǎo)體層4覆蓋的層疊部5及陽極引線部2t被密封樹脂6密封。另外，實施方式的固體電解電容器具有第二抗蝕劑層2c (第二掩膜2c)，該第二抗蝕劑層2c用于防止在后述的形成固體電解質(zhì)層3的工序中聚合液向陽極引線2t側(cè)滲出(浸出)的情況。這樣構(gòu)成的實施方式的固體電解電容器與現(xiàn)有的固體電解電容器的不同之處在于陽極側(cè)的陽極引線部2t通過與閥作用金屬箔Ia不同體設(shè)置的共通的陽極金屬板2的一部分而構(gòu)成這一點；經(jīng)由固體電解質(zhì)層3設(shè)置在層疊部5的外表面上的導(dǎo)電層4沒有形 成在相鄰的閥作用金屬箔Ia之間這一點?；谏鲜霾煌c，本實施方式的固體電解電容器能夠?qū)㈤y作用金屬箔Ia的表面整體有效地利用于電容形成。另外，在本實施方式的固體電解電容器中，由于能夠通過一個陽極引線部來構(gòu)成陽極側(cè)的端子，因此與將多個閥作用金屬箔的一端部捆束來構(gòu)成陽極側(cè)的端子的現(xiàn)有結(jié)構(gòu)相比，能夠減小陽極引線部的體積相對于固體電解電容器的全部體積所占的比例，能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。進而，由于導(dǎo)電層4沒有形成在閥作用金屬箔Ia之間的間隙中，因此能夠減薄層疊部5的厚度。具有這樣的結(jié)構(gòu)的固體電解電容器例如通過以下所說明的制造方法來制造。以下，對本發(fā)明涉及的固體電解電容器的制造方法進行說明，同時對本發(fā)明涉及的實施方式的固體電解電容器的結(jié)構(gòu)詳細地進行說明。實施方式I.本發(fā)明涉及的實施方式I的固體電解電容器的制造方法包括圖I所示的如下工序。<步驟SI (準備大張閥作用金屬箔)>準備在表面上形成有電介質(zhì)氧化被膜的大張閥作用金屬箔。需要說明的是，該步驟I的具體工序為通常的工序，因此未圖示出。具體而言，在大張閥作用金屬箔的表面上通過蝕刻形成凹凸，從而擴大表面積。在該蝕刻中，例如通過在蝕刻液中施加交流或直流電壓來電化學地形成凹凸。需要說明的是，在本說明書中，大張閥作用金屬箔的大張是指能夠以集合狀態(tài)制作多個層疊部的大小。接著，在蝕刻后的大張閥作用金屬箔的表面上分別通過陽極氧化來形成構(gòu)成電介質(zhì)的電介質(zhì)氧化被膜。該陽極氧化例如通過在化成液中施加直流電壓來進行。<步驟S2 (層疊導(dǎo)通)>接著，如圖2(al)、(a2)所示，將陽極氧化后的大張閥作用金屬箔IOOa層疊規(guī)定張數(shù)并使大張閥作用金屬箔IOOa之間導(dǎo)通，來制作大張閥作用金屬層疊板100。該層疊導(dǎo)通處理例如通過將層疊后的大張閥作用金屬箔IOOa夾在兩個電極之間并利用電阻焊使這些大張閥作用金屬箔IOOa—并導(dǎo)通來進行。作為導(dǎo)通方法，優(yōu)選像點焊那樣通過狹小面積來導(dǎo)通的方法，可以取代電阻焊而使用利用了激光的點焊等公知的方法。圖2(a2)示出了圖2(al)的A-A’線處的剖面。另外，在該層疊導(dǎo)通處理中，在多個部位局部地形成導(dǎo)通部100b，該局部導(dǎo)通部IOOb的位置以在以下的工序中沿著裁斷線IOOc裁斷而分離出各層疊電容部I時，在分離后的層疊電容部I中分別含有至少一處局部導(dǎo)通部IOOb這種方式配置，例如配置成矩陣狀。<步驟S3 (裁斷)>如圖2(bl)所示，將大張閥作用金屬層疊板100裁斷成多個層疊電容部I。圖2(b2)圖示出圖2(bl)的B-B’線處的剖面。如圖2(b2)所示，層疊電容部I構(gòu)成為閥作用金屬箔Ia與電介質(zhì)氧化被膜dl交替地層疊的結(jié)構(gòu)。就相鄰的兩個閥作用金屬箔Ia的層 疊部分來說更詳細而言，如圖2 (b3)所示，構(gòu)成為一方的閥作用金屬箔la、在該一方的閥作用金屬箔Ia的表面上形成的電介質(zhì)氧化被膜dl、在另一方的閥作用金屬箔Ia的表面上形成的電介質(zhì)氧化被膜dl、另一方的閥作用金屬箔Ia層疊的層疊結(jié)構(gòu)，在形成于一方的閥作用金屬箔Ia的表面上的電介質(zhì)氧化被膜dl與形成于另一方的閥作用金屬箔Ia的表面上的電介質(zhì)氧化被膜dl之間具有能夠供用于形成固體電解質(zhì)層3的聚合液浸入的間隙3a。該間隙3a雖然是因?qū)⒈砻嫔闲纬捎形g刻所致的凹凸的閥作用金屬箔Ia重合而自然形成的，但與焊接時的應(yīng)力也有關(guān)系，因此可以在步驟S2中調(diào)整形成局部導(dǎo)通部IOOb時夾在電極間的按壓力來調(diào)整間隙3a的大小。<步驟PSl (準備陽極金屬板)>如圖3(a)所示，準備構(gòu)成固體電解電容器的陽極的多個陽極金屬板2，將其一端部分別通過焊接等固定到金屬制引導(dǎo)件50上。該陽極金屬板2例如由閥作用金屬箔構(gòu)成，在另一端側(cè)接合層疊電容部1，作為層疊電容部I的安裝區(qū)域的接合區(qū)域2s以與金屬制引導(dǎo)件50隔開規(guī)定的間隔的方式固定在金屬制引導(dǎo)件50上。作為該陽極金屬板2，可以使用各種金屬板，但優(yōu)選使用金屬箔，更優(yōu)選使用閥作用金屬箔。另外，陽極金屬板2的表面狀態(tài)并沒有特別限定，但在平滑的狀態(tài)的情況下，后述的層疊電容部粘貼及陽極端子接合時的接合性良好。在以下的說明中，將固定在金屬制引導(dǎo)件50上的一端部與接合區(qū)域之間的區(qū)域稱作分離區(qū)域2d。<步驟PS2 (形成第一抗蝕劑層)>如圖3(b)所示，在陽極金屬板2的分離區(qū)域2d中以包圍(圍住)陽極金屬板2的周圍的方式形成將陽極側(cè)與陰極側(cè)分離的第一抗蝕劑層2a(第一掩膜2a)。該第一抗蝕劑層2a例如由聚酰亞胺樹脂構(gòu)成，與接合區(qū)域2s及一端部分別隔開規(guī)定的間隔而形成。需要說明的是，可以在將第一抗蝕劑層2a預(yù)先形成在陽極金屬板2上后，將陽極金屬板2固定到金屬制引導(dǎo)件50上?！床襟ES4(接合層疊電容部)>如圖3 (Cl)、(c2)所示，將層疊電容部I以從第一抗蝕劑層2a離開的方式安裝到陽極金屬板2的接合區(qū)域2s中。圖3(c2)是圖3 (Cl)的C-C’處的剖視圖。層疊電容部I至少與陽極金屬板2的表面或背面中的任一方接合即可，但優(yōu)選如圖3(c2)所示，安裝在陽極金屬板2的表面和背面這兩面上。
在安裝時，層疊電容部I以閥作用金屬箔Ia與陽極金屬板2導(dǎo)通的方式例如通過焊接與陽極金屬板2接合。這里，在層疊電容部I與陽極金屬板2之間具有能夠供用于形成固體電解質(zhì)層3的聚合液浸入的間隙?！床襟ES5(陽極氧化)>如圖3(d)所示，通過直至第一抗蝕劑層2a為止地浸滲于化成液LI中來對安裝在接合區(qū)域中的層疊電容部I進行浸滲，從而將層疊電容部I的側(cè)面(閥作用金屬箔Ia的切斷面)、陽極金屬板2的側(cè)面及位于接合區(qū)域2s與第一抗蝕劑層2a之間的構(gòu)成分離區(qū)域2d中的陽極氧化分離部2b的部分陽極氧化。需要說明的是，在將沒有被陽極氧化的閥作用金屬箔作為陽極金屬板2來使用的情況下，除了陽極金屬板2的側(cè)面以外，陽極金屬板2的接合區(qū)域2s的表面也被陽極氧化，接合區(qū)域2s的表面也有助于電容形成。 另外，在進行該陽極氧化時，在接合區(qū)域2s與第一抗蝕劑層2a之間形成陽極氧化分離部2b。<步驟S6 (形成第二抗蝕劑層)>如圖4(a)所示，在陽極氧化分離部2b中，沿著接合有層疊電容部I的陽極金屬板2的接合區(qū)域2s且從第一抗蝕劑層2a離開而將第二抗蝕劑層2c (第二掩膜2c)以包圍陽極金屬板2的周圍的方式形成。該第二抗蝕劑層2c起到如下作用防止在后述的形成固體電解質(zhì)層3的工序中聚合液L2向金屬制引導(dǎo)件50側(cè)滲出的情況，且避免在廣品完成后固體電解質(zhì)層3從層疊部5漏出的情況。第二抗蝕劑層2c與第一抗蝕劑層2a同樣例如由聚酰亞胺樹脂構(gòu)成?！床襟ES7(形成固體電解質(zhì)層)>如圖4(bl)所示，浸滲于聚合液L2中而形成構(gòu)成陰極層的固體電解質(zhì)層3。作為固體電解質(zhì)層3的形成方法，例舉有化學氧化聚合。在化學氧化聚合中，聚合液L2由單體溶液和氧化劑及摻雜劑的混合溶液這兩種溶液構(gòu)成，通過反復(fù)進行向單體溶液浸滲后浸滲于氧化劑及摻雜劑的混合溶液中的操作，由此使單體聚合而形成固體電解質(zhì)層3。這里，將第二抗蝕劑層2c作為聚合液L2的阻隔層，將層疊電容部I浸滲于聚合液L2中，如圖4(b2)所示那樣在層疊電容部I的相鄰的閥作用金屬箔Ia之間的間隙3a、層疊電容部I與陽極金屬板之間的間隙、層疊電容部I的外表面上連續(xù)地形成固體電解質(zhì)層3。需要說明的是，在圖4(b2)中，為了避免圖的復(fù)雜，而僅示出形成在層疊電容部I的外表面上的固體電解質(zhì)層3，省略了形成在間隙3a及層疊電容部I與陽極金屬板2之間的間隙中的固體電解質(zhì)層3的記載。這些省略了的部分的形態(tài)例如參照圖6。〈步驟S8(形成導(dǎo)電層)>如圖4(cl)所示，在比第二抗蝕劑層2c靠下的層疊電容部I的外表面(固體電解質(zhì)層3的表面)上，首先使用碳膏劑Pl來形成碳被膜層4a，然后在碳被膜層4a上使用銀膏劑P2來形成銀被膜層4b。如上所述，如圖4 (c2)所示，在由陽極金屬板2和在其兩側(cè)設(shè)置的兩個層疊電容部I構(gòu)成的層疊部的外側(cè)形成由固體電解質(zhì)層3、碳被膜層4a和銀被膜層4b構(gòu)成的導(dǎo)電層4。之后，通過從金屬制引導(dǎo)件分離成單片，由此能夠制作出圖5(al)、(a2)所示的電容器元件。需要說明的是，圖5(al)表示電容器元件10的俯視圖，圖5 (a2)表示電容器元件10的側(cè)視圖。<步驟S9(折彎陽極引線部)>如圖5(b)所示，將由陽極金屬板2的一端部(根據(jù)需要以規(guī)定的長度切斷)、形成有第一抗蝕劑層2a的部分、陽極氧化分離部2b、形成有第二抗蝕劑層2c的部分構(gòu)成的陽極引線部2t沿著層疊電容部I折彎，進而將其前端部以與層疊電容部I的下表面位于大致同一平面上的方式折彎?！床襟ESlO(基板安裝 密封)>如圖5(c)所示，在設(shè)有陰極端子7及陽極端子8的基板9上安裝電容器元件10， 如圖5(d)所示，將電容器元件10整體用環(huán)氧樹脂等覆蓋而形成密封部6。需要說明的是，在圖5(d)中，未圖示出導(dǎo)電層4和陽極引線部2t，導(dǎo)電層4與陽極引線部2t例如通過氧化被膜等而電分離。另外，安裝例如通過利用導(dǎo)電性粘接劑將電容器元件10的導(dǎo)電層4和陽極引線部2t分別與陰極端子7及陽極端子8接合來進行。如上述那樣而能夠制造出實施方式I的固體電解電容器。需要說明的是，在以上的說明中，限定于具體的方式來進行了說明，但當然可以在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下進行各種變更。圖14表示實施方式I涉及的固體電容器的變形例。圖6所示的電容器元件在圖的左右方向的中央部具有一處局部導(dǎo)通部100b，相對于此，圖14所示的電容器元件在圖的左右方向上的各端部附近具有共計兩處局部導(dǎo)通部100b。為了形成為這樣的結(jié)構(gòu)，在步驟S2的層疊導(dǎo)通處理工序中，將局部導(dǎo)通部IOOb的位置以在裁斷后的層疊電容部I中分別含有兩處導(dǎo)通部的方式配置為好。進而，在圖6的固體電解電容器中，陽極端子8和陰極端子7以通過基板9的側(cè)面的方式具有彎曲部地(呈-狀地)配置，而在圖14的固體電解電容器中，陽極端子8和陰極端子7以貫通基板9的方式配置。例如可以通過如下方式來制作圖14所示的端子結(jié)構(gòu)在步驟SlO的工序中，準備能夠供多個電容器元件10安裝的大張的基板，將多個電容器元件10安裝在大張基板上并一起進行樹脂密封，之后分割成各個固體電解電容器。實施方式2.以下，對本發(fā)明涉及的實施方式2的固體電解電容器的制造方法進行說明。該實施方式2的固體電解電容器的制造方法直至在陰極部形成碳被膜層4a、銀被膜層4b的步驟S7為止均與實施方式I同樣，這之后的工序與實施方式I不同。以下，對與實施方式I不同的工序進行說明。<步驟2S8 (形成導(dǎo)電層及絕緣膜)> 在實施方式2的步驟2S8中，在層疊電容部I的外表面上形成由碳被膜層4a、銀被膜層4b構(gòu)成的導(dǎo)電層4后，如圖7所示，在層疊電容部I的單面的導(dǎo)電層4上例如通過輥涂敷等分別形成例如由聚酰亞胺樹脂構(gòu)成的絕緣膜22，并從金屬制引導(dǎo)件50分離成單片。如上述那樣而能夠制作出圖8 (al)、(a2)所示的實施方式2的電容器元件20。
<步驟2S9 (折彎陽極引線部)>如圖8(b)所示，將陽極金屬板2的陽極引線部2t沿著層疊電容部I折彎，進而將其前端部沿著絕緣膜22向內(nèi)側(cè)折彎。步驟2S10 (基板安裝·密封)如圖8(c)所示，在設(shè)有陰極端子7及陽極端子8的基板9上安裝電容器元件20，并將電容器元件20整體用環(huán)氧樹脂等覆蓋而形成密封部6。
如上那樣制造出的實施方式2的固體電解電容器中，將陽極引線部2t的前端部沿著絕緣膜22向內(nèi)側(cè)折彎，因此與向外側(cè)折彎的實施方式I的固體電解電容器相比，能夠進一步減少不利于電容形成的區(qū)域，增大體積電容比。在實施方式2中，例如也可以如下進行在步驟2S10的工序中，準備能夠供多個電容器元件20安裝的大張的基板，將多個電容器元件20安裝在大張基板上并一起進行樹脂密封，之后分割成各個固體電解電容器。這種情況下，例如圖9所示那樣，電容器元件的導(dǎo)電層4通過與形成在基板9的表面上的陰極電極7a連接而與陰極端子7導(dǎo)通，陽極引線部2t通過與形成在基板9的表面上的陽極電極8a連接而與陽極端子8導(dǎo)通。需要說明的是，在圖9的實施方式中，局部導(dǎo)通部IOOb在左右方向上的端部附近設(shè)置共計兩處。實施方式3.以下，對本發(fā)明涉及的實施方式3的固體電解電容器的制造方法進行說明。該實施方式3的固體電解電容器的制造方法如圖10所示那樣，制作層疊電容部的工序使用了步驟3S1 3S3來代替實施方式I的制作層疊電容部I的步驟SI S4,除此以外與實施方式I同樣。以下，對與實施方式I不同的工序進行說明。與實施方式I的步驟PSl同樣，如圖11(a)所示那樣在金屬制引導(dǎo)件50上將陽極金屬板2以規(guī)定的間隔安裝，且與實施方式I的步驟PS2同樣地形成第一抗蝕劑層2a。<步驟3S1 (準備閥作用金屬箔單片)>準備分別在表面上形成有電介質(zhì)氧化被膜且切割成層疊電容部的大小的多個層疊的閥作用金屬箔。<步驟3S2(粘貼閥作用金屬箔單片)>然后，如圖11 (bl)、(b2)所示，在陽極金屬板2的接合區(qū)域2s的至少一個面上、優(yōu)選在兩個面上分別重疊粘貼切割成層疊電容部的大小的多個閥作用金屬箔31a，來制作層疊電容部31。〈步驟3S3(層疊導(dǎo)通)>利用在層疊部的側(cè)面上設(shè)置的例如由閥作用金屬構(gòu)成的口型(具有角的U形狀)的金屬固定件32將層疊部沿厚度方向夾入并對該部分進行例如超聲波接合，其中所述層疊部由陽極金屬板2和在其兩面上形成的層疊電容部31構(gòu)成。這樣，制作出閥作用金屬箔31a之間通過金屬固定件32來導(dǎo)通的層疊電容部31。之后，層疊電容部31與陽極金屬板2的接合區(qū)域2s接合，陽極金屬板2與閥作用金屬箔31a之間也通過金屬固定件32導(dǎo)通。
以下，通過與實施方式I的步驟S5之后同樣的順序來制造固體電解電容器。本實施方式3的固體電解電容器在制作層疊電容部31的導(dǎo)通工序中使用超聲波接合來在側(cè)面部進行接合，因此能夠?qū)㈤y作用金屬箔31a的主表面整體用于電容形成。因此，根據(jù)實施方式3的制造方法，能夠比實施方式I及2進一步提高單位體積的電容。實施方式4.以下，對本發(fā)明涉及的實施方式4的固體電解電容器的制造方法進行說明。該實施方式4的固體電解電容器的制造方法中，金屬制引導(dǎo)件及陽極金屬板的準備以及層疊電容部向陽極金屬板的安裝工序如圖12所示那樣使用了步驟4PS1、4PS2來代替實施方式I的步驟PS1、PS2，并使用了步驟4S4a、4S4b來代替步驟S4，除此以外與實施方式I同樣。 以下，對與實施方式I不同的工序進行說明。需要說明的是，圖13(al)、(b)圖示出層疊電容部I的制作工序，除了相對于一個層疊電容部I形成有兩個局部導(dǎo)通部IOOb這一點之外，均與實施方式I同樣，因此省略說明。<步驟4PS1 (準備大張陽極金屬板)>這里，如圖13(b)所示，準備例如由大張的閥作用金屬箔構(gòu)成的陽極金屬板，通過沖裁(沖壓)加工來制作一體化有作為金屬制引導(dǎo)部50a來使用的部分和多個陽極金屬板42的大張陽極金屬板40。具體而言，以多個陽極金屬板42僅在金屬制引導(dǎo)部50a側(cè)相連而在其它部分分離的方式形成沖裁部H1。<步驟4PS2 (形成抗蝕劑層)>在大張陽極金屬板40中，如圖13(b)所示，在陽極金屬板42的金屬制引導(dǎo)部50a側(cè)形成與實施方式I等中的第二抗蝕劑層2c相當?shù)目刮g劑層42c。需要說明的是，在比抗蝕劑層42c靠前端的部分確保有與實施方式I等同樣的接合區(qū)域42s。〈步驟4S4a(粘貼層疊電容部)>如圖13 (dl)、(d2)所示，將層疊電容部I以從金屬制引導(dǎo)部50a離開的方式分別安裝到各陽極金屬板42的接合區(qū)域中。圖13 (d2)是圖13 (dl)的F-F’線處的剖視圖?！床襟E4S4b(分離金屬制引導(dǎo)部)>通過將大張陽極金屬板40沿著圖13 (dl)所示的分割線51切斷，從而如圖13(e)所示那樣分離出各金屬制引導(dǎo)部50a。以下，如圖13(e)所示，使用在金屬制引導(dǎo)部50a安裝有多個層疊電容部I的狀態(tài)的構(gòu)件來制造實施方式4的固體電解電容器。步驟5以后的工序除了取代實施方式I中的步驟6的形成第二抗蝕劑層而形成第一抗蝕劑層以外，與實施方式I同樣。需要說明的是，在實施方式4中，可以將圖12所示的步驟S5的基于化成處理的陽極氧化在分離出各金屬制引導(dǎo)部50a前進行，并在分離出各金屬制引導(dǎo)部50a后進行步驟S7的固體電解質(zhì)的形成。如以上詳細說明的那樣，本發(fā)明涉及的實施方式I 4的固體電解電容器的制造方法均以在閥作用金屬箔Ia之間形成供聚合液L2進入的間隙3a的方式制作層疊電容部1，并將該層疊電容部I與陽極金屬板2的接合區(qū)域接合。然后，通過將該層疊電容部I及陽極金屬板2的接合區(qū)域浸滲在聚合液L2中，由此在相鄰的閥作用金屬箔Ia之間的間隙3a、層疊電容部I與陽極金屬板2之間的間隙及層疊部5的外表面上形成固體電解質(zhì)層3。由此，能夠相對于構(gòu)成層疊部5的多個閥作用金屬箔Ia—并利用一次聚合工序來形成固體電解質(zhì)層3，與在各閥作用金屬箔Ia上分別形成固體電解質(zhì)層的現(xiàn)有的制造方法相比，能夠簡化聚合工序。另外，能夠在相 鄰的閥作用金屬箔Ia之間的間隙3a中不形成導(dǎo)電層4的情況下制作出層疊部5。另外，目前由于將閥作用金屬箔的一部分作為陽極引線來使用，因此無法將閥作用金屬箔的表面整體利用于電容形成，但在本發(fā)明涉及的實施方式I 4的固體電解電容器的制造方法中，通過在具備陽極引線部2t的陽極金屬板2的接合區(qū)域2s中接合層疊電容部I并將它們浸滲于聚合液L2中，由此能夠?qū)盈B電容部I整體浸滲在聚合液L2中，能夠?qū)⒍鄠€閥作用金屬箔Ia的表面整體利用于電容形成。進而，不通過將多個閥作用金屬箔Ia的一端部捆束來構(gòu)成陽極引線，而能夠通過陽極金屬板的陽極引線部2t來形成陽極部，因此能夠減小陽極引線部2t所占有的體積。基于上述，根據(jù)本發(fā)明涉及的實施方式I 4的固體電解電容器的制造方法，能夠制作出體積電容比高且實現(xiàn)小型大電容化的固體電解電容器。在以上的本發(fā)明涉及的實施方式I 4的固體電解電容器的制造方法中，準備形成有電介質(zhì)氧化被膜的大張閥作用金屬箔IOOa或形成有電介質(zhì)氧化被膜且切割成層疊電容部的大小的多個閥作用金屬箔，之后進行層疊導(dǎo)通工序，來制作固體電解電容器。然而，本發(fā)明并不局限于此，可以在準備未形成有電介質(zhì)氧化被膜的未化成大張閥作用金屬箔或未形成有電介質(zhì)氧化被膜的層疊電容部這樣大小的多個未化成閥作用金屬箔后，進行層疊導(dǎo)通工序，之后通過陽極氧化工序進行化成處理，來制作固體電解電容器。以下，對本發(fā)明涉及的變形例的固體電解電容器的制造方法進行說明。變形例I.在本發(fā)明涉及的變形例I的固體電解電容器的制造方法中，對本發(fā)明涉及的實施方式I的制造方法進行了如下變更。在以下的說明中，對從實施方式I的制造工序變更的部分進行了記載，未記載的部分與實施方式I的制造工序同樣。首先，在步驟SI中，取代形成有電介質(zhì)氧化被膜的大張閥作用金屬箔100a，而準備實際上未形成有電介質(zhì)氧化被膜的大張未化成閥作用金屬箔。具體而言，在大張未化成閥作用金屬箔的表面通過蝕刻形成凹凸來擴大表面積后，不進行陽極氧化，而進行接下來的步驟S2。在步驟S2中，將大張未化成閥作用金屬箔層疊規(guī)定張數(shù)并使大張未化成閥作用金屬箔之間導(dǎo)通，來制作大張未化成閥作用金屬層疊板。該層疊導(dǎo)通處理例如通過將層疊的大張未化成閥作用金屬箔夾在兩個電極之間并通過電阻焊使這些大張未化成閥作用金屬箔一并導(dǎo)通來進行，在該變形例I中，由于在大張未化成閥作用金屬箔的表面沒有形成電介質(zhì)氧化被膜，因此接合性良好，能夠容易地獲得可靠的導(dǎo)通。在步驟S3中，將大張未化成閥作用金屬層疊板裁斷成多個未化成層疊電容部。此時，在未化成層疊電容部中，在未化成閥作用金屬箔之間形成能夠供化成液及聚合液進入的間隙。以下，經(jīng)由與實施方式I同樣的步驟PSl及步驟PS2，在步驟S4中取代層疊電容部I而將未化成層疊電容部安裝到陽極金屬板2的接合區(qū)域中。然后，在步驟S5中，將未化成層疊電容部浸滲在化成液LI中，而將未化成層疊電容部的未化成閥作用金屬箔的表面整體、陽極金屬板2的側(cè)面及位于接合區(qū)域2s與第一抗蝕劑層2a之間的構(gòu)成分離區(qū)域2d中的陽極氧化分離部2b的部分陽極氧化。以下，與實施方式I同樣地制作固體電解電容器。以上的變形例I的固體電解電容器的制造方法具有與實施方式I的制造方法同樣的作用效果，并且能夠使層疊的大張未化成閥作用金屬箔導(dǎo)通時的接合性良好。
變形例2.在本發(fā)明涉及的變形例2的固體電解電容器的制造方法中，對本發(fā)明涉及的實施方式3的制造方法進行如下變更。在以下的說明中，對從實施方式3的制造工序變更的部分進行了記載，未記載的部分與實施方式3的制造工序同樣。首先，在步驟3S1中，取代在表面形成有電介質(zhì)氧化被膜的多個閥作用金屬箔，而準備切割成層疊電容部的大小的多個未化成閥作用金屬箔。在步驟3S2中，分別將切割成層疊電容部的大小的多個未化成閥作用金屬箔重疊粘貼，來制作未化成層疊電容部。在步驟3S3中，利用在層疊部的側(cè)面上設(shè)置的例如由閥作用金屬構(gòu)成的-型(具有角的U形狀)的金屬固定件32將層疊部沿厚度方向夾入并對該部分進行例如超聲波接合，其中所述層疊部由陽極金屬板2和形成在其兩側(cè)的未化成層疊電容部構(gòu)成。這樣，制作出未化成閥作用金屬箔間通過金屬固定件而導(dǎo)通的未化成層疊電容部。以下，通過與變形例I同樣的順序來制造固體電解電容器。以上的變形例2的固體電解電容器的制造方法具有與實施方式3的制造方法同樣的作用效果，并且能夠使層疊的未化成閥作用金屬箔導(dǎo)通時的接合性良好。變形例3.在本發(fā)明涉及的變形例3的固體電解電容器的制造方法中，與變形例I同樣地制作未化成層疊電容部，并將該未化成層疊電容部與實施方式4同樣地分別安裝到準備好的大張陽極金屬板的陽極金屬板42上，以下與變形例I同樣地制造固體電解電容器。以上的變形例3的固體電解電容器的制造方法具有與實施方式4的制造方法同樣的作用效果，并且能夠使層疊的未化成閥作用金屬箔導(dǎo)通時的接合性良好。實施例以下，對本發(fā)明涉及的實施例進行說明。需要說明的是，在以下的實施例中，實施例I 4分別基于實施方式I 4的制造方法。實施例I.在本實施例I中，在實施方式I的步驟SI中，使用預(yù)先被陽極氧化了的大張的化成招箔(3V化成品)作為大張閥作用金屬箔100a。以下,對實施例I的固體電解電容器的制作順序進行說明。在本實施例中，首先，將厚度110 μ m的大張的化成鋁箔重疊三張，并利用電阻焊進行焊接(圖2(a)、(b))。電阻焊的電極使用直徑為I. 6mm的圓徑的電極來實施。因焊接而消失的區(qū)域為10%。需要說明的是，電阻焊以在切斷后的層疊電容部I中形成有一處連接部的方式進行。將焊接后的大張閥作用金屬層疊板100裁斷成寬度3. 5mm、長度5. 5mm的層疊電容部I。另外，如圖3(b)所示，使用焊接在金屬制引導(dǎo)件50上的陽極鋁箔作為陽極金屬板2，相對于陽極鋁箔而將分離陽極部與陰極部的掩膜材料(聚酰亞胺樹脂)在與未固定于引 導(dǎo)件上的招箔的前端相距6. 5mm的位置處以O(shè). 8mm的寬度呈線狀涂敷,并在180°C下干燥一小時，從而形成第一抗蝕劑層2a。然后，如圖3(c)所示，在由焊接于金屬制引導(dǎo)件50上的陽極鋁箔構(gòu)成的陽極金屬板2的表背面上分別焊接層疊化成鋁箔而成的層疊電容部I。接著，如圖3(d)所示，對從層疊電容部I的前端至第一抗蝕劑層2a為止的部分實施陽極氧化(在9質(zhì)量％己二酸銨水溶液中，在電流密度為5mA/cm2、化成電壓為3. 5V、溫度為65°C的條件下進行10分鐘)，進行水洗、干燥。進而，如圖4(a)所示，將掩膜材料(聚酰亞胺樹脂)以O(shè). 8mm的寬度呈線狀涂敷，并在180°C下干燥一小時，從而形成第二抗蝕劑層2c。在形成第二抗蝕劑層2c后，反復(fù)進行二十次氧化聚合操作，所述氧化聚合操作是指在⑴浸滲于含有3，4_亞乙基二氧基噻吩的異丙醇溶液(溶液I)、取出并放置后，(ii)浸滲于含有過硫酸銨的水溶液(溶液2)，接著，在50°C的溫水中清洗后，在100°C下干燥，由此形成固體電解質(zhì)層3。最后，在構(gòu)成陰極部的固體電解質(zhì)層3上通過碳膏劑、銀膏劑形成導(dǎo)電層4，之后將該電容器元件安裝在基板9上，利用樹脂6進行密封，由此制作出圖6所示的結(jié)構(gòu)的固體電解電容器。具體而言，將與固體電解質(zhì)層無關(guān)的陽極引線部2t折彎，并利用導(dǎo)電性粘接劑與印制基板上的陽極端子部分、陰極端子部分接合，將整體用環(huán)氧樹脂進行密封后，切割成各個元件。然后，對該元件在135°C下施加2V的電壓來進行熟化，從而制作出共計十個芯片型的固體電解電容器。對制作出的十個固體電解電容器元件的平均體積、初始特性、固體電解電容器元件的體積電容比進行評價。其結(jié)果如表I所示。實施例2.在實施例2中，除以下點以外，與實施例I同樣地制作出固體電解電容器。(與實施例I的不同點)(i)涂敷銀膏劑后，如圖7所示，在涂敷有銀被膜層4b的面的單面上輥涂敷聚酰亞胺樹脂，并在180°C、一小時的條件下進行干燥，從而形成絕緣膜22。
(ii)如圖8所示，在從金屬制引導(dǎo)件50取下后，向涂敷有絕緣膜22 (聚酰亞胺樹脂)這一側(cè)將陽極引線部2t沿著層疊電容部I折彎，并利用導(dǎo)電性粘接劑與印制基板上的陽極端子8、陰極端子7接合。(iii)之后，將整體用環(huán)氧樹脂進行密封，切割成各個固體電解電容器。在實施例2中，直至涂敷銀膏劑為止的工序、及切割成各個固體電解電容器后在135°C下施加2V的電壓來進行熟化而制成共計十個芯片型的固體電解電容器這些方面與實施例I同樣地進行。對制作出的十個固體電解電容器元件的平均體積、初始特性、固體電解電容器元件的體積電容比進行評價。其結(jié)果如表I所示。 實施例3.在實施例3中，按照實施方式3的制造方法制作出十個固體電解電容器。具體而言，如圖11 (a)所示，將未化成鋁箔作為陽極金屬板2固定在金屬制引導(dǎo)件50上。相對于焊接于金屬制引導(dǎo)件50上的陽極鋁箔而將分離陽極部與陰極部的掩膜材料(聚酰亞胺樹脂)在與層疊部的前端相距6. 5mm的位置處以O(shè). 8mm的寬度呈線狀涂敷，并在180°C下干燥一小時，從而形成第一抗蝕劑層2a。然后，如圖11(b)所示，將切割成寬度3. 5mm、長度5. 5mm的化成鋁箔(閥作用金屬箔31a)分別在由未化成鋁箔構(gòu)成的陽極金屬2的接合區(qū)域的兩面上各重疊三張，從而形成層疊電容部31。并且，利用-狀的鋁板將層疊部的側(cè)面夾入并利用超聲波焊接進行接合，其中所述層疊部由未化成鋁箔所構(gòu)成的陽極金屬板2和形成在其兩面上的層疊電容部31構(gòu)成。以下，與實施例I同樣地制作出十個實施例3的固體電解電容器。然后，與實施例I同樣地進行熟化后，對制作出的十個固體電解電容器元件的平均體積、初始特性、固體電解電容器元件的體積電容比進行評價。其結(jié)果如表I所示。實施例4.在實施例4中，按照實施方式4的制造方法制作出十個固體電解電容器。具體而言，與實施例I同樣，如圖13(al)、(a2)所示，將大張的化成鋁箔重疊三張并利用電阻焊進行焊接，制作出大張閥作用金屬層疊板100。然后，將大張閥作用金屬層疊板100裁斷而制作出層疊電容部I (寬度3. 5mmX長度5. 5mm)。另一方面，如圖13(b)所示，準備大張的鋁箔作為大張陽極金屬板40，通過沖裁(沖壓)加工制作出一體化有作為金屬制引導(dǎo)部50a來使用的部分和多個陽極金屬板42的大張陽極金屬板40。在大張陽極金屬板40中，如圖13(b)所示，在陽極金屬板42的金屬制引導(dǎo)部50a側(cè)與實施例I等同樣地形成第二抗蝕劑層42c。然后，如圖13(dl)、(d2)所示，將層疊電容部I以從金屬制引導(dǎo)部50a離開的方式分別安裝到陽極金屬板42的接合區(qū)域中。然后，如圖13(e)所示，通過將大張陽極金屬板40沿著分割線51切斷，由此分離出各金屬制引導(dǎo)部50a。以下，與實施例I等同樣地制作出十個實施例4的固體電解電容器，且與實施例I同樣地在進行熟化后，對制作出的十個固體電解電容器元件的平均體積、初始特性、固體電解電容器元件的體積電容比進行評價。
比較例如下這樣制作出比較例的固體電解電容器。首先，如圖15(a)所示，將厚度110 μ m的化成鋁箔以3. 5mm的寬度切斷而得到的化成鋁箔片進而每取13_的長度進行切斷，將該化成鋁箔片202的一方的短邊部焊接固定在金屬制引導(dǎo)件50上。接著，如圖15(b)所示，在對切斷后的化成鋁箔片202的切口進行化成處理之前，在與未固定于引導(dǎo)件50上的前端相距7mm的部位處將聚酰亞胺樹脂溶液(宇部興產(chǎn)制)以O(shè). 8mm的寬度呈線狀地涂敷，并在大約180°C下干燥30分鐘，由此形成聚酰亞胺樹脂抗蝕劑層202a。接著，如圖15(c)所示，通過將從未固定于金屬制引導(dǎo)件50上的鋁箔片202的前端至涂敷有聚酰亞胺樹脂抗蝕劑層202a為止的部分浸滲于化成液LI中，由此形成陽極氧化部202b。進而，如圖16(d)所示，以與陽極氧化后的鋁箔片202的前端相距5mm的部分為中心而將聚酰亞胺樹脂以O(shè). 8mm的寬度呈線狀地涂敷，并在180°C下干燥一小時，由此形成第二聚酰亞胺樹脂抗蝕劑層202c。接著，如圖16(e)所示，對鋁箔片202的直至第二聚酰亞胺樹脂抗蝕劑層202c為止的部分(3. 5mmX4. 6mm)的陰極部使用與實施例I同樣的聚合液L2,在同樣的條件下形成固體電解質(zhì)層203。進而，如圖16(e)所示，在陰極部的固體電解質(zhì)層203上使用碳膏劑P201和銀膏劑P202在與實施例I同樣的條件下形成碳被膜層204a及銀被膜層204b。之后，通過從金屬制引導(dǎo)件50取下，由此制作出圖17 (fl)、(f2)所示的電容器元件。接著，制作將電容器元件層疊三張而成的層疊體，如圖17(gl)、(g2)所示，利用層疊體將陰極引線框207a、陽極引線框202t的兩面夾入。然后，如圖17 (hi)、(h2)所示，利用密封樹脂206進行密封。這里，陰極引線框207a與陰極部204b通過銀膏劑接合，鋁箔片202之間及鋁箔片202與陽極引線框202t之間在未形成有固體電解質(zhì)層203的部分通過焊接而接合。與實施例同樣地對完成后的固體電解電容器進行熟化后，對制作出的十個固體電解電容器元件的平均體積、初始特性、固體電解電容器元件的體積電容比進行評價。其結(jié)果與實施例I 4 一起在表I中示出。表I
權(quán)利要求
1.一種固體電解電容器，其特征在于， 具備在表面上具有電介質(zhì)氧化被膜的多個閥作用金屬箔帶有間隙地層疊且在厚度方向上相鄰的所述閥作用金屬箔之間通過局部導(dǎo)通部電連接的層疊電容部、以及具有陽極引線部和接合區(qū)域的陽極金屬板， 所述層疊電容部帶有間隙地通過局部導(dǎo)通部與所述陽極金屬板的接合區(qū)域的至少單面電連接， 在所述閥作用金屬箔之間的間隙、所述陽極金屬板與層疊電容部之間的間隙及層疊電容部的外表面上連續(xù)地形成有固體電解質(zhì)層， 所述固體電解電容器形成有導(dǎo)電層，該導(dǎo)電層覆蓋所述固體電解質(zhì)層的外表面且與所述陽極金屬板的陽極引線部電絕緣。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的固體電解電容器，其中， 相鄰的所述閥作用金屬箔之間在所述層疊電容部的側(cè)面電連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的固體電解電容器，其中， 所述層疊電容部具有第一層疊電容部和第二層疊電容部，在所述陽極金屬板的一個面上連接所述第一層疊電容部，在所述陽極金屬板的另一個面上連接所述第二層疊電容部。
4.一種固體電解電容器的制造方法，其特征在于，包括 層疊電容部制作工序，其中經(jīng)由閥作用金屬箔準備工序、閥作用金屬箔層疊工序和導(dǎo)通部形成工序來制作層疊電容部，所述閥作用金屬箔準備工序是指準備在表面上具有電介質(zhì)氧化被膜的多個閥作用金屬箔的工序，所述閥作用金屬箔層疊工序是指將所述多個閥作用金屬箔以帶有能夠供聚合液浸入的間隙的狀態(tài)層疊的工序，所述導(dǎo)通部形成工序是指將在厚度方向上相鄰的所述閥作用金屬箔之間通過部分導(dǎo)通部電連接的工序； 陽極金屬板準備工序，準備具有陽極引線部和接合區(qū)域的陽極金屬板； 陽極金屬板與層疊電容部連接工序，將所述層疊電容部以帶有能夠供聚合液浸入的間隙的狀態(tài)與所述陽極金屬板的接合區(qū)域的至少單面接合，且將所述陽極金屬板的接合區(qū)域與所述層疊電容部的閥作用金屬箔通過局部導(dǎo)通部電連接； 固體電解質(zhì)層形成工序，通過將所述陽極金屬板和所述層疊電容部一起浸滲在聚合液中，由此在所述各閥作用金屬箔之間的間隙、所述陽極金屬板與層疊電容部的間隙及層疊電容部的外表面上連續(xù)地形成固體電解質(zhì)層；以及 導(dǎo)電層形成工序，將導(dǎo)電層以與所述陽極金屬板的引線部電絕緣的狀態(tài)形成在形成有所述固體電解質(zhì)層的所述層疊電容部的外表面上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的固體電解電容器的制造方法，其中， 所述閥作用金屬箔準備工序及所述閥作用金屬箔層疊工序是以大張閥作用金屬箔的狀態(tài)實施，從而供給多個用于形成固體電解電容器的所述閥作用金屬箔， 所述導(dǎo)通部形成工序包括將所述導(dǎo)通部以分布在所述大張閥作用金屬箔的多個部位的方式形成的工序， 所述層疊電容部制作工序還包括以各所述層疊電容部含有至少一個所述導(dǎo)通部的方式對大張閥作用金屬箔進行分割，由此取出多個所述層疊電容部的工序。
6.一種固體電解電容器的制造方法，其特征在于，包括 陽極金屬板準備工序，準備具有陽極引線部和接合區(qū)域的陽極金屬板；閥作用金屬箔準備工序，準備在表面上具有電介質(zhì)被膜的多個閥作用金屬箔； 層疊電容部制作工序，其中經(jīng)由閥作用金屬箔層疊工序和導(dǎo)通部形成工序來制作層疊電容部，其中所述閥作用金屬箔層疊工序是指在所述陽極金屬板的接合區(qū)域上將所述多個閥作用金屬箔以帶有能夠供聚合液浸入的間隙的狀態(tài)層疊的工序，所述導(dǎo)通部形成工序是指將在厚度方向上 相鄰的所述閥作用金屬箔之間通過部分導(dǎo)通部電連接的工序； 陽極金屬板與層疊電容部連接工序，將所述陽極金屬板的接合區(qū)域與所述層疊電容部的閥作用金屬箔通過局部導(dǎo) 通部電連接； 固體電解質(zhì)層形成工序，通過將所述陽極金屬板和所述層疊電容部一起浸滲在聚合液中，由此在所述各閥作用金屬箔之間的間隙、所述陽極金屬板與層疊電容部的間隙及層疊電容部的外表面上連續(xù)地形成固體電解質(zhì)層；以及 導(dǎo)電層形成工序，將導(dǎo)電層以與所述陽極金屬板的引線部電絕緣的狀態(tài)形成在形成有所述固體電解質(zhì)層的所述層疊電容部的外表面上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的固體電解電容器的制造方法，其中， 在所述層疊電容部制作工序中，將所述層疊電容部的側(cè)面的一部分接合而使相鄰的所述閥作用金屬箔之間電連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的固體電解電容器的制造方法，其中， 在所述層疊電容部制作工序中，在所述層疊電容部的對置的側(cè)面上分別接合而使相鄰的閥作用金屬箔之間電連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求4 8中任一項所述的固體電解電容器的制造方法，其中， 所述陽極金屬板準備工序包括將多個所述陽極金屬板并置接合到引導(dǎo)板上的操作， 在所述固體電解質(zhì)層形成工序中，將分別與所述陽極金屬板接合的多個層疊電容部一并浸滲在所述聚合液中。
10.根據(jù)權(quán)利要求4 8中任一項所述的固體電解電容器的制造方法，其中， 所述陽極金屬板準備工序包括通過對矩形的大張陽極金屬板的沖裁加工而形成沿著所述大張陽極金屬板的一邊的引導(dǎo)件部和與所述引導(dǎo)件部一體化的所述多個陽極金屬板的操作， 將分別與所述陽極金屬板接合的多個層疊電容部一起在所述固體電解質(zhì)層形成工序中浸滲于所述聚合液中。
11.一種固體電解電容器的制造方法，其特征在于，包括 未化成閥作用金屬箔準備工序，準備多個未化成閥作用金屬箔； 未化成閥作用金屬箔層疊工序，將所述多個未化成閥作用金屬箔以帶有能夠供化成液和聚合液浸入的間隙的狀態(tài)層疊； 未化成層疊電容部制作工序，經(jīng)由導(dǎo)通部形成工序來制作未化成層疊電容部，所述導(dǎo)通部形成工序是指將在厚度方向上相鄰的所述未化成閥作用金屬箔彼此通過局部導(dǎo)通部電連接的工序； 陽極金屬板準備工序，準備具有陽極引線部和接合區(qū)域的陽極金屬板； 陽極金屬板與未化成層疊電容部連接工序，將所述未化成層疊電容部以帶有能夠供化成液和聚合液浸入的間隙的狀態(tài)與所述陽極金屬板的接合區(qū)域的至少單面接合，并且將所述陽極金屬板的接合區(qū)域與所述未化成層疊電容部的閥作用金屬箔通過局部導(dǎo)通部電連接; 層疊電容部制作工序，通過將所述未化成層疊電容部和陽極金屬板浸滲在化成液中并進行陽極氧化，由此在所述各閥作用金屬箔之間的間隙、所述陽極金屬板與層疊電容部的間隙及層疊電容部的外表面上形成電介質(zhì)氧化被膜； 固體電解質(zhì)層形成工序，通過將所述層疊電容部浸滲在聚合液中，由此在所述各閥作用金屬箔之間的間隙、所述陽極金屬板與層疊電容部的間隙及層疊電容部的外表面上隔著所述電介質(zhì)氧化被膜形成固體電解質(zhì)層；以及 導(dǎo)電層形成工序，在形成有所述固體電解質(zhì)層的所述層疊電容部的外表面上隔著固體電解質(zhì)層形成導(dǎo)電層。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的固體電解電容器的制造方法，其中， 所述未化成閥作用金屬箔準備工序及所述未化成閥作用金屬箔層疊工序是以大張閥 作用金屬箔的狀態(tài)實施的，從而供給多個用于形成固體電解電容器的所述未化成閥作用金屬箔， 所述導(dǎo)通部形成工序包括將所述導(dǎo)通部以分布在所述大張閥作用金屬箔的多個部位的方式形成的工序， 所述未化成層疊電容部制作工序還包括通過以各所述未化成層疊電容部含有至少一個所述導(dǎo)通部的方式對大張閥作用金屬箔進行分割，由此取出多個所述層疊電容部的工序。
13.一種固體電解電容器的制造方法，其特征在于，包括 陽極金屬板準備工序，準備具有陽極引線部和接合區(qū)域的陽極金屬板； 未化成閥作用金屬箔準備工序，準備多個未化成閥作用金屬箔； 閥作用金屬箔層疊工序，將所述多個未化成閥作用金屬箔以在所述多個未化成閥作用金屬箔之間及所述未化成閥作用金屬箔與所述陽極金屬板之間分別具有能夠供化成液和聚合液浸入的間隙的方式層疊在所述陽極金屬板的接合區(qū)域上； 未化成層疊電容部制作工序，將在厚度方向上相鄰的未化成閥作用金屬箔彼此通過局部導(dǎo)通部電連接； 未化成層疊電容部與陽極金屬箔連接工序，將所述未化成層疊電容部與陽極金屬板通過局部導(dǎo)通部電連接； 層疊電容部制作工序，通過將所述未化成層疊電容部和陽極金屬板浸滲在化成液中并進行陽極氧化，由此在所述各閥作用金屬箔之間的間隙、所述陽極金屬板與層疊電容部的間隙及層疊電容部的外表面上形成電介質(zhì)氧化被膜； 固體電解質(zhì)層形成工序，通過將所述層疊電容部和陽極金屬板浸滲在聚合液中，由此在所述各閥作用金屬箔之間的間隙、所述陽極金屬板與層疊電容部的間隙及層疊電容部的外表面上隔著所述電介質(zhì)被膜形成固體電解質(zhì)層；以及 導(dǎo)電層形成工序，在形成有所述固體電解質(zhì)層的所述層疊電容部的外表面上隔著固體電解質(zhì)層形成導(dǎo)電層。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的固體電解電容器的制造方法，其中， 在所述未化成層疊電容部制作工序中，將所述未化成層疊電容部的側(cè)面的一部分接合而使相鄰的未化成閥作用金屬箔之間導(dǎo)通。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的固體電解電容器的制造方法，其中， 在所述未化成層疊電容部制作工序中，在所述未化成層疊電容部的對置的側(cè)面上分別接合而使相鄰的未化成閥作用金屬箔之間導(dǎo)通。
16.根據(jù)權(quán)利要求11 15中任一項所述的固體電解電容器的制造方法，其中， 所述陽極金屬板準備工序包括將多個所述陽極金屬板并置接合到引導(dǎo)板上的操作， 在所述層疊電容部制作工序中，將分別與所述陽極金屬板接合的多個未化成層疊電容部一并浸滲在所述化成液中， 在所述固體電解質(zhì)層形成工序中，將分別與所述陽極金屬板接合的多個層疊電容部一并浸滲在所述聚合液中。
17.根據(jù)權(quán)利要求11 15中任一項所述的固體電解電容器的制造方法，其中， 所述陽極金屬板準備工序包括通過對矩形的大張陽極金屬板的沖裁加工而形成沿著所述大張陽極金屬板的一邊的引導(dǎo)件部和與所述引導(dǎo)件部一體化的所述多個陽極金屬板的操作， 在所述層疊電容部制作工序中，將分別與所述陽極金屬板接合的多個未化成層疊電容部一并浸滲在所述化成液中， 將分別與所述陽極金屬板接合的多個層疊電容部一并在所述固體電解質(zhì)層形成工序中浸滲在所述聚合液中。
18.根據(jù)權(quán)利要求4 17中任一項所述的固體電解電容器的制造方法，其中， 包括在所述導(dǎo)電層形成工序后將所述陽極引線部沿著所述層疊電容部折彎的折彎工序，在所述折彎工序與所述導(dǎo)電層形成工序之間，在所述層疊電容部中的與折彎的所述陽極引線部對置的部分形成絕緣膜。
全文摘要
本發(fā)明提供一種體積電容比大于現(xiàn)有技術(shù)的體積電容比且實現(xiàn)進一步的小型大電容化的固體電解電容器。所述固體電解電容器具備在表面上具有電介質(zhì)氧化被膜的多個閥作用金屬箔帶有間隙地層疊、在厚度方向上相鄰的所述閥作用金屬箔之間通過局部導(dǎo)通部電連接的層疊電容部；具有陽極引線部和接合區(qū)域的陽極金屬板，所述層疊電容部帶有間隙地通過局部導(dǎo)通部與所述陽極金屬板的接合區(qū)域的至少單面電連接，在所述閥作用金屬箔之間的間隙、所述陽極金屬板與層疊電容部的間隙、及層疊電容部的外表面上連續(xù)地形成有固體電解質(zhì)層，導(dǎo)電層以覆蓋所述固體電解質(zhì)層的外表面且與所述陽極金屬板的陽極引線部電絕緣的方式形成。
文檔編號H01G9/04GK102859624SQ20118001954
公開日2013年1月2日 申請日期2011年3月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月21日
發(fā)明者黑見仁, 越戶義弘, 松下惠美 申請人:株式會社村田制作所