專利名稱：基板搬送裝置及基板支承體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基板搬送裝置以及基板支承體，詳細(xì)的說，涉及用于搬送例如平板顯示器(FPDflat panel display)用大型玻璃基板等的基板搬送裝置及其所使用的基板支承體。
背景技術(shù)：
在液晶顯示器(LCD)所代表的平板顯示器(FPD)的生產(chǎn)過程中，通常使用具有多個(gè)在真空狀態(tài)下對(duì)基板進(jìn)行蝕刻、灰化、成膜等的規(guī)定處理的真空處理裝置的、所謂多室(multichamber)型的真空處理系統(tǒng)。
上述真空處理系統(tǒng)包括設(shè)置有搬送作為被處理基板的玻璃基板的搬送裝置的搬送室、以及設(shè)置在其周圍的多個(gè)處理室，利用搬送室內(nèi)的搬送臂，在將被處理基板搬入各個(gè)處理室內(nèi)的同時(shí)，將處理完畢的基板從各個(gè)真空處理裝置的處理室中搬出。并且，負(fù)載鎖定室(loadlock)與搬送室連接，在進(jìn)行大氣側(cè)的基板的搬入搬出時(shí)，可以在將處理室以及搬送室維持在真空狀態(tài)的情況下，進(jìn)行多枚基板的處理。
然而最近，對(duì)于LCD玻璃基板的大型化的需求變得強(qiáng)烈，已經(jīng)出現(xiàn)了一邊長(zhǎng)度超過2m的巨大的玻璃基板，與此對(duì)應(yīng)，裝置也變得大型化，裝置中采用的各種組成部件也變得大型化。特別是在搬送基板的搬送裝置中，用于接收、傳遞基板的搬送臂和具有設(shè)置在搬送臂上的多個(gè)拾取部(pick)的基板支承體均趨于長(zhǎng)尺化，在使搬送臂伸展的狀態(tài)下從其基端部到上述拾取部的先端的長(zhǎng)度達(dá)到數(shù)米。
如上所述，如果搬送臂以及基板支承體變長(zhǎng)，則即使在沒有載置基板的狀態(tài)下，由于其自重，也會(huì)從搬送臂的基端部到拾取部的前端部產(chǎn)生弓狀的撓曲。而且在將大型基板載置在基板支承體上的狀態(tài)下，由于加上了基板的荷重，撓曲增大，從而難以將載置在基板支承體上的基板維持在水平狀態(tài)，對(duì)于基板的接收傳遞造成障礙，致使基板的載置位置產(chǎn)生偏移，存在無法進(jìn)行高精度的處理的問題。
為了解決隨著基板的大型化而產(chǎn)生的基板支承體的彎曲問題，提案出了如下基板搬送裝置將作為支承基板的基板支承體的支承柄(hand)從其基端部開始沿前端部進(jìn)行分割，同時(shí)，將多個(gè)分割體經(jīng)由連結(jié)軸以自由旋轉(zhuǎn)的方式依次連結(jié)，并在各個(gè)連結(jié)部設(shè)置了修正支承柄的撓曲的多個(gè)撓曲修正機(jī)構(gòu)(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。
另外，也提案出了如下基板搬送裝置考慮到支承柄的撓曲，預(yù)先將支承柄加熱成形，或形成相互貼合熱收縮率不同的兩種材料的結(jié)構(gòu)形式，使支承柄具有向上方的彎曲(例如，專利文獻(xiàn)2)。
專利文獻(xiàn)1日本特開2005-286097號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2實(shí)用新型登記第3080143號(hào)公報(bào)在上述專利文獻(xiàn)1的基板搬送裝置中，由于為了將支承柄維持在大致水平的狀態(tài)而采用了多關(guān)節(jié)結(jié)構(gòu)，支承柄的結(jié)構(gòu)復(fù)雜并且部件數(shù)量較多，也增加了生產(chǎn)工序。另外，由于結(jié)構(gòu)復(fù)雜而導(dǎo)致故障多發(fā)，也增加了維修的人工。更有甚者，由于將與基板直接接觸的支承柄形成為多關(guān)節(jié)結(jié)構(gòu)形式，由可動(dòng)部(關(guān)節(jié)部分)的摩擦而產(chǎn)生顆粒，從而具有污染基板的可能性。另外，上述專利文獻(xiàn)2的基板搬送裝置雖然結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，但由于事先賦予支承柄的彎曲的量固定，因而存在在實(shí)際的基板搬送中無法對(duì)彎曲量進(jìn)行微調(diào)整的問題。
如上所述，雖然為了適應(yīng)基板的大型化，提出了通過研究基板支承體的結(jié)構(gòu)，以水平的方式支承基板從而進(jìn)行搬送的方案，但還是不能令人滿意。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的問題而提出的，其目的在于提供一種基板搬送裝置，其即使在搬送大型基板的情況下也可以將基板保持在大致水平的狀態(tài)。
為了解決上述課題，本發(fā)明的第一個(gè)觀點(diǎn)是提供一種搬送基板的基板搬送裝置，其特征在于，包括支承基板的基板支承體，其具有連結(jié)在共用的拾取部基部上的多個(gè)拾取部；可以滑動(dòng)地支承所述基板支承體，同時(shí)可以自行在水平方向上進(jìn)退的搬送臂；和驅(qū)動(dòng)所述搬送臂的驅(qū)動(dòng)部，使所述拾取部?jī)A斜，使得所述拾取部的前端部位于高于其基端部的高度位置上。
在上述第一觀點(diǎn)中，優(yōu)選多個(gè)所述拾取部分別以獨(dú)立的角度傾斜。另外，優(yōu)選將基板載置在所述拾取部上，并且使所述搬送臂在最大的伸展?fàn)顟B(tài)下，使所述拾取部按基板大致處于水平狀態(tài)的角度傾斜。
本發(fā)明的第二觀點(diǎn)提供一種搬送基板的基板搬送裝置，其特征在于，包括支承基板的基板支承體，其具有連結(jié)在共用的拾取部基部上的多個(gè)拾取部；可以滑動(dòng)地支承所述基板支承體，同時(shí)可以自行在水平方向上進(jìn)退的搬送臂；和驅(qū)動(dòng)所述搬送臂的驅(qū)動(dòng)部，使所述拾取部在其基端部附近彎曲，使得所述拾取部的前端部位于高于其基端部的高度位置上。
在上述第二觀點(diǎn)中，優(yōu)選使多個(gè)所述拾取部分別以獨(dú)立的角度彎曲。另外，優(yōu)選將基板載置在所述拾取部上，并且使所述搬送臂在最大的伸展?fàn)顟B(tài)下，使所述拾取部按基板大致處于水平狀態(tài)的角度彎曲。
另外，在上述第一和第二觀點(diǎn)中，優(yōu)選所述拾取部使用能夠調(diào)節(jié)所述拾取部相對(duì)于水平方向所成的角度的固定部件，與所述拾取部基部進(jìn)行連結(jié)。另外，優(yōu)選所述固定部件與所述拾取部的基端部接合，對(duì)所述拾取部施加相反方向的力，調(diào)節(jié)固定角度。在這種情況下，也可以是如下結(jié)構(gòu)形式，所述固定部件與所述拾取部的基端部接合，由在垂直方向上牽引所述拾取部的螺釘和在垂直方向上按壓所述拾取部的螺釘構(gòu)成。
另外，優(yōu)選所述基板支承體的所述拾取部基部被安裝在可以使所述搬送臂移動(dòng)的滑動(dòng)部件上，同時(shí)包括可以任意調(diào)整其安裝角度的安裝角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
另外，也可以是如下結(jié)構(gòu)形式，在所述拾取部上設(shè)置有沿其寬度方向突出形成的支承軸，通過以該支承軸為支點(diǎn)使所述拾取部旋轉(zhuǎn)來調(diào)節(jié)其安裝角度。在這種情況下，優(yōu)選還包括角度調(diào)節(jié)部件，該角度調(diào)節(jié)部件具有可以與所述支承軸進(jìn)行間隙嵌合并且可以調(diào)節(jié)其內(nèi)徑的貫穿孔，通過在將所述支承軸插入所述貫穿孔的狀態(tài)下，縮小該貫穿孔的內(nèi)徑，對(duì)所述拾取部的安裝角度進(jìn)行微調(diào)整。
另外，優(yōu)選所述搬送臂被收容在真空室內(nèi)，所述驅(qū)動(dòng)部，至少其下部被設(shè)置為外露于所述真空室的外部，并且，該下部被固定在載置所述真空室的支承框上。這時(shí)，在所述真空室的底板上形成有開口部，所述驅(qū)動(dòng)部的上部被插入該開口部?jī)?nèi)，并且，通過密封部件在存在間隙的狀態(tài)下密封其與該開口部之間。另外，所述基板為大型玻璃基板。
本發(fā)明的第三觀點(diǎn)是提供一種在基板搬送裝置中支承基板的基板支承體，其特征在于具有與共同的拾取部基部連結(jié)的多個(gè)拾取部，所述拾取部?jī)A斜使得所述拾取部的前端部位于高于其基端部的高度位置上。
在上述第三觀點(diǎn)中，優(yōu)選多個(gè)所述拾取部分別以獨(dú)立的角度傾斜。
另外，本發(fā)明的第四觀點(diǎn)是提供一種在基板搬送裝置中支承基板的基板支承體，其特征在于具有與共同的拾取部基部連結(jié)的多個(gè)拾取部，所述拾取部的基端部附近彎曲使得所述拾取部的前端部位于高于其基端部的高度位置上。
在上述第四觀點(diǎn)中，優(yōu)選多個(gè)所述拾取部分別以獨(dú)立的角度彎曲。
根據(jù)本發(fā)明，在具有連結(jié)在共用的拾取部基部的多個(gè)拾取部的基板支承體中，使拾取部?jī)A斜使得拾取部的前端部位于高于其基端部的高度位置上，或者使其在基端部附近彎曲，即使在將基板支承在拾取部上的狀態(tài)下也能夠防止基板的傾斜，能夠在將基板維持在基本水平的狀態(tài)下進(jìn)行搬送。特別是在搬送大型基板的基板搬送裝置中，即使由于搬送臂的自重和基板的荷重而發(fā)生傾斜，也能夠?qū)⒒灞３炙健?br> 另外，由于采用使拾取部?jī)A斜固定、或者彎曲這樣簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，不需要復(fù)雜的設(shè)備，而且能夠任意調(diào)節(jié)傾斜角度或彎曲角度，因而具有在設(shè)置基板支承體后也可以進(jìn)行微調(diào)整的優(yōu)點(diǎn)。


圖1是簡(jiǎn)要地表示具有本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式涉及的搬送裝置的真空處理系統(tǒng)的立體圖。
圖2是圖1的真空處理系統(tǒng)的水平截面圖。
圖3是表示控制部的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的框圖。
圖4是說明圖1的真空處理系統(tǒng)中的搬送室的垂直截面構(gòu)結(jié)構(gòu)及其支承框結(jié)構(gòu)的圖。
圖5是表示圖4的搬送裝置的搬送單元的立體圖。
圖6是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的滑動(dòng)拾取部的側(cè)面圖。
圖7是表示拾取部及拾取部基部的安裝結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵部位截面圖。
圖8是表示將基板載置在滑動(dòng)拾取部上的狀態(tài)的圖。
圖9是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的滑動(dòng)拾取部的側(cè)面圖。
圖10是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式的滑動(dòng)拾取部，(a)是外觀立體圖、(b)是拾取部部分的關(guān)鍵部位立體圖。
圖11是圖10的滑動(dòng)拾取部的關(guān)鍵部位平面圖。
圖12是圖11的沿XII-XII線箭頭所示方向的截面圖。
圖13是圖11的沿XIII-XIII線箭頭所示方向的截面圖。
圖14是表示將基板載置在滑動(dòng)拾取部上進(jìn)行搬送的狀態(tài)的圖。
符號(hào)說明1真空處理系統(tǒng)；10a、10b、10c處理室；20搬送室；30負(fù)載鎖定室；50搬送裝置；60控制部；201拾取部基部；202、203、204拾取部；210牽引螺釘；211按壓螺釘；501搬送單元；502驅(qū)動(dòng)單元；510上層搬送機(jī)構(gòu)部；513滑動(dòng)拾取部；520下層搬送機(jī)構(gòu)部；523滑動(dòng)拾取部；530箱(box)型支承部。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖，對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行說明。此處，針對(duì)將本發(fā)明的搬送裝置使用在用于對(duì)FPD用玻璃基板(以下僅稱“基板”)S進(jìn)行等離子處理的多室型的真空處理系統(tǒng)的例子進(jìn)行說明。這里，作為FPD，例示了液晶顯示器(LCD)、電致發(fā)光(ELElectroLuminescence)顯示器、以及等離子顯示器面板(PDP)等。
圖1是簡(jiǎn)要表示具有本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式涉及的搬送裝置的真空處理系統(tǒng)的立體圖，圖2是簡(jiǎn)要表示其內(nèi)部的水平截面圖。
在該真空處理系統(tǒng)1中，搬送室20和負(fù)載鎖定室30一起設(shè)置在其中央部。在搬送室20的周圍配設(shè)有三個(gè)處理室10a、10b、10c。
在搬送室20與負(fù)載鎖定室30之間、搬送室20與各個(gè)處理室10a、10b、10c之間、以及將負(fù)載鎖定室30與外側(cè)大氣環(huán)境連通的開口部上分別插有閘閥22，該閘閥構(gòu)成為氣密性地密封上述部件之間并且使之可以開關(guān)。
在負(fù)載鎖定室30的外側(cè)上設(shè)置有兩個(gè)盒式換位器(cassetteindexer)41，在其上分別載置有收容基板S的盒40。在這些盒40的一個(gè)內(nèi)能夠收容例如未處理基板，在另一個(gè)內(nèi)能夠收容處理完畢的基板。這些盒40可以利用升降機(jī)構(gòu)42進(jìn)行升降。
在上述兩個(gè)盒40之間，在支承臺(tái)44上設(shè)置有搬送機(jī)構(gòu)43，該搬送機(jī)構(gòu)43包括設(shè)置在上下兩層上的拾取部45、46、以及以能夠整體進(jìn)出后退及旋轉(zhuǎn)的方式支承上述拾取部的基部47。
上述處理室10a、10b、10c能夠?qū)⑵鋬?nèi)部空間保持在規(guī)定的減壓環(huán)境下，在其內(nèi)部進(jìn)行等離子處理，例如蝕刻處理或灰化處理。由于這樣具有三個(gè)處理室，例如可以將其中的兩個(gè)處理室作為蝕刻處理室而構(gòu)成，將剩下的一個(gè)處理室作為灰化處理室而構(gòu)成，或者可以將三個(gè)處理室全部作為進(jìn)行同一處理的蝕刻處理室或灰化處理室而構(gòu)成。此外，處理室的個(gè)數(shù)不僅限于三個(gè)，也可以是四個(gè)以上。
搬送室20與作為真空處理室的處理室10a～10c一樣，可以保持在規(guī)定的減壓環(huán)境，如圖2所示，其中配設(shè)有搬送裝置50。所以，利用該搬送裝置50在負(fù)載鎖定室30以及三個(gè)處理室10a、10b、10c之間搬送基板S。關(guān)于搬送裝置50將在后面詳述。
負(fù)載鎖定室30與各個(gè)處理室10以及搬送室20一樣能夠保持規(guī)定的減壓環(huán)境。另外，負(fù)載鎖定室30在處于大氣環(huán)境中的盒40與處于減壓環(huán)境中的處理室10a、10b、10c之間用于進(jìn)行基板S的傳遞接受，由于在大氣環(huán)境與減壓環(huán)境之間循環(huán)，因而盡可能形成小的內(nèi)部容積。在負(fù)載鎖定室30中，基板收容部31被設(shè)為上下兩層(圖2中僅圖示上層)，在各個(gè)基板收容部31上設(shè)置支承基板S的多個(gè)緩沖部件32，在上述這些緩沖部件32之間形成有滑動(dòng)拾取部513、523(后述)的退刀槽(relief groove)32a。另外，在負(fù)載鎖定室30內(nèi)，在矩形基板S的相互相對(duì)的角部附近設(shè)置有進(jìn)行位置調(diào)節(jié)的定位裝置(positioner)33。
真空處理系統(tǒng)1的各結(jié)構(gòu)部分構(gòu)成為與控制部60連接并被其所控制(圖1中省略圖示)?？刂撇?0的概要如圖3所示?？刂撇?0包括具有CPU的處理(process)控制器61，在該處理控制器61上連接有工序管理者為了管理真空處理系統(tǒng)1而進(jìn)行命令的輸入操作等的鍵盤、以及由可視化地顯示真空處理系統(tǒng)1的運(yùn)作狀況的顯示器等構(gòu)成的用戶界面62。
另外，控制部60包括存儲(chǔ)部63，存儲(chǔ)部收容用于在處理控制器61的控制下而實(shí)現(xiàn)在真空處理系統(tǒng)1中進(jìn)行的各種處理的控制程序(軟件)以及記錄著處理?xiàng)l件數(shù)據(jù)等的技巧方法(recipe)，該存儲(chǔ)部63與處理控制器61連接。
并且，根據(jù)需要，在來自用戶界面62的指示等之下將任意的方法從存儲(chǔ)部63中調(diào)出使之在處理控制器61中運(yùn)行，在處理控制器61的控制下在真空處理系統(tǒng)1中進(jìn)行所期望的處理。
上述控制程序或處理?xiàng)l件數(shù)據(jù)等的方法，可以利用存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)可以讀取的存儲(chǔ)介質(zhì)中，例如存儲(chǔ)在CD-ROM、硬盤、軟磁盤、以及快速閃存器內(nèi)的狀態(tài)下，或者也可以利用從其他裝置、例如經(jīng)由專用線路使之隨時(shí)傳送的在線使用方式。
以下，針對(duì)本實(shí)施方式的搬送裝置進(jìn)行詳細(xì)說明。
圖4是表示具有搬送裝置50的搬送室20及其支承結(jié)構(gòu)的垂直截面圖。該搬送裝置50包括進(jìn)行搬送操作的搬送單元501、以及驅(qū)動(dòng)搬送單元501的驅(qū)動(dòng)單元502。另外，圖5是表示搬送裝置50的搬送單元501的立體圖。
搬送單元501是設(shè)有兩層滑動(dòng)拾取部并且滑動(dòng)拾取部可以分別獨(dú)立地進(jìn)行基板的搬入搬出的類型的單元，其包括上層搬送機(jī)構(gòu)部510和下層搬送機(jī)構(gòu)部520。
上層搬送機(jī)構(gòu)部510包括基部511、設(shè)在基部511上可以滑動(dòng)的滑動(dòng)臂512、以及以可以滑動(dòng)的方式設(shè)置在該滑動(dòng)臂512上的作為支承基板的支承臺(tái)的滑動(dòng)拾取部513?；瑒?dòng)拾取部513包括拾取部基部201以及與該拾取部基部201連接的多個(gè)(例如四個(gè))拾取部202。
另外，在滑動(dòng)臂512的側(cè)壁上設(shè)置有導(dǎo)軌515和導(dǎo)軌516，導(dǎo)軌515用于滑動(dòng)拾取部513相對(duì)于滑動(dòng)臂512進(jìn)行滑動(dòng)，導(dǎo)軌516用于滑動(dòng)臂512相對(duì)基部511進(jìn)行滑動(dòng)。并且，在滑動(dòng)拾取部513上設(shè)置有沿導(dǎo)軌515滑動(dòng)的滑塊517，在基部511上設(shè)置有沿導(dǎo)軌516進(jìn)行滑動(dòng)的滑塊518。
下層搬送機(jī)構(gòu)部520包括基部521、設(shè)置在基部521上可以滑動(dòng)的滑動(dòng)臂522、以及以可以滑動(dòng)的方式設(shè)置在該滑動(dòng)臂522上的作為支承基板的支承臺(tái)的滑動(dòng)拾取部523。滑動(dòng)拾取部523包括拾取部基部201以及連接在該拾取部基部201上的多個(gè)(例如四個(gè))拾取部202。
另外，在滑動(dòng)臂522的側(cè)壁上設(shè)置有導(dǎo)軌525和導(dǎo)軌526，導(dǎo)軌525用于滑動(dòng)拾取部523相對(duì)于滑動(dòng)臂522進(jìn)行滑動(dòng)，導(dǎo)軌526用于滑動(dòng)臂522相對(duì)基部521進(jìn)行滑動(dòng)。并且，在滑動(dòng)拾取部523上設(shè)置有沿導(dǎo)軌525滑動(dòng)的滑塊527，在基部521上設(shè)置有沿導(dǎo)軌526進(jìn)行滑動(dòng)的滑塊528。
基部511和基部521通過連結(jié)部531和532進(jìn)行連結(jié)，由基部511、521、連結(jié)部531、532構(gòu)成箱型支承部530，該箱型支承部530以可以旋轉(zhuǎn)的形式設(shè)置在支承板551上，利用箱型支承部530的旋轉(zhuǎn)，上部搬送機(jī)構(gòu)部510和下部搬送機(jī)構(gòu)部520旋轉(zhuǎn)。
另外，在支承板551的下方設(shè)置有搬送裝置50的驅(qū)動(dòng)單元502。在驅(qū)動(dòng)單元502中內(nèi)置有進(jìn)行上述滑動(dòng)臂512以及522的滑動(dòng)操作、上述箱型支承部530的旋轉(zhuǎn)操作、以及搬送單元501的升降操作的各個(gè)驅(qū)動(dòng)單元(未圖示)。
如圖4所示，搬送室20被載置在設(shè)置在底面F上的支承框架101之上。另外，在搬送室20的底板20a上形成有開口部20b，形成在驅(qū)動(dòng)單元502上的凸緣部502a與該開口部20b接合，由此，形成驅(qū)動(dòng)單元502的上部插入搬送室20內(nèi)，其下部外露于搬送室20之外的狀態(tài)。在開口部20b與驅(qū)動(dòng)單元502的凸緣部502a之間，在上下兩層配置有O形環(huán)等的密封部件102、103，由此，在確保兩部件的接合面的氣密性的同時(shí)，使兩部件在保持間隙的狀態(tài)下進(jìn)行接合。
即，驅(qū)動(dòng)單元502通過密封部件102、103在搬送室20的底板20a的開口部20b上呈間隙嵌合的狀態(tài)。另一方面，驅(qū)動(dòng)單元502在其外露于搬送室20外(下方)的下部，經(jīng)由連結(jié)框架104與支承框架101連結(jié)、固定。
在現(xiàn)有技術(shù)的搬送裝置中采用的結(jié)構(gòu)是與搬送室的底板連接并包括驅(qū)動(dòng)單元的搬送裝置的荷重，利用搬送室的底板對(duì)其進(jìn)行支承。但是，在這樣的支承結(jié)構(gòu)的情況下，當(dāng)搬送室內(nèi)為真空狀態(tài)時(shí)，由于搬送室內(nèi)外的壓力差使得搬送室的底板向內(nèi)側(cè)彎曲，與底板連結(jié)的搬送裝置也以整體被引向搬送室內(nèi)的形式向上方微小移動(dòng)，其結(jié)果，搬送單元的高度位置改變，成為導(dǎo)致基板S的接收傳遞位置等發(fā)生誤差的原因，從而降低搬送的精確度。
因此，在本發(fā)明的實(shí)施方式中，不是通過搬送室20的底板20a，而是利用支承框架101經(jīng)由連結(jié)框架104來支承搬送裝置50的荷重，由此，來防止當(dāng)搬送室20內(nèi)部被減壓排氣成為真空狀態(tài)時(shí)，由于與外部的壓力差而導(dǎo)致搬送裝置50被向上方牽引，即被向搬送室20內(nèi)牽引。由于驅(qū)動(dòng)單元502的凸緣部502a與搬送室20的底板20a利用密封部件102、103確保其氣密性，同時(shí)以有間隙的方式進(jìn)行接合，如圖4中虛線所示，即使向搬送室20內(nèi)牽引底板20a，底板產(chǎn)生彎曲，搬送裝置50上下方向的位置也不發(fā)生變化。
如上所述，通過采用搬送裝置50的支承結(jié)構(gòu)，即使搬送室20內(nèi)的壓力發(fā)生變化，搬送裝置50中的搬送單元501的高度也不發(fā)生變動(dòng)，能夠保持穩(wěn)定，因而能夠確?；錝的接收傳遞的精確度。
在下層搬送機(jī)構(gòu)部520中，來自驅(qū)動(dòng)單元502的動(dòng)力經(jīng)由內(nèi)置于滑動(dòng)臂522內(nèi)的多個(gè)滑輪以及卷繞在其上的皮帶等進(jìn)行傳遞，由此，滑動(dòng)臂522以及滑動(dòng)拾取部523進(jìn)行直線滑動(dòng)。此時(shí)，通過調(diào)整滑輪的直徑比，能夠相對(duì)滑動(dòng)臂522的移動(dòng)行程(stroke)增大滑動(dòng)拾取部523的移動(dòng)行程，從而易于適應(yīng)大型基板。
在上部搬送機(jī)構(gòu)部510中，來自驅(qū)動(dòng)單元502的動(dòng)力利用由基部521、連結(jié)部531、以及內(nèi)置于基部511的滑輪和皮帶等構(gòu)成的動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)進(jìn)行傳遞，并且，通過內(nèi)置于滑動(dòng)臂512內(nèi)的多個(gè)滑輪以及卷繞在其上的皮帶等進(jìn)行傳遞，由此，滑動(dòng)臂512以及滑動(dòng)拾取部513進(jìn)行直線滑動(dòng)。與下部搬送機(jī)構(gòu)部520一樣，通過調(diào)整滑輪的直徑比，能夠相對(duì)滑動(dòng)臂512的移動(dòng)行程增大滑動(dòng)拾取部513的移動(dòng)行程。
以下，參照?qǐng)D6～圖9針對(duì)作為基板支承體的滑動(dòng)拾取部513的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。此外，由于滑動(dòng)拾取部523與滑動(dòng)拾取部513結(jié)構(gòu)相同而省略說明。
圖6是表示滑動(dòng)拾取部513的第一實(shí)施方式的側(cè)面圖。如上所述，本實(shí)施方式的滑動(dòng)拾取部513包括拾取部基部201以及拾取部202。拾取部基部201被固定在滑塊517上。拾取部基部201由彎曲成截面視圖為日語(yǔ)“コ”字型的板而構(gòu)成，在所彎曲的上下的板之間插入多個(gè)拾取部202(本實(shí)施方式中為四個(gè)，參照?qǐng)D5)的各自的基端部，利用可以獨(dú)立調(diào)整各個(gè)拾取部202的安裝角度的未圖示的固定部件、例如螺釘?shù)葘?duì)其進(jìn)行固定。此外，作為拾取部基部201也可以采用連結(jié)上下兩塊板的部件，將拾取部202的基端部夾持在上述兩板之間。
各個(gè)拾取部202在其基端部，被傾斜地安裝在拾取部基部201上。因此，拾取部202，從其基端部側(cè)到前端部側(cè)，相對(duì)于水平軸h呈規(guī)定的角度θ1向斜上方延伸，即使減去由于拾取部202的自重而產(chǎn)生的彎曲，拾取部202的前端部的高度位置P也位于比其基端部(由拾取部基部201構(gòu)成的支承端)高的位置上。此外，圖6中顯示的傾斜角的θ1夸張地顯示了實(shí)際的角度。
圖7表示了在拾取部基部201上安裝拾取部202的安裝結(jié)構(gòu)以及在滑塊517上安裝拾取部基部201的安裝結(jié)構(gòu)。
首先，拾取部202使用兩種螺釘連結(jié)在拾取部基部201上。即，拾取部202使用沿垂直方向牽引該拾取部202的多個(gè)牽引螺釘210、以及沿垂直方向按壓拾取部202的多個(gè)按壓螺釘211，被固定在拾取部基部201上。因此，通過實(shí)現(xiàn)牽引螺釘210的牽引和按壓螺釘211的按壓的平衡，能夠任意調(diào)節(jié)固定在拾取部基部201上的拾取部202的傾斜角度θ1。
另外，配置有多個(gè)拾取部基部角度調(diào)節(jié)螺釘212，使之從滑塊517的里側(cè)貫穿滑塊517，按壓拾取部基部201下面。利用上述這些拾取部基部角調(diào)節(jié)螺釘212，能夠?qū)κ叭〔炕?01本身的安裝角度進(jìn)行微調(diào)整。此外，圖7中，符號(hào)213為將拾取部基部202安裝在滑塊517上的固定用螺釘。
并且，由于使拾取部202傾斜安裝在拾取部基部201上，使拾取部202的前端部的高度位置P位于比其基端部(由拾取部基部201構(gòu)成的支承端)的高度的高的位置上，所以如圖8所示，將基板S載置在滑動(dòng)拾取部513上，并且使滑動(dòng)臂512處于最大限度伸展的狀態(tài)下，即使滑動(dòng)臂512因其自重而彎曲、產(chǎn)生相對(duì)于水平軸h向下方呈θ2角度的傾斜，也可以與拾取部202的傾斜角度θ1(參照?qǐng)D6)相互抵消。因此，能夠以整體成基本水平的狀態(tài)支撐基板S。
在本實(shí)施方式的滑動(dòng)拾取部513中，由于通過上述簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)使拾取部202傾斜，部件數(shù)量少，生產(chǎn)也簡(jiǎn)單。另外，用于故障或維修的人工少，由于部件之間的摩擦而產(chǎn)生顆粒的可能性也少。并且，由于能夠方便且任意地改變拾取部202的傾斜角度θ1，使得在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行微調(diào)整成為可能。
此外，由于就拾取部202的傾斜角度θ1來說，能夠?qū)γ總€(gè)拾取部進(jìn)行設(shè)定，例如即使在基板S上，由于其自重，在與搬送方向(圖5的X軸方向)垂直的左右方向(圖5的Y軸方向)上產(chǎn)生彎曲，也能夠簡(jiǎn)單地應(yīng)對(duì)。例如，在滑動(dòng)拾取部513的四根拾取部202當(dāng)中，較大地設(shè)定兩端的拾取部202、202的傾斜角度，較小地設(shè)定中間的兩根拾取部202、202的傾斜角度，由此能夠矯正基板S在左右方向上的彎曲或傾斜。
圖9表示滑動(dòng)拾取部513的第二實(shí)施方式。此外，對(duì)于與第一實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)賦予相同的符號(hào)，省略對(duì)其的說明。
拾取部203在其基端部附近的彎曲部203a發(fā)生彎曲。因此，拾取部203從其彎曲部203a向前端部側(cè)與水平軸呈規(guī)定的角度θ1向斜上方延伸。因此，即使減去拾取部203的自重產(chǎn)生的彎曲，拾取部203的前端部的高度位置P也位于高于其基端部(由拾取部基部201構(gòu)成的支承端)的位置上。此外，圖9中顯示的彎曲角度比實(shí)際要夸張。
這樣，使拾取部203彎曲，使其前端部的高度位置P位于高于其基端部(由拾取部基部201構(gòu)成的支承端)的位置上，由此，能夠獲得與第一實(shí)施方式(圖6)相同的作用效果，即使將基板S載置在滑動(dòng)拾取部513上，并且使滑動(dòng)臂512處于最大限度伸展的狀態(tài)下，也能夠以整體呈基本水平的狀態(tài)支承基板S。在第二實(shí)施方式的滑動(dòng)拾取部513中，在拾取部基部201上安裝拾取部203的安裝結(jié)構(gòu)以及在滑塊517上安裝拾取部基部201的安裝結(jié)構(gòu)，能夠采用與第一實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)，故省略說明。此外，在第二實(shí)施方式中使用的具有彎曲部203a的拾取部203，與第一實(shí)施方式的滑動(dòng)拾取部513一樣，也可以在其基端部與拾取部基部201以規(guī)定的傾斜角度進(jìn)行連接。
此外，就拾取部203的彎曲角度來說，由于能夠?qū)γ總€(gè)拾取部進(jìn)行設(shè)定，例如即使基板S由于其自重，在與搬送方向(圖5的X軸方向)垂直的左右方向(圖5的Y軸方向)上產(chǎn)生彎曲，也能夠簡(jiǎn)單地應(yīng)對(duì)。即，在滑動(dòng)拾取部513的四根拾取部203當(dāng)中，較大地設(shè)定兩側(cè)部的拾取部203、203的彎曲角度，較小地設(shè)定中間的兩根拾取部202、202的彎曲角度，由此能夠矯正基板S在左右方向上的彎曲或傾斜。
圖10(a)是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式的滑動(dòng)拾取部513的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的立體圖。此外，圖10(b)表示的是將圖10(a)中用虛線所示的A部中的拾取部204放大的圖。該滑動(dòng)拾取部513包括平板狀的拾取部基部201、以及將基端部支承固定在該拾取部基部201上的拾取部204。另外，該拾取部204具有沿其寬度方向突出的軸部件(支承軸204a)。該支承軸204a貫穿拾取部204本體，沿與支承基板S的基板支承面204b平行的方向突出形成。
圖11是擴(kuò)大地表示圖10(a)中虛線所示的B部的關(guān)鍵部位平面圖。另外，圖1 2表示圖11的沿XII-XII線箭頭所示的截面圖，圖13表示圖11的沿XIII-XIII線箭頭所示的截面圖。
拾取部204的基端部通過固定部件220以規(guī)定的角度固定在拾取部基部201上。另外，在拾取部基部201上設(shè)置有支承部230，支承部230在稍微偏離該基端部的位置上以可以旋轉(zhuǎn)的方式支承拾取部204的支承軸204a。于是，拾取部204的支承軸204a與支承部230接合，由此，形成為以支承軸204a作為支點(diǎn)，拾取部204的整體微小轉(zhuǎn)動(dòng)的形式。
如圖11所示，固定部件220包括在向拾取部基部201按壓拾取部204的基端部的方向上進(jìn)行擰緊的左右一對(duì)的螺釘221、以及配置在這些按壓螺釘221兩側(cè)的三個(gè)固定螺釘222。
支承部230包括用于固定支承軸204a的、左右一對(duì)的角度調(diào)節(jié)體231；以及設(shè)置在上述角度調(diào)節(jié)體231外側(cè)的、保持支承軸204的、左右一對(duì)的軸承部件232。
如圖12所示，角度調(diào)節(jié)體231具有貫穿孔233，支承軸204a通插入該貫穿孔233中。該角度調(diào)節(jié)體231經(jīng)由軸承部件232使用螺釘234、235而固定在拾取部基部201上。另外，凹口部236形成在角度調(diào)節(jié)體231的側(cè)部(拾取部204的前端側(cè))。
如圖13所示，在軸承部件232上形成有凹陷部237，使拾取部204的支承軸204a能夠在大致水平方向上滑動(dòng)、嵌入，內(nèi)部呈弧狀。由于該凹陷部237是在將拾取部204安裝在拾取部基部201上時(shí)進(jìn)行大致的定位的部分，所以將其形成為比支承軸204a直徑的尺寸稍大，以在支承軸204a被嵌入的狀態(tài)下具有一些間隙。
通過擰緊固定部件220的按壓螺釘221，向拾取部基部201按壓拾取部204的基端部。因此，拾取部204的基端部以與支承部230嵌合的支承軸204a為支點(diǎn)下降，反之，拾取部204為使拾取部204的前端部上升至高于基端部的上方位置而傾斜。另外，與上述相反，通過擰松按壓螺釘221，拾取部204的基端部以支承軸204a為支點(diǎn)上升，反之，拾取部204的前端部下降，例如拾取部204整體成為水平狀態(tài)。
由此，通過調(diào)節(jié)按壓螺釘221的擰緊程度，能夠使拾取部204以規(guī)定的角度傾斜。然后，在使用一對(duì)的按壓螺釘221、使拾取部204的前端部稍高于基端部而傾斜的狀態(tài)下，通過擰緊三個(gè)固定螺釘222，能夠固定拾取部204的傾斜角度。這樣，利用按壓螺釘221和固定螺釘222，能夠在將拾取部204固定在規(guī)定角度的狀態(tài)下進(jìn)行保持。
另外，角度調(diào)節(jié)體231具有凹口部236，貫穿孔233的直徑稍大于支承軸204a的直徑，因而在將支承軸204a插入其中的狀態(tài)下具有間隙。于是，當(dāng)利用螺釘234、235將拾取部204的支承軸204a固定在軸承部件232上時(shí)，通過調(diào)整凹口部236側(cè)的螺釘235的擰緊程度、縮小貫穿孔233的內(nèi)徑，能夠?qū)κ叭〔?04的支承軸204a的高度位置進(jìn)行微調(diào)整，同時(shí)固定支承軸204a。即，通過凹口部236產(chǎn)生間隙，在利用螺釘235擰緊固定時(shí)，可以對(duì)插入角度調(diào)節(jié)體231的貫穿孔233內(nèi)的支承軸204a的固定位置在上下方向上進(jìn)行一些變化。因此，能夠以拾取部204的基端部為支點(diǎn)，對(duì)到拾取部204的前端部為止的傾斜角度進(jìn)行及其微小的調(diào)整。
通過使用本發(fā)明第三實(shí)施方式的滑動(dòng)拾取部513、支承基板S，與上述第一實(shí)施方式以及第二實(shí)施方式一樣，即使在滑動(dòng)臂512的伸展?fàn)顟B(tài)下滑動(dòng)臂512由于自重而彎曲，也可以將由于彎曲而產(chǎn)生的向下方的傾斜與拾取部204的傾斜角度相抵消。因此，能夠在整體呈基本水平的狀態(tài)下支承基板S。
另外，在本實(shí)施方式的滑動(dòng)拾取部513中，因?yàn)椴捎迷诟鱾€(gè)拾取部204上設(shè)置支承軸204a、通過角度調(diào)節(jié)體231以及軸承部件232對(duì)其進(jìn)行固定的結(jié)構(gòu)形式，能夠簡(jiǎn)單地對(duì)各個(gè)拾取部204的傾斜角度進(jìn)行調(diào)整，同時(shí)也可以進(jìn)行微調(diào)整。
即，將拾取部204的支承軸204a插入軸承部件232的凹陷部237，在暫時(shí)定位的穩(wěn)定狀態(tài)下，通過調(diào)整固定部件220的按壓螺釘221和固定螺釘222能夠決定拾取部204的傾斜角度，因而難以發(fā)生位置偏移，設(shè)定傾斜角度的操作變的非常容易，能夠縮短設(shè)定時(shí)間。
而且，通過對(duì)具有凹口部236的角度調(diào)節(jié)體231的螺釘235的擰緊程度進(jìn)行調(diào)整，能夠?qū)κ叭〔?04的長(zhǎng)邊方向的傾斜角度進(jìn)行微調(diào)，所以能夠進(jìn)行高精度的角度設(shè)定。
另外，利用從拾取部204的左右兩側(cè)突出的支承軸204a和角度調(diào)節(jié)體231能夠?qū)γ總€(gè)拾取部204的寬度方向的傾斜進(jìn)行修正，因而能夠在寬度方向上將各個(gè)拾取部204保持在水平的狀態(tài)下，穩(wěn)定地支承基板S。
如以上的實(shí)施方式所示，滑動(dòng)拾取部513中，如拾取部202或拾取部204所示，通過對(duì)其安裝角度進(jìn)行任意地調(diào)節(jié)，或者如拾取部203所示，通過設(shè)置彎曲部203a使之彎曲成任意的角度，使搬送時(shí)的基板S不會(huì)發(fā)生傾斜或位置偏移，正確地保持其高度位置。另外，如圖14所示，由于能夠在將基板S保持在大致水平狀態(tài)的同時(shí)，使之通過閘閥22的開口部22a內(nèi)而進(jìn)行搬送，因而能夠在負(fù)載鎖定室30以及各個(gè)處理室10a～10c之間可靠地進(jìn)行基板S的交接傳遞。而且，在搬送基板S時(shí)，由于避免了在滑動(dòng)拾取部513上發(fā)生位置偏移，所以也防止了基板S的破損等，并且，能夠?qū)⒒錝搬送至處理室10a～10c內(nèi)的正確位置，可以進(jìn)行高精度的處理(例如蝕刻等)。
以下，針對(duì)如上所述結(jié)構(gòu)的真空處理系統(tǒng)1的動(dòng)作進(jìn)行說明。
首先，使搬送機(jī)構(gòu)43的兩塊拾取部45、46進(jìn)行進(jìn)退驅(qū)動(dòng)，從收容未處理基板的一側(cè)的盒40將兩枚基板S搬入負(fù)載鎖定室30的上下兩層的基板收容部31中。
拾取部45、46退出后，關(guān)閉負(fù)載鎖定室30的大氣一側(cè)的閘閥22。之后，對(duì)負(fù)載鎖定室30內(nèi)進(jìn)行排氣，使其內(nèi)部減壓至規(guī)定的真空度。完成抽真空后，由定位器33按壓基板，進(jìn)行基板S的定位。
如上所述完成定位后，開啟搬送室20與負(fù)載鎖定室30之間的閘閥22，通過搬送室20內(nèi)的搬送裝置50接受收容在負(fù)載鎖定室30的基板收容部31內(nèi)的基板S，將其搬入處理室10a、10b、10c的任何一個(gè)中。另外，由搬送裝置50搬出在處理室10a、10b、10c中被處理過的基板S，經(jīng)過負(fù)載鎖定室30，由搬送機(jī)構(gòu)43將其收容在盒40內(nèi)。此時(shí)，可以送回到原來的盒40，也可以收容在另一個(gè)盒40內(nèi)。
另外，當(dāng)將基板S從負(fù)載鎖定室30取出時(shí)，將搬送裝置50中上層搬送機(jī)構(gòu)部510的滑動(dòng)拾取部513以及/或者下層搬送機(jī)構(gòu)部520的滑動(dòng)拾取部523插入負(fù)載鎖定室30內(nèi)，由滑動(dòng)拾取部513以及/或者523接受基板S?；瑒?dòng)拾取部513以及/或者523將接受到的基板S搬入處理室10a、10b、10c的任何一個(gè)中。此時(shí)，在基板S所試圖搬入的處理室內(nèi)已經(jīng)存在處理完畢的基板S的情況下，能夠在一方的滑動(dòng)拾取部將該基板S搬出之后，將載置在另一方的滑動(dòng)拾取部上的基板S插入處理室內(nèi)。處理完畢的基板S被滑動(dòng)拾取部513和/或523接受后，被傳遞至負(fù)載鎖定室30內(nèi)。
在利用搬送室20內(nèi)的搬送裝置50進(jìn)行如上所述的搬送時(shí)，由旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)經(jīng)由箱型支承部530使上層搬送機(jī)構(gòu)部510或下層搬送機(jī)構(gòu)部520旋轉(zhuǎn)，進(jìn)行其定位。另外，由于具有上下兩層的搬送機(jī)構(gòu)部510、520，通過未圖示的升降單元使搬送單元501進(jìn)行升降動(dòng)作，使滑動(dòng)拾取部的高度位置一致。
在上述位置定位階段，通過使滑動(dòng)臂512、522、滑動(dòng)拾取部513、523伸展或退出進(jìn)入而進(jìn)行基板S的搬送。并且，如上所述，作為滑動(dòng)拾取部513、523，通過使用在相對(duì)于拾取部基部201傾斜的狀態(tài)下安裝的拾取部202或者拾取部204、以及使用利用彎曲部203a而產(chǎn)生彎曲的拾取部203，可以在大致水平的狀態(tài)下對(duì)基板S進(jìn)行搬送，在可靠地進(jìn)行基板S的傳遞交接的同時(shí)，防止由于搬送而引起的基板S的設(shè)置誤差。
此外，本發(fā)明不僅限于上述實(shí)施方式，可以進(jìn)行各種變形。例如，上述實(shí)施方式中，作為搬送機(jī)構(gòu)，就在上下兩層設(shè)置直動(dòng)式的搬送機(jī)構(gòu)部的情況進(jìn)行了說明，但不僅限于兩層，可以是一層也可以是三層以上，不僅限于直動(dòng)式也可以采用例如多關(guān)節(jié)式。
另外，對(duì)于滑動(dòng)拾取部513、523中的將拾取部202、203、204安裝在拾取部基部201上的安裝結(jié)構(gòu)不僅限于螺釘，只要是能夠任意調(diào)節(jié)拾取部202、203、204的安裝角度的固定部件即可。
權(quán)利要求
1.一種搬送基板的基板搬送裝置，其特征在于，包括支承基板的基板支承體，其具有連結(jié)在共用的拾取部基部上的多個(gè)拾取部；可以滑動(dòng)地支承所述基板支承體，同時(shí)可以自行在水平方向上進(jìn)退的搬送臂；和驅(qū)動(dòng)所述搬送臂的驅(qū)動(dòng)部，使所述拾取部?jī)A斜，使得所述拾取部的前端部位于高于其基端部的高度位置上。
2.如權(quán)利要求1所述的基板搬送裝置，其特征在于多個(gè)所述拾取部分別以獨(dú)立的角度傾斜。
3.如權(quán)利要求1或2所述的基板搬送裝置，其特征在于將基板載置在所述拾取部上，并且使所述搬送臂在最大的伸展?fàn)顟B(tài)下，使所述拾取部按基板大致處于水平狀態(tài)的角度傾斜。
4.一種搬送基板的基板搬送裝置，其特征在于，包括支承基板的基板支承體，其具有連結(jié)在共用的拾取部基部上的多個(gè)拾取部；可以滑動(dòng)地支承所述基板支承體，同時(shí)可以自行在水平方向上進(jìn)退的搬送臂；和驅(qū)動(dòng)所述搬送臂的驅(qū)動(dòng)部，使所述拾取部在其基端部附近彎曲，使得所述拾取部的前端部位于高于其基端部的高度位置上。
5.如權(quán)利要求4所述的基板搬送裝置，其特征在于使多個(gè)所述拾取部分別以獨(dú)立的角度彎曲。
6.如權(quán)利要求4或5所述的基板搬送裝置，其特征在于將基板載置在所述拾取部上，并且使所述搬送臂在最大的伸展?fàn)顟B(tài)下，使所述拾取部按基板大致處于水平狀態(tài)的角度彎曲。
7.如權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的基板搬送裝置，其特征在于所述拾取部使用能夠調(diào)節(jié)所述拾取部相對(duì)于水平方向所成的角度的固定部件，與所述拾取部基部進(jìn)行連結(jié)。
8.如權(quán)利要求7所述的基板搬送裝置，其特征在于所述固定部件與所述拾取部的基端部接合，對(duì)所述拾取部施加相反方向的力，調(diào)節(jié)固定角度。
9.如權(quán)利要求7所述的基板搬送裝置，其特征在于所述固定部件與所述拾取部的基端部接合，由在垂直方向上牽引所述拾取部的螺釘和在垂直方向上按壓所述拾取部的螺釘構(gòu)成。
10.如權(quán)利要求1～9中任一項(xiàng)所述的基板搬送裝置，其特征在于所述基板支承體的所述拾取部基部被安裝在可以使所述搬送臂移動(dòng)的滑動(dòng)部件上，同時(shí)包括可以任意調(diào)整其安裝角度的安裝角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
11.如權(quán)利要求7所述的基板搬送裝置，其特征在于在所述拾取部上設(shè)置有沿其寬度方向突出形成的支承軸，通過以該支承軸為支點(diǎn)使所述拾取部旋轉(zhuǎn)來調(diào)節(jié)其安裝角度。
12.如權(quán)利要求11所述的基板搬送裝置，其特征在于還包括角度調(diào)節(jié)部件，該角度調(diào)節(jié)部件具有可以與所述支承軸進(jìn)行間隙嵌合并且可以調(diào)節(jié)其內(nèi)徑的貫穿孔，通過在將所述支承軸插入所述貫穿孔的狀態(tài)下，縮小該貫穿孔的內(nèi)徑，對(duì)所述拾取部的安裝角度進(jìn)行微調(diào)整。
13.如權(quán)利要求1～12中任一項(xiàng)所述的基板搬送裝置，其特征在于所述搬送臂被收容在真空室內(nèi)，所述驅(qū)動(dòng)部，至少其下部被設(shè)置為外露于所述真空室的外部，并且，該下部被固定在載置所述真空室的支承框上。
14.如權(quán)利要求13所述的基板搬送裝置，其特征在于在所述真空室的底板上形成有開口部，所述驅(qū)動(dòng)部的上部被插入該開口部?jī)?nèi)，并且，通過密封部件在存在間隙的狀態(tài)下密封其與該開口部之間。
15.如權(quán)利要求1～14中任一項(xiàng)所述的基板搬送裝置，其特征在于所述基板為大型玻璃基板。
16.一種在基板搬送裝置中支承基板的基板支承體，其特征在于具有與共同的拾取部基部連結(jié)的多個(gè)拾取部，所述拾取部?jī)A斜使得所述拾取部的前端部位于高于其基端部的高度位置上。
17.如權(quán)利要求16所述的基板支承體，其特征在于多個(gè)所述拾取部分別以獨(dú)立的角度傾斜。
18.一種在基板搬送裝置中支承基板的基板支承體，其特征在于具有與共同的拾取部基部連結(jié)的多個(gè)拾取部，所述拾取部的基端部附近彎曲使得所述拾取部的前端部位于高于其基端部的高度位置上。
19.如權(quán)利要求18所述的基板支承體，其特征在于多個(gè)所述拾取部分別以獨(dú)立的角度彎曲。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板搬送裝置，即使在搬送大型基板時(shí)，也能夠?qū)⒒灞３衷诨舅降臓顟B(tài)。就拾取部(202)來說，在其基端部，使用沿垂直方向牽引該拾取部的牽引螺釘(210)以及在垂直方向按壓拾取部(202)的按壓螺釘(211)，將該拾取部固定在拾取部基部(201)上，從其基端部側(cè)朝向前端部側(cè)與水平軸形成規(guī)定的角度向斜上方延伸，前端部的高度位置位于高于其基端部(由拾取部基部(201)形成的支承端)的位置上。
文檔編號(hào)H01L21/677GK1994841SQ200710001578
公開日2007年7月11日 申請(qǐng)日期2007年1月8日 優(yōu)先權(quán)日2006年1月6日
發(fā)明者岡部星兒, 天野健次 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社