專利名稱：處理裝置和搬送方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及例如連續(xù)搬送在軟磁盤等中使用的柔韌性薄膜(flexible film)并依次進(jìn)行多個(gè)處理的處理裝置以及該處理裝置中的 處理方法。
背景技術(shù)：
由于軟磁盤薄并且具有可撓性，因此，能夠設(shè)置在曲面上，此外， 與現(xiàn)有的在玻璃基板上形成的平板顯示器相比不易破損，因此，期待 應(yīng)用于各式各樣的用途。已知這種軟磁盤具有有機(jī)發(fā)光層，關(guān)于具有有機(jī)發(fā)光層的軟磁盤 的技術(shù)例如已在日本特開2000-268954號(hào)公報(bào)、特開2004-361774號(hào)中 公開。在制造軟磁盤時(shí)，有一種方法是對(duì)連續(xù)搬送的柔韌性薄膜依次實(shí) 施多個(gè)處理，但是，在處理過程中， 一邊連續(xù)搬送一邊實(shí)施的處理、 以及如真空處理那樣必須停止搬送而實(shí)施的處理相互混在一起，此外 各個(gè)處理時(shí)間(TACT)并不固定，無法形成理想的生產(chǎn)流程，因此， 產(chǎn)生TAT (Turn Around Time:完成產(chǎn)品所需時(shí)間)延長(zhǎng)這樣的問題。不僅是軟磁盤，而且在一邊連續(xù)搬送柔韌性薄膜一邊實(shí)施多個(gè)處 理的情況下，也會(huì)發(fā)生同樣的問題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠以較短的TAT進(jìn)行一邊連續(xù)搬 送柔韌性薄膜一邊實(shí)施的多個(gè)處理的處理裝置以及處理裝置中的處理 方法。根據(jù)本發(fā)明的第一觀點(diǎn)，提供一種處理裝置，其是對(duì)被連續(xù)搬送的柔韌性薄膜依次實(shí)施多個(gè)處理的處理裝置，其特征在于，包括連續(xù)搬送上述柔韌性薄膜的搬送機(jī)構(gòu)；對(duì)上述柔韌性薄膜實(shí)施第一處理的第一處理單元；對(duì)上述柔韌性薄膜實(shí)施第二處理的第二處理單元；和根據(jù)在上述第一處理單元與上述第二處理單元之間產(chǎn)生的上述柔韌性薄膜的搬送速度差進(jìn)行上述柔韌性薄膜的緩沖的緩沖機(jī)構(gòu)。在上述第一觀點(diǎn)中，作為上述緩沖機(jī)構(gòu)，可以采用具有巻起搬送 中的上述柔韌性薄膜并能夠移動(dòng)地設(shè)置的移動(dòng)輥，通過該移動(dòng)輥的移 動(dòng)進(jìn)行上述柔韌性薄膜的緩沖的結(jié)構(gòu)。在這種情況下，上述移動(dòng)輥具有第一輥和第二輥，通過使它們移 動(dòng)能夠在兩個(gè)方向緩沖上述柔韌性薄膜。此外，上述緩沖機(jī)構(gòu)可以構(gòu)成為具有在利用上述移動(dòng)輥緩沖上述 柔韌性薄膜時(shí)按壓上述柔韌性薄膜的按壓?jiǎn)卧Ｉ鲜霭磯簡(jiǎn)卧梢跃?有在利用上述移動(dòng)輥進(jìn)行緩沖吋以按壓上述柔韌性薄膜彎曲的部分的 方式設(shè)置的輔助輥，此外，上述按壓?jiǎn)卧部梢跃哂性诶蒙鲜鲆苿?dòng) 輥進(jìn)行緩沖時(shí)向上述柔韌性薄膜彎曲的部分吹出氣體的鼓風(fēng)機(jī)(blower)。進(jìn)一步，上述緩沖機(jī)構(gòu)還可以具有使上述移動(dòng)輥移動(dòng)的輥移動(dòng)機(jī) 構(gòu)、和控制上述輥移動(dòng)機(jī)構(gòu)從而控制上述柔韌性薄膜的緩沖距離的控 制部。此外，上述搬送機(jī)構(gòu)可以構(gòu)成為具有滾子，沿著搬送路徑設(shè)置有多個(gè)，上述柔韌性薄膜在其上移動(dòng)；和使上述滾子中的一個(gè)或者多個(gè)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明的第二觀點(diǎn)，提供一種搬送方法，其是處理裝置中的 搬送方法，上述處理裝置具有對(duì)柔韌性薄膜實(shí)施第一處理的第一處理 單元、和對(duì)上述柔韌性薄膜實(shí)施第二處理的第二處理單元，用于對(duì)被 連續(xù)搬送的柔韌性薄膜連續(xù)依次實(shí)施上述第一處理以及上述第二處理，上述搬送方法的特征在于根據(jù)在上述第一處理單元和上述第二 處理單元之間產(chǎn)生的上述柔韌性薄膜的搬送速度差進(jìn)行上述柔韌性薄 膜的緩沖。根據(jù)本發(fā)明，由于通過設(shè)置有緩沖機(jī)構(gòu)，根據(jù)第一處理單元與第 二處理單元之間產(chǎn)生的柔韌性薄膜的搬送速度差，能夠進(jìn)行柔韌性薄 膜的緩沖，因此，在任何一個(gè)處理裝置因真空處理等而停止搬送的狀態(tài)下實(shí)施處理，或者兩個(gè)處理單元的處理時(shí)間(TACT)不同等情況下，不僅能盡量縮短停止柔韌性薄膜的搬送的時(shí)間，而且能夠縮短TAT。


圖1表示本發(fā)明一實(shí)施方式的處理裝置的概略側(cè)視圖。圖2是用于說明本發(fā)明一實(shí)施方式的處理裝置的動(dòng)作的立體圖， 表示不使緩沖機(jī)構(gòu)動(dòng)作的狀態(tài)的圖。圖3是用于說明本發(fā)明一實(shí)施方式的處理裝置的動(dòng)作的立體圖， 表示緩沖機(jī)構(gòu)的第一輥動(dòng)作狀態(tài)的圖。圖4是用于說明本發(fā)明一實(shí)施方式的處理裝置的動(dòng)作的立體圖， 表示緩沖機(jī)構(gòu)的第一輥和第二輥動(dòng)作的狀態(tài)的圖。圖5表示緩沖機(jī)構(gòu)所使用的按壓?jiǎn)卧钠渌拥膱D。圖6表示緩沖機(jī)構(gòu)所使用的按壓?jiǎn)卧牧硗獾钠渌拥膱D。符號(hào)說明1:柔韌性薄膜11:第一處理單元12:第二處理單元13:搬 送機(jī)構(gòu)14:緩沖機(jī)構(gòu)15:滾子 16:驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)17a:第一輥17b: 第二輥18:輔助輥19:輥移動(dòng)機(jī)構(gòu)20:控制部21:鼓風(fēng)機(jī)100: 處理裝置G:玻璃基板具體實(shí)施方式
下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式涉及的處理裝置的主要部分的側(cè)視圖，圖2 4是用于說明該緩沖機(jī)構(gòu)的動(dòng)作的立體圖。該處理裝置IOO用于在柔韌性薄膜上連續(xù)地實(shí)施多個(gè)處理，例如， 能夠應(yīng)用于軟磁盤的圖案形成用涂敷顯影裝置。該處理裝置100具有連續(xù)搬送柔韌性薄膜1的搬送路徑10，作為 相鄰的處理單元而配置有對(duì)在該搬送路徑10中被搬送的柔韌性薄膜1 實(shí)施規(guī)定處理的第一處理單元11以及第二處理單元12。另外配置有用 于沿著搬送路徑IO搬送柔韌性薄膜1的搬送機(jī)構(gòu)13。而且，在第一處 理單元11與第二處理單元12之間，配置有用于調(diào)整在它們之間產(chǎn)生 的柔韌性薄膜1的搬送速度差的緩沖機(jī)構(gòu)14。第一處理單元11以及第二處理單元12例如是抗蝕劑涂敷顯影處理用的多個(gè)處理單元中的一個(gè)，可以列舉一邊連續(xù)搬送柔韌性薄膜1， 一邊實(shí)施抗蝕劑涂敷或加熱處理等的連續(xù)搬送處理的單元，此外，暫 時(shí)停止柔韌性薄膜1，實(shí)施減壓干燥這樣的真空工藝等的單元。搬送機(jī)構(gòu)13具有沿著搬送路徑10設(shè)置的多個(gè)滾子15、和旋轉(zhuǎn)驅(qū) 動(dòng)滾子15中的一個(gè)或者幾個(gè)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)16，從而沿著搬送方向A搬 送柔韌性薄膜1。緩沖機(jī)構(gòu)14具有可移動(dòng)地設(shè)置于在搬送路徑10中搬送的柔韌 性薄膜1的下方的，通過移動(dòng)來緩沖被搬送的柔韌性薄膜1的第一輥 17a和第二輥17b;利用這些輥進(jìn)行緩沖時(shí)壓制柔韌性薄膜1上面的輔 助輥18;使第一輥17a和第二輥17b移動(dòng)的輥移動(dòng)機(jī)構(gòu)19;以及控制 輥移動(dòng)機(jī)構(gòu)19從而控制柔韌性薄膜1的緩沖的控制部20。再者，輥移 動(dòng)機(jī)構(gòu)19也具有使第一輥17a和第二輥17b沿著搬送柔韌性薄膜1的 方向進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的功能。緩沖機(jī)構(gòu)14的第一輥17a也如圖2所示，當(dāng)未進(jìn)行緩沖時(shí)在搬送 路徑10的下方待機(jī)，第二輥Hb在圖2中沒有表示，但在搬送路徑10 的側(cè)面待機(jī)。而且，在進(jìn)行緩沖時(shí)，如圖3所示，首先，第一輥17a 上升，然后抬起在用輔助輥18按壓柔韌性薄膜1上面的端部的狀態(tài)下 而被搬送的柔韌性薄膜l。進(jìn)一步地，在想要延長(zhǎng)緩沖距離的情況下， 如圖4所示，從側(cè)面將第二輥17b插入到柔韌性薄膜1的被抬起的部 分，并且使第一輥17a沿著柔韌性薄膜1的搬送方向移動(dòng)。由此，就 能進(jìn)行上方和搬送方向的兩個(gè)方向的緩沖，并且能夠獲得更多的緩沖 距離的調(diào)整余量(代L3)。而且，根據(jù)第一處理單元11與第二處 理單元12的柔韌性薄膜1的搬送速度差，通過控制部20對(duì)這樣的緩 沖距離進(jìn)行控制。為了像這樣抬高柔韌性薄膜1，需要按壓柔韌性薄膜1的上面而使 其朝著上方彎曲的一些按壓?jiǎn)卧瑸榇硕O(shè)置輔助輥18。但是，由于 柔韌性薄膜1的上面是處理面，所以輔助輥18被設(shè)置在柔韌性薄膜1 上面的端部。作為這種按壓?jiǎn)卧钠渌?，也可以使用圖5所示的沿著柔韌 性薄膜l的整個(gè)寬度吹出空氣或氮?dú)獾葰怏w的鼓風(fēng)機(jī)21。在這種情況 下，由于不與柔韌性薄膜1的上面接觸，所以對(duì)于難以在柔韌性薄膜1的上面獲取按壓部分的情況有效。另外，如圖6所示，也可以并用輔助輥18與鼓風(fēng)機(jī)21。這對(duì)進(jìn)一步確保柔韌性薄膜1的彎曲的情況有效。 下面，對(duì)采用上述方式構(gòu)成的處理裝置100的柔韌性薄膜1的搬送動(dòng)作進(jìn)行說明。利用搬送機(jī)構(gòu)13沿著搬送路徑10搬送從輸送裝置(圖中未示) 輸出的柔韌性薄膜l，在第一處理單元11中進(jìn)行規(guī)定的處理，接著， 在第二處理單元12中進(jìn)行其它的規(guī)定處理。由于在第一處理單元11中柔韌性薄膜1的搬送速度與第二處理單 元12中的搬送速度相同的情況下，能夠在這些處理單元以一定的搬送 速度進(jìn)行處理，因此，沒有必要使緩沖機(jī)構(gòu)14動(dòng)作，能夠在圖2的狀 態(tài)下進(jìn)行處理。在第一處理單元11的搬送速度大于第二處理單元12的搬送速度 的情況下，根據(jù)控制部20發(fā)出的指令來動(dòng)作緩沖機(jī)構(gòu)14。具體而言， 在第二處理單元12中停止并處理柔韌性薄膜1的情況下，如圖3所示， 利用輥移動(dòng)機(jī)構(gòu)19 (參照?qǐng)D1)使第一輥17a從搬送路徑10的下方朝 著上方移動(dòng)，從下方抬起被搬送的柔韌性薄膜1，然后進(jìn)行柔韌性薄膜 1的緩沖處理。在利用第一輥17a進(jìn)行緩沖的距離不夠的情況下，輥移動(dòng)機(jī)構(gòu)19 (參照?qǐng)Dl)如圖4所示，使第二輥17b從側(cè)面進(jìn)入，并使第一輥17a 朝著柔韌性薄膜1的搬送方向移動(dòng)，進(jìn)行兩個(gè)方向的緩沖，從而延長(zhǎng) 緩沖距離。在第一處理單元11的搬送速度小于第二處理單元12的搬送速度 的情況下，例如，可以采用在第一處理單元11中的處理后，利用緩沖 機(jī)構(gòu)14將柔韌性薄膜1緩沖規(guī)定的距離，然后在第二處理單元中實(shí)施 處理等方法。如此，利用緩沖機(jī)構(gòu)14，根據(jù)第一處理單元11與第二處理單元 12之間產(chǎn)生的柔韌性薄膜1的搬送速度差來緩沖柔韌性薄膜1，因此， 在任何一個(gè)處理裝置在因真空處理等而停止的狀態(tài)下實(shí)施處理，或者 兩個(gè)處理單元的處理時(shí)間(TACT)不同等情況下，不僅能夠盡量縮短 停止柔韌性薄膜1搬送的時(shí)間，而且能夠縮短TAT。另外，本發(fā)明并不局限于上述實(shí)施方式，可以有各種各樣的變形。例如，在上述實(shí)施方式中，對(duì)于具有第一處理單元11以及第二處理單 元12、以及設(shè)在它們之間的緩沖機(jī)構(gòu)14的處理裝置進(jìn)行了說明，但是， 這僅是最低程度，當(dāng)然，對(duì)于具有三個(gè)以上的處理單元的情況也能夠 適用。在這種情況下，在各個(gè)處理單元之間的一部分或者全部設(shè)置緩 沖機(jī)構(gòu)，根據(jù)各個(gè)處理適當(dāng)調(diào)整這些緩沖機(jī)構(gòu)的緩沖距離，這樣，就能在理想的狀態(tài)下搬送柔韌性薄膜，從而能夠極大地縮短TAT。此外，緩沖機(jī)構(gòu)并不局限于上述那樣的使輥移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，例如， 也可以采用調(diào)整搬送機(jī)構(gòu)的滾子的驅(qū)動(dòng)從而使柔韌性薄膜松弛的機(jī)構(gòu) 等其它的結(jié)構(gòu)。另外，在上述實(shí)施方式中，作為搬送機(jī)構(gòu)使用了滾子搬送，但是 并不局限于此，例如，也可以使用利用空氣的浮起搬送或傳送帶搬送 等其它的搬送機(jī)構(gòu)。工業(yè)的可利用性本發(fā)明對(duì)于在軟磁盤的制造過程等中對(duì)柔靭性薄膜連續(xù)實(shí)施多個(gè) 處理的處理裝置有效。
權(quán)利要求
1.一種處理裝置，其是對(duì)被連續(xù)搬送的柔韌性薄膜依次實(shí)施多個(gè)處理的處理裝置，其特征在于，包括連續(xù)搬送所述柔韌性薄膜的搬送機(jī)構(gòu)；對(duì)所述柔韌性薄膜實(shí)施第一處理的第一處理單元；對(duì)所述柔韌性薄膜實(shí)施第二處理的第二處理單元；和根據(jù)在所述第一處理單元與所述第二處理單元之間產(chǎn)生的所述柔韌性薄膜的搬送速度差進(jìn)行所述柔韌性薄膜的緩沖的緩沖機(jī)構(gòu)。
2. 如權(quán)利要求l所述的處理裝置，其特征在于所述緩沖機(jī)構(gòu)具有巻起搬送中的所述柔韌性薄膜并能夠移動(dòng)地設(shè) 置的移動(dòng)輥，通過該移動(dòng)輥的移動(dòng)進(jìn)行所述柔韌性薄膜的緩沖。
3. 如權(quán)利要求2所述的處理裝置，其特征在于所述移動(dòng)輥具有第一輥和第二輥，通過使它們移動(dòng)，在兩個(gè)方向 緩沖所述柔韌性薄膜。
4. 如權(quán)利要求2或3所述的處理裝置，其特征在于 所述緩沖機(jī)構(gòu)具有在利用所述移動(dòng)輥緩沖所述柔韌性薄膜時(shí)按壓所述柔韌性薄膜的按壓?jiǎn)卧?br> 5. 如權(quán)利要求4所述的處理裝置，其特征在于所述按壓?jiǎn)卧哂性谝岳盟鲆苿?dòng)輥進(jìn)行緩沖時(shí)按壓所述柔韌 性薄膜彎曲的部分的方式設(shè)置的輔助輥。
6. 如權(quán)利要求4所述的處理裝置，其特征在于所述按壓?jiǎn)卧哂性诶盟鲆苿?dòng)輥進(jìn)行緩沖時(shí)向所述柔韌性薄 膜彎曲的部分吹出氣體的鼓風(fēng)機(jī)。
7. 如權(quán)利要求2或3所述的處理裝置，其特征在于 所述緩沖機(jī)構(gòu)還具有使所述移動(dòng)輥移動(dòng)的輥移動(dòng)機(jī)構(gòu)、和控制所述柔韌性薄膜的緩沖距離的控制部。
8. 如權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的處理裝置，其特征在于 所述搬送機(jī)構(gòu)具有滾子，沿著搬送路徑設(shè)置有多個(gè)，且所述柔韌性薄膜在其上移動(dòng)；和使所述滾子中的一個(gè)或者多個(gè)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)。
9. 一種搬送方法，其是處理裝置中的搬送方法，所述處理裝置具 有對(duì)柔韌性薄膜實(shí)施第一處理的第一處理單元、和對(duì)所述柔韌性薄膜 實(shí)施第二處理的第二處理單元，用于對(duì)被連續(xù)搬送的柔韌性薄膜連續(xù) 依次實(shí)施所述第一處理和所述第二處理，所述搬送方法的特征在于根據(jù)在所述第一處理單元和所述第二處理單元之間產(chǎn)生的所述柔 韌性薄膜的搬送速度差進(jìn)行所述柔韌性薄膜的緩沖。
全文摘要
本發(fā)明提供一種處理裝置，對(duì)被連續(xù)搬送的柔韌性薄膜(1)依次實(shí)施多個(gè)處理，其包括連續(xù)搬送柔韌性薄膜(1)的搬送機(jī)構(gòu)(13)；對(duì)柔韌性薄膜(1)實(shí)施第一處理的第一處理單元(11)；對(duì)柔韌性薄膜(1)實(shí)施第二處理的第二處理單元(12)；和根據(jù)在第一處理單元(11)與第二處理單元(12)之間產(chǎn)生的柔韌性薄膜(1)的搬送速度差來緩沖柔韌性薄膜(1)的緩沖機(jī)構(gòu)(14)。
文檔編號(hào)H01L21/677GK101329994SQ20081011023
公開日2008年12月24日 申請(qǐng)日期2008年6月18日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月21日
發(fā)明者川內(nèi)拓男 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社