本實用新型涉及半導體技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種氣體處理裝置。

背景技術(shù)：

在半導體的制造過程中，大量的制程工藝中都會涉及氣體的運用，相應的，在相關(guān)設(shè)備中也勢必要對其工藝腔體中的氣體進行排放。目前，通常采用一氣體處理裝置以實現(xiàn)該工藝腔體中的氣體的排放，并且，為保證工藝的穩(wěn)定，所述工藝腔體的氣體壓力也需維持在一定的波動范圍內(nèi)。

為此，不得不通過控制所述氣體處理裝置的抽氣強度以確保工藝腔體中的氣體壓力符合要求。其中，在需對氣體處理裝置的抽氣強度的進行調(diào)整時，通常需以手動調(diào)節(jié)閥門的方式實現(xiàn)抽氣強度的調(diào)節(jié)。然而，這種調(diào)節(jié)方式，一方面增加大量人力，并且也不利于人員的操作；另一方面采用手動調(diào)整的方式誤差較大，進而極易導致工藝腔體中的氣體壓力不穩(wěn)定的現(xiàn)象。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于提供一種氣體處理裝置，通過所述氣體處理裝置實現(xiàn)一工藝腔體內(nèi)的氣體的排放，以改善現(xiàn)有的氣體處理裝置在調(diào)整抽氣強度時，由于調(diào)整的誤差較大而極易導致工藝腔體中的氣體壓力不穩(wěn)定的現(xiàn)象。

本實用新型的另一目的在于，實現(xiàn)自動化控制抽氣強度，而不需采用人員手動調(diào)整閥門的方式，從而可節(jié)省大量人力。

1、本實用新型提供的所述氣體處理裝置包括：一抽氣單元、一檢測所述工藝腔體中的氣體壓強的壓力檢測單元以及一控制單元，其中，

所述抽氣單元與所述工藝腔體連接；

所述壓力檢測單元與所述控制單元信號連接，并將檢測結(jié)果發(fā)送至所述控制單元；

所述控制單元與所述抽氣單元信號連接，并根據(jù)接收到的檢測結(jié)果調(diào)整對所述工藝腔體的抽氣強度。

可選的，所述氣體處理裝置還包括一調(diào)節(jié)閥，所述調(diào)節(jié)閥設(shè)置于所述抽氣單元與所述工藝腔體之間，通過所述調(diào)節(jié)閥控制所述抽氣單元對所述工藝腔體的抽氣強度。

可選的，所述調(diào)節(jié)閥包括一可轉(zhuǎn)動的閥門以及一驅(qū)動所述閥門轉(zhuǎn)動的步進式電機。

可選的，所述步進式電機與所述控制單元信號連接，所述步進式電機根據(jù)所述控制單元的控制信號驅(qū)動所述閥門轉(zhuǎn)動以調(diào)整所述抽氣單元的對所述工藝腔體抽氣強度。

可選的，所述壓力檢測單元包括一壓力顯示表，所述壓力顯示表設(shè)置于所述工藝腔體上。

可選的，所述氣體處理裝置還包括一氣體凈化單元，所述氣體凈化單元與所述工藝腔體連接。

可選的，所述氣體凈化單元包括：一容納凈化液的凈化腔、一氣體入口和一氣體出口，所述氣體入口和氣體出口均與所述凈化液的凈化腔連通。

可選的，所述氣體凈化單元的氣體入口與工藝腔體連通，所述氣體凈化單元的氣體出口與抽氣單元連通。

可選的，所述凈化腔內(nèi)具有多個板狀的隔離部件，多個所述隔離部件以交錯的形式設(shè)置于所述凈化腔的內(nèi)壁上，以形成S型的氣體流通通路。

可選的，所述控制單元與所述壓力檢測單元之間以及所述控制單元與所述抽氣單元之間通過無線網(wǎng)絡(luò)實現(xiàn)信號連接。

可選的，所述抽氣單元包括一變頻器以及一電動機，所述變頻器與所述電動機電連接，用于控制所述電動機的運轉(zhuǎn)速度以調(diào)整所述抽氣單元的抽氣強度。

可選的，所述變頻器與所述控制單元信號連接，所述變頻器根據(jù)控制單元的反饋信號調(diào)整所述電動機的運轉(zhuǎn)速度。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型提供的氣體處理裝置具有以下有益效果：

本實用新型提供的氣體處理裝置中，利用壓力檢測裝置實現(xiàn)所述工藝腔體中的氣體壓強的實時監(jiān)控，并可根據(jù)實時檢測得到的結(jié)果實現(xiàn)自動化遠程控制以對工藝腔體的抽氣強度進行自動調(diào)節(jié)，從而相對于手動調(diào)節(jié)具有更高的調(diào)節(jié)精度，使工藝腔體中的氣體壓強的波動較小，進而保證工藝的穩(wěn)定。同時，通過自動化遠程控制不僅可及時調(diào)整工藝腔體中的氣體壓強以及具有更高的調(diào)整精度，并且也可大大節(jié)省人力。進一步的，本實用新型提供的氣體凈化裝置中還具有一氣體凈化裝置，通過所述氣體凈化裝置，一方面可避免抽氣單元對工藝腔體內(nèi)的氣體壓強造成影響，另一方面還可對氣體進行凈化處理，避免有害氣體的排放導致對環(huán)境的污染。

附圖說明

圖1為本實用新型一實施例中的氣體處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型一實施例中的氣體處理裝置的氣體凈化單元的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型提出的氣體處理裝置作進一步詳細說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。

圖1為本實用新型一實施例中的氣體處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，所述氣體處理裝置包括：一抽氣單元110、一壓力檢測單元120以及一控制單元130，其中，

所述抽氣單元110與所述工藝腔體200連接，用于抽取所述工藝腔體200至所述抽氣單元110之間的氣體；

所述壓力檢測單元120與所述控制單元130信號連接，用于檢測所述工藝腔體200中的氣體壓強，并將檢測結(jié)果發(fā)送至所述控制單元130；

所述控制單元130還與所述抽氣單元110信號連接，用于根據(jù)接收到的檢測結(jié)果調(diào)整對所述工藝腔體200的抽氣強度。

其中，所述控制單元130與所述壓力檢測單元120之間以及所述控制單元130與所述抽氣單元110之間可通過無線網(wǎng)絡(luò)實現(xiàn)信號連接，從而達到對所述氣體處理裝置的自動化遠程控制的目的。此外，本實施例中，所述控制單元為一可編輯邏輯控制器(Programmable Logic Controller，PLC)。

本實用新型提供的氣體處理裝置中，通過所述壓力檢測單元120以實時檢測工藝腔體200中的氣體壓力，并可將檢測結(jié)果發(fā)送至所述控制單元130，從而控制單元130即可根據(jù)此時所述工藝腔體200中的壓強狀況自動調(diào)整所述抽氣單元110的對所述工藝腔體200的抽氣強度。即，本實用新型提供的氣體處理裝置，利用壓力檢測裝置120實現(xiàn)所述工藝腔體中的氣體壓強的實時監(jiān)控，并可根據(jù)實時檢測得到的結(jié)果實現(xiàn)自動化遠程控制，從而相對于手動調(diào)節(jié)具有更高的調(diào)整精度，使工藝腔體中的氣體壓強的波動較小，進而保證工藝的穩(wěn)定。同時，通過自動化遠程控制不僅可及時調(diào)整工藝腔體中的氣體壓強以及具有更高的調(diào)整精度，并且也可大大節(jié)省人力。

繼續(xù)參考圖1所示，所述氣體處理裝置還包括一調(diào)節(jié)閥140，所述調(diào)節(jié)閥設(shè)置與所述抽氣單元110和所述工藝腔體200之間，從而可通過所述調(diào)節(jié)閥140控制所述抽氣單元110的對所述工藝腔體200的抽氣強度。也就是說，在需實現(xiàn)自動化遠程控制時，可將所述控制單元130與所述調(diào)節(jié)閥140之間進行信號連接，從而所述控制單元130可根據(jù)壓力檢測單元110的檢測結(jié)果生成一控制信號，并將所述控制信號傳送至所述調(diào)節(jié)閥140，從而使所述調(diào)節(jié)閥140可根據(jù)所述控制信號調(diào)節(jié)對工藝腔體200的抽氣強度。具體的，所述調(diào)節(jié)閥140包括一可轉(zhuǎn)動的閥門以及一用于驅(qū)動所述閥門轉(zhuǎn)動的步進式電機。本實施例中，所述步進式電機與所述控制單元130信號連接，從而所述步進式電機可根據(jù)所述控制單元130生成的控制信號驅(qū)動所述閥門轉(zhuǎn)動以調(diào)整對工藝腔體的抽氣強度。

如上所述，本實施例中，所述氣體處理裝置通過控制調(diào)節(jié)閥140以實現(xiàn)抽氣強度的控制，因此，所述抽氣單元110可采用價格較為低廉的定頻抽氣裝置。當然，應當認識到，在其他實施例中，所述抽氣單元也可采用變頻抽氣裝置，具體的，所述變頻抽氣裝置包括一變頻器以及一電動機，所述變頻器與所述電動機電連接，從而可通過控制所述電動機的運轉(zhuǎn)速度來調(diào)整所述抽氣單元的抽氣強度。即，當采用變頻抽氣裝置作為抽氣單元時，可直接將所述變頻器與所述控制單元進行信號連接，進而所述變頻器即可根據(jù)控制單元的控制信號調(diào)整所述電動機的運轉(zhuǎn)速度，如此，即可實現(xiàn)對所述抽氣單元的抽氣強度的調(diào)整，進而可調(diào)整對所述工藝腔體的抽氣強度。

繼續(xù)參考圖1所示，所述壓力檢測單元120具有一壓力顯示表，所述壓力顯示表用于顯示所述工藝腔體200中的氣體壓強值，本實施例中，所述壓力顯示表設(shè)置于所述工藝腔體200上，以便于操作人員可通過所述壓力顯示表隨時確認所述工藝腔體內(nèi)的氣體壓強。其中，所述壓力顯示表120可采用數(shù)值式顯示，如此有利于人員精確的讀取氣體壓強值。當然，所述壓力顯示表120也可采用指針式顯示，此處不做限制。

進一步的，所述氣體處理裝置還包括一氣體凈化單元150，所述氣體凈化單元150與所述工藝腔體200連接，用于凈化于所述工藝腔體200中排出的氣體，以實現(xiàn)氣體的無污染排放。圖2為本實用新型一實施例中的氣體處理裝置的氣體凈化單元的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖2并結(jié)合圖1所示，所述氣體凈化單元150包括：一容納凈化液的凈化腔151、一氣體入口152和一氣體出口153，所述氣體入口152和氣體出口153均與所述凈化液的凈化腔151連通。即，從工藝腔體200中排出的氣體經(jīng)所述氣體入口152進入所述凈化腔151，從而可對氣體進行處理，所述凈化腔151中的無害氣體進而可通過所述氣體出口153進行排放。

本實施例中，所述氣體凈化單元150的氣體入口151與工藝腔體200連通，所述氣體凈化單元150的氣體出口152與抽氣單元110連通。也就是說，所述抽氣單元110通過所述氣體凈化單元150與工藝腔體200連通，從而可通過抽離所述氣體凈化單元150中的氣體，以實現(xiàn)工藝腔體200中的氣體的排出，進而在調(diào)節(jié)所述抽氣單元110的抽氣強度時，可避免所述工藝腔體200內(nèi)產(chǎn)生瞬間的氣壓波動，而對工藝造成影響。即，通過所述氣體凈化單元150對工藝腔體200的氣體壓強進行調(diào)整時，可緩解工藝腔體內(nèi)氣體壓強的波動強度，即可在較小的變化范圍內(nèi)緩慢調(diào)整，從而可達到更好的調(diào)整精度。

重點參考圖2所示，所述氣體凈化單元150中的凈化腔151內(nèi)具有多個板狀的隔離部件151a，多個所述隔離部件151a以交錯的形式設(shè)置于所述凈化腔151的內(nèi)壁上，以形成S型的氣體流通通路，從而可增加氣體與凈化液的接觸時間，以保證氣體與凈化腔中的凈化液可更全面充分的發(fā)生反應。其中，所述凈化液的成分可根據(jù)需處理的氣體進行配置，例如，在外延工藝中，于工藝腔體200中排出的氣體通常包括氫氣(H₂)、氯化氫氣體(HCl)、以及三氯硅烷(TCS)等，由于所述HCl氣體以及TCS氣體均為可溶于水的氣體，因此，所述凈化液可直接采用水，即通過將所述HCl氣體與所述TCS氣體直接溶于水中形成水溶液，從而可更便于對其水溶液進行處理。當然，除了利用以上氣體的可溶性之外，還可根據(jù)其所形成的水溶液為偏酸性的溶液，則可相應的采用偏堿性的水溶液凈化所述氣體。另外，為便于定期對所述凈化液進行更換并處理，所述凈化腔151還設(shè)置有一進液口以及一排液口。

綜上所述，本實用新型提供的氣體凈化裝置，通過控制單元不僅可實時確認工藝腔體中的氣體壓強，以對工藝腔體中的氣體壓強進行監(jiān)控，并且還可根據(jù)監(jiān)控結(jié)果實現(xiàn)遠程自動化控制對工藝腔體的抽氣強度，以保證所述工藝腔體的工藝穩(wěn)定性。進一步的，本實用新型提供的氣體凈化裝置中還具有一氣體處理裝置，通過所述氣體處理裝置，一方面可避免抽氣單元對工藝腔體內(nèi)的氣體壓強造成影響，另一方面還可對氣體進行凈化處理，避免有害氣體的排放導致對環(huán)境的污染。

以上記載的內(nèi)容已充分公開本實用新型的所要求保護的技術(shù)方案，本領(lǐng)域技術(shù)人員通過以上所公開的內(nèi)容可以實現(xiàn)本實用新型提供的技術(shù)方案的實施。此外，上述描述僅是對本實用新型較佳實施例的描述，并非對本實用新型范圍的任何限定，本實用新型領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書的保護范圍。