專(zhuān)利名稱：引線框架的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種制造引線框架的方法，尤其涉及這樣的制造引線框架的方法，其通過(guò)蝕刻成形為長(zhǎng)部件的工件來(lái)制造引線框架。
背景技術(shù)：
引線框架的制造方法被粗略地分成兩組，一組方法通過(guò)壓印來(lái)制造引線框架，以及另一組方法通過(guò)蝕刻來(lái)制造引線框架。
當(dāng)通過(guò)壓印來(lái)制造引線框架時(shí)，采用由長(zhǎng)部件構(gòu)成的工件。然后，通過(guò)在長(zhǎng)的工件中形成單排的引線框架片來(lái)制造引線框架，每個(gè)所述引線框架片都包括一個(gè)或多個(gè)引線框架。
另一方面，當(dāng)通過(guò)蝕刻來(lái)制造引線框架時(shí)，存在采用由長(zhǎng)部件構(gòu)成的工件的情況和采用大板材的情況。采用由長(zhǎng)部件構(gòu)成的工件的情況包括下列情況通過(guò)在長(zhǎng)的工件中將引線框架片排列成單排來(lái)制造引線框架，每個(gè)所述引線框架片都包括一個(gè)或多個(gè)引線框架；以及通過(guò)在長(zhǎng)的工件中將引線框架片排列成多排來(lái)制造引線框架，每個(gè)所述引線框架片都包括一個(gè)或多個(gè)引線框架。在采用板材作為工件的情況中，通過(guò)在片狀工件中將引線框架片排列成多排來(lái)制造引線框架，每個(gè)所述引線框架片都包括一個(gè)或多個(gè)引線框架。
在通過(guò)蝕刻來(lái)制造引線框架的情況中，首先對(duì)工件的表面涂覆光敏抗蝕劑。隨后，根據(jù)在工件上形成的引線圖形來(lái)曝光和顯影光敏抗蝕劑，從而形成抗蝕圖形，利用所述圖形覆蓋將要形成為引線框架片的部分，每個(gè)所述引線框架片都包括一個(gè)或多個(gè)引線框架。然后，通過(guò)利用抗蝕圖形作為掩模來(lái)蝕刻工件。從而制造出引線框架片(或引線框架)(參見(jiàn)JP-A-53-106572，JP-A-2000-073186以及JP-A-11-061442)。
在制造引線框架的方法中，通過(guò)利用壓印來(lái)制造引線框架的方法具有高速加工能力的優(yōu)點(diǎn)，但是也存在這樣的問(wèn)題，由于通過(guò)形成單排的包括一個(gè)或多個(gè)引線框架的引線框架片來(lái)在工件中形成引線框架，因而限制了從工件中獲取的產(chǎn)品數(shù)量。
另一方面，通過(guò)利用蝕刻來(lái)制造引線框架的方法具有這樣的優(yōu)點(diǎn)，由于可以表面安裝多排產(chǎn)品，因而從工件中獲取的產(chǎn)品數(shù)量大，然而，對(duì)于表面安裝多排包括一個(gè)或多個(gè)引線框架的引線框架片，需要高的表面安裝的精度(或曝光精度)。因此，在通過(guò)利用蝕刻來(lái)表面安裝多排產(chǎn)品而制造引線框架的情況中，通常采用這樣的方法，其中使用片狀的工件，并形成所述工件的每一片的蝕刻圖形，從而制造引線框架。
但是，對(duì)于在片狀工件中形成引線框架片的蝕刻圖形的情況，其中每個(gè)所述引線框架片都包括一個(gè)或多個(gè)引線框架，需要保留所述工件的框狀外圍部分，以便于搬運(yùn)該工件。這導(dǎo)致浪費(fèi)工件的材料的問(wèn)題，因?yàn)樗乃鐾鈬糠肿兂闪藦U料區(qū)域。
如下可以避免該問(wèn)題，其中使用這樣的工件代替片狀工件，構(gòu)成所述工件的長(zhǎng)部件比這樣的區(qū)域大，在所述區(qū)域中可以排列多排包括一個(gè)或多個(gè)引線框架的引線框架片；并且排列多排引線框架片。圖4示出了在成形為長(zhǎng)部件的工件5中排列多排引線框架片6的方法，每個(gè)所述引線框架片都包括四個(gè)引線框架。在該圖中，部分A是曝光區(qū)，其中每個(gè)區(qū)域都經(jīng)過(guò)一次曝光。
但是，在如圖4所示的在工件5中形成蝕刻圖形的情況中，需要將相鄰的曝光區(qū)A彼此接近地設(shè)置，以盡可能地防止廢料區(qū)域的出現(xiàn)，或者采用高的定位精度曝光曝光區(qū)A，以使得可以連續(xù)地設(shè)置曝光區(qū)A，并將圖4所示的寬度W減少為零。其中，應(yīng)該防止曝光位置的偏移和曝光區(qū)的傾斜(在該圖中，部分B是傾斜的曝光區(qū)的示例)。這樣的方法在生產(chǎn)效率上是高效的，所述方法在由長(zhǎng)部件構(gòu)成的工件5中設(shè)置多排引線框架片，每個(gè)所述引線框架片都包括一個(gè)或多個(gè)引線框架。但是，將要被曝光一次的曝光區(qū)的尺寸增大了。即使曝光區(qū)稍微傾斜，也會(huì)出現(xiàn)大的誤差。需要高度的技術(shù)精度來(lái)精確地連接和曝光曝光區(qū)。此外，該方法存在曝光位置的定位精度下降的問(wèn)題，因?yàn)楣ぜ?的寬度值本身起伏變化。

發(fā)明內(nèi)容
因此，為了解決這些問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)本發(fā)明。本發(fā)明的一個(gè)目的是，提供通過(guò)蝕刻來(lái)制造引線框架的方法，所述方法使用由長(zhǎng)部件構(gòu)成的工件，并且不特定需要對(duì)蝕刻圖形的高精度的曝光來(lái)形成引線框架，而且能夠減少在制造過(guò)程中產(chǎn)生的廢料量，從而有效地制造引線框架。
為了實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的上述目的，根據(jù)本發(fā)明，提供一種引線框架的制造方法，其包括在由長(zhǎng)部件構(gòu)成的工件中形成蝕刻圖形，所述蝕刻圖形包括，用于形成至少一個(gè)引線框架片的圖形，所述引線框架片包括至少一個(gè)引線框架；以及用于形成至少一個(gè)連接部分的圖形，所述連接部分連接在該工件的長(zhǎng)度方向上相鄰的引線框架片的邊緣；通過(guò)利用蝕刻圖形作為掩模來(lái)蝕刻工件，從而形成長(zhǎng)的引線框架體，所述引線框架體包括通過(guò)連接部分而彼此連接的引線框架片；以及將設(shè)置在連接部分和引線框架片之間的連接部分從長(zhǎng)的引線框架體分離，從而獲得引線框架片。
此外，根據(jù)本發(fā)明的引線框架的制造方法，其特征可以在于，將這樣的圖形提供為用于形成引線框架片的圖形，所述圖形用于在工件上設(shè)置多排引線框架片；以及，從長(zhǎng)的引線框架體獲得引線框架片，在所述引線框架體中設(shè)置有多排引線框架片。這樣，通過(guò)設(shè)置多排引線框架片可以有效地制造引線框架。
此外，根據(jù)本發(fā)明的引線框架的制造方法，其特征可以在于，將這樣的圖形提供為用于形成連接部分的圖形，所述圖形用于形成至少一個(gè)連接在引線框架片的邊緣之間的支撐片；以及，通過(guò)分離在支撐片和引線框架片之間的連接部分，而從長(zhǎng)的引線框架體獲得引線框架片?？梢栽谝€框架的邊緣處提供單個(gè)或多個(gè)支撐片。通過(guò)形成較窄的支撐片，并切斷在支撐片和引線框架之間的連接部分，可以容易地將支撐片從引線框架分離。
另外，根據(jù)本發(fā)明的引線框架的制造方法，其特征可以在于，將用于形成支撐桿和支撐片的圖形提供為用于形成連接部分的圖形，所述支撐桿連接工件的橫桿部分(rail portion)，所述支撐片連接在支撐桿和引線框架片的邊緣之間；以及，通過(guò)分離在支撐片和引線框架之間的連接部分，而從長(zhǎng)的引線框架體獲得引線框架片?？梢孕纬奢^窄的支撐桿和支撐片，從而可以形成較窄的在引線框架片之間的接合部分。因此，通過(guò)容易地切斷在支撐片和引線框架片之間的連接部分，可以容易地將支撐片從引線框架片分離。
依照根據(jù)本發(fā)明的引線框架的制造方法，在引線框架片的邊緣間提供連接部分，每個(gè)所述引線框架片都包括一個(gè)或多個(gè)引線框架。將引線框架片形成為在其長(zhǎng)度方向上連續(xù)設(shè)置。因此，連接部分用于降低在工件中形成蝕刻圖形的精度。尤其是，有助于進(jìn)行這樣的操作，其中在長(zhǎng)的工件中形成多排用于設(shè)置引線框架片的蝕刻圖形，每個(gè)所述引線框架片都包括一個(gè)或多個(gè)引線框架。根據(jù)本發(fā)明的引線框架的制造方法可以適用于引線框架的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1圖解示出了根據(jù)本發(fā)明的引線框架的制造方法；圖2放大地圖解示出了引線框架片和連接部分；圖3(a)至3(c)分別圖解示出了連接部分的結(jié)構(gòu)的其它示例；圖4圖解示出了通過(guò)利用由長(zhǎng)部件構(gòu)成的工件來(lái)形成引線框架的圖形的相關(guān)方法。
具體實(shí)施例方式
以下參考附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。
如圖1所示，其中通過(guò)根據(jù)本發(fā)明的制造引線框架的方法形成了長(zhǎng)的引線框架體，其中采用長(zhǎng)工件10。這里，長(zhǎng)的引線框架體是指在長(zhǎng)的工件10的長(zhǎng)度方向上彼此連接的一組引線框架片12。引線框架片12包括一個(gè)或多個(gè)成形為片狀的引線框架。
根據(jù)本發(fā)明的制造引線框架的方法，其特征在于，在成形為長(zhǎng)部件的工件10上表面安裝多排引線框架片12；并且通過(guò)蝕刻工件10形成這樣的長(zhǎng)的引線框架體，其中形成有預(yù)定的引線圖形，然后，將引線框架片12從長(zhǎng)的引線框架體上單獨(dú)地分離，從而獲得引線框架片的產(chǎn)品。
通過(guò)以下過(guò)程獲得如圖1所示的長(zhǎng)的引線框架體，其中將引線框架片排列在工件10的長(zhǎng)度方向上。即，首先，將光敏抗蝕膜層疊在工件10的表面上?？蛇x的是，在工件10的表面上涂覆光敏抗蝕材料。這樣，使工件10的表面上覆蓋有光敏抗蝕劑。然后，對(duì)光敏抗蝕劑曝光并將其顯影成預(yù)定的圖形。從而，對(duì)將要通過(guò)蝕刻除去的部分曝光，而形成抗蝕圖形。然后，通過(guò)利用抗蝕圖形作為掩模來(lái)蝕刻工件10。
根據(jù)該實(shí)施例的制造引線框架的方法，其特征在于，在工件10的表面上形成這樣的蝕刻圖形，所述圖形包括用于形成引線框架片12的引線圖形和用于形成連接部分14的圖形，所述連接部分14將在工件10的長(zhǎng)度方向上相鄰的引線框架片12的邊緣彼此連接。
也就是說(shuō)，如圖1所示，部分A是將要通過(guò)進(jìn)行一次曝光操作而曝光的區(qū)域。該曝光區(qū)A包括用于形成引線框架片12的引線圖形和用于形成連接部分14的圖形，所述連接部分14將引線框架片12的邊緣彼此連接。
這樣，在工件10的表面上形成蝕刻圖形，所述蝕刻圖形既包括用于形成引線框架片12的引線圖形，又包括用于形成連接部分14的圖形。然后，通過(guò)利用該蝕刻圖形作為掩模來(lái)蝕刻工件10。從而，可以獲得如圖1所示長(zhǎng)的引線框架體，其中將引線框架片12排列在工件10的長(zhǎng)度方向上。
圖2放大地示出了連接部分14和每個(gè)引線框架片12的結(jié)構(gòu)。連接部分14包括，支撐桿14a，其連接橫桿部分16，部分16在沿長(zhǎng)的引線框架體的側(cè)邊緣部分的長(zhǎng)度方向上連續(xù)地形成；以及支撐片14b，其使支撐桿14a與每個(gè)引線框架片12的邊緣連接。在該實(shí)施例中，這樣形成長(zhǎng)的引線框架體，使得兩個(gè)支撐片14b與每個(gè)引線框架片12的邊緣連接，并使得，在引線框架片12的長(zhǎng)度方向上，由支撐桿14a通過(guò)支撐片14b在邊緣上連接和支撐每個(gè)引線框架片12。在該實(shí)施例中，使兩個(gè)支撐片14b與每個(gè)引線框架片12的邊緣連接；但是，對(duì)每個(gè)引線框架片12的支撐片14b的數(shù)量不限于此。
為了從圖1和2所示的長(zhǎng)的引線框架體中獲得引線框架片，在長(zhǎng)的引線體中將支撐片14b從引線框架片12分離就可以了，所述支撐片14b與引線框架片12的邊緣連接。
分離連接部分14的方法可以通過(guò)以下方法來(lái)實(shí)施利用NC穿孔機(jī)沿相應(yīng)的引線框架片12的外部位置切斷每個(gè)連接部分，所述連接部分被設(shè)置在支撐片14b和引線框架片12之間；以及這樣的方法，通過(guò)狹縫穿孔來(lái)穿通在支撐片14b與引線框架片12之間的連接部分。
通過(guò)檢測(cè)支撐片14b和引線框架片12之間的連接位置，可以使如下的方法實(shí)現(xiàn)將支撐片14b從引線框架片12的精確分離，所述方法通過(guò)例如利用NC穿孔機(jī)和狹縫穿孔的加工來(lái)切斷支撐片14b和引線框架片12之間的連接部分，并將支撐片14b從引線框架片12分離。
如圖2所示，在每個(gè)支撐桿14a中設(shè)置參考孔18，以便通過(guò)利用傳感器或類(lèi)似物可以精確地檢測(cè)支撐片14b與引線框架片12之間的連接部分。另外，可以在每個(gè)橫桿部分16中設(shè)置用于搬運(yùn)和定位長(zhǎng)的引線框架體的導(dǎo)向孔20。
根據(jù)該實(shí)施例的制造引線框架的方法，其特征還在于當(dāng)在成形為長(zhǎng)部件的工件10中形成蝕刻圖形(即抗蝕圖形)時(shí)，將蝕刻圖形設(shè)置為，包括用于形成引線框架片12的引線圖形和用于形成連接部分14的圖形，所述連接部分連接在工件10的長(zhǎng)度方向上相鄰的引線框架片12；當(dāng)通過(guò)蝕刻工件10來(lái)形成長(zhǎng)的引線框架體時(shí)，通過(guò)連接部分14將在長(zhǎng)度方向上相鄰的引線框架片12的邊緣彼此連接；以及，在后續(xù)過(guò)程中將連接部分14從引線框架片12分離，從而獲得引線框架片的產(chǎn)品。
因?yàn)橹螚U14a通過(guò)支撐片14b支撐在長(zhǎng)度方向上相鄰的引線框架片12，其中每個(gè)支撐片14b被形成為較窄，因此，通過(guò)在支撐片14b和引線框架片12的邊界位置處將支撐片14b從引線框架片12分離，從而可以容易地獲得引線框架片12。
即使在這樣的情況中，其中，當(dāng)在工件10上形成蝕刻圖形時(shí)，蝕刻圖形之間的接合部分稍微偏移，如下的方法仍可以容易地實(shí)現(xiàn)對(duì)在支撐片14b和引線框架片12之間的連接部分的識(shí)別、以及通過(guò)使用NC穿孔機(jī)或類(lèi)似物切斷所述連接部分，所述方法在支撐片14b和引線框架片12的連接位置處將支撐片14b從引線框架片12分離，從而獲得引線框架片。也就是說(shuō)，即使當(dāng)在工件10上形成的蝕刻圖形出現(xiàn)稍微的偏移，根據(jù)該實(shí)施例的制造引線框架的方法仍可以獲得引線框架片。
這樣，即使在這樣的情況中，其中當(dāng)在工件10上形成蝕刻圖形時(shí)蝕刻圖形出現(xiàn)稍微偏移，根據(jù)該實(shí)施例的制造引線框架的方法仍可以容易地獲得引線框架的產(chǎn)品，所述方法通過(guò)分別將每個(gè)引線框架片從長(zhǎng)的引線框架體分離。這樣，該方法具有這樣的優(yōu)點(diǎn)，當(dāng)在工件10中形成多排蝕刻圖形時(shí)，將不需要在相關(guān)領(lǐng)域中所需要的高精確度。因此，降低了當(dāng)在長(zhǎng)的工件10中形成多排引線框架片時(shí)所需要的精確度。這樣，通過(guò)利用常規(guī)的設(shè)備，可以形成多排引線框架片。
雖然圖1示出了將引線框架片12排成四排的示例，但是引線框架片12的排數(shù)不限于此?？梢匀菀椎貙⒁€框架片12排成多排，其中排數(shù)等于或大于5。另外，即使在將引線框架片12排成單排的情況中，根據(jù)本發(fā)明的方法也是有效的。此外，圖1還示出了包括四個(gè)引線框架的引線框架片12的示例；但是，在引線框架片12中的引線框架的數(shù)量不限于此。引線框架片12可以包括數(shù)量等于或大于5的引線框架。
此外，即使在工件10在其寬度方向上稍微波動(dòng)的情況下，通過(guò)在工件10的寬度內(nèi)形成連接部分14和引線框架片12的蝕刻圖形，仍可以獲得預(yù)定的引線框架片12。
圖3(a)至3(c)分別示出了支撐引線框架片12的連接部分14的結(jié)構(gòu)的示例。圖3(a)示出了其中將支撐片14b直接連接到引線框架片12的側(cè)邊緣部分上的示例。圖3(b)示出了其中在連接部分的兩側(cè)和在引線框架片12中提供拐角(runout)14c和14d的示例。圖3(c)示出了其中將支撐片14b形成為比圖3(a)和3(b)中狹窄的示例。
從而，用于連接引線框架片12的支撐片14b可以具有指定的形狀?？梢愿鶕?jù)支撐片14b的材料質(zhì)量和厚度，適當(dāng)?shù)卦O(shè)置支撐片14b的定位和個(gè)數(shù)。
雖然該實(shí)施例被配置成將支撐片14b連接至在引線框架片的長(zhǎng)度方向的邊緣上，然而，可以將連接部分14設(shè)置于在寬度方向上相鄰的引線框架片12之間，從而引線框架片彼此連接和支撐。也就是說(shuō)，通過(guò)將支撐片設(shè)置在橫桿部分16和每個(gè)引線框架片12的側(cè)邊緣之間，可以將相鄰于橫桿部分16的引線框架12調(diào)整為由橫桿部分16支撐。通過(guò)將支撐片設(shè)置在引線框架片12的側(cè)邊緣之間，可以調(diào)整在寬度方向上的中間位置設(shè)置的引線框架片12，從而使得引線框架片通過(guò)支撐片彼此連接和支撐?？梢岳肗C穿孔機(jī)或通過(guò)狹縫穿孔來(lái)分離設(shè)置在寬度方向上的支撐片，類(lèi)似于通過(guò)使用NC穿孔機(jī)或類(lèi)似物來(lái)分離連接到引線框架片12的邊緣上的支撐片14b的情況。這樣，可以容易地獲得引線框架片。在該情況下，可以在每個(gè)橫桿部分16或每個(gè)支撐片中提供參考孔，從而可以利用傳感器或類(lèi)似物精確地檢測(cè)出在支撐片14b和引線框架片12之間的連接部分。
此外，雖然該實(shí)施例被配置成將支撐桿14a和支撐片14b都設(shè)置為連接部分14，但是連接部分14可以只包括支撐片14b，所述支撐片14b連接在工件的長(zhǎng)度方向上相鄰的引線框架片12的邊緣。在這種情況下，為了防止支撐片14b由于引線框架片12的重量而彎曲，優(yōu)選的是，連接部分14還可包括這樣的支撐片，所述支撐片連接于在其寬度方向上相鄰的引線框架片12之間、或引線框架片12與橫桿部分16之間，從而引線框架片12或引線框架片12與橫桿部分16在其寬度方向上彼此連接和支撐。
如上所述，根據(jù)該實(shí)施例的制造引線框架的方法，引線框架片12通過(guò)支撐桿14a和支撐片14b彼此連接。這樣，相比于通過(guò)使用大板材形成多排引線框架片12的情況，可以減少當(dāng)在長(zhǎng)的引線框架體中形成引線框架片時(shí)所產(chǎn)生的廢料量。此外，當(dāng)在工件10上表面安裝引線框架片12時(shí)，通過(guò)盡可能地減少形成連接部分14的區(qū)域的寬度，可以降低材料的浪費(fèi)。
權(quán)利要求
1.一種制造引線框架的方法，包括在由長(zhǎng)部件構(gòu)成的工件中形成蝕刻圖形，所述蝕刻圖形包括，用于形成至少一個(gè)引線框架片的圖形，所述引線框架片包括至少一個(gè)引線框架；以及用于形成至少一個(gè)連接部分的圖形，所述連接部分連接在所述工件的長(zhǎng)度方向上相鄰的所述引線框架片的邊緣；通過(guò)利用所述蝕刻圖形作為掩模來(lái)蝕刻所述工件，從而形成長(zhǎng)的引線框架體，所述長(zhǎng)的引線框架體包括通過(guò)所述連接部分而彼此連接的所述引線框架片；以及將設(shè)置在所述連接部分與所述引線框架片之間的連接部分從所述長(zhǎng)的引線框架體分離，從而獲得所述引線框架片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的制造引線框架的方法，其中提供這樣的圖形做為用于形成所述引線框架片的所述圖形，所述這樣的圖形用于在所述工件上設(shè)置多排所述引線框架片；以及從所述長(zhǎng)的引線框架體獲得所述引線框架片，在所述長(zhǎng)的引線框架體中設(shè)置有多排所述引線框架片。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的制造引線框架的方法，其中提供這樣的圖形做為用于形成所述連接部分的所述圖形，所述這樣的圖形用于形成連接在所述引線框架片的邊緣之間的至少一個(gè)支撐片；以及通過(guò)分離在所述支撐片與所述引線框架片之間的所述連接部分，而從所述長(zhǎng)的引線框架體獲得所述引線框架片。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2的制造引線框架的方法，其中提供用于形成支撐桿和所述支撐片的圖形做為用于形成所述連接部分的所述圖形，所述支撐桿連接所述工件的橫桿部分，所述支撐片連接在所述支撐桿和所述引線框架片的邊緣之間；以及通過(guò)分離所述支撐片與所述引線框架片之間的所述連接部分，而從所述長(zhǎng)的引線框架體獲得所述引線框架片。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2的制造引線框架的方法，其中提供用于形成至少一個(gè)第一支撐片和至少一個(gè)第二支撐片的圖形做為用于形成所述連接部分的所述圖形，所述第一支撐片連接于在所述工件的長(zhǎng)度方向上相鄰的所述引線框架片的邊緣之間，所述第二支撐片連接在所述引線框架片的邊緣與所述工件的所述橫桿部分之間；以及通過(guò)分離在所述第一和第二支撐片與所述引線框架片之間的所述連接部分，而從所述長(zhǎng)的引線框架體獲得所述引線框架片。
6.根據(jù)權(quán)利要求2的制造引線框架的方法，其中提供用于形成至少一個(gè)第一支撐片、至少一個(gè)第二支撐片以及至少一個(gè)第三支撐片的圖形做為用于形成所述連接部分的所述圖形，所述第一支撐片連接于在所述工件的長(zhǎng)度方向上相鄰的所述引線框架片的邊緣之間，所述第二支撐片連接在所述引線框架片的邊緣與所述工件的所述橫桿部分之間，所述第三支撐片連接于在垂直于所述工件的長(zhǎng)度方向的方向上相鄰的所述引線框架片的邊緣之間；以及通過(guò)分離所述第一、第二以及第三支撐片與所述引線框架片之間的所述連接部分，從所述長(zhǎng)的引線框架體中獲得所述引線框架片，在所述長(zhǎng)的引線框架體中設(shè)置有多排所述引線框架片。
全文摘要
在由長(zhǎng)部件構(gòu)成的工件10中形成蝕刻圖形，其包括用于形成每個(gè)都包括引線框架的引線框架片12的圖形、以及用于形成連接部分14的圖形，連接部分14連接在工件10的長(zhǎng)度方向上相鄰的引線框架片12的邊緣。通過(guò)利用該蝕刻圖形作為掩模來(lái)蝕刻工件10，從而形成長(zhǎng)的引線框架體，在所述長(zhǎng)的引線框架體中通過(guò)連接部分14連接所述引線框架片12。將連接部分從長(zhǎng)的引線框架體分離，每個(gè)所述連接部分被設(shè)置在連接部分14和引線框架片12之間。從而獲得引線框架片。
文檔編號(hào)H01L21/48GK1694233SQ20051006792
公開(kāi)日2005年11月9日 申請(qǐng)日期2005年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月30日
發(fā)明者小林剛, 古畑吉雄, 山岸二三夫 申請(qǐng)人:新光電氣工業(yè)株式會(huì)社