專(zhuān)利名稱(chēng)：固態(tài)成像裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種固態(tài)成像裝置，其包含固態(tài)圖像傳感元件，其中 該元件具有以線(xiàn)性排列形成的多個(gè)光敏晶體管。
背景技術(shù)：
日本特開(kāi)專(zhuān)利公開(kāi)No. H6-163，950 (1994)描述了常規(guī)的固態(tài)成 像裝置的典型例子。圖7示出了日本特開(kāi)專(zhuān)利公開(kāi)No. H6-163，950描 述的固態(tài)成像裝置沿寬度方向的剖視圖。在模制外殼118基本中央的位置，固態(tài)成像裝置110包含細(xì)長(zhǎng)的 固態(tài)圖像傳感元件120，其中該模制外殼包含被稱(chēng)為"島"的金屬層 112。固態(tài)圖像傳感元件120被安裝在金屬層112上。固態(tài)圖像傳感元 件120的表面配置有接合焊盤(pán)，其在此未示出。內(nèi)引線(xiàn)134的表面被 暴露在模制外殼118內(nèi)。接合焊盤(pán)通過(guò)接合線(xiàn)140與內(nèi)引線(xiàn)134導(dǎo)電 連接。此外，內(nèi)引線(xiàn)134延伸穿過(guò)并到達(dá)模制外殼118之外，與模制 外殼118外部的外引線(xiàn)130相連接。模制外殼118的上開(kāi)口被透明板 122封裝。該類(lèi)型的結(jié)構(gòu)還在日本特開(kāi)專(zhuān)利公開(kāi)No.H7-86，542 (1995)、日 本特開(kāi)專(zhuān)利公開(kāi)No. H7-161，954 ( 1995)、日本特開(kāi)專(zhuān)利公開(kāi)No. Hll-330，285 ( 1997)和日本特開(kāi)專(zhuān)利公開(kāi)No. 2001-68， 578中被描述。另外，如圖8所示，日本特開(kāi)專(zhuān)利公開(kāi)No. 2000-228,475描述了具有金屬層112的引線(xiàn)框，其中該金屬層 具有較大尺寸，并且位于固態(tài)圖像傳感元件的放大單元正下方的區(qū)域 中。依據(jù)這種構(gòu)造，來(lái)自固態(tài)圖像傳感元件的放大單元的熱能夠快速 地被釋放。然而，在釋放由固態(tài)圖像傳感元件的放大單元產(chǎn)生的熱的過(guò)程中， 如上所述的常規(guī)技術(shù)面臨著待解決的問(wèn)題。近年來(lái)，需要減小固態(tài)成像裝置的尺寸，并為獲得更密集的像素 排列進(jìn)行了開(kāi)發(fā)，以及進(jìn)行了固態(tài)圖像傳感元件的小型化。這樣的開(kāi) 發(fā)導(dǎo)致固態(tài)圖像傳感元件的放大單元產(chǎn)生的熱量增加，造成固態(tài)圖像 傳感元件溫度的升高和像素溫度分布的不均勻。這對(duì)固態(tài)成像裝置讀 取的圖像質(zhì)量產(chǎn)生了不利的影響，導(dǎo)致固態(tài)成像裝置可靠性的大幅度 惡化。因此，在工業(yè)中需要通過(guò)以提高的效率對(duì)來(lái)自固態(tài)圖像傳感元 件的放大單元的熱進(jìn)行釋放，從而降低固態(tài)圖像傳感元件在操作中的 溫度，以提供像素的均衡的溫度分布，從而獲得固態(tài)圖像傳感元件的 穩(wěn)定的成像功能。更具體地說(shuō)，本發(fā)明旨在為由于減小固態(tài)成像裝置尺寸而產(chǎn)生的 新問(wèn)題提供解決方案，并且通過(guò)在釋放固態(tài)圖像傳感元件的放大單元 產(chǎn)生的熱時(shí)獲得提高的效率來(lái)解決該問(wèn)題。發(fā)明內(nèi)容在一個(gè)實(shí)施例中，提供了一種固態(tài)成像裝置，包含細(xì)長(zhǎng)的襯底；暴露于襯底的表面并沿襯底細(xì)長(zhǎng)的方向延伸的金屬層；以及安裝在金屬層上的細(xì)長(zhǎng)的固態(tài)圖像傳感元件，其中位于固態(tài)圖像傳感元件放大 單元正下方的金屬層的區(qū)域的厚度大于金屬層的其它區(qū)域的厚度。由于根據(jù)本發(fā)明，形成在放大單元正下方的固態(tài)圖像傳感元件的 區(qū)域內(nèi)的金屬層較厚，因此放大單元產(chǎn)生的熱能夠以改善的效率被釋放。這使得能提供像素的均衡的溫度分布，從而獲得固態(tài)成像裝置穩(wěn) 定的成像功能。依據(jù)本發(fā)明，提供了一種改善的熱釋放能力，其能釋放固態(tài)圖像 傳感元件的放大單元產(chǎn)生的熱，從而能提供具有改善的成像功能的固 態(tài)成像裝置。


通過(guò)下述結(jié)合附圖對(duì)特定優(yōu)選實(shí)施例的描述，本發(fā)明的上述以及 其它發(fā)明目的、優(yōu)點(diǎn)和特性將更加明顯易懂，其中圖1示出了依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的固態(tài)成像裝置的示意性平面圖；圖2示出了沿線(xiàn)a-a的圖1所示的固態(tài)成像裝置的剖視圖；圖3示出了第一實(shí)施例中的圖2所示的固態(tài)成像裝置的放大剖視圖；圖4示出了依據(jù)本實(shí)施例用于制造固態(tài)成像裝置的引線(xiàn)框的示意 性平面圖；圖5示出了包含實(shí)驗(yàn)結(jié)果的表格，其示出了固態(tài)成像裝置的熱阻 和第二金屬層的厚度之間的關(guān)系；圖6示出了圖2所示的第二實(shí)施例中的固態(tài)成像裝置10的放大剖視圖；圖7示出了常規(guī)的固態(tài)成像裝置沿寬度方向的剖視圖；以及 圖8示出了用于制造現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)公開(kāi)的固態(tài)成像裝置的引線(xiàn)框 的示意性平面圖。
具體實(shí)施方式
下面參考說(shuō)明性實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行描述。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員 將認(rèn)識(shí)到，根據(jù)本發(fā)明的教導(dǎo)，能實(shí)現(xiàn)多種可選實(shí)施例，并且本發(fā)明 并不局限于為說(shuō)明性目的而示例的實(shí)施例。下面參考附圖，對(duì)根據(jù)本發(fā)明的例示性實(shí)現(xiàn)進(jìn)行說(shuō)明。其中在說(shuō)明附圖時(shí)，相同的附圖標(biāo)記表示功能相同的元件，因此將不再重復(fù)多 余的描述。第一實(shí)施例圖1示出了第一實(shí)施例的固態(tài)成像裝置10的示意性平面圖，圖2 示出了圖l所示的固態(tài)成像裝置10沿線(xiàn)a-a的剖視圖，以及圖3示出 了局部放大的剖視圖，對(duì)圖2所示的固態(tài)成像裝置IO進(jìn)行說(shuō)明。固態(tài)成像裝置IO包含細(xì)長(zhǎng)的襯底(模制外殼18)，金屬層16， 其暴露在模制外殼18的表面中，并沿著模制外殼18細(xì)長(zhǎng)的方向延伸， 以及細(xì)長(zhǎng)的固態(tài)圖像傳感元件20，其被安裝在金屬層16上。固態(tài)成像 裝置IO具有長(zhǎng)而窄的幾何形狀，例如其具有，長(zhǎng)度約55mm，寬度約 10mm，以及厚度約8mm。模制外殼18具有盒子的形狀，其在上端打開(kāi)以形成上部開(kāi)口，且 該上部開(kāi)口被如玻璃片等的透明板22封閉，從而形成了中空的封裝形 式。細(xì)長(zhǎng)的金屬層16的表面暴露在模制外殼18內(nèi)部上表面基本中央 的部分，且固態(tài)圖像傳感元件20被安裝在金屬層16的表面上。如圖2所示，金屬層16包含第一金屬層12和第二金屬層14，且 其被設(shè)計(jì)為，第一金屬層12在模制外殼18內(nèi)被暴露。如圖2和3所 示，第二金屬層14粘附在位于固態(tài)圖像傳感元件20的放大單元正下 方的區(qū)域中的第一金屬層12的背面，且位于放大單元正下方區(qū)域的金 屬層16的厚度大于金屬層16的其它區(qū)域的厚度。第一金屬層12包含銅作為主要組成成分，其還包含含有鐵、磷、 錫等的合金，其層厚約為0.25mm。第二金屬層14包含一種或多種金屬，其中該金屬選自由包含銅、 鋁及其合金構(gòu)成的一組金屬。在本實(shí)施例中，無(wú)氧銅可作為銅使用。無(wú)氧銅具有更好的導(dǎo)熱率，因而更適合被采用。第二金屬層14的厚度"a"約為1.5mm。這里使用的典型固態(tài)圖像傳感元件20是一維電荷耦合器件 (CCD)，其在一端包含輸入電極，在另一端包含一放大單元和輸出 電極，以及包含在兩端之間數(shù)千個(gè)排列形成直線(xiàn)圖案的像素。固態(tài)圖 像傳感元件20產(chǎn)生的熱集中在放大單元上。本實(shí)施例中使用的固態(tài)圖 像傳感元件20可以采用功耗為0.4W至2W的固態(tài)圖像傳感元件。典 型的固態(tài)圖像傳感元件20可以是細(xì)長(zhǎng)形的裝置，其具有如下尺寸，例 如，長(zhǎng)幾十mm，寬0.3至1.2mm，厚0.3至0.7mm。在固態(tài)圖像傳感元件20的細(xì)長(zhǎng)方向上，在兩端的表面上包含多個(gè) 接合焊盤(pán)(未示出)，并且該接合焊盤(pán)通過(guò)多個(gè)在模制外殼18內(nèi)暴露 的內(nèi)引線(xiàn)(未示出)和接合線(xiàn)與其導(dǎo)電連接。此外，內(nèi)引線(xiàn)延伸穿過(guò)模制外殼18并與模制外殼18外部的外引 線(xiàn)相連接。引線(xiàn)部分包含內(nèi)引線(xiàn)和外引線(xiàn)30。本實(shí)施例的固態(tài)成像裝置IO可以如下制造。首先，如銅合金等的 金屬條通過(guò)沖壓工藝形成具有特定幾何形狀的引線(xiàn)框。引線(xiàn)框包含被 稱(chēng)為"島"的第一金屬層12，內(nèi)引線(xiàn)34，外引線(xiàn)30以及框。隨后， 如圖4所示，金屬板被粘附，從而形成固態(tài)圖像傳感元件20的放大單 元正下方的區(qū)域，從而配置第二金屬層14?？梢酝ㄟ^(guò)沖壓工藝對(duì)如無(wú) 氧銅等金屬條進(jìn)行成型來(lái)獲得金屬板?？梢允褂谜掣絼瑹o(wú)氧銅等的金屬板粘附到第一金屬層12的 背面，或者通過(guò)加熱和壓縮，將經(jīng)過(guò)鍍錫處理的金屬板和鍍有金的第 一金屬層12的背面粘附到待粘附的表面。然后，引線(xiàn)框被存儲(chǔ)在特定的金屬模具中，該引線(xiàn)框具有形成在其中的第二金屬層14，然后使用絕緣的熱硬化樹(shù)脂等進(jìn)行模制工藝，從而形成模制外殼18。模制外殼18具有盒子的形狀，其上端具有開(kāi)口， 且第一金屬層12的表面在其內(nèi)表面內(nèi)暴露，以及內(nèi)引線(xiàn)34的表面在 第一金屬層12端部的附近暴露。隨后，固態(tài)圖像傳感元件20通過(guò)如環(huán)氧樹(shù)脂、硅樹(shù)脂、聚酰亞胺 樹(shù)脂等熱硬化樹(shù)脂(管芯接合材料)被粘附在第一金屬層12表面中基 本中央的部分，其中該第一金屬層暴露在模制外殼18的內(nèi)表面上。然后，通過(guò)各自的接合線(xiàn)，暴露在模制外殼18中的內(nèi)引線(xiàn)34被 連接到形成在固態(tài)圖像傳感元件20表面上的接合焊盤(pán)。如上所述，在內(nèi)引線(xiàn)34通過(guò)上述接合線(xiàn)連接到接合焊盤(pán)后，透明 板22被粘貼到模制外殼18上開(kāi)口端的開(kāi)口，從而封閉模制外殼18的 上開(kāi)口。然后，去除引線(xiàn)框的不希望的部分，之后對(duì)外引線(xiàn)30中的部 分進(jìn)行彎曲處理，從而制造出本實(shí)施例的固態(tài)成像裝置10。如上所述制造的本實(shí)施例的固態(tài)成像裝置10可以被用作線(xiàn)傳感 器，用于具有成像能力的電子設(shè)備，例如影印機(jī)、掃描儀等。下面對(duì)采用上述構(gòu)造的本實(shí)施例的固態(tài)成像裝置IO可獲得的優(yōu)點(diǎn) 進(jìn)行說(shuō)明。依據(jù)本實(shí)施例的固態(tài)成像裝置10，由于在固態(tài)圖像傳感元 件20的放大單元正下方的區(qū)域內(nèi)形成的金屬層較厚，因此放大單元產(chǎn) 生的熱能夠以改善的效率被釋放。因此，抑制了固態(tài)圖像傳感元件20 溫度的升高，提供像素均衡的溫度分布，從而獲得穩(wěn)定的成像功能。另外，與在其中整個(gè)固態(tài)圖像傳感元件正下方的區(qū)域中的延伸到 其整個(gè)長(zhǎng)度的金屬層被形成為較厚的構(gòu)造相比，本構(gòu)造具有以下好處， 例如能抑制固態(tài)成像裝置的熱變形，降低制造成本，降低產(chǎn)品重量， 簡(jiǎn)化制造工序等。如果在整個(gè)固態(tài)圖像傳感元件正下方沿其整個(gè)長(zhǎng)度延伸的區(qū)域內(nèi) 都形成較厚的金屬層，則會(huì)造成金屬層和鑄模樹(shù)脂間產(chǎn)生相當(dāng)大的熱 膨脹差異，導(dǎo)致在制造和操作中可能造成固態(tài)成像裝置的熱變形。相 反地，具有局部較厚的金屬層的構(gòu)造能使得熱膨脹差異的影響最小化， 因而能防止固態(tài)成像裝置的熱變形，從而提供更高的產(chǎn)量和提高分辨 率的成像產(chǎn)品。另外，金屬層16可以包含第一金屬層12和第二金屬層14，在固 態(tài)圖像傳感元件20的放大單元正下方區(qū)域中可以形成第一金屬層12 和第二金屬層14的多層結(jié)構(gòu)，以及也可以在其它區(qū)域中使用包括第一 金屬層12的單層結(jié)構(gòu)。即使使用了這樣一種金屬，其表現(xiàn)出較低的強(qiáng)度和較低的彈性模 數(shù)，但具有較高的熱傳導(dǎo)率，雖然其不適合作為引線(xiàn)框的材料，但上 述構(gòu)造仍允許使用這種金屬作為第二金屬層14，這樣可以實(shí)現(xiàn)顯示出 進(jìn)一步改善的熱釋放能力的固態(tài)成像裝置。另外，在本實(shí)施例中，將第二金屬層14粘附到第一金屬層12背 面的工序提供了多層結(jié)構(gòu)的金屬層16，與通過(guò)采用金屬層的單片模制 工藝生產(chǎn)多層結(jié)構(gòu)的情況相比，可以獲得更簡(jiǎn)單的生產(chǎn)該裝置的工序。 此外，由于第二金屬層14的金屬成分可以被選擇為不同于第一金屬層 12，因而能在裝置設(shè)計(jì)中獲得的更大程度的靈活性。除此之外，固態(tài)成像裝置10的熱阻可以被選擇為等于或低于35 攝氏度/W，且第二金屬層14的厚度可以被選擇為等于或大于lmm。這確保能獲得上述的有益效果，更進(jìn)一步地，即使配置了第二金 屬層14，由于固態(tài)圖像傳感元件產(chǎn)生的熱而導(dǎo)致固態(tài)成像裝置10的溫 度升高也能被降低到可允許的范圍，從而更有效地抑制固態(tài)成像裝置的成像功能的惡化。例如，由于采用固態(tài)成像裝置10的電子設(shè)備中的溫度通常升高到65攝氏度左右，因而對(duì)功耗為1W的固態(tài)成像裝置10，該固態(tài)成像裝 置io需要具有等于或低于35攝氏度/W的熱阻，從而在使用固態(tài)成像 裝置IO時(shí)溫度上限等于或低于100攝氏度。為了獲得固態(tài)成像裝置10 的熱阻和第二金屬層14的厚度在下述情況下的關(guān)系，進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)。該 實(shí)驗(yàn)的結(jié)果在圖5的表格中示出。*固態(tài)成像裝置10的長(zhǎng)度70mm，寬度9mm;*第一金屬層12的材料銅合金(K F C:可以從Kobe Steel， Ltd.商業(yè)獲得)，厚度0.25mm;*第二金屬層14的材料無(wú)氧銅，熱傳導(dǎo)率391W/mk;*固態(tài)圖像傳感元件20的長(zhǎng)度49mm,寬度0.8mm，功耗 1W;以及*安裝材料(用于提供第一金屬層12到固態(tài)圖像傳感元件20的 粘附)使用三種材料，其具有熱傳導(dǎo)率4W/mk， 2W/mk和1.2W/mk。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示，通過(guò)選擇第二金屬層14的厚度等于或大于lmm， 與安裝材料的熱傳導(dǎo)率無(wú)關(guān)地，可以將固態(tài)成像裝置io的熱阻被設(shè)計(jì) 為等于或低于35攝氏度/W。這證實(shí)了，通過(guò)采用上述構(gòu)造，能抑制由 于固態(tài)圖像傳感元件20產(chǎn)生的熱而造成的溫度升高，從而更有效地抑 制成像功能的惡化。除此之外，第二金屬層14的厚度上限足以處于裝 置設(shè)計(jì)的可允許范圍之內(nèi)，舉例來(lái)說(shuō)，不超過(guò)2mm。此外，即使固態(tài) 成像裝置IO被設(shè)計(jì)成在使用中具有更高的溫度上限，用于容納采用固 態(tài)成像裝置IO的電子設(shè)備中的更高的溫度，仍然可以獲得上述的效果。第二實(shí)施例參考附圖，只對(duì)第二實(shí)施例的固態(tài)成像裝置IO與第一實(shí)施例的固 態(tài)成像裝置10的不同特性進(jìn)行描述，而不再重復(fù)其相似的特性。第二實(shí)施例的固態(tài)成像裝置IO在其它區(qū)域中的第一金屬層12中包含兩個(gè)凸出部分24，其中其它區(qū)域是指除了位于固態(tài)圖像傳感元件 20的放大單元正下方的區(qū)域以外的區(qū)域。固態(tài)圖像傳感元件20部分地 安裝在位于放大單元正下方的區(qū)域的第一金屬層14上，且其也部分地 安裝在其它區(qū)域中的凸出部分24上。這使得能大體上保持固態(tài)圖像傳 感元件20水平，從而提供固態(tài)成像裝置IO的穩(wěn)定的成像功能。凸出部分24可以由模制樹(shù)脂制成。考慮到所使用的模制樹(shù)脂的固 化收縮而確定凸出部分24從第一金屬層12的表面的高度。除了凸出部分24的模制過(guò)程外，本實(shí)施例的固態(tài)成像裝置10也 可以按第一實(shí)施例相似的方法制造。為了形成凸出部分24，可以釆用 具有空穴的金屬模具，其中該空穴對(duì)應(yīng)于凸出部分24。下面對(duì)采用上述構(gòu)造的第二實(shí)施例的固態(tài)成像裝置IO可獲得的優(yōu) 點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明。當(dāng)如第一實(shí)施例中在固態(tài)圖像傳感元件20的放大單元正 下方區(qū)域中配置了第二金屬層14時(shí)，在模制過(guò)程中所導(dǎo)致的樹(shù)脂的熱 收縮和固化收縮程度在具有第二金屬層14的位置和沒(méi)有附加金屬層的 位置中是不同的。更具體地說(shuō)，具有第二金屬層14 (薄的樹(shù)脂)的位 置由于樹(shù)脂量較少而顯示出較小的收縮，而在沒(méi)有第二金屬層14的位 置(樹(shù)脂較厚)由于樹(shù)脂量較大而顯示出較大的收縮。因此，第一金 屬層12表面的高度可能局部地變化。然而，這種高度的變化很小，因 此通常不會(huì)造成問(wèn)題。盡管如此，當(dāng)固態(tài)成像裝置10的成像功能需要進(jìn)一步提高的精度 時(shí)，最好能減小第一金屬層12表面高度的變化。本實(shí)施例中的固態(tài)成像裝置IO還在第一金屬層12的表面上額外 配置了凸出部分24，其能補(bǔ)償樹(shù)脂熱收縮和固化收縮的不同的量。因此，即使固態(tài)圖像傳感元件20被安裝在第一金屬層12的表面上，固 態(tài)圖像傳感元件20也能保持基本水平，因而不會(huì)產(chǎn)生由于第一金屬層 12表面高度不同而造成的熱變形和/或波狀。因此，能獲得固態(tài)成像裝 置10更穩(wěn)定的成像功能，從而能獲得更高精度的成像。雖然參考附圖通過(guò)上述實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式進(jìn)行了 說(shuō)明，但仍可能有不同于上述公開(kāi)的其它各種修改。雖然參考示例性實(shí)施方式描述的本實(shí)施例僅在固態(tài)圖像傳感元件 20的一端配置有放大單元，但當(dāng)其兩端都具有放大單元時(shí)，在兩端的 放大單元的正下方區(qū)域中的金屬層16的厚度可以都大于其它區(qū)域中金 屬層16的厚度。雖然參考說(shuō)明性實(shí)現(xiàn)所描述的金屬層16具有包含第一金屬層12 和第二金屬層14的多層結(jié)構(gòu)，可選地，金屬層16也可以是通過(guò)對(duì)這 些金屬層進(jìn)行單片模制工藝而形成的單一部件。第二金屬層14可以包含具有不同金屬成分的多個(gè)層。雖然第二實(shí) 施例的固態(tài)成像裝置IO在第一金屬層12的表面上包含兩個(gè)凸出部分， 假如固態(tài)圖像傳感元件20能被保持基本水平，則包含至少一個(gè)或多個(gè) 凸出部分也就足夠了。另外，本實(shí)施例可以被配置為，金屬層16的底表面可以位于與模 制外殼18的底表面相同的平面中。當(dāng)固態(tài)成像裝置10被安裝時(shí)，這 允許金屬層16的底表面能與基板相接觸，從而提供更好的熱釋放能力。從模制外殼18上表面的金屬層16的厚度可以被設(shè)計(jì)成高于常規(guī) 的固態(tài)成像裝置。例如，可以采用2mm左右的高度。這樣，即使有雜 物附著在透明板22的表面上，也能防止如像素故障等的缺陷特性。另外，在模制外殼18的細(xì)長(zhǎng)方向的基本中央的部分中，在模制外殼18的內(nèi)壁和固態(tài)圖像傳感元件20之間可以配置樹(shù)脂層，其中該樹(shù) 脂層的上表面高于固態(tài)圖像傳感元件20的表面(傳感器表面)。這能 減少由于環(huán)境光的干擾而造成的成像失敗。很明顯，本發(fā)明并不局限于上述實(shí)施例，可以在不背離本發(fā)明的 保護(hù)范圍和精神的情況下對(duì)其進(jìn)行修改和改變。
權(quán)利要求
1.一種固態(tài)成像裝置，包含細(xì)長(zhǎng)的襯底；金屬層，其暴露于所述襯底的表面，并在襯底細(xì)長(zhǎng)的方向上延伸；以及細(xì)長(zhǎng)的固態(tài)圖像傳感元件，其安裝在所述金屬層上，其中位于所述固態(tài)圖像傳感元件的放大單元正下方的所述金屬層的區(qū)域的厚度大于所述金屬層的其他區(qū)域的厚度。
2. 如權(quán)利要求l所述的固態(tài)成像裝置，其中所述金屬層包含第一 金屬層和第二金屬層，其中位于所述固態(tài)圖像傳感元件的放大單元正下方的所述金屬層 的區(qū)域包含所述第一金屬層和所述第二金屬層，其中第二金屬層設(shè)置 在第一金屬層的下表面上，以及其中所述金屬層的其它區(qū)域由所述第一金屬層構(gòu)成。
3. 如權(quán)利要求2所述的固態(tài)成像裝置，其中所述第二金屬層包含 一種或多種金屬，其中所述金屬選自包含銅、鋁及其合金所構(gòu)成的組。
4. 如權(quán)利要求2所述的固態(tài)成像裝置，其中所述固態(tài)成像裝置的 熱阻等于或低于35攝氏度/W，以及所述第二金屬層的厚度等于或大于 lmiru
5. 如權(quán)利要求l所述的固態(tài)成像裝置，其進(jìn)一步包括在其它區(qū)域 中的所述金屬層的表面上的至少一個(gè)凸出部分，其中其它區(qū)域是指除 了位于放大單元正下方的所述區(qū)域以外的區(qū)域，其中所述固態(tài)圖像傳感元件部分地安裝在位于所述放大單元正下 方的所述區(qū)域中的所述金屬層上，且所述固態(tài)圖像傳感元件也部分地 安裝在其它區(qū)域中的所述凸出部分上，因此所述固態(tài)圖像傳感元件能 保持基本水平。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種具有改善的熱釋放能力的固態(tài)成像裝置，其能釋放固態(tài)圖像傳感元件的放大單元產(chǎn)生的熱。本發(fā)明的固態(tài)成像裝置10包含細(xì)長(zhǎng)的襯底(模制外殼18)，金屬層16，其暴露于模制外殼18的表面，并沿著模制外殼18細(xì)長(zhǎng)的方向延伸，以及細(xì)長(zhǎng)的固態(tài)圖像傳感元件20，其被安裝在金屬層16上，其中位于固態(tài)圖像傳感元件20放大單元正下方的區(qū)域中的金屬層16的厚度大于金屬層16的其它區(qū)域的厚度。
文檔編號(hào)H01L23/02GK101236983SQ20081000853
公開(kāi)日2008年8月6日 申請(qǐng)日期2008年1月23日 優(yōu)先權(quán)日2007年1月23日
發(fā)明者成田博史 申請(qǐng)人:恩益禧電子股份有限公司