專利名稱:晶圓檢測(cè)裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種晶圓檢測(cè)裝置，其特征在于，包括：支架；裂縫檢測(cè)裝置；所述裂縫檢測(cè)裝置用于檢測(cè)晶圓是否存在裂縫，所述裂縫檢測(cè)裝置可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述支架上。本實(shí)用新型中的晶片檢測(cè)裝置，運(yùn)用裂縫檢測(cè)裝置檢測(cè)晶圓上是否存在裂縫，操作簡(jiǎn)單、方便，測(cè)量的準(zhǔn)確度高。本實(shí)用新型中的晶圓檢測(cè)裝置的自動(dòng)化程度和檢測(cè)效率高，適應(yīng)現(xiàn)代化生產(chǎn)。
【專利說(shuō)明】晶圓檢測(cè)裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種晶圓檢測(cè)裝置，特別涉及一種用于檢測(cè)晶圓裂紋的晶圓檢測(cè)
目.0

【背景技術(shù)】
[0002]晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅芯片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。晶圓是生產(chǎn)集成電路所用的載體，一般意義晶圓多指單晶硅圓片。晶圓是最常用的半導(dǎo)體材料，按其直徑分為4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等規(guī)格，近來(lái)發(fā)展出12英寸甚至研發(fā)更大規(guī)格(14英寸、15英寸、16英寸、……20英寸以上等)。晶圓越大，同一圓片上可生產(chǎn)的芯片就越多，可降低成本；但對(duì)材料技術(shù)和生產(chǎn)技術(shù)的要求更高，例如均勻度等等的問題。
[0003]晶圓的質(zhì)量的高低，直接影響生產(chǎn)。若晶圓上存在裂縫，將會(huì)嚴(yán)重影響晶圓的質(zhì)量。存在裂縫的晶圓無(wú)法使用，如果加工存在裂縫的晶圓，則不僅造成人力、材料的浪費(fèi)，還有可能會(huì)損壞加工設(shè)備。因此，在對(duì)晶圓加工之前或者加工過(guò)程中，對(duì)晶圓是否存在裂縫進(jìn)行檢測(cè)非常有必要。但現(xiàn)有技術(shù)中，沒有可以檢測(cè)晶圓是否存在裂縫的檢測(cè)裝置，容易造成人力、材料的浪費(fèi)，還存在損壞加工設(shè)備的危險(xiǎn)。依靠人工肉眼檢測(cè)，不僅效率低、勞動(dòng)強(qiáng)度大，而且準(zhǔn)確性差，易漏檢。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種用于檢測(cè)晶片裂縫的晶片檢測(cè)裝置。
[0005]為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0006]晶圓檢測(cè)裝置，其特征在于，包括:
[0007]支架；
[0008]裂縫檢測(cè)裝置；所述裂縫檢測(cè)裝置用于檢測(cè)晶圓是否存在裂縫，所述裂縫檢測(cè)裝置可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述支架上。
[0009]優(yōu)選地是，還包括第一驅(qū)動(dòng)裝置；所述第一驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述裂縫檢測(cè)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)或通過(guò)第一傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述裂縫檢測(cè)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0010]優(yōu)選地是，所述傳動(dòng)裝置包括傳動(dòng)帶、傳動(dòng)鏈、傳動(dòng)帶輪、傳動(dòng)軸、傳動(dòng)絲桿中的一種或任意幾種組合。
[0011]優(yōu)選地是，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置為電機(jī)；所述電機(jī)設(shè)置于所述支架上；所述第一傳動(dòng)裝置包括傳動(dòng)軸；所述傳動(dòng)軸可繞其中心軸線轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述支架上；所述電機(jī)通過(guò)同步帶驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0012]優(yōu)選地是，還包括底座；所述裂縫檢測(cè)裝置安裝在所述底座上；所述第一驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)驅(qū)動(dòng)所述底座轉(zhuǎn)動(dòng)或通過(guò)第一傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述底座轉(zhuǎn)動(dòng)以驅(qū)動(dòng)所述裂縫檢測(cè)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0013]優(yōu)選地是，還包括撥桿和至少一個(gè)第一位置檢測(cè)裝置；所述撥桿可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置；所述撥桿一端位于所述底座的轉(zhuǎn)動(dòng)路線上，并可受底座推動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)；所述撥桿轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中，另一端可移動(dòng)至可被所述第一位置檢測(cè)裝置檢測(cè)到的位置。
[0014]優(yōu)選地是，還包括控制主機(jī)，所述第一位置檢測(cè)裝置檢測(cè)到所述撥桿另一端時(shí)，向所述控制主機(jī)發(fā)送信號(hào)；所述控制主機(jī)控制所述第一驅(qū)動(dòng)裝置工作，并在接收到所述第一位置檢測(cè)裝置的檢測(cè)信號(hào)后，使所述第一驅(qū)動(dòng)裝置停止工作。
[0015]優(yōu)選地是，所述第一位置檢測(cè)裝置數(shù)目為兩個(gè)，間隔設(shè)置；所述底座以不同的轉(zhuǎn)向轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中，分別從所述撥桿兩側(cè)推動(dòng)所述撥桿以不同的轉(zhuǎn)向轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0016]優(yōu)選地是，所述撥桿為L(zhǎng)型板；所述L型板包括長(zhǎng)板和短板；所述長(zhǎng)板可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在支架上；所述長(zhǎng)板一端設(shè)置于所述底座的轉(zhuǎn)動(dòng)路線上，另一端安裝短板；所述第一位置檢測(cè)裝置為第一槽型傳感器，數(shù)目為兩個(gè)，間隔設(shè)置；所述第一槽型傳感器設(shè)有凹槽；所述凹槽的其中一個(gè)槽壁發(fā)射信號(hào)，與之相對(duì)的另一個(gè)槽壁接收信號(hào)；所述底座轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中，可分別從兩側(cè)推動(dòng)所述長(zhǎng)板沿不同的轉(zhuǎn)向轉(zhuǎn)動(dòng)；所述長(zhǎng)板轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)所述短板移動(dòng)；所述短板移動(dòng)時(shí)，可移動(dòng)至所述第一槽型傳感器的凹槽內(nèi)；所述第一槽型傳感器根據(jù)所述短板是否位于所述凹槽內(nèi)，發(fā)出不同的信號(hào)。
[0017]優(yōu)選地是，還包括至少一個(gè)彈性復(fù)位裝置；所述撥桿轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，所述彈性復(fù)位裝置變形產(chǎn)生彈性變形力；所述彈性變形力具有使所述撥桿復(fù)位的趨勢(shì)。
[0018]優(yōu)選地是，所述彈性復(fù)位裝置為壓縮彈簧或拉伸彈簧。
[0019]優(yōu)選地是，所述裂縫檢測(cè)裝置角度可調(diào)地安裝于所述支架上。
[0020]優(yōu)選地是，所述裂縫檢測(cè)裝置通過(guò)底座安裝于所述支架上；所述底座設(shè)置有插孔；所述裂縫檢測(cè)裝置設(shè)置有插桿；所述插桿插置于所述插孔內(nèi)；所述裂縫檢測(cè)裝置通過(guò)連接板與所述底座連接；所述連接板上設(shè)置有通槽和多個(gè)通孔；所述通孔與所述通槽間隔設(shè)置；所述裂縫檢測(cè)裝置上設(shè)置有銷子；所述銷子可沿所述通槽移動(dòng)地插置于所述通槽內(nèi)；所述裂縫檢測(cè)裝置設(shè)置有一個(gè)安裝孔；通過(guò)連接件穿過(guò)所述通孔與所述安裝孔相配合，將所述連接板與所述裂縫檢測(cè)裝置連接；通過(guò)不同的通孔與所述安裝孔相配合，調(diào)整所述裂縫檢測(cè)裝置的角度。
[0021]優(yōu)選地是，所述底座上設(shè)置有多個(gè)第二位置檢測(cè)裝置；選擇不同的通孔與所述安裝孔相配合時(shí)，所述連接板端部位置不同；所述第二位置檢測(cè)裝置用于檢測(cè)所述連接板端部的位置，當(dāng)所述第二位置檢測(cè)裝置檢測(cè)到所述連接板時(shí)，輸送信號(hào)。
[0022]優(yōu)選地是，所述第二位置檢測(cè)裝置為第二槽型傳感器，數(shù)目為兩個(gè)，間隔設(shè)置；所述第二槽型傳感器設(shè)有凹槽；所述凹槽的其中一個(gè)槽壁發(fā)射信號(hào)，與之相對(duì)的另一個(gè)槽壁接收信號(hào)；所述連接板端部安裝有凸板和槽板；所述凸板設(shè)置在所述連接板端部；所述槽板設(shè)置在所述凸板端部；不同的所述通孔與所述安裝孔位置相對(duì)時(shí)，所述槽板插入不同的第二槽型傳感器的凹槽內(nèi)；所述第二槽型傳感器根據(jù)槽板是否插入凹槽內(nèi)，輸出不同的信號(hào)。
[0023]優(yōu)選地是，還包括橫梁；所述支架可沿所述橫梁移動(dòng)地設(shè)置于所述橫梁上，或者可升降地設(shè)置于橫梁上；還包括第二驅(qū)動(dòng)裝置和第三驅(qū)動(dòng)裝置；所述第二驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述支架沿所述橫梁移動(dòng)；所述第三驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述支架升降。
[0024]優(yōu)選地是，所述裂縫檢測(cè)裝置具有信號(hào)發(fā)射端和信號(hào)接收端；所述信號(hào)發(fā)射端朝晶圓發(fā)送信號(hào)，所述信號(hào)經(jīng)晶圓反射后由所述信號(hào)接收端接收；在裂縫檢測(cè)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中，根據(jù)信號(hào)發(fā)射與接收的時(shí)間差是否存在變化判斷是否存在裂縫；裂縫檢測(cè)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)一周，信號(hào)發(fā)射與接收的時(shí)間差相同或者不超出預(yù)定范圍，則判斷晶圓不存在裂縫，信號(hào)發(fā)射與接收的時(shí)間差不相同或超出預(yù)定范圍，則判斷晶圓存在裂縫。
[0025]優(yōu)選地是，所述裂縫檢測(cè)裝置為激光測(cè)距儀、紅外測(cè)距儀或者超聲測(cè)距儀的一種。
[0026]本實(shí)用新型中的晶片檢測(cè)裝置，運(yùn)用裂縫檢測(cè)裝置檢測(cè)晶圓上是否存在裂縫，操作簡(jiǎn)單、方便，測(cè)量的準(zhǔn)確度高。本實(shí)用新型中的晶圓檢測(cè)裝置的自動(dòng)化程度和檢測(cè)效率高，適應(yīng)現(xiàn)代化生產(chǎn)。

【附圖說(shuō)明】

[0027]圖1為本實(shí)用新型中的晶圓檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖2為本實(shí)用新型中的晶圓檢測(cè)裝置的從另一角度觀察的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖3為本實(shí)用新型中的晶圓檢測(cè)裝置的局部結(jié)構(gòu)圖；
[0030]圖4為本實(shí)用新型中的晶圓檢測(cè)裝置的局部結(jié)構(gòu)圖；
[0031]圖5為本實(shí)用新型中的晶圓檢測(cè)裝置的局部放大視圖；
[0032]圖6為本實(shí)用新型中的晶圓檢測(cè)裝置的其中一個(gè)使用狀態(tài)局部放大視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0033]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)的描述:
[0034]如圖1、圖2所示，晶圓質(zhì)量檢測(cè)裝置包括支架I和裂縫檢測(cè)裝置5。裂縫檢測(cè)裝置5可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于支架I上。裂縫檢測(cè)裝置5具有信號(hào)發(fā)射端501和信號(hào)接收端502。信號(hào)發(fā)射端501朝晶圓發(fā)射信號(hào)，信號(hào)經(jīng)晶圓反射后由信號(hào)接收端502接收。裂縫檢測(cè)裝置5轉(zhuǎn)動(dòng)一周，可沿圓周方向檢測(cè)晶圓一周。如果晶圓上沒有裂縫，在裂縫檢測(cè)裝置5轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中，則信號(hào)的發(fā)射與接收之間的時(shí)間間隔應(yīng)該相同或者不超出允許的誤差范圍。如果晶圓存在裂縫，在信號(hào)發(fā)射至裂縫處時(shí)，由于增加了信號(hào)的運(yùn)行距離，則發(fā)射與接收的時(shí)間差將與正常晶圓處的時(shí)間差不同。以此可檢測(cè)晶圓是否存在裂縫。
[0035]支架I上設(shè)有第一驅(qū)動(dòng)裝置，第一驅(qū)動(dòng)裝置為電機(jī)2。電機(jī)2通過(guò)電機(jī)支座21可拆卸地安裝在支架I上，電機(jī)2的動(dòng)力輸出軸(圖中未示出)安置于電機(jī)支座21的容腔22內(nèi)。電機(jī)2用于驅(qū)動(dòng)裂縫檢測(cè)裝置5轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0036]如圖1-5所示，支架I上安裝有一傳動(dòng)軸31。傳動(dòng)軸31可繞其中心軸線轉(zhuǎn)動(dòng)。傳動(dòng)軸31上安裝有一傳動(dòng)帶輪32。傳動(dòng)帶輪32與電機(jī)2同位于支架I的上側(cè)。傳動(dòng)帶輪32可采用常用的方式安裝在傳動(dòng)軸31上，如傳動(dòng)帶輪32通過(guò)鍵或銷釘與傳動(dòng)軸31連接。一同步帶33繞在傳動(dòng)帶輪32和電機(jī)2的動(dòng)力輸出軸上，將電機(jī)2和傳動(dòng)軸31傳動(dòng)連接。電機(jī)2的動(dòng)力輸出軸轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)傳動(dòng)帶33驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)帶輪32同步轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)傳動(dòng)軸31轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0037]傳動(dòng)軸31上還安裝有一底座4。底座4位于支架I的下側(cè)。底座4可采用常用的方式安裝在傳動(dòng)軸31上，如底座4通過(guò)銷釘或螺栓與傳動(dòng)軸連接。傳動(dòng)軸31轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)底座4繞傳動(dòng)軸31的中心軸線同步轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0038]裂縫檢測(cè)裝置5可為激光測(cè)距儀、紅外測(cè)距儀或者超聲測(cè)距儀的一種。本實(shí)施例選用激光測(cè)距儀。裂縫檢測(cè)裝置5安裝于底座4上，與底座4同步轉(zhuǎn)動(dòng)。底座4上設(shè)有插孔41，裂縫檢測(cè)裝置5上設(shè)有插桿51，插桿51插置于插孔41內(nèi)。裂縫檢測(cè)裝置5通過(guò)連接板52與底座4連接。連接板52上設(shè)有通槽53和多個(gè)通孔54，通孔54與通槽53間隔設(shè)置。裂縫檢測(cè)裝置5上設(shè)置有銷子55，銷子55可沿通槽53移動(dòng)地插置于通槽53內(nèi)。裂縫檢測(cè)裝置5設(shè)置有一個(gè)安裝孔(圖中未示出)，通過(guò)連接件(如銷釘、螺釘?shù)?穿過(guò)通孔54與安裝孔56相配合，將連接板52與裂縫檢測(cè)裝置5連接。通過(guò)裂縫檢測(cè)裝置5上的安裝孔56與不用的通孔54配合安裝，可調(diào)整裂縫檢測(cè)裝置5的角度。裂縫檢測(cè)裝置5的角度不同時(shí)，可適用于不同尺寸的晶圓，也可以對(duì)同一晶圓的不同位置檢測(cè)。
[0039]底座4上設(shè)置有兩個(gè)第二位置檢測(cè)裝置，第二位置檢測(cè)裝置為第二槽型傳感器42。選擇不同的通孔54與安裝孔56相配合時(shí)，連接板52上端的位置不同。第二槽型傳感器42用于檢測(cè)連接板52上端的位置，并當(dāng)檢測(cè)到連接板52時(shí)，輸送信號(hào)。兩個(gè)第二槽型傳感器42間隔設(shè)置。第二槽型傳感器42設(shè)有凹槽43。凹槽43的其中一個(gè)槽壁發(fā)射信號(hào)(紅外光)，與之相對(duì)的另一個(gè)槽壁接收信號(hào)(紅外光)。連接板52端部安裝有凸板57和槽板58。凸板57設(shè)置在連接板52的端部，槽板58設(shè)置在凸板57的端部。不同的通孔54與安裝孔56位置相對(duì)時(shí)，槽板58插入不同的第二槽型傳感器42的凹槽內(nèi)，第二槽型傳感器42根據(jù)槽板58是否插入凹槽內(nèi)，輸出不同的信號(hào)。例如，第二槽型光電傳感器42為光電傳感器。當(dāng)槽板58位于第二槽型傳感器42的凹槽內(nèi)時(shí)，其發(fā)出電信號(hào)。因此，根據(jù)哪一個(gè)第二槽型傳感器42發(fā)出電信號(hào)，可判斷連接板52及裂縫檢測(cè)裝置5的角度。據(jù)此，可設(shè)置當(dāng)其中一個(gè)第二槽型傳感器42發(fā)出電信號(hào)時(shí)，裂縫檢測(cè)裝置5的角度適合檢測(cè)6寸晶圓；當(dāng)另一個(gè)第二槽型傳感器42發(fā)出電信號(hào)時(shí)，適合檢測(cè)8寸晶圓。這樣設(shè)置可進(jìn)一步提高自動(dòng)化檢測(cè)。
[0040]晶圓質(zhì)量檢測(cè)裝置還包括撥桿6和兩個(gè)第一位置檢測(cè)裝置，第一位置檢測(cè)裝置為第一槽型傳感器7。第一槽型傳感器7間隔設(shè)置。撥桿6為L(zhǎng)型板，L型板包括長(zhǎng)板61和短板62。長(zhǎng)板61通過(guò)轉(zhuǎn)軸63可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在支架I上。長(zhǎng)板61的一端位于底座4的轉(zhuǎn)動(dòng)路徑上，并可受底座4推動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)，長(zhǎng)板61的另一端安裝短板62。長(zhǎng)板61轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中，可帶動(dòng)短板62移動(dòng)至可被第一槽型傳感器7檢測(cè)到的位置。底座4以不同的轉(zhuǎn)向(比如順時(shí)針或逆時(shí)針)轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中，分別從長(zhǎng)板61的兩側(cè)推動(dòng)長(zhǎng)板61以不同的轉(zhuǎn)向轉(zhuǎn)動(dòng)。第一槽型傳感器7設(shè)有凹槽71，凹槽71的其中一個(gè)槽壁發(fā)射信號(hào)(如紅外光)，與之相對(duì)的另一個(gè)槽壁接收信號(hào)(紅外光)。長(zhǎng)板61轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)短板62移動(dòng)時(shí)，短板62可移動(dòng)至第一槽型傳感器7的凹槽71內(nèi)(如圖6所示)。第一槽型傳感器7根據(jù)短板62是否位于凹槽71內(nèi)，發(fā)出不同的信號(hào)。根據(jù)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，第一槽型傳感器7為光電傳感器。[0041 ] 本實(shí)用新型還包括控制主機(jī)，控制主機(jī)可接收第一槽型傳感器7根據(jù)短板62是否位于凹槽71內(nèi)發(fā)出的信號(hào)。控制主機(jī)控制電機(jī)工作，并在接收到第一槽型傳感器7的檢測(cè)信號(hào)后，使電機(jī)停止工作。
[0042]長(zhǎng)板61在底座4的撥動(dòng)下以不同的轉(zhuǎn)向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，短板62會(huì)移至不同的第一槽型傳感器7的凹槽71內(nèi)。每當(dāng)?shù)鬃?和裂縫檢測(cè)裝置5旋轉(zhuǎn)一圈時(shí)，從一側(cè)撥動(dòng)長(zhǎng)板61轉(zhuǎn)動(dòng)使短板62移至一個(gè)第一槽型傳感器7的凹槽71內(nèi)，第一槽型傳感器7向控制主機(jī)發(fā)出電信號(hào)?？刂浦鳈C(jī)接收信號(hào)后，使電機(jī)2停止繼續(xù)按原轉(zhuǎn)向旋轉(zhuǎn)，然后再使電機(jī)2反向旋轉(zhuǎn)。電機(jī)2反向旋轉(zhuǎn)后，直至從長(zhǎng)板61另一側(cè)撥動(dòng)長(zhǎng)板61轉(zhuǎn)動(dòng)，直至短板62移至另一個(gè)第一槽型傳感器7的凹槽71內(nèi)，此時(shí)，底座4及裂縫檢測(cè)裝置反向旋轉(zhuǎn)了一圈。
[0043]為使撥桿7被底座4以從一側(cè)推動(dòng)旋轉(zhuǎn)后，再底座反轉(zhuǎn)后能夠順利從另一側(cè)推動(dòng)撥桿7.本實(shí)用新型設(shè)置兩個(gè)彈性復(fù)位裝置，彈性復(fù)位裝置為可壓縮或拉伸的彈簧8，兩個(gè)彈簧8分別位于撥桿6的兩側(cè)。彈簧8 一端鉤掛在支架I的掛孔11上，另一端鉤掛在撥桿6上。撥桿6在底座4的撥動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，使一個(gè)彈簧8拉伸，另一個(gè)彈簧8壓縮，即兩個(gè)彈簧8均產(chǎn)生彈性變形力。彈簧8的彈性變形力可使偏離底座4轉(zhuǎn)動(dòng)路徑的撥桿6復(fù)位，重新回復(fù)至底座4的轉(zhuǎn)動(dòng)路徑上，并使短板62移出凹槽71。較手動(dòng)復(fù)位撥桿6，省時(shí)省力，復(fù)位及時(shí)，提尚檢測(cè)效率。
[0044]晶圓質(zhì)量檢測(cè)裝置還包括橫梁9。橫梁9上設(shè)置第二驅(qū)動(dòng)裝置，第二驅(qū)動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)支架I沿橫梁9移動(dòng)。第二驅(qū)動(dòng)裝置為無(wú)桿氣缸。無(wú)桿氣缸包括滑塊91，滑塊91設(shè)置在橫梁9上，且可沿橫梁9移動(dòng)。無(wú)桿氣缸的活塞(圖中未示出)可驅(qū)動(dòng)滑塊91沿橫梁9移動(dòng)。支架I通過(guò)吊臂92安裝在滑塊91上?；瑝K91沿橫梁9移動(dòng)，帶動(dòng)支架I移動(dòng)，從而將裂縫檢測(cè)裝置5移動(dòng)至不同工位的晶圓上方進(jìn)行檢測(cè)。
[0045]本實(shí)用新型還包括第三驅(qū)動(dòng)裝置(圖中未示出)，第三驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)支架I上升和下降，從而驅(qū)動(dòng)裂縫檢測(cè)裝置5上升和下降。將晶圓放置在裂縫檢測(cè)裝置5下方檢測(cè)，裂縫檢測(cè)裝置5可升降地設(shè)置，可方便地使其在各種位置檢測(cè)晶圓，便于在最佳檢測(cè)位置檢測(cè)。
[0046]本實(shí)用新型的晶圓質(zhì)量檢測(cè)裝置的使用方法如下:
[0047]將待檢測(cè)的晶圓(圖中未示出)擺放在工作臺(tái)(圖中未示出)上，位于裂縫檢測(cè)裝置5下方。啟動(dòng)氣缸91，驅(qū)動(dòng)支架I沿橫梁9移動(dòng)至晶圓上方合適的位置，使信號(hào)發(fā)射端501發(fā)射的信號(hào)經(jīng)晶圓發(fā)射后可由接收端502接收到。
[0048]開啟激光測(cè)距傳感器5。信號(hào)發(fā)射端501朝晶圓發(fā)送信號(hào)(如激光)，信號(hào)經(jīng)晶圓反射后由信號(hào)接收端502接收。
[0049]開啟電機(jī)2，驅(qū)動(dòng)底座4和裂縫檢測(cè)裝置5繞傳動(dòng)軸31轉(zhuǎn)動(dòng)。底座4撥動(dòng)長(zhǎng)板61轉(zhuǎn)動(dòng)，使短板62移動(dòng)至其中一個(gè)第一槽型傳感器7的凹槽71內(nèi)(如圖6所示)。第一槽型傳感器7向控制主機(jī)發(fā)送第一個(gè)信號(hào)，控制主機(jī)將該點(diǎn)記為裂縫檢測(cè)裝置5的轉(zhuǎn)動(dòng)原點(diǎn)?？刂齐姍C(jī)2驅(qū)動(dòng)控制電機(jī)2驅(qū)動(dòng)底座4和裂縫檢測(cè)裝置5以一個(gè)方向轉(zhuǎn)動(dòng)(比如順時(shí)針)，撥桿6在彈簧8的作用下復(fù)位。當(dāng)裂縫檢測(cè)裝置5轉(zhuǎn)動(dòng)一周后，底座4從另一側(cè)再次撥動(dòng)長(zhǎng)板61轉(zhuǎn)動(dòng)，使短板62移動(dòng)至另一個(gè)第一槽型傳感器7的凹槽71內(nèi)。第一槽型傳感器7向控制主機(jī)發(fā)送第二個(gè)信號(hào)，控制主機(jī)使電機(jī)停止工作，裂縫檢測(cè)裝置5停止繼續(xù)沿原轉(zhuǎn)向(順時(shí)針)轉(zhuǎn)動(dòng)。至此，裂縫檢測(cè)裝置5繞傳動(dòng)軸31轉(zhuǎn)動(dòng)一圈。完成對(duì)一個(gè)晶圓的檢測(cè)。需要檢測(cè)下一個(gè)晶圓時(shí)，控制主機(jī)控制電機(jī)2反向旋轉(zhuǎn)(如逆時(shí)針)，直至收到第一槽型傳感器7的信號(hào)時(shí)停止。
[0050]在裂縫檢測(cè)裝置5轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中，根據(jù)信號(hào)發(fā)射與接收的時(shí)間差(時(shí)間差與信號(hào)行走距離成正比)是否存在變化判斷是否存在裂縫。裂縫檢測(cè)裝置5轉(zhuǎn)動(dòng)一周，信號(hào)發(fā)射與接收的時(shí)間差相同或者不超出預(yù)定范圍，則判斷晶圓不存在裂縫；信號(hào)發(fā)射與接收的時(shí)間差不相同或超出預(yù)定范圍，則判斷晶圓存在裂縫。
[0051]本實(shí)用新型中的上、下、水平、豎直均以圖3為參考，本實(shí)用新型中的順時(shí)針、逆時(shí)針均以圖4為參考，為清楚地描述本實(shí)用新型而使用的相對(duì)概念，并不構(gòu)成對(duì)權(quán)利要求范圍的限制。
[0052]本實(shí)用新型中的實(shí)施例僅用于對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行說(shuō)明，并不構(gòu)成對(duì)權(quán)利要求范圍的限制，本領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員可以想到的其他實(shí)質(zhì)上等同的替代，均在本實(shí)用新型保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.晶圓檢測(cè)裝置，其特征在于，包括: 支架； 裂縫檢測(cè)裝置；所述裂縫檢測(cè)裝置用于檢測(cè)晶圓是否存在裂縫，所述裂縫檢測(cè)裝置可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述支架上； 第一驅(qū)動(dòng)裝置；所述第一驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述裂縫檢測(cè)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)或者通過(guò)第一傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述裂縫檢測(cè)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓檢測(cè)裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)裝置包括傳動(dòng)帶、傳動(dòng)鏈、傳動(dòng)帶輪、傳動(dòng)軸、傳動(dòng)絲桿中的一種或任意幾種組合。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的晶圓檢測(cè)裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置為電機(jī)；所述電機(jī)設(shè)置于所述支架上；所述第一傳動(dòng)裝置包括傳動(dòng)軸；所述傳動(dòng)軸可繞其中心軸線轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述支架上；所述電機(jī)通過(guò)同步帶驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括底座；所述裂縫檢測(cè)裝置安裝在所述底座上；所述第一驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)驅(qū)動(dòng)所述底座轉(zhuǎn)動(dòng)或通過(guò)第一傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述底座轉(zhuǎn)動(dòng)以驅(qū)動(dòng)所述裂縫檢測(cè)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括撥桿和至少一個(gè)第一位置檢測(cè)裝置；所述撥桿可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置；所述撥桿一端位于所述底座的轉(zhuǎn)動(dòng)路線上，并可受底座推動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)；所述撥桿轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中，另一端可移動(dòng)至可被所述第一位置檢測(cè)裝置檢測(cè)到的位置。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括控制主機(jī)，所述第一位置檢測(cè)裝置檢測(cè)到所述撥桿另一端時(shí)，向所述控制主機(jī)發(fā)送信號(hào)；所述控制主機(jī)控制所述第一驅(qū)動(dòng)裝置工作，并在接收到所述第一位置檢測(cè)裝置的檢測(cè)信號(hào)后，使所述第一驅(qū)動(dòng)裝置停止工作。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓檢測(cè)裝置，其特征在于，所述第一位置檢測(cè)裝置數(shù)目為兩個(gè)，間隔設(shè)置；所述底座以不同的轉(zhuǎn)向轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中，分別從所述撥桿兩側(cè)推動(dòng)所述撥桿以不同的轉(zhuǎn)向轉(zhuǎn)動(dòng)。8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓檢測(cè)裝置，其特征在于，所述撥桿為L(zhǎng)型板；所述L型板包括長(zhǎng)板和短板；所述長(zhǎng)板可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在支架上；所述長(zhǎng)板一端設(shè)置于所述底座的轉(zhuǎn)動(dòng)路線上，另一端安裝短板；所述第一位置檢測(cè)裝置為第一槽型傳感器，數(shù)目為兩個(gè)，間隔設(shè)置；所述第一槽型傳感器設(shè)有凹槽；所述凹槽的其中一個(gè)槽壁發(fā)射信號(hào)，與之相對(duì)的另一個(gè)槽壁接收信號(hào)；所述底座轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中，可分別從兩側(cè)推動(dòng)所述長(zhǎng)板沿不同的轉(zhuǎn)向轉(zhuǎn)動(dòng)；所述長(zhǎng)板轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)所述短板移動(dòng)；所述短板移動(dòng)時(shí)，可移動(dòng)至所述第一槽型傳感器的凹槽內(nèi)；所述第一槽型傳感器根據(jù)所述短板是否位于所述凹槽內(nèi)，發(fā)出不同的信號(hào)。9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括至少一個(gè)彈性復(fù)位裝置；所述撥桿轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，所述彈性復(fù)位裝置變形產(chǎn)生彈性變形力；所述彈性變形力具有使所述撥桿復(fù)位的趨勢(shì)。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶圓檢測(cè)裝置，其特征在于，所述彈性復(fù)位裝置為壓縮彈簧或拉伸彈簧。11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓檢測(cè)裝置，其特征在于，所述裂縫檢測(cè)裝置角度可調(diào)地安裝于所述支架上。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的晶圓檢測(cè)裝置，其特征在于，所述裂縫檢測(cè)裝置通過(guò)底座安裝于所述支架上；所述底座設(shè)置有插孔；所述裂縫檢測(cè)裝置設(shè)置有插桿；所述插桿插置于所述插孔內(nèi)；所述裂縫檢測(cè)裝置通過(guò)連接板與所述底座連接；所述連接板上設(shè)置有通槽和多個(gè)通孔；所述通孔與所述通槽間隔設(shè)置；所述裂縫檢測(cè)裝置上設(shè)置有銷子；所述銷子可沿所述通槽移動(dòng)地插置于所述通槽內(nèi)；所述裂縫檢測(cè)裝置設(shè)置有一個(gè)安裝孔；通過(guò)連接件穿過(guò)所述通孔與所述安裝孔相配合，將所述連接板與所述裂縫檢測(cè)裝置連接；通過(guò)不同的通孔與所述安裝孔相配合，調(diào)整所述裂縫檢測(cè)裝置的角度。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的晶圓檢測(cè)裝置，其特征在于，所述底座上設(shè)置有多個(gè)第二位置檢測(cè)裝置；選擇不同的通孔與所述安裝孔相配合時(shí)，所述連接板端部位置不同；所述第二位置檢測(cè)裝置用于檢測(cè)所述連接板端部的位置，當(dāng)所述第二位置檢測(cè)裝置檢測(cè)到所述連接板時(shí)，輸送信號(hào)。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的晶圓檢測(cè)裝置，其特征在于，所述第二位置檢測(cè)裝置為第二槽型傳感器，數(shù)目為兩個(gè)，間隔設(shè)置；所述第二槽型傳感器設(shè)有凹槽；所述凹槽的其中一個(gè)槽壁發(fā)射信號(hào)，與之相對(duì)的另一個(gè)槽壁接收信號(hào)；所述連接板端部安裝有凸板和槽板；所述凸板設(shè)置在所述連接板端部；所述槽板設(shè)置在所述凸板端部；不同的所述通孔與所述安裝孔位置相對(duì)時(shí)，所述槽板插入不同的第二槽型傳感器的凹槽內(nèi)；所述第二槽型傳感器根據(jù)槽板是否插入凹槽內(nèi)，輸出不同的信號(hào)。15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括橫梁；所述支架可沿所述橫梁移動(dòng)地設(shè)置于所述橫梁上，或者可升降地設(shè)置于橫梁上；還包括第二驅(qū)動(dòng)裝置或第三驅(qū)動(dòng)裝置；所述第二驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述支架沿所述橫梁移動(dòng)；所述第三驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述支架升降。16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓檢測(cè)裝置，其特征在于，所述裂縫檢測(cè)裝置具有信號(hào)發(fā)射端和信號(hào)接收端；所述信號(hào)發(fā)射端朝晶圓發(fā)送信號(hào)，所述信號(hào)經(jīng)晶圓反射后由所述信號(hào)接收端接收；在裂縫檢測(cè)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中，根據(jù)信號(hào)發(fā)射與接收的時(shí)間差是否存在變化判斷是否存在裂縫；裂縫檢測(cè)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)一周，信號(hào)發(fā)射與接收的時(shí)間差相同或者不超出預(yù)定范圍，則判斷晶圓不存在裂縫，信號(hào)發(fā)射與接收的時(shí)間差不相同或超出預(yù)定范圍，則判斷晶圓存在裂縫。17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的晶圓檢測(cè)裝置，其特征在于，所述裂縫檢測(cè)裝置為激光測(cè)距儀、紅外測(cè)距儀或者超聲測(cè)距儀的一種。
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