專利名稱：晶圓盒底座的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是涉及一種晶圓盒底座，特別是涉及一種通過(guò)至少一標(biāo)示部顯 示底座與盒罩是否確實(shí)固定與密封，以免晶圓被污染或者損壞的晶圓盒底座。
背景技術(shù)：
為避免晶圓在運(yùn)送過(guò)程中受到污染及碰撞， 一般會(huì)利用一可運(yùn)送及可密封 的晶圓盒來(lái)放置及運(yùn)送晶圓。
請(qǐng)參考圖l所示，其揭示一種現(xiàn)有的晶圓盒，其包含一盒罩A、 一晶 圓放置架B及一晶圓盒底座C。所述晶圓盒底座C具有一本體91，所述本體 91為一內(nèi)部中空的盒體，其內(nèi)部設(shè)有一閂鎖機(jī)構(gòu)92，其底部設(shè)有一底板93。 所述盒罩A為一透明材質(zhì)的盒罩A，其套設(shè)于所述本體91上形成容置空間。 所述晶圓放置架B設(shè)于所述本體91的頂面，用以承載復(fù)多個(gè)晶圓(未繪示)。
如圖1所示，所述閂鎖機(jī)構(gòu)92包含一轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)921及二對(duì)稱設(shè)置的閂鎖 板922。所述轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)921設(shè)有一樞接孔921a、二凸輪921b及二驅(qū)動(dòng)銷(xiāo)孔921c。 所述樞接孔921a設(shè)于所述轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)921的中心，所述二凸輪921b是對(duì)稱的設(shè) 在所述樞接孔921a的兩側(cè)，所述二驅(qū)動(dòng)銷(xiāo)孔921c分別是為一盲孔，設(shè)于所述 轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)921的底部，且分別伸入所述二凸輪921b的內(nèi)部。所述閂鎖板922 設(shè)有一抵接邊922a及二卡掣部922b。
如圖1所示，所述本體91內(nèi)部中央設(shè)有一樞接座911，所述底板93中央 設(shè)有一軸孔931， 一樞接件a從底部向上依序穿過(guò)所述底板93的軸孔931、所 述轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)921的樞接孔921a及所述本體91的樞接座911。所述底板93進(jìn)一步設(shè)有二弧型孔932，以供一外部的驅(qū)動(dòng)裝置(未繪示)穿過(guò)所述二弧型孔932 而插設(shè)于所述轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)921的所述二驅(qū)動(dòng)銷(xiāo)孔921c內(nèi)，以便控制所述轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi) 關(guān)921做一限定角度的轉(zhuǎn)動(dòng)，所述閂鎖機(jī)構(gòu)92具有一縮入位置(解鎖狀態(tài))及一 伸出位置(扣鎖狀態(tài))。
請(qǐng)?jiān)賲⒖紙D1所示，所述閂鎖機(jī)構(gòu)92的所述二閂鎖板922是對(duì)稱的設(shè)于 所述轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)921的兩側(cè)，受到彈性件(未繪示)的作用，所述抵接邊922a是保 持抵接于所述轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)921的凸輪921b上。另外，相對(duì)于所述卡掣部922的 位置，所述本體91二相對(duì)的側(cè)面共開(kāi)設(shè)有四開(kāi)口912。當(dāng)所述閂鎖機(jī)構(gòu)92處 于解鎖狀態(tài)時(shí)，每一所述卡掣部922b會(huì)位于所述本體91的每一所述開(kāi)口 912 的內(nèi)部；當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)921受外部驅(qū)動(dòng)做一限定角度的轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，所述凸輪921b 抵接所述閂鎖板922的抵接邊922a，以推動(dòng)所述二閂鎖板922分別向外伸出一 段距離。因此，當(dāng)所述閂鎖機(jī)構(gòu)92處于扣鎖狀態(tài)時(shí)，每一所述卡掣部922b會(huì) 伸出所述本體91的每一所述開(kāi)口912的外部，并且扣住所述盒罩A對(duì)應(yīng)設(shè)置 的卡槽A1內(nèi)，從而使所述盒罩A與所述晶圓盒底座C形成密封的狀態(tài)。
綜上所述，所述晶圓盒是借著所述閂鎖機(jī)構(gòu)92來(lái)確保所述盒罩A與所述 晶圓盒底座C的鎖固來(lái)形成密閉。然而，所述閂鎖機(jī)構(gòu)92有可能因?yàn)橥獠框?qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)的定位不正確，或者轉(zhuǎn)動(dòng)角度不足，而使所述閂鎖機(jī)構(gòu)92沒(méi)有確實(shí)將 所述盒罩A與所述晶圓盒底座C鎖固。由于缺乏檢視此狀態(tài)的機(jī)制，使得在 搬運(yùn)所述未確實(shí)鎖固的晶圓盒時(shí)，因?yàn)榫A盒密封性不足，而使所述晶圓盒內(nèi) 的晶圓受到微粒污染?；蛘?，由于搬運(yùn)時(shí)有可能是以所述盒罩A的把手(未繪 示)作為支撐，更可能因?yàn)樗龊姓諥與所述晶圓盒底座C意外分開(kāi)，造成所 述晶圓盒底座C連同所述晶圓放置架B及晶圓(未繪示)掉落，造成晶圓(未繪 示)的損壞另外，長(zhǎng)期使用所述晶圓盒時(shí)，由于所述轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)921的底部與所述底板 93不斷接觸與摩擦，有可能造成微粒(particle)而污染所述晶圓盒?，F(xiàn)有的解決 方法為在所述底板93的頂面摩擦處貼設(shè)一鐵氟龍材質(zhì)的墊片933,以減少摩 擦造成微粒的情形，但在使用一段時(shí)間后，所述墊片933可能破裂毀損，仍需 更換所述墊片933。
因此，有必要提供一種晶圓盒底座，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的缺陷。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種晶圓盒底座，其是利用在本體的表面 開(kāi)設(shè)檢視窗口并在閂鎖機(jī)構(gòu)設(shè)置標(biāo)示部，以便檢視所述晶圓盒的盒罩與晶圓盒 底座鎖固的狀態(tài)是否良好，從而減少所述晶圓盒搬運(yùn)時(shí)，所述盒罩與所述晶圓 盒底座意外分開(kāi)，而造成晶圓被污染或損壞的情形。
本實(shí)用新型的另一目的在于提供一種晶圓盒底座，其是利用一耐磨耗的支 撐環(huán)，以減少一轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)底部與一底板間因摩擦而產(chǎn)生微粒的情形，從而減少 所述晶圓盒受到微粒污染的情形。
為達(dá)上述的目的，本實(shí)用新型提供一種晶圓盒底座，其包含一本體、至少 二開(kāi)口、 一閂鎖機(jī)構(gòu)、至少一標(biāo)示部及至少一檢視窗口。所述本體與一盒罩及 一晶圓放置架組合，共同形成一用以承載晶圓的晶圓盒。所述至少二開(kāi)口對(duì)稱 的設(shè)于所述本體的兩側(cè)面。所述閂鎖機(jī)構(gòu)設(shè)于所述本體內(nèi)，其具有至少二卡掣 部可伸出所述至少二開(kāi)口，以固鎖所述盒罩。所述至少一標(biāo)示部設(shè)于所述閂鎖 機(jī)構(gòu)的至少二卡掣部的至少其一。所述至少一檢視窗口，其實(shí)質(zhì)對(duì)應(yīng)所述至少 一標(biāo)示部而設(shè)于所述本體的表面，透過(guò)所述至少一檢視窗口是否顯示所述至少 一標(biāo)示部的情形，以判斷所述閂鎖機(jī)構(gòu)是否確實(shí)固鎖所述盒罩。藉此，可確保 所述盒罩與所述晶圓盒底座固定與密封，以免搬運(yùn)時(shí)盒罩與晶圓盒底座意外分 開(kāi)，造成晶圓被污染或者損壞。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型通過(guò)至少一標(biāo)示部顯示一底座與一盒罩是否 確實(shí)固定與密封，其確實(shí)可以避免晶圓被污染或者損壞，并減少一轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)底 部與一底板間因摩擦而產(chǎn)生微粒，減少晶圓盒受到微粒的污染。


圖l:現(xiàn)有的晶圓盒的立體分解圖。
圖2:本實(shí)用新型第一實(shí)施例的晶圓盒的立體分解圖。
圖3:本實(shí)用新型第一實(shí)施例的晶圓盒底座的解鎖狀態(tài)的俯視圖。
圖3A:圖3的局部放大圖。
圖4:本實(shí)用新型第一實(shí)施例的晶圓盒底座的扣鎖狀態(tài)的俯視圖。 圖4A:圖4的局部放大圖。
圖5:本實(shí)用新型第二實(shí)施例的晶圓盒底座的解鎖狀態(tài)的俯視圖。 圖5A:圖5的局部放大圖。
圖6:本實(shí)用新型第二實(shí)施例的晶圓盒底座的扣鎖狀態(tài)的俯視圖。 圖6A:圖6的局部放大圖。
具體實(shí)施方式
為讓本實(shí)用新型上述目的、特征及優(yōu)點(diǎn)更明顯易懂，下文特舉本實(shí)用新型 較佳實(shí)施例，并配合附圖，作詳細(xì)說(shuō)明如下
請(qǐng)參考圖2所示，其揭示本實(shí)用新型第一實(shí)施例的晶圓盒的立體分解圖。 本實(shí)用新型第一實(shí)施例的晶圓盒包含一盒罩A、 一晶圓放置架B及一晶圓盒底 座D。所述晶圓盒底座D具有一本體1，所述本體1為一內(nèi)部中空的盒體，其 內(nèi)部設(shè)有一閂鎖機(jī)構(gòu)2，其底部設(shè)有一底板3。所述盒罩A為一透明材質(zhì)的盒罩A，其套設(shè)于所述本體1上形成容置空間。所述晶圓放置架B設(shè)于所述本體 l的頂面，用以承載復(fù)多個(gè)晶圓(未繪示)。
如圖2所示，所述閂鎖機(jī)構(gòu)2包含一轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)21及二對(duì)稱設(shè)置的閂鎖板 22。所述轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)21設(shè)有一樞接孔21a、 二凸輪21b及二驅(qū)動(dòng)銷(xiāo)孔21c。所述 樞接孔21a設(shè)于所述轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)21的中心，所述二凸輪21b是對(duì)稱的設(shè)在所述 樞接孔21a的兩側(cè)，所述二驅(qū)動(dòng)銷(xiāo)孔21c分別是為一盲孔，設(shè)于所述轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān) 21的底部，且分別伸入所述二凸輪21b的內(nèi)部。所述閂鎖板22設(shè)有一抵接邊 22a及二卡掣部22b。
如圖2所示，所述底板3中央設(shè)有一環(huán)座33，所述環(huán)座33是一環(huán)型凹槽， 其是選擇以卡掣、螺固、共射成型、超音波或黏膠的方式結(jié)合一支撐環(huán)34，所 述環(huán)座33的中央凸設(shè)有一島狀凸部(未標(biāo)示)，其上開(kāi)設(shè)有一軸孔31。所述本 體1內(nèi)部中央設(shè)有一樞接座11。再者， 一樞接件a從底部向上依序穿過(guò)所述底 板3的軸孔31、所述轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)21的樞接孔21a及所述本體1的樞接座11。所 述底板3的環(huán)座33的島狀凸部進(jìn)一步設(shè)有二弧型孔32，以供一外部的驅(qū)動(dòng)裝 置(未繪示)穿過(guò)所述二弧型孔32而插設(shè)于所述轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)21的所述二驅(qū)動(dòng)銷(xiāo)孔 21c內(nèi)，以便控制所述轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)21做一限定角度的轉(zhuǎn)動(dòng)，所述閂鎖機(jī)構(gòu)2具有 一縮入位置(解鎖狀態(tài))及一伸出位置(扣鎖狀態(tài))。
綜上所述，所述支撐環(huán)34優(yōu)選是以耐磨耗的材質(zhì)制作，且其頂面的高度 略高于所述底板3的高度，因此所述轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)21的底部只會(huì)與所述支撐環(huán)34 接觸及磨擦。因?yàn)樗鲋苇h(huán)34相較其它材質(zhì)耐磨耗，所以能避免因?yàn)樗?轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)21底部與所述支撐環(huán)34之間的磨擦而產(chǎn)生微粒，從而污染所述晶圓
請(qǐng)?jiān)賲⒖紙D2所示，所述閂鎖機(jī)構(gòu)2的所述二閂鎖板22是對(duì)稱的設(shè)于所述轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)21的兩側(cè)，受到彈性件(未繪示)的作用，所述抵接邊22a是保持抵 接于所述轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)關(guān)21的凸輪21b上。另外，所述本體1 二相對(duì)的側(cè)面共開(kāi)設(shè) 有四開(kāi)口12，所述開(kāi)口 12與所述卡掣部22b的位置與數(shù)量是相對(duì)應(yīng)的，雖然 本實(shí)施例中所揭示的是四個(gè)開(kāi)口 12與四個(gè)卡掣部22b，但本實(shí)用新型并不限制 所述開(kāi)口 12與所述卡掣部22b的數(shù)量，至少二個(gè)開(kāi)口 12與卡掣部22b是基本 的需要。
請(qǐng)?jiān)賲⒖紙D2、圖3及圖4所示，當(dāng)所述閂鎖機(jī)構(gòu)2處于一解鎖狀態(tài)時(shí)， 每一所述卡掣部22b會(huì)位于所述本體1的每一所述開(kāi)口 12的內(nèi)部；當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi) 關(guān)21受外部驅(qū)動(dòng)做一限定角度的轉(zhuǎn)動(dòng)，所述凸輪21b抵接所述閂鎖板22的抵 接邊22a，推動(dòng)所述二閂鎖板22分別向外伸出一段距離。因此，當(dāng)所述閂鎖機(jī) 構(gòu)2處于一扣鎖狀態(tài)時(shí)，每一所述卡掣部22b會(huì)伸出所述本體1的每一所述開(kāi) 口12的外部，并且扣住所述盒罩A對(duì)應(yīng)設(shè)置的卡槽A1內(nèi)，從而使所述盒罩 A被鎖固于所述晶圓盒底座D上，以形成密封的狀態(tài)。
請(qǐng)參考圖2、圖3及圖3A所示，其揭示本實(shí)用新型第一實(shí)施例的晶圓盒 底座的立體分解及解鎖狀態(tài)的俯視圖。所述本體1相對(duì)于每一所述卡掣部22b 的位置開(kāi)設(shè)有開(kāi)口 12，所述本體1相鄰每一所述開(kāi)口 12的頂面或其它表面(如 所述底板3的表面)上分別設(shè)有一檢視窗口 13。另外，每一所述卡掣部上22b 設(shè)有一標(biāo)示部22c。如圖3A所示，當(dāng)所述閂鎖板22處于一縮入位置(所述閂鎖 機(jī)構(gòu)2處于一解鎖狀態(tài))，每一所述卡掣部22b及標(biāo)示部22c是位于相對(duì)應(yīng)的 檢視窗口 13的正下方，透過(guò)所述本體1頂面的檢視窗口 13，可以看到所述標(biāo) 示部22c。
請(qǐng)?jiān)賲⒖紙D2、圖4及圖4A所示，其揭示本實(shí)用新型第一實(shí)施例的晶圓 盒底座的立體分解及扣鎖狀態(tài)的俯視圖。當(dāng)所述閂鎖板22處于一伸出位置(所述閂鎖機(jī)構(gòu)2處于一扣鎖狀態(tài))，每一所述卡掣部22b及標(biāo)示部22c是伸出對(duì) 應(yīng)的開(kāi)口 12，此時(shí)，可以從所述開(kāi)口 12看到標(biāo)示部22c，而無(wú)法從所述檢視 窗口 13看到每一所述標(biāo)示部22c。因此，通過(guò)所述檢視窗口 13有無(wú)出現(xiàn)所述 標(biāo)示部22c的情形，可以目視判斷所述盒罩A與所述晶圓盒底座D是否確實(shí) 的鎖固。
綜上所述，在本實(shí)用新型第一實(shí)施例中揭示所述晶圓盒底座設(shè)有四個(gè)檢視 窗口13，其分別設(shè)于相鄰所述開(kāi)口 12的本體1頂面上。然而，本實(shí)用新型并 不限制所述檢視窗口 13的數(shù)量，當(dāng)整個(gè)閂鎖機(jī)構(gòu)2是處于一種連動(dòng)的狀態(tài)時(shí)， 至少一檢視窗口 13與至少一標(biāo)示部22c，亦能提供給使用者判斷，所述晶圓盒 的盒罩A與晶圓盒底座D是否確實(shí)鎖固。此外，所述檢視窗口 13優(yōu)選是為一 透明材質(zhì)的檢視窗口13，所述透明材質(zhì)的檢視窗口 13可選用如卡合、共射出 成型、超音波或黏膠等方式來(lái)固設(shè)于所述本體1上。另外，所述標(biāo)示部22c的 顏色或材質(zhì)優(yōu)選是采用相異于所述閂鎖板22的醒目顏色或材質(zhì)，例如紅色、 黃色或者熒光色，所述標(biāo)示部22c可選用黏貼、噴涂或卡合的方式來(lái)制作于所 述閂鎖板22上。
請(qǐng)參考圖5及圖5A所示，其揭示本實(shí)用新型第二實(shí)施例的晶圓盒底座解 鎖狀態(tài)的俯視圖。本實(shí)用新型第二實(shí)施例的晶圓盒底座是相似于本實(shí)用新型第 一實(shí)施例，其不同之處在于每一所述標(biāo)示部22c不是設(shè)于所述卡掣部22b上， 而是設(shè)于每一所述卡掣部22b鄰近的內(nèi)側(cè)。如圖5A所示，當(dāng)所述閂鎖板22 處于一縮入位置(所述閂鎖機(jī)構(gòu)2處于一解鎖狀態(tài))，雖然各卡掣部22b是位于 相對(duì)應(yīng)的檢視窗口 13的正下方，但所述每一所述標(biāo)示部22c不位于相對(duì)應(yīng)的 檢視窗口 13的正下方，透過(guò)所述本體1頂面的檢視窗口 13，無(wú)法看到所述標(biāo) 示部22c。請(qǐng)?jiān)賲⒖紙D6及圖6A所示，其揭示本實(shí)用新型第二實(shí)施例的晶圓盒底座 扣鎖狀態(tài)的俯視圖。當(dāng)所述閂鎖板22處于一伸出位置(所述閂鎖機(jī)構(gòu)2處于一 扣鎖狀態(tài))，每一所述卡掣部22b是伸出對(duì)應(yīng)的開(kāi)口 12，而每一所述標(biāo)示部22c 位于相對(duì)應(yīng)的檢視窗口 13的正下方。此時(shí)，可以從所述檢視窗口13，看到每 一所述標(biāo)示部22c。因此，通過(guò)所述檢視窗口 13有無(wú)出現(xiàn)所述標(biāo)示部22c的情 形，可以目視判斷所述盒罩A與所述晶圓盒底座D是否確實(shí)的鎖固。
雖然，本實(shí)用新型的第一及第二實(shí)施例是利用單一色彩的標(biāo)示部22c有無(wú) 出現(xiàn)于檢視窗口 13中，就能判斷所述盒罩A與所述晶圓盒底座D是否確實(shí)的 鎖固。但進(jìn)一步的，也可利用二種不同顏色的標(biāo)示部22c設(shè)于所述閂鎖機(jī)構(gòu)2 上，禾U用所述閂鎖板22處于縮入及伸出的不同位置，可以透過(guò)檢視窗口 13看 到不同的顏色，用以判斷所述盒罩A與所述晶圓盒底座D是否確實(shí)的鎖固。
綜上所述，相較于現(xiàn)有的晶圓盒，雖然使用一閂鎖機(jī)構(gòu)2來(lái)鎖固一盒罩與 晶圓盒底座，但由于缺乏檢視的機(jī)制，使得在搬運(yùn)所述未確實(shí)鎖固的晶圓盒時(shí)， 有可能使所述晶圓盒內(nèi)的晶圓受到微粒污染或損壞。圖2的本實(shí)用新型通過(guò)檢 視窗口及實(shí)質(zhì)對(duì)應(yīng)設(shè)于一閂鎖機(jī)構(gòu)的標(biāo)示部，用以目視判斷所述閂鎖機(jī)構(gòu)是否 確實(shí)鎖固所述盒罩。藉此，可確保所述盒罩與所述晶圓盒底座確實(shí)固定與密封， 以免搬運(yùn)時(shí)盒罩意外脫落，造成晶圓被污染或者損壞。
權(quán)利要求1、一種晶圓盒底座，其包含一本體，其兩側(cè)面形成至少二開(kāi)口；及一閂鎖機(jī)構(gòu)，其設(shè)于所述本體內(nèi)，所述閂鎖機(jī)構(gòu)具有一伸出位置及一縮入位置，并設(shè)有至少二卡掣部對(duì)應(yīng)于所述至少二開(kāi)口，所述至少二卡掣部是在所述至少二開(kāi)口外的一伸出位置及所述至少二開(kāi)口內(nèi)的一縮入位置之間移動(dòng)；其特征在于所述晶圓盒底座還包含至少一標(biāo)示部，其設(shè)于所述至少二卡掣部的至少其一；以及至少一檢視窗口，其對(duì)應(yīng)所述至少一標(biāo)示部而設(shè)于所述本體的表面；所述閂鎖機(jī)構(gòu)位于所述縮入位置，所述至少一標(biāo)示部是位于所述至少一檢視窗口的下方；所述閂鎖機(jī)構(gòu)位于所述伸出位置，所述至少一標(biāo)示部是伸出所述對(duì)應(yīng)的開(kāi)口。
2、 如權(quán)利要求1所述的晶圓盒底座，其特征在于所述閂鎖機(jī)構(gòu)包含一轉(zhuǎn) 動(dòng)開(kāi)關(guān)及二對(duì)稱設(shè)置的閂鎖板。
3、 如權(quán)利要求1所述的晶圓盒底座，其特征在于所述至少一檢視窗口為 一透明材質(zhì)的檢視窗口。
4、 如權(quán)利要求1所述的晶圓盒底座，其特征在于所述至少一標(biāo)示部為一 顏色或材質(zhì)異于閂鎖板的標(biāo)示部。
5、 如權(quán)利要求1所述的晶圓盒底座，其特征在于所述晶圓盒底座還包含 一底板，所述底板設(shè)有一環(huán)座及一支撐環(huán)，所述支撐環(huán)為一耐磨材質(zhì)的 支撐環(huán)。
6、 一種晶圓盒底座，其包含一本體，其兩側(cè)面形成至少二開(kāi)口；及一閂鎖機(jī)構(gòu)，其設(shè)于所述本體內(nèi)，所述閂鎖機(jī)構(gòu)具有一伸出位置及一縮 入位置，并設(shè)有至少二卡掣部對(duì)應(yīng)于所述至少二開(kāi)口，所述至少二卡掣 部是在所述至少二開(kāi)口外的一伸出位置及所述至少二開(kāi)口內(nèi)的一縮入 位置之間移動(dòng)；其特征在于所述晶圓盒底座還包含 至少一標(biāo)示部，其設(shè)于所述閂鎖機(jī)構(gòu)的至少二卡掣部的至少其一；以及 至少一檢視窗口，其對(duì)應(yīng)所述至少一標(biāo)示部而設(shè)于所述本體的表面；所 述閂鎖機(jī)構(gòu)位于所述縮入位置，所述至少一標(biāo)示部未位于所述至少一檢 視窗口的下方；所述閂鎖機(jī)構(gòu)位于所述伸出位置，所述至少一標(biāo)示部是 位于所述至少一檢視窗口的下方。
7、 如權(quán)利要求6所述的晶圓盒底座，其特征在于所述閂鎖機(jī)構(gòu)包含一轉(zhuǎn) 動(dòng)開(kāi)關(guān)及二對(duì)稱設(shè)置的閂鎖板。
8、 如權(quán)利要求6所述的晶圓盒底座，其特征在于所述至少一檢視窗口為 一透明材質(zhì)的檢視窗口。
9、 如權(quán)利要求6所述的晶圓盒底座，其特征在于所述至少一標(biāo)示部為一 顏色或材質(zhì)異于閂鎖板的標(biāo)示部。
10、 如權(quán)利要求6所述的晶圓盒底座，其特征在于所述晶圓盒底座還包含 一底板，所述底板設(shè)有一環(huán)座及一支撐環(huán)，所述支撐環(huán)為一耐磨材質(zhì)的 支撐環(huán)。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)一種晶圓盒底座，其包含一本體、至少二開(kāi)口、一閂鎖機(jī)構(gòu)、至少一標(biāo)示部及至少一檢視窗口。所述本體與一盒罩及一晶圓放置架組合，共同形成一用以承載晶圓的晶圓盒。所述至少二開(kāi)口對(duì)稱的設(shè)于所述本體的兩側(cè)面。所述閂鎖機(jī)構(gòu)設(shè)于所述本體內(nèi)，其具有至少二卡掣部可伸出所述至少二開(kāi)口，以固鎖所述盒罩。所述至少一標(biāo)示部設(shè)于所述閂鎖機(jī)構(gòu)的至少二卡掣部的至少其一。所述至少一檢視窗口，其實(shí)質(zhì)對(duì)應(yīng)所述至少一標(biāo)示部而設(shè)于所述本體的表面，透過(guò)所述至少一檢視窗口是否顯示所述至少一標(biāo)示部的情形，以判斷所述閂鎖機(jī)構(gòu)是否確實(shí)固鎖所述盒罩。
文檔編號(hào)H01L21/673GK201327822SQ20082017884
公開(kāi)日2009年10月14日 申請(qǐng)日期2008年11月12日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月12日
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