4a、74b、74c、 74d沿橫向于旋轉(zhuǎn)軸線D延伸的方向移動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)軸線在圖17和圖18中垂直于附圖平面。 可以明顯看出，所述移動(dòng)在不同的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)上作用不同。取決于分度圓盤(pán)所處的 位置，在旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)74a、74b和74c上，傳感器可能分別檢測(cè)到的是完全不同的標(biāo)記 82,但處于旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)74d上的傳感器以其沿旋轉(zhuǎn)軸線D的方向定向的檢測(cè)區(qū)域觀察 到相同的標(biāo)記82,這與分度圓盤(pán)所處的位置無(wú)關(guān)。
[0188] 而如果沿垂直于圖18所示的移動(dòng)的方向在分度圓盤(pán)平面內(nèi)部進(jìn)行移動(dòng)，所述方 向，則傳感器在旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)74d上觀察到標(biāo)記82的位置的最大改變。這種改變?cè)谛D(zhuǎn) 位置測(cè)量時(shí)造成誤差。
[0189] 之前所述的例子只說(shuō)明平移運(yùn)動(dòng)的效果。但在旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)期間，旋轉(zhuǎn)設(shè) 備如前所述地進(jìn)行這種平移運(yùn)動(dòng)并且附加地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。根據(jù)旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)，這些 運(yùn)動(dòng)以不同的方式相互抵消或者增強(qiáng)。在最有利但在實(shí)踐中不能期望的情況下，在旋轉(zhuǎn)設(shè) 備的可旋轉(zhuǎn)部分圍繞旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)完整一周期間，所有的平移和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)在一個(gè)旋轉(zhuǎn)位置 測(cè)量地點(diǎn)上相互抵消。
[0190]之前的實(shí)施例顯示了這種情況，即分度圓盤(pán)或者旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量裝置的測(cè)量體旋 轉(zhuǎn)，而布置在旋轉(zhuǎn)位置傳感器上的部分是靜止的。但這些想法也可以類似地用于相反的情 況。如果旋轉(zhuǎn)位置傳感器圍繞旋轉(zhuǎn)軸線運(yùn)動(dòng)并且由于不同的平移和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的疊加出現(xiàn)運(yùn) 動(dòng)誤差，則在旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量時(shí)形成相應(yīng)的誤差。
[0191] 圖19示出圖17和圖18中的分度圓盤(pán)或者另一分度圓盤(pán)。分度圓盤(pán)75又相對(duì)于旋轉(zhuǎn) 軸線D移動(dòng)了平移向量As。此外示出了傳感器的可能的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)74a、74b、74c相 對(duì)于X軸的角位置。第一旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)74a的角位置是零，也就是該旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn) 處于X軸上。第二旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)74b沿旋轉(zhuǎn)軸線D的旋轉(zhuǎn)方向相對(duì)于X軸旋轉(zhuǎn)了角度β2。 第三旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)74c沿旋轉(zhuǎn)軸線D的旋轉(zhuǎn)方向相對(duì)于X軸旋轉(zhuǎn)了角度βη。在每個(gè)旋轉(zhuǎn) 位置測(cè)量地點(diǎn)上，傳感器朝旋轉(zhuǎn)軸線D定向。在右上方通過(guò)圓中的點(diǎn)表示Ζ軸和旋轉(zhuǎn)軸線D的 方向垂直于附圖平面延伸。
[0192] 此外還顯示了（相對(duì)于X軸的）角間距φΜ,其描述了平移向量As相對(duì)于X軸的方 向。通過(guò)說(shuō)明所述角φ:Μ的值和平移向量As的絕對(duì)值，可以明確地描述在垂直于旋轉(zhuǎn)軸線 D的平面內(nèi)的平移運(yùn)動(dòng)，所述分度圓盤(pán)75從其理想位置(在該位置中旋轉(zhuǎn)軸線D處于分度圓 盤(pán)75的中央)進(jìn)行了所述平移運(yùn)動(dòng)。
[0193] 圖19示出分度圓盤(pán)橫向于旋轉(zhuǎn)軸線D方向的移動(dòng)或者在另一種情況下旋轉(zhuǎn)位置測(cè) 量傳感器橫向于旋轉(zhuǎn)軸線D方向的移動(dòng)導(dǎo)致旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量裝置的參考點(diǎn)的運(yùn)動(dòng)。但旋轉(zhuǎn)位 置測(cè)量裝置由此失去了其參考點(diǎn)與旋轉(zhuǎn)設(shè)備的坐標(biāo)系所必需的明確配屬關(guān)系。在圖19中只 顯示了旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量裝置的坐標(biāo)系。
[0194] 旋轉(zhuǎn)設(shè)備的坐標(biāo)系與旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量裝置的明確幾何配屬關(guān)系能夠以簡(jiǎn)單的方式 通過(guò)考慮相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸線的角之差再次建立。這種角之差也稱為偏移角并且設(shè)置在具有旋 轉(zhuǎn)位置測(cè)量裝置的已知旋轉(zhuǎn)設(shè)備中。如果在確定了有利的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)之后選擇了這 個(gè)地點(diǎn)，則可以確定相應(yīng)的偏移角并且由此同樣在兩個(gè)坐標(biāo)系之間建立所需的明確關(guān)系。 旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)的偏移角是圍繞旋轉(zhuǎn)軸線在旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)與旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量裝置的 參考點(diǎn)之間的角之差(例如對(duì)于地點(diǎn)74b角之差為β2)。可以將之前提到的針對(duì)例如由于偏 心誤差造成的持續(xù)移動(dòng)的偏移角加在一起。
[0195] 根據(jù)圖20描述具有集成的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量裝置的旋轉(zhuǎn)設(shè)備。在此指的是構(gòu)造得特別 低的實(shí)施形式，也就是沿旋轉(zhuǎn)軸線R的延伸長(zhǎng)度特別小。測(cè)量系統(tǒng)的分度圓盤(pán)75例如可以是 按照?qǐng)D17至圖19之一的分度圓盤(pán)，所述分度圓盤(pán)布置在轉(zhuǎn)子51的桿狀支架73的下端部。所 述轉(zhuǎn)子51(其例如可以稱為旋轉(zhuǎn)設(shè)備的第一部分)通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸承44(其指的是環(huán)形軸承)與 定子53(其例如可以稱為旋轉(zhuǎn)設(shè)備的第二部分)可旋轉(zhuǎn)地耦連。從定子53觀察，沿徑向向內(nèi) 地朝向旋轉(zhuǎn)軸線R地，也就是在定子53的內(nèi)部空間中具有旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)，在所述旋轉(zhuǎn)位 置測(cè)量地點(diǎn)上布置有旋轉(zhuǎn)位置傳感器74。旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)通過(guò)按照本發(fā)明的方式確定。
[0196]在圖20中示出的旋轉(zhuǎn)設(shè)備構(gòu)造方式的優(yōu)點(diǎn)在于，可旋轉(zhuǎn)部分(轉(zhuǎn)子51)主要處于旋 轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸承44上方。因此能夠測(cè)量旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)誤差，方法是(例如根據(jù)圖4闡述 的那樣)在轉(zhuǎn)子51上布置檢驗(yàn)體并且在不同的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量與檢驗(yàn)體的理想位置的偏差。 所述構(gòu)造方式還具有的優(yōu)點(diǎn)在于，旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量裝置(在此是分度圓盤(pán)75)的測(cè)量體與轉(zhuǎn)子 51相連，但是向下伸出。因此，即使只能在旋轉(zhuǎn)軸承44上方測(cè)量運(yùn)動(dòng)誤差，但可以在旋轉(zhuǎn)軸 承44下方確定有利的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種用于減小旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的誤差的方法，所述旋轉(zhuǎn)設(shè)備具有第一部分（12)和 能相對(duì)于第一部分（12)圍繞旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的旋轉(zhuǎn)軸線(A1)旋轉(zhuǎn)的第二部分(11)以及用 于測(cè)量第一部分（12)和第二部分（11)相對(duì)彼此的旋轉(zhuǎn)位置的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量裝置(74、75)， 其中，所述旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量裝置(74、75)具有旋轉(zhuǎn)位置傳感器(74)和為了測(cè)量旋轉(zhuǎn)位置與旋 轉(zhuǎn)位置傳感器（74)共同作用的測(cè)量體（75)，其中，所述旋轉(zhuǎn)位置傳感器(74)與第一部分 (12)相連并且測(cè)量體(75)與第二部分（11)相連或者旋轉(zhuǎn)位置傳感器(74)與第二部分（11) 相連并且測(cè)量體(75)與第一部分（12)相連，并且其中，所述方法具有以下步驟： -在一定的旋轉(zhuǎn)角范圍內(nèi)，也就是在第一部分（12)和第二部分（11)相對(duì)彼此的不同旋 轉(zhuǎn)位置下測(cè)量由于旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的理想旋轉(zhuǎn)軸線(A2)的相應(yīng)的理想位置和理想定向與 旋轉(zhuǎn)軸線(A1)的實(shí)際位置和實(shí)際定向之間的偏差產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的誤差并且得到 相應(yīng)的誤差測(cè)量值， -由所述誤差測(cè)量值針對(duì)旋轉(zhuǎn)位置傳感器(74)的多個(gè)旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)確定旋轉(zhuǎn)設(shè)備 的第一部分（12)或第二部分（11)的徑向位置的預(yù)期波動(dòng)和/或第一部分（12)或第二部分 (11) 關(guān)于相對(duì)旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)方向的切向的位置的波動(dòng)，所述波動(dòng)由于旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12) 的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)與圍繞理想旋轉(zhuǎn)軸線(A2)的理想旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的偏差而產(chǎn)生，所述旋轉(zhuǎn)位置傳感器 (74)能夠在所述旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)處測(cè)量旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)位置， -在考慮預(yù)期波動(dòng)的情況下，確定旋轉(zhuǎn)位置傳感器(74)的至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)， 針對(duì)該旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)，關(guān)于相對(duì)旋轉(zhuǎn)方向的切向的位置的預(yù)期波動(dòng) 〇小于針對(duì)其它可能的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)的預(yù)期波動(dòng)和/或 〇滿足預(yù)設(shè)的條件。2. 按前述權(quán)利要求所述的方法，其中，在考慮預(yù)期波動(dòng)的情況下，確定旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地 點(diǎn)關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線的角位置。3. 按前述權(quán)利要求之一所述的方法，其中，在考慮預(yù)期波動(dòng)的情況下，確定旋轉(zhuǎn)位置測(cè) 量地點(diǎn)關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線的軸向位置。4. 按前述權(quán)利要求之一所述的方法，其中，在使用旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)作為坐標(biāo)測(cè)量?jī)x (211)的部件的情況下，借助坐標(biāo)測(cè)量?jī)x(211)測(cè)量工件，在使用旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)作為機(jī)床 的部件的情況下，借助機(jī)床加工工件或者在使用旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的情況下，也就是在借助 坐標(biāo)測(cè)量?jī)x(211)測(cè)量工件或者借助機(jī)床加工工件之前、之中和/或之后，使工件旋轉(zhuǎn)。5. -種用于減小旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的誤差的設(shè)備，所述旋轉(zhuǎn)設(shè)備具有第一部分（12)和 能相對(duì)于第一部分（12)圍繞旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的旋轉(zhuǎn)軸線(A1)旋轉(zhuǎn)的第二部分(11)以及用 于測(cè)量第一部分（12)和第二部分（11)相對(duì)彼此的旋轉(zhuǎn)位置的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量裝置(74、75)， 其中，所述旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量裝置(74、75)具有旋轉(zhuǎn)位置傳感器(74)和為了測(cè)量旋轉(zhuǎn)位置與旋 轉(zhuǎn)位置傳感器（74)共同作用的測(cè)量體（75)，其中，所述旋轉(zhuǎn)位置傳感器(74)與第一部分 (12) 相連并且測(cè)量體(75)與第二部分（11)相連或者旋轉(zhuǎn)位置傳感器(74)與第二部分（11) 相連并且測(cè)量體(75)與第一部分（12)相連，并且其中，所述設(shè)備具有： -測(cè)量裝置（21)，所述測(cè)量裝置設(shè)計(jì)用于在一定的旋轉(zhuǎn)角范圍內(nèi)，也就是在第一部分 (12)和第二部分(11)相對(duì)彼此的不同旋轉(zhuǎn)位置下測(cè)量由于旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的理想旋轉(zhuǎn)軸 線(A2)的相應(yīng)的理想位置和理想定向與旋轉(zhuǎn)軸線(A1)的實(shí)際位置和實(shí)際定向之間的偏差 產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的誤差并且將相應(yīng)的誤差測(cè)量值輸出至預(yù)測(cè)裝置(23)， -預(yù)測(cè)裝置（23)，所述預(yù)測(cè)裝置設(shè)計(jì)用于由所述誤差測(cè)量值針對(duì)旋轉(zhuǎn)位置傳感器(74) 的多個(gè)旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)確定旋轉(zhuǎn)設(shè)備的第一部分（12)或第二部分（11)的徑向位置的預(yù) 期波動(dòng)和/或第一部分（12)或第二部分(11)關(guān)于相對(duì)旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)方向的切向的位置的 波動(dòng)，所述波動(dòng)由于旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)與圍繞理想旋轉(zhuǎn)軸線(A2)的理想旋轉(zhuǎn)運(yùn) 動(dòng)的偏差而產(chǎn)生，所述旋轉(zhuǎn)位置傳感器(74)能夠在所述旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)處測(cè)量旋轉(zhuǎn)設(shè)備 (11、12)的旋轉(zhuǎn)位置， -確定裝置(25)，所述確定裝置設(shè)計(jì)用于在考慮預(yù)期波動(dòng)的情況下，確定旋轉(zhuǎn)位置傳感 器(74)的至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)，針對(duì)該旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)，關(guān)于相對(duì)旋轉(zhuǎn)方向的切 向的位置的預(yù)期波動(dòng) 〇小于針對(duì)其它可能的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)的預(yù)期波動(dòng)和/或 〇滿足預(yù)設(shè)的條件。6. 按權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其中，所述預(yù)測(cè)裝置(23)設(shè)計(jì)用于在考慮預(yù)期波動(dòng)的情況 下，確定旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線的角位置。7. 按權(quán)利要求5或6所述的設(shè)備，其中，所述預(yù)測(cè)裝置(23)設(shè)計(jì)用于在考慮預(yù)期波動(dòng)的 情況下，確定旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線的軸向位置。8. 按權(quán)利要求5至7之一所述的設(shè)備，其中，所述旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)是用于測(cè)量工件的坐 標(biāo)測(cè)量?jī)x(211)的部件、用于加工工件的機(jī)床的部件或者設(shè)計(jì)用于在借助坐標(biāo)測(cè)量?jī)x(211) 測(cè)量工件或者借助機(jī)床加工工件之前、之中和/或之后使工件旋轉(zhuǎn)。9. 一種用于在確定工件（13)的坐標(biāo)或者在加工工件（13)時(shí)減小旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的誤 差的方法，其中，所述旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)能夠在確定坐標(biāo)或加工工件（13)期間使工件（13)圍 繞旋轉(zhuǎn)設(shè)備(11、12)的旋轉(zhuǎn)軸線(A1)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，并且其中，所述方法具有以下步驟： -在一定的旋轉(zhuǎn)角范圍內(nèi)，也就是在旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的兩個(gè)能相對(duì)彼此圍繞旋轉(zhuǎn)軸線 進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的部分的不同旋轉(zhuǎn)位置下，測(cè)量由于旋轉(zhuǎn)軸線(A2)的相應(yīng)的理想位置和理想 定向與旋轉(zhuǎn)軸線(A1)的實(shí)際位置和實(shí)際定向之間的偏差產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的誤差并 且得到相應(yīng)的誤差測(cè)量值， -由所述誤差測(cè)量值確定旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的經(jīng)過(guò)濾的預(yù)期誤差值，所述預(yù)期誤差值是 針對(duì)用于確定工件（13)的坐標(biāo)的坐標(biāo)測(cè)量裝置（111)或者用于加工工件（13)的機(jī)床的加工 工具與旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的多個(gè)相對(duì)的工作位置和工作定向而預(yù)期得到的，也就是對(duì)于在 旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的完整旋轉(zhuǎn)一圈或者未足整圈旋轉(zhuǎn)期間在旋轉(zhuǎn)軸線(A1)的實(shí) 際位置和實(shí)際定向與旋轉(zhuǎn)軸線(A2)的相應(yīng)的理想位置和理想定向之間的偏差的、至少一個(gè) 預(yù)設(shè)數(shù)量范圍內(nèi)的波紋或波動(dòng)進(jìn)行過(guò)濾或?yàn)V波處理得到的， -由旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的經(jīng)過(guò)濾的預(yù)期誤差值確定坐標(biāo)測(cè)量裝置（111)或者加工工具的 至少一個(gè)工作位置和/或工作定向，針對(duì)所述至少一個(gè)工作位置和/或工作定向，旋轉(zhuǎn)設(shè)備 (11、12)的經(jīng)過(guò)濾的預(yù)期誤差值在用于確定工件（13)的坐標(biāo)的預(yù)設(shè)測(cè)量任務(wù)或用于加工工 件(13)的預(yù)設(shè)加工任務(wù)中 〇小于針對(duì)其它工作位置和/或工作定向的預(yù)期誤差值和/或 〇滿足預(yù)設(shè)的條件。10. 按權(quán)利要求9所述的方法，其中，由旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的經(jīng)過(guò)濾的預(yù)期誤差值確定的 至少一個(gè)工作位置和/或工作定向被輸出至坐標(biāo)測(cè)量裝置(111)的或者機(jī)床的控制裝置。11. 按權(quán)利要求9或10所述的方法，其中，至少一個(gè)工作位置和/或工作定向通過(guò)對(duì)坐標(biāo) 測(cè)量或工件(13)的加工的模擬而確定。12. 按權(quán)利要求9至11之一所述的方法，其中，在確定至少一個(gè)工作位置和/或工作定向 時(shí)以測(cè)量任務(wù)為基礎(chǔ)，按照所述測(cè)量任務(wù)掃描工件(13)的表面。13. 按權(quán)利要求9至12之一所述的方法，其中，按照所確定的至少一個(gè)工作位置和/或工 作定向控制對(duì)工件坐標(biāo)的測(cè)量或者工件的加工。14. 一種用于在確定工件（13)的坐標(biāo)或者在加工工件（13)時(shí)減小旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的 誤差的設(shè)備，其中，所述旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)能夠在確定坐標(biāo)或加工工件（13)期間使工件（13) 圍繞旋轉(zhuǎn)設(shè)備(11、12)的旋轉(zhuǎn)軸線(A1)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，并且其中，所述設(shè)備具有： -測(cè)量裝置（21)，所述測(cè)量裝置設(shè)計(jì)用于在一定的旋轉(zhuǎn)角范圍內(nèi)，也就是在旋轉(zhuǎn)設(shè)備 (11、12)的兩個(gè)能相對(duì)彼此圍繞旋轉(zhuǎn)軸線(A1)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的部分的不同旋轉(zhuǎn)位置下，測(cè) 量由于旋轉(zhuǎn)軸線(A2)的相應(yīng)的理想位置和理想定向與旋轉(zhuǎn)軸線(A1)的實(shí)際位置和實(shí)際定 向之間的偏差產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)設(shè)備(11、12)的誤差并且將相應(yīng)的誤差測(cè)量值輸出至預(yù)測(cè)裝置， -預(yù)測(cè)裝置(23)，所述預(yù)測(cè)裝置設(shè)計(jì)用于由所述誤差測(cè)量值確定旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的經(jīng) 過(guò)濾的預(yù)期誤差值，所述預(yù)期誤差值是針對(duì)用于確定工件（13)坐標(biāo)的坐標(biāo)測(cè)量裝置（111) 或者用于加工工件（13)的機(jī)床的加工工具與旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的多個(gè)相對(duì)的工作位置和工 作定向而預(yù)期得到的，也就是對(duì)于在旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的完整旋轉(zhuǎn)一圈或者未 足整圈旋轉(zhuǎn)期間在旋轉(zhuǎn)軸線(A1)的實(shí)際位置和實(shí)際定向與旋轉(zhuǎn)軸線(A2)的相應(yīng)的理想位 置和理想定向之間的偏差的、至少一個(gè)預(yù)設(shè)數(shù)量范圍的波紋或波動(dòng)進(jìn)行過(guò)濾或?yàn)V波處理得 到的， -確定裝置(25)，所述確定裝置設(shè)計(jì)用于由旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的經(jīng)過(guò)濾的預(yù)期誤差值確 定坐標(biāo)測(cè)量裝置(111)或者加工工具的至少一個(gè)工作位置和/或工作定向，針對(duì)所述至少一 個(gè)工作位置和/或工作定向，旋轉(zhuǎn)設(shè)備（11、12)的經(jīng)過(guò)濾的預(yù)期誤差值在用于確定工件（13) 的坐標(biāo)的預(yù)設(shè)測(cè)量任務(wù)或用于加工工件(13)的預(yù)設(shè)加工任務(wù)中 〇小于針對(duì)其它工作位置和/或工作定向的預(yù)期誤差值和/或 〇滿足預(yù)設(shè)的條件。15. -種具有按權(quán)利要求14所述的設(shè)備的坐標(biāo)測(cè)量?jī)x(211)。16. 按權(quán)利要求15所述的坐標(biāo)測(cè)量?jī)x，其中，確定裝置與坐標(biāo)測(cè)量?jī)x(211)的控制裝置 (27)相連，因此控制裝置(27)能夠按照坐標(biāo)測(cè)量裝置（111)的所確定的至少一個(gè)工作位置 和/或工作定向控制對(duì)工件坐標(biāo)的測(cè)量。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種用于減小旋轉(zhuǎn)設(shè)備(11、12)的誤差的方法，所述旋轉(zhuǎn)設(shè)備具有第一部分(12)和能相對(duì)于第一部分(12)圍繞旋轉(zhuǎn)設(shè)備(11、12)的旋轉(zhuǎn)軸線(A1)旋轉(zhuǎn)的第二部分(11)以及用于測(cè)量第一部分(12)和第二部分(11)相對(duì)彼此的旋轉(zhuǎn)位置的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量裝置(74、75)，其中，所述旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量裝置(74、75)具有旋轉(zhuǎn)位置傳感器(74)和為了測(cè)量旋轉(zhuǎn)位置與旋轉(zhuǎn)位置傳感器(74)共同作用的測(cè)量體(75)，其中，所述旋轉(zhuǎn)位置傳感器(74)與第一部分(12)相連并且測(cè)量體(75)與第二部分(11)相連或者旋轉(zhuǎn)位置傳感器(74)與第二部分(11)相連并且測(cè)量體(75)與第一部分(12)相連，其中，所述方法具有以下步驟：-(21)：在一定的旋轉(zhuǎn)角范圍內(nèi)，也就是在第一部分(12)和第二部分(11)相對(duì)彼此的不同旋轉(zhuǎn)位置下測(cè)量由于旋轉(zhuǎn)設(shè)備(11、12)的理想旋轉(zhuǎn)軸線(A2)的相應(yīng)的理想位置和理想定向與旋轉(zhuǎn)軸線(A1)的實(shí)際位置和實(shí)際定向之間的偏差產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)設(shè)備(11、12)的誤差并且得到相應(yīng)的誤差測(cè)量值，-(23)：由所述誤差測(cè)量值針對(duì)旋轉(zhuǎn)位置傳感器(74)的多個(gè)旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)確定旋轉(zhuǎn)設(shè)備的第一部分(12)或第二部分(11)的徑向位置的預(yù)期波動(dòng)和/或第一部分(12)或第二部分(11)關(guān)于相對(duì)旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)方向的切向的位置的波動(dòng)，所述波動(dòng)由于旋轉(zhuǎn)設(shè)備(11、12)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)與圍繞理想旋轉(zhuǎn)軸線(A2)的理想旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的偏差而產(chǎn)生，所述旋轉(zhuǎn)位置傳感器(74)能夠在所述旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)處測(cè)量旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)位置，-(25)：在考慮預(yù)期波動(dòng)的情況下，確定旋轉(zhuǎn)位置傳感器(74)的至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)，針對(duì)該旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)，關(guān)于相對(duì)旋轉(zhuǎn)方向的切向的位置的預(yù)期波動(dòng)ο小于針對(duì)其它可能的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)的預(yù)期波動(dòng)和/或ο滿足預(yù)設(shè)的條件。
【IPC分類】G01B21/04, G01D5/244
【公開(kāi)號(hào)】CN105556253
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201480051235
【發(fā)明人】R.塞奇米勒, D.塞茨
【申請(qǐng)人】卡爾蔡司工業(yè)測(cè)量技術(shù)有限公司
【公開(kāi)日】2016年5月4日
【申請(qǐng)日】2014年8月14日
【公告號(hào)】DE102013216093A1, DE102013216093B4, EP3033596A1, US20160195869, WO2015022398A1