用于芯片缺陷掃描的關(guān)注區(qū)域劃分方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，涉及一種用于芯片缺陷掃描的關(guān)注區(qū)域劃分方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著IC行業(yè)的不斷發(fā)展，IC產(chǎn)品的特征尺寸(⑶)也越做越小，這對缺陷檢查(defect inspect1n)是一個很大的考驗。為了降低誤判(nuisance)的出現(xiàn),必須針對圖形(pattern)分布對每個單元裸片(die)進(jìn)行區(qū)域劃分，然后對不同分區(qū)設(shè)置不同的缺陷判斷標(biāo)準(zhǔn)。以存儲芯片為例，其中包含邏輯區(qū)(LG)、存儲區(qū)(SR)、空閑區(qū)域等，不同類型區(qū)域的面積大小并不相同，需要對每個區(qū)域進(jìn)行單獨劃分，然后根據(jù)區(qū)域類型及區(qū)域面積設(shè)置相應(yīng)的缺陷判斷標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)值(spec)作為判斷某異常部位是否為缺陷的界定值，即若該區(qū)域中異常部位的尺寸大于標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)值即可判斷其為缺陷，若小于標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)則判斷其為正常。
[0003]以上缺陷判斷技術(shù)目前被廣泛應(yīng)用于缺陷掃描領(lǐng)域，現(xiàn)階段被廣泛使用的區(qū)域劃分方法是依靠人眼觀察每個單元裸片內(nèi)不同圖形所處的區(qū)域，并通過搖桿進(jìn)行區(qū)域定位并劃分。由于過多的依靠人來完成區(qū)域劃分的動作，使用這種方法必然會帶來很多弊端:(1)若劃分的關(guān)注區(qū)域比設(shè)計的區(qū)域小，會導(dǎo)致部分區(qū)域未被劃分進(jìn)來，該漏掉的區(qū)域?qū)⒆鳛榭臻e區(qū)域并采用較大的整體區(qū)域的參數(shù)值；舉個例子，邏輯區(qū)的參數(shù)值設(shè)定為30，整體區(qū)域的參數(shù)值設(shè)定為80，若該被漏掉的區(qū)域中某一疑似異常部位參數(shù)值大于30但小于80，則該疑似異常部位將被判斷為正常，而實際上其應(yīng)被判斷為缺陷，這樣就導(dǎo)致錯過缺陷的風(fēng)險，出現(xiàn)漏判的現(xiàn)象。(2)若劃分的關(guān)注區(qū)域比設(shè)計的區(qū)域大，則會導(dǎo)致劃分區(qū)域混淆，缺陷判斷標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)值使用混亂，產(chǎn)生錯誤診斷，達(dá)不到根據(jù)區(qū)域區(qū)分缺陷判斷標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)值的目的；例如，某一區(qū)域本來應(yīng)該被劃分為整體區(qū)域，相應(yīng)的缺陷判斷標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)值會比邏輯區(qū)域的缺陷判斷標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)值大，但是由于在劃分邏輯區(qū)域時劃分過大，導(dǎo)致該整體區(qū)域部分被劃分進(jìn)入邏輯區(qū)域，并使用了較小的缺陷判斷標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)值，這就使得缺陷掃描結(jié)果中多出很多誤判的缺陷，從而影響缺陷掃描的有效性。
[0004]因此，提供一種新的關(guān)注區(qū)域劃分方法進(jìn)行芯片缺陷檢測，以減少缺陷掃描結(jié)果中漏判或誤判缺陷的概率、提高缺陷掃描結(jié)果的有效性實屬必要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種用于芯片缺陷掃描的關(guān)注區(qū)域劃分方法，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中的區(qū)域劃分方法過多依靠人工，劃分不精確，導(dǎo)致缺陷判斷標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)應(yīng)用混亂、缺陷掃描結(jié)果中漏判和誤判的概率較高，有效性降低的問題。
[0006]為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本發(fā)明提供一種用于芯片缺陷掃描的關(guān)注區(qū)域劃分方法，至少包括以下步驟:
[0007]S1:提供待缺陷掃描芯片的版圖，根據(jù)所述版圖中的圖案分布定義若干子區(qū)域；
[0008]S2:分別獲取各個所述子區(qū)域的至少兩個節(jié)點坐標(biāo)，形成包含所述子區(qū)域節(jié)點坐標(biāo)的子區(qū)域數(shù)據(jù)文件；
[0009]S3:將所有子區(qū)域數(shù)據(jù)文件整合，得到所述待缺陷掃描芯片的關(guān)注區(qū)域文件；
[0010]S4:將缺陷掃描機臺內(nèi)的初始參數(shù)設(shè)定文件包中的初始關(guān)注區(qū)域文件替換為所述關(guān)注區(qū)域文件，并根據(jù)所述關(guān)注區(qū)域文件對所述待缺陷掃描芯片進(jìn)行關(guān)注區(qū)域的劃分。
[0011]可選地，于所述步驟S2中，通過圖像分析軟件獲取各個所述子區(qū)域的至少兩個節(jié)點坐標(biāo)。
[0012]可選地，所述子區(qū)域為矩形，所述節(jié)點為矩形的直角端點。
[0013]可選地，于所述步驟S2中，獲取各個所述子區(qū)域至少一條對角線兩端節(jié)點坐標(biāo)。
[0014]可選地，于所述步驟S2中，根據(jù)缺陷掃描機臺中設(shè)置的參數(shù)格式將獲得的節(jié)點坐標(biāo)存儲為所述子區(qū)域數(shù)據(jù)文件，以使所述子區(qū)域數(shù)據(jù)文件中的數(shù)據(jù)能夠被所述缺陷掃描機臺識別。
[0015]可選地，于所述步驟SI中，對于所述版圖中相同類型的圖案，將其定義為同一類型的子區(qū)域，并針對該種類型子區(qū)域設(shè)置相同的缺陷判斷標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)值。
[0016]可選地，所述子區(qū)域包括邏輯區(qū)、存儲區(qū)及整體區(qū)域中的至少一種。
[0017]可選地，所述待缺陷掃描芯片為一個單獨的單元裸片。
[0018]如上所述，本發(fā)明的用于芯片缺陷掃描的關(guān)注區(qū)域劃分方法，具有以下有益效果:本發(fā)明的關(guān)注區(qū)域劃分方法基于產(chǎn)品版圖，根據(jù)版圖內(nèi)各個節(jié)點的位置得到各區(qū)域的節(jié)點坐標(biāo)，并通過各節(jié)點坐標(biāo)組合形成機臺內(nèi)菜單中的關(guān)注區(qū)域文件，以利于缺陷掃描機臺根據(jù)該關(guān)注區(qū)域文件劃分待缺陷掃描芯片的關(guān)注區(qū)域。由于待缺陷掃描芯片的圖形分布與版圖中的圖形分布完全相同，因此本發(fā)明的方法能夠精確劃分芯片的關(guān)注區(qū)域，從而提高缺陷掃描結(jié)果的有效性。
【附圖說明】
[0019]圖1顯示為本發(fā)明的用于芯片缺陷掃描的關(guān)注區(qū)域劃分方法的工藝流程圖。
[0020]圖2顯示為一種待缺陷掃描芯片的版圖。
[0021]圖3顯示為圖2中橢圓框所示區(qū)域的放大圖。
[0022]圖4顯示為待缺陷掃描芯片的示意圖。
[0023]元件標(biāo)號說明
[0024]SI ?S4步驟
[0025]AB，CD，EF子區(qū)域
[0026]A，B，C，D，E，F(xiàn)節(jié)點
[0027]I邏輯區(qū)
[0028]2存儲區(qū)
[0029]3整體區(qū)域
【具體實施方式】
[0030]以下通過特定的具體實例說明本發(fā)明的實施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點與功效。本發(fā)明還可以通過另外不同的【具體實施方式】加以實施或應(yīng)用，本說明書中的各項細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點與應(yīng)用，在沒有背離本發(fā)明的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。
[0031]請參閱圖1至圖4。需要說明的是，本實施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本發(fā)明的基本構(gòu)想，遂圖式中僅顯示與本發(fā)明中有關(guān)的組件而非按照實際實施時的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實際實施時各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。
[0032]本發(fā)明提供一種用于芯片缺陷掃描的關(guān)注區(qū)域劃分方法，請參閱圖1，顯示為該方法的工藝流程圖，至少包括以下步驟:
[0033]步驟S1:提供待缺陷掃描芯片的版圖，根據(jù)所述版圖中的圖案分布定義若干子區(qū)域；
[0034]步驟S2:分別獲取各個所述子區(qū)域的至少兩個節(jié)點坐標(biāo)，形成包含所述子區(qū)域節(jié)點坐標(biāo)的子區(qū)域數(shù)據(jù)文件；
[0035]步驟S3:將所有子區(qū)域數(shù)據(jù)文件整合，得到所述待缺陷掃描芯片的關(guān)注區(qū)域文件；
[0036]步驟S4:將缺陷掃描機臺內(nèi)的初始參數(shù)設(shè)定文件包中的初始關(guān)注區(qū)域文件替換為所述關(guān)注區(qū)域文件，并根據(jù)所述關(guān)注區(qū)域文件對所述待缺陷掃描芯片進(jìn)行關(guān)注區(qū)域的劃分。
[0037]首先執(zhí)行步驟S1:提供待缺陷掃描芯片的版圖，根據(jù)所述版圖中的圖案分布定義若干子區(qū)域。
[0038]具體的，所述待缺陷掃描芯片可以為一個單獨的單元裸片(die)，其中包含制作完成的各種硬件單元。作為示例，圖2顯示了一種待缺陷掃描芯片的版圖(layout)，其為真實集成電路物理情況的平面幾何形狀描述，包含了各個硬件單元在芯片上的形狀、面積和位置信