技術(shù)編號：7225574
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及基板搬送裝置以及基板支承體，詳細(xì)的說，涉及用于搬送例如平板顯示器(FPDflat panel display)用大型玻璃基板等的基板搬送裝置及其所使用的基板支承體。背景技術(shù) 在液晶顯示器(LCD)所代表的平板顯示器(FPD)的生產(chǎn)過程中，通常使用具有多個在真空狀態(tài)下對基板進(jìn)行蝕刻、灰化、成膜等的規(guī)定處理的真空處理裝置的、所謂多室(multichamber)型的真空處理系統(tǒng)。上述真空處理系統(tǒng)包括設(shè)置有搬送作為被處理基板的玻璃基板的搬送裝置的搬送室、...
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