技術(shù)編號：11856736
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種氣體處理裝置。背景技術(shù)在半導(dǎo)體的制造過程中，大量的制程工藝中都會涉及氣體的運(yùn)用，相應(yīng)的，在相關(guān)設(shè)備中也勢必要對其工藝腔體中的氣體進(jìn)行排放。目前，通常采用一氣體處理裝置以實現(xiàn)該工藝腔體中的氣體的排放，并且，為保證工藝的穩(wěn)定，所述工藝腔體的氣體壓力也需維持在一定的波動范圍內(nèi)。為此，不得不通過控制所述氣體處理裝置的抽氣強(qiáng)度以確保工藝腔體中的氣體壓力符合要求。其中，在需對氣體處理裝置的抽氣強(qiáng)度的進(jìn)行調(diào)整時，通常需以手動調(diào)節(jié)閥門的方式實現(xiàn)抽氣強(qiáng)度的調(diào)節(jié)。然而，這種...
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