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一種用于硅片生產(chǎn)的石墨舟識別系統(tǒng)及方法

文檔序號:8360655閱讀:615來源:國知局
一種用于硅片生產(chǎn)的石墨舟識別系統(tǒng)及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域,尤其涉及一種用于硅片生產(chǎn)的石墨舟識別系統(tǒng)及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在光伏行業(yè),管式PECVD是在硅片表面生長減反射膜的主要設(shè)備。其中,石墨舟是裝載硅片的工具。隨著光伏行業(yè)的發(fā)展,對生產(chǎn)過程的信息管理也日趨系統(tǒng)化,需要對每一舟做出的工藝進(jìn)行記錄,便于產(chǎn)品追溯。于是人為的將每一舟進(jìn)行編號,在做工藝前,需人工在工控機(jī)上進(jìn)行舟號輸入。傳統(tǒng)的記錄方式有以下兩個缺點(diǎn):1、人工輸入容易出現(xiàn)錯誤,導(dǎo)致產(chǎn)品的追溯性差。2、現(xiàn)有的技術(shù)中,石墨舟的自動裝卸片系統(tǒng)已經(jīng)出現(xiàn),人工輸入已無法滿足自動化系統(tǒng)的需求。
[0003]因此,如何提供一種能精準(zhǔn)識別舟號、高效自動的用于硅片生產(chǎn)的石墨舟識別系統(tǒng)及方法是業(yè)界亟待解決的技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明針對上述問題提供了一種能精準(zhǔn)識別舟號、高效自動的用于硅片生產(chǎn)的石墨舟識別系統(tǒng)及方法。
[0005]本發(fā)明提出的技術(shù)方案是,設(shè)計一種用于硅片生產(chǎn)的石墨舟識別系統(tǒng),包括:包括:機(jī)臺、設(shè)于機(jī)臺上的運(yùn)輸帶、及排列于運(yùn)輸帶上用于裝載硅片的石墨舟,每個石墨舟的同一側(cè)表面上雕刻有不同內(nèi)容的二維碼信息。系統(tǒng)還包括讀碼器、位置傳感器及工控機(jī)。
[0006]讀碼器,設(shè)置在機(jī)臺上,用于讀取石墨舟上設(shè)置的二維碼信息。
[0007]位置傳感器,與讀碼器相鄰設(shè)置在機(jī)臺上,用于檢測石墨舟的位置。
[0008]工控機(jī),與讀碼器、位置傳感器及運(yùn)輸帶的伺服電機(jī)通信,當(dāng)所述位置傳感器檢測到石墨舟到位時將到位信號發(fā)送給工控機(jī),工控機(jī)暫停伺服電機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)并啟動讀碼器讀取石墨舟上的二維碼信息,讀碼器將二維碼信息反饋給工控機(jī),工控機(jī)記錄二維碼信息,記錄完畢后,啟動伺服電機(jī)繼續(xù)向前運(yùn)送石墨舟。
[0009]較優(yōu)的,工控機(jī)還連接一報警系統(tǒng),當(dāng)讀碼器讀取失敗時觸發(fā)報警。
[0010]在一實(shí)施例中,工控機(jī)包括:核心處理模塊、存儲模塊、輸入模塊和顯不模塊。
[0011]較優(yōu)的,二維碼的雕刻深度彡0.3_,讀碼器的光源采用0~30°傾斜角的小角度給光。
[0012]讀碼器采用CXD型讀碼器,讀碼器與工控機(jī)的通訊接口為總線模式。
[0013]本發(fā)明還提供了一種利用上述石墨舟識別系統(tǒng)進(jìn)行識別的方法,包括以下步驟: 步驟1、位置傳感器檢測運(yùn)輸帶上的石墨舟是否到位,如果檢測到到位信息,則將該信息發(fā)送至工控機(jī),如沒有檢測到,則繼續(xù)監(jiān)測;
步驟2、工控機(jī)接收到位置傳感器的到位信號,暫停運(yùn)輸帶,并啟動讀碼器讀取石墨舟上的二維碼信息;
步驟3、讀碼器將讀取完成的二維碼信息反饋給工控機(jī),工控機(jī)記錄二維碼信息并啟動運(yùn)輸帶繼續(xù)向前運(yùn)送石墨舟。
[0014]較優(yōu)的,步驟3中包括:步驟3.1、讀碼器讀取完成,向工控機(jī)發(fā)送反饋信號;
步驟3.2、工控機(jī)判斷讀碼器的反饋信號,當(dāng)讀碼器讀取成功時,工控機(jī)記錄二維碼并啟動伺服電機(jī)繼續(xù)向前運(yùn)送石墨舟,跳回步驟I ;當(dāng)讀碼器讀取失敗時,工控機(jī)啟動讀碼器再次讀取,跳回步驟3.1o
[0015]進(jìn)一步的,步驟3.2還包括:步驟3.2.1、工控機(jī)判斷讀碼器的反饋信號,當(dāng)讀碼器讀取成功時,工控機(jī)記錄二維碼并啟動伺服電機(jī)繼續(xù)向前運(yùn)送石墨舟,跳回步驟I ;當(dāng)讀碼器讀取失敗時,工控機(jī)記錄失敗次數(shù),進(jìn)行步驟3.2.2 ;
步驟3.2.2、工控機(jī)將記錄的失敗次數(shù)與觸發(fā)值進(jìn)行對比,未到觸發(fā)值則啟動讀碼器再次讀取,跳回步驟3.1 ;已到觸發(fā)值則啟動報警系統(tǒng)進(jìn)行報警,系統(tǒng)暫停待機(jī)。
[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明在石墨舟上雕刻二維碼,通過讀碼器精確讀取二維碼上的內(nèi)容,并將其傳送至工控機(jī)記錄,由讀碼器的讀取避免了人為的操作,不僅減少誤差且能大大提高生產(chǎn)效率。
【附圖說明】
[0017]下面結(jié)合實(shí)施例和附圖對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明,其中:
圖1是本發(fā)明的系統(tǒng)方框示意圖;
圖2是本發(fā)明的讀取流程示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]如圖1所示,本發(fā)明提出的石墨舟識別系統(tǒng),包括:機(jī)臺、設(shè)于機(jī)臺上的運(yùn)輸帶、及排列于運(yùn)輸帶上用于裝載硅片的石墨舟,還包括讀碼器、位置傳感器及工控機(jī)。
[0019]每個石墨舟的同一側(cè)表面上分別雕刻有不同內(nèi)容的二維碼,利用二維碼記錄舟號或工藝參數(shù)等,讀碼器讀取二維碼信息并發(fā)送給工控機(jī)記錄。由于石墨舟為黑色且表面有減反射膜,導(dǎo)致二維碼讀取困難,為了保證讀碼器的正確讀碼,較優(yōu)的方式是將石墨舟上的二維碼深度雕刻到大于等于0.3_,并調(diào)節(jié)讀碼器的光源,采用O?30°傾斜角的小角度給光,使讀碼器能讀取到二維碼圖像前景色與背景色差異更為明顯,便于讀碼器能讀到清晰的二維碼圖像,準(zhǔn)確的識別二維碼內(nèi)容。
[0020]本例中,讀碼器設(shè)置在機(jī)臺上,讀碼器的讀取鏡頭朝向石墨舟設(shè)置二維碼的一側(cè)。位置傳感器與讀碼器相鄰設(shè)置在機(jī)臺上,用于檢測石墨舟設(shè)有二維碼的表面是否達(dá)到讀碼器的讀取鏡頭前。運(yùn)輸帶內(nèi)設(shè)有驅(qū)動石墨舟向前運(yùn)行的伺服電機(jī)。
[0021]讀碼器、位置傳感器及伺服電機(jī)均與工控機(jī)聯(lián)接,位置傳感器發(fā)送石墨舟到位信號給工控機(jī),工控機(jī)暫停伺服電機(jī)并啟動讀碼器,讀碼器讀碼完成并反饋信號給工控機(jī),工控機(jī)將信號內(nèi)容記錄并啟動伺服電機(jī)繼續(xù)向前運(yùn)送石墨舟。
[0022]讀碼器每次讀碼完成后均反饋一個信號給工控機(jī),若讀取成功則反饋成功信號,同時將讀取到的內(nèi)容發(fā)送給工控機(jī),工控機(jī)記錄該二維碼并啟動伺服電機(jī)繼續(xù)向前運(yùn)送石墨舟;若讀取失敗則反饋失敗信號,工控機(jī)觸發(fā)讀碼器再次讀取,當(dāng)讀碼器讀取成功時,工控機(jī)記錄該二維碼并啟動伺服電機(jī)繼續(xù)向前運(yùn)送石墨舟。
[0023]較優(yōu)的,工控機(jī)還連接一報警系統(tǒng)。工控機(jī)可對失敗信號的次數(shù)進(jìn)行記錄,預(yù)設(shè)工控機(jī)內(nèi)失敗信號的觸發(fā)值,當(dāng)讀碼器在觸發(fā)值內(nèi)讀取成功時,工控機(jī)啟動伺服電機(jī)繼續(xù)向前運(yùn)送石墨舟,并將記錄的失敗信號次數(shù)重置;當(dāng)讀碼器直至觸發(fā)值的該次讀取中仍未成功時,工控機(jī)觸發(fā)報警系統(tǒng)進(jìn)行報警,工控機(jī)暫停待機(jī)。
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