專利名稱：半導(dǎo)體集成電路及其檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及由組裝自測(cè)試(BIST)進(jìn)行的存儲(chǔ)器的測(cè)試、特別是具有冗余單元的存儲(chǔ)器的測(cè)試、以及能進(jìn)行存儲(chǔ)器周邊邏輯的測(cè)試的半導(dǎo)體集成電路及其檢查方法。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，安裝在半導(dǎo)體集成電路(LSI)中的存儲(chǔ)器的數(shù)目和規(guī)模(位寬數(shù)·字?jǐn)?shù))持續(xù)增大。與此相對(duì)應(yīng)，用測(cè)試器從外部檢查安裝在LSI中的存儲(chǔ)器所必要的外部引腳數(shù)和測(cè)試時(shí)間都會(huì)增加。
對(duì)此，在LSI內(nèi)部進(jìn)行存儲(chǔ)器的檢查的BIST(Built In SelfTest內(nèi)置自測(cè)試)技術(shù)的重要性提高了。通過(guò)采用BIST技術(shù)，能用少量的外部引腳進(jìn)行存儲(chǔ)器的檢查，同時(shí)由于所使用的引腳數(shù)少，所以能同時(shí)檢查L(zhǎng)SI內(nèi)部的多個(gè)存儲(chǔ)器。
另外，預(yù)先設(shè)置冗余電路(包含補(bǔ)救用單元的補(bǔ)救用字線、補(bǔ)救用位線)，往往用補(bǔ)救用字線、補(bǔ)救用位線置換存在由缺陷造成了不良的存儲(chǔ)單元的位線或字線，采用補(bǔ)救不良單元的冗余補(bǔ)救方式。因此，能提高存儲(chǔ)器的成品率。
圖12表示使用了現(xiàn)有的BIST的存儲(chǔ)器的補(bǔ)救及存儲(chǔ)器周邊邏輯的測(cè)試電路的一例。
測(cè)試圖形發(fā)生部1201對(duì)存儲(chǔ)器1204生成測(cè)試圖形，用比較部202比較存儲(chǔ)器1204的輸出數(shù)據(jù)是否與期待值一致，判斷輸出數(shù)據(jù)是否與期待值一致，并將該結(jié)果輸出給FAIL端子。
用比較部1202檢測(cè)到的不良單元的地址、位位置的信息被保持在補(bǔ)救處理部1203中。所存儲(chǔ)的不良單元的信息，用來(lái)確定應(yīng)進(jìn)行補(bǔ)救的補(bǔ)救字線、位線。
另外，用觀測(cè)用FF1205取入將向存儲(chǔ)器1204的輸入分支出來(lái)的信號(hào)，用控制用FF1206通過(guò)選擇器1207，控制存儲(chǔ)器1204的輸出，以此進(jìn)行BIST電路本身及存儲(chǔ)器1204周邊的邏輯的掃描測(cè)試。
這樣，在用現(xiàn)有的BIST進(jìn)行存儲(chǔ)器的補(bǔ)救處理的電路中，為了計(jì)算應(yīng)進(jìn)行補(bǔ)救的地址，補(bǔ)救處理部中具有存儲(chǔ)用BIST進(jìn)行測(cè)試時(shí)檢測(cè)到了Fail的不良地址、不良位的信息的存儲(chǔ)元件，為了進(jìn)行BIST電路本身及存儲(chǔ)器周邊的掃描測(cè)試，備有觀測(cè)向存儲(chǔ)器的輸入信號(hào)用的觸發(fā)電路。
如上所述，為了用BIST實(shí)現(xiàn)存儲(chǔ)器的補(bǔ)救處理，存儲(chǔ)存儲(chǔ)器的不良地址信息用的存儲(chǔ)元件是必要的，另外，為了對(duì)BIST電路本身及存儲(chǔ)器周邊邏輯進(jìn)行掃描測(cè)試，為了觀測(cè)向存儲(chǔ)器的輸入信號(hào)，需要觀測(cè)用的FF及控制存儲(chǔ)器輸出用的控制用的FF。
因此，為了實(shí)現(xiàn)用BIST進(jìn)行的存儲(chǔ)器的補(bǔ)救處理和掃描測(cè)試，需要補(bǔ)救處理用的存儲(chǔ)元件和掃描測(cè)試用的FF，存在電路面積增大的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是為了解決以上的問(wèn)題而進(jìn)行的，其目的在于提供一種能抑制冗余補(bǔ)救電路面積及掃描測(cè)試用電路的面積的增加的半導(dǎo)體集成電路及其檢查方法。
本發(fā)明的半導(dǎo)體集成電路的特征在于備有沿列方向具有一組補(bǔ)救用的冗余線的存儲(chǔ)器；發(fā)生對(duì)上述存儲(chǔ)器特定的測(cè)試圖形的測(cè)試圖形發(fā)生部；讀出來(lái)自上述存儲(chǔ)器的輸出，判斷上述存儲(chǔ)器中是否存在不良單元，輸出包含每個(gè)位的良好與否判斷信號(hào)的表示上述不良單元的存在與否的信號(hào)的比較部；檢查上述存儲(chǔ)器時(shí)，將從上述測(cè)試圖形發(fā)生部輸入給上述存儲(chǔ)器的列地址信號(hào)的全部或一部分分支出來(lái)的信號(hào)、以及將從上述比較部生成的上述每個(gè)位的良好與否判斷信號(hào)，作為不良地址數(shù)據(jù)取入，檢查上述存儲(chǔ)器周邊的邏輯時(shí)，形成掃描鏈的一部分，觀測(cè)向上述存儲(chǔ)器的輸入信號(hào)用的第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部；輸入上述比較部的輸出信號(hào)，存儲(chǔ)與上述不良單元的存在與否對(duì)應(yīng)的故障的有無(wú)狀態(tài)的第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部；以及將向上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的輸入和上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的保持內(nèi)容的輸出作為輸入，判斷上述存儲(chǔ)器能補(bǔ)救的補(bǔ)救可否判斷部，
上述第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部呈上述有故障的狀態(tài)時(shí)，上述第一存儲(chǔ)部保持上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部中保持的數(shù)據(jù)。
如果采用上述結(jié)構(gòu)，則在使用了BIST的存儲(chǔ)器的冗余補(bǔ)救電路中，準(zhǔn)備取入使從BIST輸入給存儲(chǔ)器的信號(hào)分支出來(lái)的信號(hào)的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部，檢查存儲(chǔ)器時(shí)，通過(guò)將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部作為存儲(chǔ)不良地址用的存儲(chǔ)元件(觸發(fā)電路)用，檢查BIST電路本身及存儲(chǔ)器周邊部邏輯時(shí)，將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的觸發(fā)電路作為掃描鏈的一部分使用，能抑制邏輯部的掃描測(cè)試及檢查存儲(chǔ)器所必要的電路面積的增加。
本發(fā)明的另一半導(dǎo)體集成電路的特征在于備有沿列方向具有一組補(bǔ)救用的冗余線的存儲(chǔ)器；發(fā)生對(duì)上述存儲(chǔ)器特定的測(cè)試圖形的測(cè)試圖形發(fā)生部；讀出來(lái)自上述存儲(chǔ)器的輸出，判斷上述存儲(chǔ)器中是否存在不良單元，輸出包含每個(gè)位的良好與否判斷信號(hào)的表示上述不良單元的存在與否的信號(hào)的比較部；檢查上述存儲(chǔ)器時(shí)，將從上述測(cè)試圖形發(fā)生部輸入給上述存儲(chǔ)器的列地址信號(hào)的全部或一部分分支出來(lái)的信號(hào)、以及從上述比較部生成的上述每個(gè)位的良好與否判斷信號(hào)，作為不良地址數(shù)據(jù)取入，檢查上述存儲(chǔ)器周邊的邏輯時(shí)，形成掃描鏈的一部分，觀測(cè)向上述存儲(chǔ)器的輸入信號(hào)用的第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部；以及將向上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的輸入和上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的保持內(nèi)容的輸出作為輸入，判斷上述存儲(chǔ)器能補(bǔ)救的補(bǔ)救可否判斷部，在上述第一存儲(chǔ)部中，從上述比較部輸出的信號(hào)是這樣一種信號(hào)在上述存儲(chǔ)器中存在不良單元的情況下被激活，直至測(cè)試結(jié)束之前輸入保持激活狀態(tài)的失效信號(hào)，上述失效信號(hào)被激活時(shí)，保持上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部中保持的數(shù)據(jù)。
在上述結(jié)構(gòu)中，第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部有能從測(cè)試圖形發(fā)生部有選擇地取入被輸入給存儲(chǔ)器的數(shù)據(jù)輸入信號(hào)和每個(gè)位的良好與否判斷信號(hào)的選擇器。
在上述結(jié)構(gòu)中，補(bǔ)救可否判斷部在作為從比較部生成的每個(gè)位的良好與否判斷信號(hào)，收到了多個(gè)位的不良的判斷時(shí)，斷定存儲(chǔ)器不能補(bǔ)救。
本發(fā)明的另一半導(dǎo)體集成電路的特征在于備有沿行方向具有一組補(bǔ)救用的冗余線的存儲(chǔ)器；發(fā)生對(duì)上述存儲(chǔ)器特定的測(cè)試圖形的測(cè)試圖形發(fā)生部；讀出來(lái)自上述存儲(chǔ)器的輸出，判斷上述存儲(chǔ)器中是否存在不良單元，輸出表示上述不良單元的存在與否的信號(hào)的比較部；檢查上述存儲(chǔ)器時(shí)，將從上述測(cè)試圖形發(fā)生部輸入給上述存儲(chǔ)器的行地址信號(hào)的全部或一部分的位分支出來(lái)的信號(hào)，作為不良地址數(shù)據(jù)取入，檢查上述存儲(chǔ)器周邊的邏輯時(shí)，作為掃描鏈的一部分，觀測(cè)向上述存儲(chǔ)器的輸入信號(hào)用的第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部；輸入上述比較部的輸出信號(hào)，存儲(chǔ)與上述不良單元的存在與否對(duì)應(yīng)的故障的有無(wú)狀態(tài)的第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部；以及將向上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的輸入和上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的保持內(nèi)容的輸出作為輸入，判斷上述存儲(chǔ)器能補(bǔ)救的補(bǔ)救可否判斷部，上述第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部呈上述有故障的狀態(tài)時(shí)，上述第一存儲(chǔ)部保持上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部中保持的數(shù)據(jù)。
本發(fā)明的另一半導(dǎo)體集成電路的特征在于備有沿行方向具有一組補(bǔ)救用的冗余線的存儲(chǔ)器；發(fā)生對(duì)上述存儲(chǔ)器特定的測(cè)試圖形的測(cè)試圖形發(fā)生部；讀出來(lái)自上述存儲(chǔ)器的輸出，判斷上述存儲(chǔ)器中是否存在不良單元，輸出表示上述不良單元的存在與否的信號(hào)的比較部；檢查上述存儲(chǔ)器時(shí)，將從上述測(cè)試圖形發(fā)生部輸入給上述存儲(chǔ)器的行地址信號(hào)的全部或一部分的位分支出來(lái)的信號(hào)作為不良地址數(shù)據(jù)取入，檢查上述存儲(chǔ)器周邊的邏輯時(shí)，作為掃描鏈的一部分，觀測(cè)向上述存儲(chǔ)器的輸入信號(hào)用的第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部；以及將向上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的輸入和上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的保持內(nèi)容的輸出作為輸入，判斷上述存儲(chǔ)器能補(bǔ)救的補(bǔ)救可否判斷部，在上述第一存儲(chǔ)部中，從上述比較部輸出的信號(hào)是這樣一種信號(hào)在上述存儲(chǔ)器中存在不良單元的情況下被激活，直至測(cè)試結(jié)束之前輸入保持激活狀態(tài)的失效信號(hào)，上述失效信號(hào)被激活時(shí)，保持上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部中保持的數(shù)據(jù)。
本發(fā)明的另一半導(dǎo)體集成電路的特征在于備有具有進(jìn)行列方向及行方向的補(bǔ)救的冗余線的存儲(chǔ)器；發(fā)生對(duì)上述存儲(chǔ)器特定的測(cè)試圖形的測(cè)試圖形發(fā)生部；讀出來(lái)自上述存儲(chǔ)器的輸出，判斷上述存儲(chǔ)器中是否存在不良單元，輸出表示上述不良單元的存在與否的信號(hào)的比較部；檢查上述存儲(chǔ)器時(shí)，將從上述測(cè)試圖形發(fā)生部輸入給上述存儲(chǔ)器的地址信號(hào)分支出來(lái)的信號(hào)、以及來(lái)自上述比較部的輸出信號(hào)作為不良地址數(shù)據(jù)取入，檢查上述存儲(chǔ)器周邊的邏輯時(shí)，作為掃描鏈的一部分，觀測(cè)向上述存儲(chǔ)器的輸入信號(hào)用的第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部；輸入上述比較部的輸出信號(hào)，存儲(chǔ)與上述不良單元的存在與否對(duì)應(yīng)的故障的有無(wú)狀態(tài)的第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部；以及將向上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的輸入和上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的保持內(nèi)容的輸出作為輸入，判斷上述存儲(chǔ)器能補(bǔ)救的補(bǔ)救可否判斷部，上述第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部呈上述有故障的狀態(tài)時(shí)，上述第一存儲(chǔ)部保持上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部中保持的數(shù)據(jù)。
在上述結(jié)構(gòu)中，從上述比較部輸出的信號(hào)是這樣一種信號(hào)只有在上述存儲(chǔ)器中存在不良單元的情況下成為被激活的監(jiān)視信號(hào)，以及在上述存儲(chǔ)器中存在不良單元的情況下被激活，直至測(cè)試結(jié)束之前保持激活狀態(tài)的失效信號(hào)被激活的情況下，在上述補(bǔ)救可否判斷部中對(duì)上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的輸入與上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的輸出進(jìn)行比較，判斷上述存儲(chǔ)器是否能補(bǔ)救。
本發(fā)明的半導(dǎo)體集成電路的檢查方法是一種有上述結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體集成電路的檢查方法，其特征在于第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部在檢查存儲(chǔ)器時(shí)，用來(lái)保持存儲(chǔ)器的不良信息，檢查存儲(chǔ)器周邊部的邏輯時(shí)，用來(lái)觀測(cè)向存儲(chǔ)器的輸入信號(hào)。


圖1是說(shuō)明本發(fā)明的第一實(shí)施例的半導(dǎo)體集成電路用的框圖。
圖2是說(shuō)明第一實(shí)施例用的流程圖。
圖3是表示第一實(shí)施例的存儲(chǔ)器中的不良的分布的說(shuō)明圖。
圖4是說(shuō)明第一實(shí)施例的變例的半導(dǎo)體集成電路用的框圖。
圖5是說(shuō)明第一實(shí)施例的變例的半導(dǎo)體集成電路用的框圖。
圖6是說(shuō)明第二實(shí)施例的半導(dǎo)體集成電路用的框圖。
圖7是說(shuō)明第二實(shí)施例用的流程圖。
圖8是表示第二實(shí)施例的存儲(chǔ)器中的不良的分布的說(shuō)明圖。
圖9是說(shuō)明第二實(shí)施例的變例的半導(dǎo)體集成電路用的框圖。
圖10是第三實(shí)施例的半導(dǎo)體集成電路的框圖。
圖11是說(shuō)明第三實(shí)施例用的流程圖。
圖12是現(xiàn)有的BIST的補(bǔ)救電路例。
具體實(shí)施例方式
(第一實(shí)施例)圖1是說(shuō)明本發(fā)明的第一實(shí)施例的半導(dǎo)體集成電路用的框圖。
存儲(chǔ)器104是作為測(cè)試對(duì)象的存儲(chǔ)器，沿Column(列)方向具有一組補(bǔ)救用的冗余線，在實(shí)施例中其內(nèi)部包含通過(guò)補(bǔ)救處理而被置換的單一的補(bǔ)救用Column線。
101是測(cè)試圖形發(fā)生部，發(fā)生行地址信號(hào)ROW_ADD、列地址信號(hào)COL_ADD、控制信號(hào)CTRL、數(shù)據(jù)輸入信號(hào)DIN，輸入到存儲(chǔ)器104中。
102是比較部，對(duì)被輸入到存儲(chǔ)器104中的測(cè)試圖形的存儲(chǔ)器104的輸出響應(yīng)DOUT和正常時(shí)所期待的值(期待值)進(jìn)行比較，檢測(cè)不能正常存儲(chǔ)信號(hào)的不良單元。從比較部102生成以下信號(hào)一旦檢測(cè)到不良單元便被激活、直至測(cè)試結(jié)束維持激活狀態(tài)的FAIL(失效)信號(hào)；只有在檢測(cè)到了故障時(shí)才被激活，未檢測(cè)到故障時(shí)不被激活的MONITOR(監(jiān)視)信號(hào)；以及對(duì)存儲(chǔ)器104的輸出數(shù)據(jù)DOUT的各個(gè)位與期待值進(jìn)行比較，只是存在故障的位被激活的FailPerBit(位失效)信號(hào)。
106是第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部，輸入比較部102的FAIL信號(hào)，保持實(shí)施測(cè)試期間的存儲(chǔ)器104內(nèi)的故障的有無(wú)的狀態(tài)值(表示從測(cè)試開始到檢測(cè)出最初的故障為止的狀態(tài)的值、以及表示檢測(cè)出最初的故障后的狀態(tài)的值)。
在存儲(chǔ)器104中，為了沿列方向進(jìn)行補(bǔ)救，為了指定存在不良的列線，存在不良的單元的列地址及其位位置的信息成為必要。105是第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部，在檢查存儲(chǔ)器104時(shí)，將從測(cè)試圖形發(fā)生部101輸入給存儲(chǔ)器104的列地址信號(hào)的全部或一部分分支出來(lái)的信號(hào)、以及將從比較部102生成的每個(gè)位的良好與否判斷信號(hào)，作為不良地址數(shù)據(jù)取入。即，在進(jìn)行存儲(chǔ)器104的補(bǔ)救處理的情況下，存儲(chǔ)存在不良的單元的列地址及其位位置信息，存儲(chǔ)最初檢測(cè)到了故障的不良單元的列地址及其位位置信息，此后將該值保持在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部105內(nèi)。為了保持?jǐn)?shù)據(jù)，使用保持在第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部106中的值。在第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部106中表示檢測(cè)到了最初的故障后的狀態(tài)的值的情況下，繼續(xù)保持存儲(chǔ)在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部105中的值。
另外，在進(jìn)行存儲(chǔ)器104的周邊邏輯的掃描測(cè)試的情況下，第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部105構(gòu)成掃描鏈的一部分，用來(lái)觀測(cè)傳播到存儲(chǔ)器104中的故障，從而能提高存儲(chǔ)器104周邊邏輯的故障檢測(cè)。
103是選擇測(cè)試圖形發(fā)生部101中生成的數(shù)據(jù)輸入信號(hào)DIN與比較部102中生成的FailPerBit信號(hào)的選擇器，在存儲(chǔ)器104的補(bǔ)救處理時(shí)，選擇FailPerBit信號(hào)，將存在不良的單元的位位置信息輸入到第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部105中，在存儲(chǔ)器周邊邏輯的掃描測(cè)試時(shí)，選擇向存儲(chǔ)器104的數(shù)據(jù)輸入信號(hào)DIN或FailPerBit信號(hào)中的某一個(gè)，用第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部105觀測(cè)傳播到存儲(chǔ)器104中的故障。
107是補(bǔ)救可否判斷部，在FAIL信號(hào)和MONITOR信號(hào)都被激活的情況下，對(duì)被輸入到第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部105中的信號(hào)與在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部105中保持的值進(jìn)行比較，在它們相同的情況下，斷定存儲(chǔ)器104能用補(bǔ)救用Column線進(jìn)行補(bǔ)救，在它們不同的情況下，斷定不能補(bǔ)救。另外，在被輸入到補(bǔ)救可否判斷部107中的FailPerBit中的多個(gè)位被激活的情況下，也斷定不能補(bǔ)救。
圖2是表示圖1所示的半導(dǎo)體集成電路中的存儲(chǔ)器補(bǔ)救處理工作的流程圖。
以下，參照?qǐng)D1、圖2及圖3，說(shuō)明存儲(chǔ)器補(bǔ)救處理的實(shí)現(xiàn)方法。
圖3中，R1、R0是存儲(chǔ)器104中的2個(gè)位的行地址，用(R1、R0)表示行地址。R1是msb，R0是lsb。C1、C0是存儲(chǔ)器104的2個(gè)位的列地址，用(C1、C0)表示列地址。C1是msb，C0是lsb。
W0是對(duì)應(yīng)于行地址(R1、R0)＝(0、0)的字線，W1是對(duì)應(yīng)于行地址(R1、R0)＝(0、1)的字線，W2是對(duì)應(yīng)于行地址(R1、R0)＝(1、0)的字線，W3是對(duì)應(yīng)于行地址(R1、R0)＝(1、1)的字線，
B00是對(duì)應(yīng)于列地址(C1、C0)＝(0、0)的第0位的位線，B01是對(duì)應(yīng)于列地址(C1、C0)＝(0、1)的第0位的位線，B02是對(duì)應(yīng)于列地址(C1、C0)＝(1、0)的第0位的位線，B03是對(duì)應(yīng)于列地址(C1、C0)＝(1、1)的第0位的位線，B10是對(duì)應(yīng)于列地址(C1、C0)＝(0、0)的第1位的位線，B11是對(duì)應(yīng)于列地址(C1、C0)＝(0、1)的第1位的位線，B12是對(duì)應(yīng)于列地址(C1、C0)＝(1、0)的第1位的位線，B13是對(duì)應(yīng)于列地址(C1、C0)＝(1、1)的第1位的位線，存儲(chǔ)單元配置在位線與字線的交點(diǎn)上。
該圖中的“×”表示存在不良的存儲(chǔ)單元，存在以下3個(gè)不良單元用行地址(R1、R0)＝00、列地址(C1、C0)＝00表示的地址的第0位，用行地址(R1、R0)＝01、列地址(C1、C0)＝00表示的地址的第0位，用行地址(R1、R0)＝01、列地址(C1、C0)＝01表示的地址的第1位，表示W(wǎng)1上的2個(gè)存儲(chǔ)器為不良，B00上的2個(gè)存儲(chǔ)器為不良。
在步驟ST201中開始測(cè)試。說(shuō)明測(cè)試時(shí)地址的計(jì)數(shù)方向先從列地址進(jìn)行計(jì)數(shù)的情況。
最初檢測(cè)的故障是用行地址(R1、R0)＝00、列地址(C1、C0)＝00表示的地址的第0位，第二次檢測(cè)的故障是用行地址(R1、R0)＝01、列地址(C1、C0)＝00表示的地址的第0位，第三次(最后)檢測(cè)的故障是用行地址(R1、R0)＝01、列地址(C1、C0)＝01表示的地址的第1位，在步驟ST202中將測(cè)試圖形從測(cè)試圖形發(fā)生部101輸入到存儲(chǔ)器104中，在比較部102中對(duì)來(lái)自存儲(chǔ)器104的輸出與期待值進(jìn)行比較。
在步驟ST203中，用行地址(R1、R0)＝00、列地址(C1、C0)＝00檢測(cè)故障。由于檢測(cè)到了故障，所以轉(zhuǎn)移到步驟ST204。在步驟ST204中判斷是否有多個(gè)位的故障。在該地址中由于只在第0位中存在故障，所以轉(zhuǎn)移到步驟ST205。由于該故障是最初的故障，所以轉(zhuǎn)移到步驟ST206。
這里，保持表示最初在第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部106中有故障的值，同時(shí)在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部105中，作為列地址，將(C1、C0)＝00的值作為不良地址保持；而作為FailPerBit，將表示只在第0位存在故障的值作為不良地址保持。其次轉(zhuǎn)移到步驟ST207，但由于檢測(cè)尚未結(jié)束，所以返回步驟ST202。
接著，在步驟ST203中檢測(cè)的故障的地址為行地址(R1、R0)＝01、列地址(C1、C0)＝00，但由于對(duì)應(yīng)于該地址的故障也還僅僅是第0位，而不是多個(gè)位的故障，所以轉(zhuǎn)移到步驟205。如果檢測(cè)到了多個(gè)位的不良時(shí)，由于多個(gè)不良位必然存在于不同的位線上，所以在由單一的列線進(jìn)行補(bǔ)救的情況下，就不能補(bǔ)救，所以轉(zhuǎn)移到步驟ST209，確定為次品，處理結(jié)束。
該第二次檢測(cè)的故障由于不是最初的故障，所以轉(zhuǎn)移到步驟ST208。保持在第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部106中的值成為表示檢測(cè)到了最初的故障后的狀態(tài)的值，所以在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部105中，不取入第二次檢測(cè)的故障的列地址及FailPerBit的值，仍然保持最初檢測(cè)的故障的列地址及FailPerBit的值。
在步驟ST208中，在第二次檢測(cè)到了故障的時(shí)刻，MONITOR信號(hào)被激活，而且FAIL信號(hào)從最初檢測(cè)到了故障時(shí)就呈激活狀態(tài)，所以在補(bǔ)救可否判斷部107中，判斷保持在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部105中的最初的故障的不良地址與第二次檢測(cè)到的故障的不良地址是否一致。這時(shí)由于最初檢測(cè)到的故障和第二次檢測(cè)到的故障兩者地址相同(兩者都在B00線上)，所以斷定不良地址一致，轉(zhuǎn)移到步驟ST207。
在步驟ST207中，由于檢查尚未結(jié)束，所以轉(zhuǎn)移到步驟ST202。
接著(第三次)檢測(cè)的故障的地址是行地址(R1、R0)＝01、列地址(C1、C0)＝01，但由于對(duì)應(yīng)于該地址的故障也還僅僅是第一位、而不是多個(gè)位的故障，所以轉(zhuǎn)移到步驟ST205。
該第三次檢測(cè)的故障也不是最初的故障，所以轉(zhuǎn)移到步驟ST208。保持在第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部106中的值成為表示檢測(cè)到了最初的故障后的狀態(tài)的值，所以在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部105中，不取入第三次檢測(cè)的故障的列地址及FailPerBit的值，仍然保持最初檢測(cè)到的故障的列地址及FailPerBit的值。
在步驟ST208中，在第三次檢測(cè)到了故障的時(shí)刻，MONITOR信號(hào)被激活，而且FAIL信號(hào)從最初檢測(cè)到了故障時(shí)就呈激活狀態(tài)，所以在補(bǔ)救可否判斷部107中，判斷保持在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部105中的最初的故障的不良地址與第三次檢測(cè)到的故障的不良地址是否一致。這時(shí)由于最初檢測(cè)到的故障在B00線上，第三次檢測(cè)到的故障在B11線上，所以最初檢測(cè)到的故障與第三次檢測(cè)到的故障不是同一地址，在補(bǔ)救可否判斷部107中斷定為不能補(bǔ)救，轉(zhuǎn)移到步驟ST209，由于不能補(bǔ)救，所以確定為次品，處理結(jié)束。
如上所述，如果采用第一實(shí)施例，則在使用了BIST的存儲(chǔ)器104的冗余補(bǔ)救電路中，準(zhǔn)備取入使從BIST輸入到存儲(chǔ)器104的信號(hào)分支了的信號(hào)的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部，檢查存儲(chǔ)器104時(shí)，將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部作為存儲(chǔ)不良地址用的存儲(chǔ)元件(觸發(fā)電路)使用，檢查BIST電路本身及存儲(chǔ)器周邊部邏輯時(shí)，將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的觸發(fā)電路作為掃描鏈的一部分使用，能抑制邏輯部的掃描測(cè)試及檢查存儲(chǔ)器所必要的電路面積的增加。
另外，在本實(shí)施例中，雖然說(shuō)明了為了觀測(cè)向存儲(chǔ)器104的輸入信號(hào)而使用第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部105的例子，但如圖5所示，還利用選擇器501有選擇地取入第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部105的輸出和存儲(chǔ)器104的輸出信號(hào)DOUT，在掃描測(cè)試時(shí)，即使用第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部105的輸出，控制存儲(chǔ)器104的輸出信號(hào)DOUT的值，也能控制存儲(chǔ)器的輸出，所以更能提高存儲(chǔ)器周邊的故障檢測(cè)，能獲得與本實(shí)施例相同的效果。
另外，在沿列方向有一條存儲(chǔ)器補(bǔ)救用的線的情況下，將最初檢測(cè)到的作為不良單元的不良地址的列地址和各個(gè)位的良/不良判斷信號(hào)取入第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部105中，根據(jù)保持存儲(chǔ)器104中是否有不良的數(shù)據(jù)的第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部106中保持的值，保持被取入第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部105中的最初檢測(cè)到的不良單元的不良地址的值，對(duì)第二次以后檢測(cè)到的不良單元的不良地址與被取入第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部105中的不良地址進(jìn)行比較，能進(jìn)行存儲(chǔ)器的補(bǔ)救可否的判斷。
另外，在本實(shí)施例中，為了保持第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部105中的值，雖然使用了第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部106中的值，但如圖4所示，即便用FAIL信號(hào)的值代替第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部106時(shí)，也能獲得與本實(shí)施例同樣的效果。
另外，在本實(shí)施例中，雖然將進(jìn)行列方向的補(bǔ)救的最小單位作為一條位線進(jìn)行了說(shuō)明，但即使在進(jìn)行列方向的補(bǔ)救的最小單位為多條位線的情況下，通過(guò)將作為進(jìn)行補(bǔ)救的最小單位的多條位線集中起來(lái)作為不良地址處理，也能獲得與本實(shí)施例同樣的效果。
(第二實(shí)施例)圖6是說(shuō)明本發(fā)明的第二實(shí)施例的半導(dǎo)體集成電路用的框圖。
存儲(chǔ)器604是作為測(cè)試對(duì)象的存儲(chǔ)器，沿Row(行)方向具有一組補(bǔ)救用的冗余線，在實(shí)施例中其內(nèi)部包含通過(guò)補(bǔ)救處理而被置換的單一的補(bǔ)救用Row線。
601是測(cè)試圖形發(fā)生部，發(fā)生行地址信號(hào)ROW_ADD、列地址信號(hào)COL_ADD、控制信號(hào)CTRL、數(shù)據(jù)輸入信號(hào)DIN，輸入到存儲(chǔ)器604中。
602是比較部，對(duì)被輸入到存儲(chǔ)器604中的與測(cè)試圖形對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)器604的輸出響應(yīng)DOUT與正常時(shí)期待的值(期待值)進(jìn)行比較，檢測(cè)不能正常存儲(chǔ)信號(hào)的不良單元。從比較部602生成以下信號(hào)一旦檢測(cè)到不良單元便被激活、直至測(cè)試結(jié)束都維持激活狀態(tài)的FAIL信號(hào)；只有在檢測(cè)到了故障時(shí)才被激活，未檢測(cè)到故障時(shí)則不被激活的MONITOR信號(hào)；以及對(duì)存儲(chǔ)器604的輸出數(shù)據(jù)DOUT的每個(gè)位與期待值進(jìn)行比較，只是存在故障的位被激活的FailPerBit信號(hào)。
606是第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部，輸入比較部602的FAIL信號(hào)，保持實(shí)施測(cè)試的期間的存儲(chǔ)器604內(nèi)的故障的有無(wú)狀態(tài)值(表示從測(cè)試開始到檢測(cè)出最初的故障為止的狀態(tài)的值、以及表示檢測(cè)出最初的故障后的狀態(tài)的值)。
存儲(chǔ)器604為了沿行方向進(jìn)行補(bǔ)救，指定存在不良的行線，存在不良的單元的行地址的信息成為必要。605是第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部，檢查存儲(chǔ)器604時(shí)，將從測(cè)試圖形發(fā)生部601輸入給存儲(chǔ)器604的行地址信號(hào)的全部或一部分分支出來(lái)的信號(hào)作為不良地址數(shù)據(jù)取入。即，在進(jìn)行存儲(chǔ)器604的補(bǔ)救處理的情況下，存儲(chǔ)存在不良的單元的行地址，存儲(chǔ)最初檢測(cè)到了故障的不良單元的行地址，此后將該值保持在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部605內(nèi)。為了保持存儲(chǔ)在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部605中的數(shù)據(jù)，使用保持在第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部606中的值。在第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部606中表示檢測(cè)到了最初的故障后的狀態(tài)的情況下，繼續(xù)保持存儲(chǔ)在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部605中的值。另外，在進(jìn)行存儲(chǔ)器604的周邊邏輯的掃描測(cè)試的情況下，第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部605構(gòu)成掃描鏈的一部分，用來(lái)觀測(cè)傳播到存儲(chǔ)器604中的故障，能提高存儲(chǔ)器604周邊邏輯的故障檢測(cè)。
607是補(bǔ)救可否判斷部，在FAIL信號(hào)和MONITOR信號(hào)都被激活的情況下，對(duì)被輸入到第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部605中的信號(hào)與在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部605中保持的值進(jìn)行比較，在它們相同的情況下，斷定存儲(chǔ)器604能用補(bǔ)救用Row線進(jìn)行補(bǔ)救，在不同的情況下，斷定不能補(bǔ)救。
圖7是表示圖6所示的半導(dǎo)體集成電路中的存儲(chǔ)器補(bǔ)救處理工作的流程圖。
以下，參照?qǐng)D6、圖7及圖8，說(shuō)明存儲(chǔ)器補(bǔ)救處理的實(shí)現(xiàn)方法。
圖8中，R1、R0是存儲(chǔ)器604中的2個(gè)位的行地址，用(R1、R0)表示行地址。R1是msb，R0是lsb。C1、C0是存儲(chǔ)器604的2個(gè)位的列地址，用(C1、C0)表示列地址。C1是msb，C0是lsb。
W0是對(duì)應(yīng)于行地址(R1、R0)＝(0、0)的字線，W1是對(duì)應(yīng)于行地址(R1、R0)＝(0、1)的字線，W2是對(duì)應(yīng)于行地址(R1、R0)＝(1、0)的字線，W3是對(duì)應(yīng)于行地址(R1、R0)＝(1、1)的字線，B00是對(duì)應(yīng)于列地址(C1、C0)＝(0、0)的第0位的位線，B01是對(duì)應(yīng)于列地址(C1、C0)＝(0、1)的第0位的位線，B02是對(duì)應(yīng)于列地址(C1、C0)＝(1、0)的第0位的位線，B03是對(duì)應(yīng)于列地址(C1、C0)＝(1、1)的第0位的位線，B10是對(duì)應(yīng)于列地址(C1、C0)＝(0、0)的第1位的位線，B11是對(duì)應(yīng)于列地址(C1、C0)＝(0、1)的第1位的位線，B12是對(duì)應(yīng)于列地址(C1、C0)＝(1、0)的第1位的位線，B13是對(duì)應(yīng)于列地址(C1、C0)＝(1、1)的第1位的位線，存儲(chǔ)單元配置在位線與字線的交點(diǎn)上。
該圖中的“×”表示存在不良的存儲(chǔ)單元，存在以下3個(gè)不良單元用行地址(R1、R0)＝00、列地址(C1、C0)＝00表示的地址的第0位，用行地址(R1、R0)＝00、列地址(C1、C0)＝10表示的地址的第1位，用行地址(R1、R0)＝01、列地址(C1、C0)＝00表示的地址的第0位，
表示W(wǎng)0上的2個(gè)存儲(chǔ)器為不良，B00上的2個(gè)存儲(chǔ)器為不良。
在步驟ST701中開始測(cè)試。說(shuō)明測(cè)試時(shí)地址的計(jì)數(shù)方向先從列地址進(jìn)行計(jì)數(shù)的情況。
最初檢測(cè)的故障是用行地址(R1、R0)＝00、列地址(C1、C0)＝00表示的地址的第0位，第二次檢測(cè)的故障是用行地址(R1、R0)＝00、列地址(C1、C0)＝10表示的地址的第1位，第三次(最后)檢測(cè)的故障是用行地址(R1、R0)＝01、列地址(C1、C0)＝00表示的地址的第0位，在步驟ST702中將測(cè)試圖形從測(cè)試圖形發(fā)生部601輸入到存儲(chǔ)器604中，在比較部602中對(duì)來(lái)自存儲(chǔ)器604的輸出與期待值進(jìn)行比較。
在步驟ST703中，用行地址(R1、R0)＝00、列地址(C1、C0)＝00檢測(cè)故障。由于檢測(cè)到了故障，所以轉(zhuǎn)移到步驟ST705。由于該故障是最初的故障，所以轉(zhuǎn)移到步驟ST706。
這里，保持表示最初在第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部606中有故障的值，同時(shí)在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部605中，作為行地址，將(R1、R0)＝00的值作為不良地址保持。其次轉(zhuǎn)移到步驟ST707，由于檢測(cè)尚未結(jié)束，所以返回到步驟ST702。
接著，在步驟ST703中檢測(cè)的故障的地址為行地址(R1、R0)＝00、列地址(C1、C0)＝10，轉(zhuǎn)移到步驟705。該第二次檢測(cè)的故障由于不是最初的故障，所以轉(zhuǎn)移到步驟ST708。保持在第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部606中的值成為表示檢測(cè)到了最初的故障后的狀態(tài)的值，所以在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部605中，不取入第二次檢測(cè)的故障的行地址的值，仍然保持最初檢測(cè)的故障的行地址的值。
在步驟ST708中，在第二次檢測(cè)到了故障的時(shí)刻，MONITOR信號(hào)被激活，而且FAIL信號(hào)從最初檢測(cè)到了故障時(shí)就呈激活狀態(tài)，所以在補(bǔ)救可否判斷部607中，判斷保持在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部605中的最初的故障的不良地址與第二次檢測(cè)到的故障的不良地址是否一致。這時(shí)由于最初檢測(cè)到的故障與第二次檢測(cè)到的故障兩者地址相同(兩者都在W0行上)，所以斷定不良地址一致，轉(zhuǎn)移到步驟ST707。
在步驟ST707中，由于檢查尚未結(jié)束，所以轉(zhuǎn)移到步驟ST702。
接著(第三次)檢測(cè)的故障的地址是行地址(R1、R0)＝01、列地址(C1、C0)＝00，轉(zhuǎn)移到步驟ST705。該第三次檢測(cè)的故障也不是最初的故障，所以轉(zhuǎn)移到步驟ST708。保持在第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部606中的值成為表示檢測(cè)到了最初的故障后的狀態(tài)的值，所以在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部605中，不取入第三次檢測(cè)的故障的行地址的值，仍然保持最初檢測(cè)到的故障的行地址的值。
在步驟ST708中，在第三次檢測(cè)到了故障的時(shí)刻，MONITOR信號(hào)被激活，而且FAIL信號(hào)在最初檢測(cè)到了故障時(shí)呈激活狀態(tài)，所以在補(bǔ)救可否判斷部607中，判斷保持在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部605中的最初的故障的不良地址與第三次檢測(cè)到的故障的不良地址是否一致。這時(shí)由于最初檢測(cè)到的故障在W0線上，第三次檢測(cè)到的故障在W1線上，所以最初檢測(cè)到的故障與第三次檢測(cè)到的故障不是同一地址，在補(bǔ)救可否判斷部607中斷定為不能補(bǔ)救，轉(zhuǎn)移到步驟ST709，由于不能補(bǔ)救，所以確定為次品，處理結(jié)束。
如上所述，如果采用第二實(shí)施例，則在使用了BIST的存儲(chǔ)器604的冗余補(bǔ)救電路中，準(zhǔn)備取入使從BIST輸入到存儲(chǔ)器604的信號(hào)分支了的信號(hào)的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部，在檢查存儲(chǔ)器604時(shí)，將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部作為存儲(chǔ)不良地址用的存儲(chǔ)元件(觸發(fā)電路)使用，檢查BIST電路本身及存儲(chǔ)器周邊部邏輯時(shí)，將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的觸發(fā)電路作為掃描鏈的一部分使用，從而能抑制邏輯部的掃描測(cè)試及檢查存儲(chǔ)器604所必要的電路面積的增加。
另外，在沿行方向有一條存儲(chǔ)器604的補(bǔ)救用的線的情況下，將最初檢測(cè)到的僅僅作為不良單元的不良地址的行地址取入第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部605中，根據(jù)保持存儲(chǔ)器604中是否有不良的數(shù)據(jù)的第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部606中保持的值，保持被取入第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部605中的最初檢測(cè)到的不良單元的不良地址的值，對(duì)第二次以后檢測(cè)到的不良單元的不良地址與被取入第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部605中的不良地址進(jìn)行比較，從而能進(jìn)行存儲(chǔ)器604的補(bǔ)救可否的判斷。
另外，在本實(shí)施例中，為了保持第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部605中的值，雖然使用了第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部606中的值，但如圖9所示，即便用FAIL信號(hào)的值代替第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部時(shí)，也能獲得與本實(shí)施例同樣的效果。
另外，在本實(shí)施例中，雖然將進(jìn)行行方向的補(bǔ)救的最小單位作為一條位線進(jìn)行了說(shuō)明，但即使在進(jìn)行行方向的補(bǔ)救的最小單位為多條字線的情況下，通過(guò)將作為進(jìn)行補(bǔ)救的最小單位的多條字線集中起來(lái)作為不良地址處理，也能獲得與本實(shí)施例同樣的效果。
(第三實(shí)施例)圖10是說(shuō)明本發(fā)明的第三實(shí)施例的半導(dǎo)體集成電路用的框圖。
存儲(chǔ)器1004是作為測(cè)試對(duì)象的存儲(chǔ)器，沿Column方向及Row方向具有進(jìn)行補(bǔ)救的冗余線，在實(shí)施例中，其內(nèi)部包含通過(guò)補(bǔ)救處理而被置換的補(bǔ)救用的一條Column線及補(bǔ)救用的一條Row線。
1001是測(cè)試圖形發(fā)生部，發(fā)生行地址信號(hào)ROW_ADD、列地址信號(hào)COL_ADD、控制信號(hào)CTRL、數(shù)據(jù)輸入信號(hào)DIN，輸入到存儲(chǔ)器1004中。
1002是比較部，對(duì)與被輸入到存儲(chǔ)器1004中的測(cè)試圖形對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)器1004的輸出響應(yīng)DOUT與正常時(shí)期待的值(期待值)進(jìn)行比較，檢測(cè)不能正常存儲(chǔ)信號(hào)的不良單元。從比較部1002生成以下信號(hào)一旦檢測(cè)到不良單元便被激活、直至測(cè)試結(jié)束都維持激活狀態(tài)的FAIL信號(hào)；只有在檢測(cè)到了故障時(shí)才被激活，未檢測(cè)到故障時(shí)則不被激活的MONITOR信號(hào)；以及對(duì)存儲(chǔ)器1004的輸出數(shù)據(jù)DOUT的各個(gè)位與期待值進(jìn)行比較，只是存在故障的位被激活的FailPerBit信號(hào)。
存儲(chǔ)器1004為了沿列方向及行方向進(jìn)行補(bǔ)救，指定存在不良的列線及行線，存在不良的單元的列地址及其位位置、以及行地址的信息成為必要。1005是第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部，在檢查存儲(chǔ)器1004時(shí)，將從測(cè)試圖形發(fā)生部1001輸入給存儲(chǔ)器1004的列地址信號(hào)分支出來(lái)的信號(hào)、以及來(lái)自比較部1002的輸出信號(hào)作為不良地址數(shù)據(jù)取入。即，在進(jìn)行存儲(chǔ)器1004的補(bǔ)救處理的情況下，存儲(chǔ)存在不良的單元的列地址及其位位置信息、以及行地址。
1006是第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部，保持表示存儲(chǔ)在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部1005中的值是否是存儲(chǔ)器1004的不良單元的地址的值。根據(jù)第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部1006中保持的值，保持第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部1005內(nèi)的值。
另外，在進(jìn)行存儲(chǔ)器1004的周邊邏輯的掃描測(cè)試的情況下，第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部1005構(gòu)成掃描鏈的一部分，用來(lái)觀測(cè)傳播到存儲(chǔ)器1004中的故障，從而能提高存儲(chǔ)器1004的周邊邏輯的故障檢測(cè)。
1003是選擇測(cè)試圖形發(fā)生部1001中生成的數(shù)據(jù)輸入信號(hào)DIN和比較部1002中生成的FailPerBit信號(hào)的選擇器，在存儲(chǔ)器1004的補(bǔ)救處理時(shí)，選擇FailPerBit信號(hào)，將存在不良的單元的位位置信息輸入到第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部1005中，在存儲(chǔ)器周邊邏輯的掃描測(cè)試時(shí)，選擇存儲(chǔ)器1004的數(shù)據(jù)輸入信號(hào)DIN或FailPerBit信號(hào)中的某一個(gè)，用第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部1005觀測(cè)傳播到存儲(chǔ)器1004中的故障。
1007是補(bǔ)救可否判斷部，在FAIL信號(hào)和MONITOR信號(hào)都被激活的情況下，對(duì)被輸入到第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部1005中的信號(hào)與在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部1005中保持的值進(jìn)行比較，判斷是否能用存儲(chǔ)器1004中保持的補(bǔ)救用線進(jìn)行補(bǔ)救。
圖11是表示圖10所示的半導(dǎo)體集成電路中的存儲(chǔ)器補(bǔ)救處理工作的流程圖。
以下，參照?qǐng)D10、圖11及圖3，說(shuō)明作為存儲(chǔ)器1004的不良單元的分布例子，用圖3實(shí)現(xiàn)存儲(chǔ)器補(bǔ)救處理。對(duì)于圖3的說(shuō)明不再重復(fù)。
在步驟ST1101中開始測(cè)試。說(shuō)明測(cè)試時(shí)地址的計(jì)數(shù)方向先從列地址進(jìn)行計(jì)數(shù)的情況，另外，作為用Row線和Column線的補(bǔ)救判斷，優(yōu)先進(jìn)行Column線的補(bǔ)救。
最初檢測(cè)的故障是用行地址(R1、R0)＝00、列地址(C1、C0)＝00表示的地址的第0位，第二次檢測(cè)的故障是用行地址(R1、R0)＝01、列地址(C1、C0)＝00表示的地址的第0位，第三次(最后)檢測(cè)的故障是用行地址(R1、R0)＝01、列地址(C1、C0)＝01表示的地址的第1位，在步驟ST1102中將測(cè)試圖形從測(cè)試圖形發(fā)生部1001輸入到存儲(chǔ)器1004中，在比較部1002中對(duì)來(lái)自存儲(chǔ)器1004的輸出與期待值進(jìn)行比較。
在步驟ST1103中，用行地址(R1、R0)＝00、列地址(C1、C0)＝00的第0位檢測(cè)故障。由于檢測(cè)到了故障，所以轉(zhuǎn)移到步驟ST1105。在步驟ST1105中，判斷檢測(cè)到的故障的地址是否是至此保持在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部1005中的值。由于該故障是最初的故障，所以轉(zhuǎn)移到步驟ST1108。
為了使Column線的補(bǔ)救優(yōu)先，在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部1005中，作為列地址，將(C1、C0)＝00的值作為不良地址保持；而作為FailPerBit，將表示只在第0位存在故障的值作為不良地址保持，在第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部1006中，第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部1005中所保持的值被作為表示存儲(chǔ)器1004有故障的值而保持。接著轉(zhuǎn)移到步驟ST1107，但由于檢查尚未結(jié)束，所以返回步驟ST1102。
接著在步驟ST1103中，作為第二次的故障，檢測(cè)行地址(R1、R0)＝01、列地址(C1、C0)＝00的第0位的故障，轉(zhuǎn)移到步驟1105。為了使Column線的補(bǔ)救優(yōu)先，判斷第二次的故障是否是與第一次的故障相同的列地址及相同的位。在此情況下，第一次的故障與第二次的故障是同一個(gè)列地址(C1、C0)＝00，而且是同一個(gè)第0位，在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部1005中，不取入第二次檢測(cè)的故障的列地址及FailPerBit的值，仍然是最初檢測(cè)到的不良地址。
接著，轉(zhuǎn)移到步驟ST1107。由于檢查尚未結(jié)束，所以返回步驟ST1102。
接著(第三次)檢測(cè)的故障的地址是行地址(R1、R0)＝01、列地址(C1、C0)＝01的第1位。由于列地址及位位置與第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部1005中保持的值不同，斷定為新的故障。由于Column方向的補(bǔ)救線已經(jīng)使用，所以用Row方向的補(bǔ)救線，在第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部1005中，作為行地址，將(R1、R0)＝01的值作為不良地址保持，在第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部1006中，第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部1005中所保持的值被作為表示存儲(chǔ)器1004有故障的值而保持。
由于是用一條Row方向的補(bǔ)救線和一條Column方向的補(bǔ)救線就能補(bǔ)救的狀態(tài)，所以在步驟ST1108中，斷定能補(bǔ)救，轉(zhuǎn)移到步驟ST1107中，但由于檢查尚未結(jié)束，所以返回步驟ST1102。
此后，由于不存在故障，所以在對(duì)全部地址進(jìn)行了測(cè)試時(shí)，在步驟ST1107中斷定檢查結(jié)束。在此情況下，由于用一條Row方向的補(bǔ)救線和一條Column方向的補(bǔ)救線就能進(jìn)行存儲(chǔ)器的補(bǔ)救，所以作為能補(bǔ)救，在步驟ST1110中結(jié)束處理。
如上所述，如果采用第三實(shí)施例，則在使用了BIST的存儲(chǔ)器的冗余補(bǔ)救電路中，準(zhǔn)備取入使從BIST輸入到存儲(chǔ)器的信號(hào)分支了的信號(hào)的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部，在檢查存儲(chǔ)器時(shí)，通過(guò)將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部作為存儲(chǔ)不良地址用的存儲(chǔ)元件(觸發(fā)電路)使用，檢查BIST電路本身及存儲(chǔ)器周邊部邏輯時(shí)，將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的觸發(fā)電路作為掃描鏈的一部分使用，能抑制邏輯部的掃描測(cè)試及檢查存儲(chǔ)器所必要的電路面積的增加。
另外，在本實(shí)施例中，雖然說(shuō)明了Row方向的一條補(bǔ)救線和Column方向的一條補(bǔ)救線，但即使在有多條補(bǔ)救線的情況下，通過(guò)將第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的值、以及判斷該值是否是不良單元用的值保持在第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部中，也能判斷第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的值是否是不良單元的地址，能獲得與本實(shí)施例同樣的效果。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體集成電路，其特征在于備有沿列方向具有一組補(bǔ)救用的冗余線的存儲(chǔ)器；發(fā)生對(duì)上述存儲(chǔ)器特定的測(cè)試圖形的測(cè)試圖形發(fā)生部；讀出來(lái)自上述存儲(chǔ)器的輸出，判斷上述存儲(chǔ)器中是否存在不良單元，輸出包含每個(gè)位的良好與否判斷信號(hào)的表示上述不良單元的存在與否的信號(hào)的比較部；檢查上述存儲(chǔ)器時(shí)，將從上述測(cè)試圖形發(fā)生部輸入給上述存儲(chǔ)器的列地址信號(hào)的全部或一部分分支出來(lái)的信號(hào)、以及將從上述比較部生成的上述每個(gè)位的良好與否判斷信號(hào)，作為不良地址數(shù)據(jù)取入，檢查上述存儲(chǔ)器周邊邏輯時(shí)，形成掃描鏈的一部分，觀測(cè)向上述存儲(chǔ)器的輸入信號(hào)用的第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部；輸入上述比較部的輸出信號(hào)，存儲(chǔ)與上述不良單元的存在與否對(duì)應(yīng)的故障的有無(wú)狀態(tài)的第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部；以及將向上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的輸入和上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的保持內(nèi)容的輸出作為輸入，判斷上述存儲(chǔ)器能補(bǔ)救的補(bǔ)救可否判斷部，上述第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部呈上述有故障的狀態(tài)時(shí)，上述第一存儲(chǔ)部保持上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部中保持的數(shù)據(jù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體集成電路，其特征在于上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部有能從上述測(cè)試圖形發(fā)生部有選擇地取入被輸入給上述存儲(chǔ)器的數(shù)據(jù)輸入信號(hào)和每個(gè)上述位的良好與否判斷信號(hào)的選擇器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體集成電路，其特征在于上述補(bǔ)救可否判斷部在作為從上述比較部生成的每個(gè)位的良好與否判斷信號(hào)，收到了多個(gè)位的不良的判斷時(shí)，斷定上述存儲(chǔ)器不能補(bǔ)救。
4.一種半導(dǎo)體集成電路，其特征在于備有沿列方向具有一組補(bǔ)救用的冗余線的存儲(chǔ)器；發(fā)生對(duì)上述存儲(chǔ)器特定的測(cè)試圖形的測(cè)試圖形發(fā)生部；讀出來(lái)自上述存儲(chǔ)器的輸出，判斷上述存儲(chǔ)器中是否存在不良單元，輸出包含每個(gè)位的良好與否判斷信號(hào)的表示上述不良單元的存在與否的信號(hào)的比較部；檢查上述存儲(chǔ)器時(shí)，將從上述測(cè)試圖形發(fā)生部輸入給上述存儲(chǔ)器的列地址信號(hào)的全部或一部分分支出來(lái)的信號(hào)、以及將從上述比較部生成的上述每個(gè)位的良好與否判斷信號(hào)，作為不良地址數(shù)據(jù)取入，檢查上述存儲(chǔ)器周邊的邏輯時(shí)，形成掃描鏈的一部分，觀測(cè)向上述存儲(chǔ)器的輸入信號(hào)用的第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部；以及將向上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的輸入和上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的保持內(nèi)容的輸出作為輸入，判斷上述存儲(chǔ)器能補(bǔ)救的補(bǔ)救可否判斷部，在上述第一存儲(chǔ)部中，從上述比較部輸出的信號(hào)是這樣一種信號(hào)在上述存儲(chǔ)器中存在不良單元的情況下被激活，直至測(cè)試結(jié)束之前輸入保持激活狀態(tài)的失效信號(hào)，上述失效信號(hào)被激活時(shí)，保持上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部中保持的數(shù)據(jù)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體集成電路，其特征在于上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部有能從上述測(cè)試圖形發(fā)生部有選擇地取入被輸入給上述存儲(chǔ)器的數(shù)據(jù)輸入信號(hào)和每個(gè)上述位的良好與否判斷信號(hào)的選擇器。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體集成電路，其特征在于上述補(bǔ)救可否判斷部在作為從上述比較部生成的每個(gè)位的良好與否判斷信號(hào)，收到了多個(gè)位的不良的判斷時(shí)，斷定上述存儲(chǔ)器不能補(bǔ)救。
7.一種半導(dǎo)體集成電路，其特征在于備有沿行方向具有一組補(bǔ)救用的冗余線的存儲(chǔ)器；發(fā)生對(duì)上述存儲(chǔ)器特定的測(cè)試圖形的測(cè)試圖形發(fā)生部；讀出來(lái)自上述存儲(chǔ)器的輸出，判斷上述存儲(chǔ)器中是否存在不良單元，輸出表示上述不良單元的存在與否的信號(hào)的比較部；檢查上述存儲(chǔ)器時(shí)，將從上述測(cè)試圖形發(fā)生部輸入給上述存儲(chǔ)器的行地址信號(hào)的全部或一部分的位分支出來(lái)的信號(hào)，作為不良地址數(shù)據(jù)取入，檢查上述存儲(chǔ)器周邊的邏輯時(shí)，作為掃描鏈的一部分，觀測(cè)向上述存儲(chǔ)器的輸入信號(hào)用的第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部；輸入上述比較部的輸出信號(hào)，存儲(chǔ)與上述不良單元的存在與否對(duì)應(yīng)的故障的有無(wú)狀態(tài)的第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部；以及將向上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的輸入和上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的保持內(nèi)容的輸出作為輸入，判斷上述存儲(chǔ)器能補(bǔ)救的補(bǔ)救可否判斷部，上述第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部呈上述有故障的狀態(tài)時(shí)，上述第一存儲(chǔ)部保持上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部中保持的數(shù)據(jù)。
8.一種半導(dǎo)體集成電路，其特征在于備有沿行方向具有一組補(bǔ)救用的冗余線的存儲(chǔ)器；發(fā)生對(duì)上述存儲(chǔ)器特定的測(cè)試圖形的測(cè)試圖形發(fā)生部；讀出來(lái)自上述存儲(chǔ)器的輸出，判斷上述存儲(chǔ)器中是否存在不良單元，輸出表示上述不良單元的存在與否的信號(hào)的比較部；檢查上述存儲(chǔ)器時(shí)，將從上述測(cè)試圖形發(fā)生部輸入給上述存儲(chǔ)器的行地址信號(hào)的全部或一部分的位分支出來(lái)的信號(hào)作為不良地址數(shù)據(jù)取入，檢查上述存儲(chǔ)器周邊的邏輯時(shí)，作為掃描鏈的一部分，觀測(cè)向上述存儲(chǔ)器的輸入信號(hào)用的第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部；以及將向上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的輸入和上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的保持內(nèi)容的輸出作為輸入，判斷上述存儲(chǔ)器能補(bǔ)救的補(bǔ)救可否判斷部，在上述第一存儲(chǔ)部中，從上述比較部輸出的信號(hào)是這樣一種信號(hào)在上述存儲(chǔ)器中存在不良單元的情況下被激活，直至測(cè)試結(jié)束之前輸入保持激活狀態(tài)的失效信號(hào)，上述失效信號(hào)被激活時(shí)，保持上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部中保持的數(shù)據(jù)。
9.一種半導(dǎo)體集成電路，其特征在于備有具有進(jìn)行列方向及行方向的補(bǔ)救的冗余線的存儲(chǔ)器；發(fā)生對(duì)上述存儲(chǔ)器特定的測(cè)試圖形的測(cè)試圖形發(fā)生部；讀出來(lái)自上述存儲(chǔ)器的輸出，判斷上述存儲(chǔ)器中是否存在不良單元，輸出表示上述不良單元的存在與否的信號(hào)的比較部；檢查上述存儲(chǔ)器時(shí)，將從上述測(cè)試圖形發(fā)生部輸入給上述存儲(chǔ)器的地址信號(hào)分支出來(lái)的信號(hào)、以及來(lái)自上述比較部的輸出信號(hào)作為不良地址數(shù)據(jù)取入，檢查上述存儲(chǔ)器周邊的邏輯時(shí)，作為掃描鏈的一部分，觀測(cè)向上述存儲(chǔ)器的輸入信號(hào)用的第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部；輸入上述比較部的輸出信號(hào)，存儲(chǔ)與上述不良單元的存在與否對(duì)應(yīng)的故障的有無(wú)狀態(tài)的第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部；以及將向上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的輸入和上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的保持內(nèi)容的輸出作為輸入，判斷上述存儲(chǔ)器能補(bǔ)救的補(bǔ)救可否判斷部，上述第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部呈上述有上述故障的狀態(tài)時(shí)，上述第一存儲(chǔ)部保持上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部中保持的數(shù)據(jù)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求9中的任意一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體集成電路，其特征在于從上述比較部輸出的信號(hào)是這樣一種信號(hào)只有在上述存儲(chǔ)器中存在不良單元的情況下成為被激活的監(jiān)視信號(hào)，以及在上述存儲(chǔ)器中存在不良單元的情況下被激活，直至測(cè)試結(jié)束之前保持激活狀態(tài)的失效信號(hào)被激活的情況下，在上述補(bǔ)救可否判斷部中對(duì)上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的輸入與上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的輸出進(jìn)行比較，判斷上述存儲(chǔ)器是否能補(bǔ)救。
11.一種半導(dǎo)體集成電路的檢查方法，它是權(quán)利要求1至權(quán)利要求9中的任意一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體集成電路的檢查方法，其特征在于上述第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部在檢查存儲(chǔ)器時(shí)，用來(lái)保持存儲(chǔ)器的不良信息，檢查存儲(chǔ)器周邊部的邏輯時(shí)，用來(lái)觀測(cè)向存儲(chǔ)器的輸入信號(hào)。
全文摘要
本發(fā)明的課題是，提供一種實(shí)現(xiàn)使用了BIST的存儲(chǔ)器的冗余補(bǔ)救，能抑制冗余補(bǔ)救電路面積及掃描測(cè)試用電路的面積的增加的半導(dǎo)體集成電路及檢查方法。備有沿列方向具有一組補(bǔ)救用的冗余線的存儲(chǔ)器104；測(cè)試圖形發(fā)生部101；判斷存儲(chǔ)器104中是否存在不良單元的比較部102；檢查存儲(chǔ)器104時(shí)，取入從測(cè)試圖形發(fā)生部101輸入給存儲(chǔ)器104的信號(hào)、以及來(lái)自比較部102的每個(gè)位的良好與否判斷信號(hào)，檢查存儲(chǔ)器周邊的邏輯時(shí)，用來(lái)觀測(cè)向存儲(chǔ)器104的輸入信號(hào)的第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部105；表示故障的有無(wú)的狀態(tài)的第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部106；以及補(bǔ)救可否判斷部107，由第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部106保持第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部105的數(shù)據(jù)。
文檔編號(hào)G11C29/44GK1536581SQ20041003345
公開日2004年10月13日 申請(qǐng)日期2004年4月9日 優(yōu)先權(quán)日2003年4月10日
發(fā)明者市川修 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社