量第一部分和第 二部分相對彼此的旋轉(zhuǎn)位置的旋轉(zhuǎn)位置測量裝置，其中，所述旋轉(zhuǎn)位置測量裝置具有旋轉(zhuǎn) 位置傳感器和為了測量旋轉(zhuǎn)位置與旋轉(zhuǎn)位置傳感器共同作用的測量體，其中，所述旋轉(zhuǎn)位 置傳感器與第一部分相連并且測量體與第二部分相連或者旋轉(zhuǎn)位置傳感器與第二部分相 連并且測量體與第一部分相連，并且其中，所述設(shè)備具有：
[0043] -測量裝置，所述測量裝置設(shè)計用于在一定的旋轉(zhuǎn)角范圍內(nèi)，也就是在第一部分和 第二部分相對彼此的不同旋轉(zhuǎn)位置下測量由于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的理想旋轉(zhuǎn)軸線的相應(yīng)的理想位 置和理想定向與旋轉(zhuǎn)軸線的實際位置和實際定向之間的偏差產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)設(shè)備的誤差并且 將相應(yīng)的誤差測量值輸出至預(yù)測裝置，
[0044]-預(yù)測裝置，所述預(yù)測裝置設(shè)計用于由所述誤差測量值針對旋轉(zhuǎn)位置傳感器的多 個旋轉(zhuǎn)位置測量地點確定旋轉(zhuǎn)設(shè)備的第一部分或第二部分的徑向位置的預(yù)期波動和/或第 一部分或第二部分關(guān)于相對旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)方向的切向的位置的波動，所述波動由于旋轉(zhuǎn) 設(shè)備的旋轉(zhuǎn)運動與圍繞理想旋轉(zhuǎn)軸線的理想旋轉(zhuǎn)運動的偏差而產(chǎn)生，所述旋轉(zhuǎn)位置傳感器 能夠在所述旋轉(zhuǎn)位置測量地點處測量旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)位置，
[0045]-確定裝置，所述確定裝置設(shè)計用于在考慮預(yù)期波動的情況下，確定旋轉(zhuǎn)位置傳感 器的至少一個旋轉(zhuǎn)位置測量地點，針對該旋轉(zhuǎn)位置測量地點，關(guān)于相對旋轉(zhuǎn)方向的切向的 位置的預(yù)期波動
[0046] 〇小于針對其它可能的旋轉(zhuǎn)位置測量地點的預(yù)期波動和/或 [0047] 〇滿足預(yù)設(shè)的條件。
[0048] 在以下的描述中，將所確定的旋轉(zhuǎn)位置測量地點作為"有利的"旋轉(zhuǎn)位置測量地 點。尤其是這樣布置和/或定向所述旋轉(zhuǎn)位置傳感器，從而調(diào)節(jié)形成所確定的旋轉(zhuǎn)位置測量 地點。
[0049] 本發(fā)明的范圍還包括一種方法，其包含用于減小旋轉(zhuǎn)設(shè)備的誤差的方法的步驟， 其中還通過將旋轉(zhuǎn)設(shè)備用作坐標測量儀的一部分來測量工件或者通過將旋轉(zhuǎn)設(shè)備用作機 床的一部分來加工工件或者通過應(yīng)用旋轉(zhuǎn)設(shè)備在利用坐標測量儀測量工件或利用機床加 工工件之前、之中和/或之后使工件旋轉(zhuǎn)。
[0050] 所述預(yù)測裝置尤其設(shè)計用于在考慮預(yù)期波動的情況下，確定旋轉(zhuǎn)位置測量地點關(guān) 于旋轉(zhuǎn)軸線的角位置和/或在考慮預(yù)期波動的情況下，確定旋轉(zhuǎn)位置測量地點關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸 線的軸向位置。
[0051] 所述旋轉(zhuǎn)設(shè)備尤其是用于測量工件的坐標測量儀的部件、用于加工工件的機床的 部件或者設(shè)計用于在借助坐標測量儀測量工件或者借助機床加工工件之前、之中和/或之 后使工件旋轉(zhuǎn)。
[0052] 旋轉(zhuǎn)設(shè)備通常具有集成的傳感器，其能夠測量旋轉(zhuǎn)位置。已知的測量原理例如在 EP 1 923 670 A1中描述。因此，探測周期性分度的一般原理是，具有傳感器單元的探頭在 旋轉(zhuǎn)設(shè)備的另一部分上探測測量體的一個或多個分度周期。按照本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)設(shè)備也可以 具有至少一個傳感器，其檢測旋轉(zhuǎn)設(shè)備的第一部分相對于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的第二部分的旋轉(zhuǎn)位 置，其中，傳感器尤其檢測測量體上的標記，所述標記在旋轉(zhuǎn)設(shè)備進行旋轉(zhuǎn)運動時運動通過 傳感器的可檢測區(qū)域。在此，標記例如可以是線狀的標記，它們相對于旋轉(zhuǎn)軸線沿徑向延伸 或者平行于旋轉(zhuǎn)軸線延伸。相應(yīng)的測量體也可以稱為分度圓盤。這種標記通常通過光學(xué)傳 感器檢測。理想情況是多個標記以彼此相同的角間距圍繞旋轉(zhuǎn)軸線分布。備選地，測量體上 的其它標記可以用于檢測旋轉(zhuǎn)運動?？尚械睦缡谴判詷擞?，如通過具有圍繞旋轉(zhuǎn)軸線分 布的磁性元件的結(jié)構(gòu)。用于檢測磁性標記的相應(yīng)傳感器例如可以是磁阻傳感器。然而也可 以使用例如霍爾傳感器或者其它能夠檢測磁場的強度或者方向的傳感器。然而本發(fā)明不局 限于具有檢測測量體上的標記的角測量裝置的旋轉(zhuǎn)設(shè)備。測量體備選地可以例如具有至少 一個磁體，因此在旋轉(zhuǎn)設(shè)備圍繞旋轉(zhuǎn)軸線進行旋轉(zhuǎn)運動時相應(yīng)的磁場旋轉(zhuǎn)，或者反之使旋 轉(zhuǎn)設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)部分相對于靜止的磁場旋轉(zhuǎn)。至少一個傳感器檢測磁場并且由此確定旋轉(zhuǎn) 位置。
[0053] 之前所述的旋轉(zhuǎn)設(shè)備的（實際）旋轉(zhuǎn)軸線的實際位置和之前所述的旋轉(zhuǎn)設(shè)備的理 想旋轉(zhuǎn)軸線的理想位置指的并不是由旋轉(zhuǎn)位置測量裝置測量得到的旋轉(zhuǎn)位置。它們指的是 空間中的相應(yīng)旋轉(zhuǎn)軸線上的點的位置。針對所述位置測量的實施例還將詳細描述。例如在 測量實際位置與理想位置的偏差時，在旋轉(zhuǎn)設(shè)備進行旋轉(zhuǎn)運動期間和/或之后重復(fù)地觀察 實際旋轉(zhuǎn)軸線的點（例如在旋轉(zhuǎn)軸線的某一軸向位置上），也就是(例如間接地通過測量與 旋轉(zhuǎn)軸線上的點相連的物體的至少一個點的位置)測量其位置和/或其與理想旋轉(zhuǎn)軸線的 相應(yīng)理想位置的偏差。（實際)旋轉(zhuǎn)軸線的實際定向的偏差的測量可以尤其通過以下方式進 行，即測量實際旋轉(zhuǎn)軸線的多個點的實際位置分別與相應(yīng)的理想位置的偏差并且由此確定 實際定向。然而這只是一種可能性。也不是必須明確地確定實際旋轉(zhuǎn)軸線的實際定向與理 想定向的偏差。按照本發(fā)明只測量由于旋轉(zhuǎn)軸線的實際位置和實際定向與旋轉(zhuǎn)設(shè)備的理想 旋轉(zhuǎn)軸線和相應(yīng)的理想位置之間的偏差產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)設(shè)備誤差。為了測量誤差，例如作為對 觀察實際旋轉(zhuǎn)軸線的兩個點的備選，可以只觀察實際旋轉(zhuǎn)軸線的一個點并且還觀察測量體 的與實際旋轉(zhuǎn)軸線相間隔的點，其中，所述測量體與旋轉(zhuǎn)軸線相連。作為用于測量誤差的測 量體，例如可以使用旋轉(zhuǎn)對稱體或者旋轉(zhuǎn)對稱體的結(jié)構(gòu)(例如具有兩個球的桿），其旋轉(zhuǎn)對 稱軸線例如這樣定向，使其與實際旋轉(zhuǎn)軸線一致。另一個例子是球板，其具有多個球，所述 球例如可以沿旋轉(zhuǎn)軸線彼此間隔地布置在相同的軸向位置上。另一個例子是旋轉(zhuǎn)位置測量 系統(tǒng)的分度圓盤。在這種情況下，可以將測量系統(tǒng)的至少兩個優(yōu)選以90°的角度間隔彼此錯 移的旋轉(zhuǎn)位置傳感器用于測量旋轉(zhuǎn)運動誤差。為了在旋轉(zhuǎn)軸線的另一位置得到關(guān)于旋轉(zhuǎn)運 動誤差的其它信息，同樣可以在該處測量，例如由另一旋轉(zhuǎn)位置測量系統(tǒng)或者通過旋轉(zhuǎn)對 稱體或者具有橫向于旋轉(zhuǎn)軸線平坦延伸的表面的圓盤作為測量體。作為對具有分度圓盤的 旋轉(zhuǎn)位置測量系統(tǒng)的備選，也可以使用其它旋轉(zhuǎn)位置測量系統(tǒng)。在旋轉(zhuǎn)運動期間（其可選地 總是可以再中斷），只需要在至少兩個優(yōu)選以90°的角度間隔彼此錯移的測量地點測量旋轉(zhuǎn) 位置。承載旋轉(zhuǎn)位置測量系統(tǒng)的一部分的物體(例如承載分度圓盤的物體)也可以通過其它 方式用作測量旋轉(zhuǎn)運動誤差的測量體。例如，物體可以具有橫向于旋轉(zhuǎn)軸線平坦延伸的表 面并且可以在運動期間靜止的測量地點測量表面的軸向位置。備選地，可以測量物體的外 周向的徑向位置。
[0054] 如果在此指的是與旋轉(zhuǎn)軸線相連的物體或者點，則這尤其意味著，所述物體或者 點屬于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)部分或者在旋轉(zhuǎn)設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)部分旋轉(zhuǎn)時圍繞實際旋轉(zhuǎn)軸線旋 轉(zhuǎn)，并且物體的定向或者點的位置相對于實際旋轉(zhuǎn)軸線或者至少相對于實際旋轉(zhuǎn)軸線的區(qū) 段在旋轉(zhuǎn)設(shè)備旋轉(zhuǎn)時不變。
[0055] 尤其可以按照誤差源單獨地和/或按照實際旋轉(zhuǎn)軸線相對于理想旋轉(zhuǎn)軸線的運動 自由度單獨地測量和/或確定旋轉(zhuǎn)設(shè)備的不同運動誤差。實際旋轉(zhuǎn)軸線相對于理想旋轉(zhuǎn)軸 線的不同運動自由度例如是橫向于實際旋轉(zhuǎn)軸線或理想旋轉(zhuǎn)軸線以及沿實際旋轉(zhuǎn)軸線或 理想旋轉(zhuǎn)軸線的方向的平移自由度。由不同的誤差例如可以直接得到關(guān)于有利的旋轉(zhuǎn)位置 測量地點的認知。但也可行的是，例如在某些旋轉(zhuǎn)位置測量地點上或者在可能的旋轉(zhuǎn)位置 測量地點的區(qū)域內(nèi)分析旋轉(zhuǎn)設(shè)備的預(yù)期總誤差。
[0056] 旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)角的測量到旋轉(zhuǎn)設(shè)備運動誤差的區(qū)域尤其可以是旋轉(zhuǎn)一整圈，也 就是經(jīng)過所有可能的旋轉(zhuǎn)位置。例如可以分別在旋轉(zhuǎn)設(shè)備進行旋轉(zhuǎn)運動之后在靜止?fàn)顟B(tài)中 或者在旋轉(zhuǎn)運動期間測量測量值。
[0057]通過所述測量得到旋轉(zhuǎn)設(shè)備的測量運動誤差。由這些測量的誤差可以確定旋轉(zhuǎn)設(shè) 備的預(yù)期誤差，所述預(yù)期誤差分別針對旋轉(zhuǎn)位置測量地點進行預(yù)期。在此，尤其可以在所測 量的誤差值之間進行內(nèi)插和/或外推法。此外，可以在已經(jīng)確定的預(yù)期誤差值之間進行內(nèi)插 和/或外推法。結(jié)果是例如針對可能的旋轉(zhuǎn)位置測量地點的區(qū)域分別得到了旋轉(zhuǎn)位置測量 裝置的預(yù)期誤差并且因此得到了旋轉(zhuǎn)設(shè)備的預(yù)期誤差。預(yù)期誤差在誤差測量的測量點處可 能等于測量誤差，由所述預(yù)期誤差可以確定并且因此選擇至少一個旋轉(zhuǎn)位置測量地點，旋 轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)位置傳感器在其上測量旋轉(zhuǎn)位置。
[0058] 一旦測量了運動誤差，則可以確定如上所述關(guān)于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的第一部分或第二部分 的徑向位置和/或第一部分或第二部分沿切向的位置的預(yù)期波動。這些徑向和切向的波動 在觀察相應(yīng)等同的旋轉(zhuǎn)位置測量地點時是相互等同的。例如，旋轉(zhuǎn)設(shè)備的第一部分的處于 圍繞旋轉(zhuǎn)軸線的某一角位置上的地點和旋轉(zhuǎn)設(shè)備部分的處于圍繞旋轉(zhuǎn)軸線錯移90°的角位 置上的另一地點構(gòu)成彼此互補的地點。因此可行的是，由處于錯移90°的地點處的預(yù)期的或 測量的徑向運動誤差確定在觀察的可能旋轉(zhuǎn)位置測量地點處的預(yù)期切向運動誤差。
[0059] 尤其可以例如在多個地點測量運動誤差，所述多個地點圍繞旋轉(zhuǎn)軸線處于不同角 位置上并且其角位置與可能的旋轉(zhuǎn)位置測量地點的角位置不一致。由此也可以確定在可能 的旋轉(zhuǎn)位置測量地點處的預(yù)期切向運動誤差。
[0060] 因此，有利的旋轉(zhuǎn)位置測量地點不只可以直接由所確定的關(guān)于相對旋轉(zhuǎn)方向的切 向的位置的預(yù)期波動來確定。
[0061 ]旋轉(zhuǎn)位置傳感器的旋轉(zhuǎn)位置測量地點尤其是旋轉(zhuǎn)設(shè)備的另一部分所處的地點，所 述另一部分也就是沒有布置旋轉(zhuǎn)位置傳感器、而是布置有測量體的部分。在旋轉(zhuǎn)位置測量 地點上測量旋轉(zhuǎn)位置，也就是旋轉(zhuǎn)位置傳感器觀察一個地點(根據(jù)旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)位置，所 述旋轉(zhuǎn)設(shè)備的另一部分的不同區(qū)域或點處于該地點）。這尤其適用于光學(xué)檢測。例如在之前 提到的具有標記的測量體的情況下，旋轉(zhuǎn)位置傳感器檢測旋轉(zhuǎn)位置測量地點上的標記。在 之前同樣提到了具有至少一個磁體的測量體的情況，因此旋轉(zhuǎn)設(shè)備傳感器確定所形成的磁 場并且由此確定旋轉(zhuǎn)位置，在這種情況下，旋轉(zhuǎn)位置測量地點尤其是這樣的地點，其具有與 旋轉(zhuǎn)位置傳感器的地點相同的圍繞旋轉(zhuǎn)軸線的角位置。當(dāng)旋轉(zhuǎn)設(shè)備進行其旋轉(zhuǎn)運動時，旋 轉(zhuǎn)設(shè)備的另一部分尤其在旋轉(zhuǎn)運動中運動經(jīng)過旋轉(zhuǎn)位置測量地點。在此，"運動經(jīng)過"理解 為布置有旋轉(zhuǎn)位置傳感器的部分作為靜止部分被觀察并且因此由旋轉(zhuǎn)位置傳感器的視角 感知另一部分的旋轉(zhuǎn)運動。但作為旋轉(zhuǎn)位置測量地點可以在所有情況下（其中針對旋轉(zhuǎn)位 置測量有效的旋轉(zhuǎn)位置傳感器定向與旋轉(zhuǎn)位置測量地點無關(guān)地確定，也就是在旋轉(zhuǎn)位置測 量地點變化時只平行地移動)也觀察布置有旋轉(zhuǎn)位置傳感器的地點。但一般來說旋轉(zhuǎn)位置 傳感器可以定向在與相同角位置的地點不同的地點上，并且可以改變針對旋轉(zhuǎn)位置的測量 有效的旋轉(zhuǎn)位置傳感器的定向。
[0062]尤其當(dāng)旋轉(zhuǎn)位置測量地點是旋轉(zhuǎn)設(shè)備的另一部分在旋轉(zhuǎn)運動期間所運動經(jīng)過的 地點時，其可以是接近點狀或線狀的地點（例如沿相對于旋轉(zhuǎn)軸線的徑向線狀延伸的區(qū)域） 或者是平面狀區(qū)域，如在使用光學(xué)傳感器時是這種情況，所述光學(xué)傳感器同時包括多個相 鄰的標記，它們圍繞旋轉(zhuǎn)軸線沿旋轉(zhuǎn)方向依次布置在測量體上。在這種情況下，例如可以定 義平面狀區(qū)域內(nèi)的一點（例如其沿徑向在預(yù)設(shè)位置上沿旋轉(zhuǎn)方向的中點），其坐標可以作為 區(qū)域坐標并且因此作為旋轉(zhuǎn)位置測量地點的坐標。甚至可以考慮，旋轉(zhuǎn)位置測量地點是由 旋轉(zhuǎn)位置傳感器檢測的立體區(qū)域。在這種情況下，也可以定義立體區(qū)域的按照之前設(shè)定的 規(guī)則確定的點，其坐標可以用作旋轉(zhuǎn)位置測量地點的坐標。無論如何，旋轉(zhuǎn)位置傳感器通過 與測量體的共同作用測量旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)位置。如果布置有旋轉(zhuǎn)位置測量地點的地點是旋 轉(zhuǎn)位置測量地點，則能夠以相似的方式如前所述地定義旋轉(zhuǎn)位置傳感器的點，其坐標作為 旋轉(zhuǎn)位置測量地點的坐標。
[0063]如果旋轉(zhuǎn)位置測量地點是已知或者確定的，則根據(jù)幾何定理得到相對于旋轉(zhuǎn)方向 的切向。所述方向是與理想旋轉(zhuǎn)軸線同心的圓上的切線方向，所述圓經(jīng)過旋轉(zhuǎn)位置測量地 點。
[0064]如之后還將詳細說明的，優(yōu)選在實際旋轉(zhuǎn)運動和理想旋轉(zhuǎn)運動之間的偏差的所有 自由度方面測量運動誤差，可選地不考慮軸向上的平移自由度。這允許了在考慮預(yù)期波動 (參見之前闡述)的情況下不只確定旋轉(zhuǎn)位置測量地點相對于旋轉(zhuǎn)軸線的角位置，例如通過 圍繞旋轉(zhuǎn)軸線一圈確定最有利的旋轉(zhuǎn)位置測量地點。而且作為備選或補充，也可以在考慮 預(yù)期波動的情況下確定旋轉(zhuǎn)位置測量地點相對于旋轉(zhuǎn)軸線的軸向位置，針對其所述預(yù)期波 動滿足至少一個在本說明書中提到的標準。優(yōu)選由預(yù)期波動，也就是在考慮所述波動的情 況下既確定有利的旋轉(zhuǎn)位置測量地點的角位置也確定軸向位置。這所基于的認知是，并不 是在每個相對于旋轉(zhuǎn)軸線的軸向位置上均存在特別有利的旋轉(zhuǎn)位置測量地點。在旋轉(zhuǎn)設(shè)備 的給定軸向區(qū)段中的最有利的旋轉(zhuǎn)位置測量地點通常是通過其軸向位置和其角位置定義 的唯一地點。
[0065] 以下描述旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運動誤差測量的另一應(yīng)用。在這種應(yīng)用中不一定是具有旋轉(zhuǎn) 位置傳感器的旋轉(zhuǎn)設(shè)備，即使這是在實踐中通常的情況。但以下描述的應(yīng)用可以與之前所 述的運動誤差測量應(yīng)用相結(jié)合。在此，首先測量旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運動誤差，也就是尤其通過獨立 的測量系統(tǒng)測量，所述測量系統(tǒng)可選地可以在測量之后從旋轉(zhuǎn)設(shè)備上移除。獨立的測量系 統(tǒng)尤其理解為這樣的測量系統(tǒng)，其不是坐標測量儀的一部分，所述坐標測量儀具有旋轉(zhuǎn)設(shè) 備或者測量待由旋轉(zhuǎn)設(shè)備旋轉(zhuǎn)的工件，或者在另一種情況下不是機床的一部分，所述機床 具有旋轉(zhuǎn)設(shè)備或者加工待由旋轉(zhuǎn)設(shè)備旋轉(zhuǎn)的工件。例如為了通過獨立測量系統(tǒng)測量運動誤 差，測量系統(tǒng)的測量體可以與旋轉(zhuǎn)設(shè)備耦連，因此測量系統(tǒng)的一個或兩個旋轉(zhuǎn)對稱的測量 體相對于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸線大約旋轉(zhuǎn)對稱地布置，因此可以在旋轉(zhuǎn)軸線的兩個彼此間隔 的軸向位置上進行測量。例如，與旋轉(zhuǎn)設(shè)備的其它部分(也就是不布置測量體的旋轉(zhuǎn)設(shè)備部 分)相連的距離傳感器分別在兩個彼此間隔的軸向位置上測量旋轉(zhuǎn)對稱的測量體在兩個彼 此橫向延伸的方向上的距離，所述方向同樣橫向于旋轉(zhuǎn)軸線延伸。優(yōu)選例如通過另一個距 離傳感器測量至少一個測量體的軸向位置波動，由此通過獨立測量系統(tǒng)檢測旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運 動誤差的五個自由度。
[0066] 尤其如以下還將詳細闡述的，之后在考慮運動誤差的測量結(jié)果的情況下確定坐標 測量儀的坐標測量裝置或者機床的加工工具的至少一個工作位置和/或工作定向。所述確 定過程尤其關(guān)于由旋轉(zhuǎn)設(shè)備旋轉(zhuǎn)的工件進行。工件的旋轉(zhuǎn)可以在借助坐標測量裝置測量工 件或者借助加工工具加工工件之前、之中和/或之后進行。此外，尤其如前所述地在確定用 于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)位置測量裝置的有利旋轉(zhuǎn)位置測量地點時應(yīng)用旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運動誤差測 量結(jié)果。這意味著，運動誤差的測量結(jié)果被應(yīng)用了兩次，也就是用于設(shè)置旋轉(zhuǎn)位置測量地點 和用于設(shè)置坐標測量裝置或加工工具的工作位置和/或工作定向。
[0067] 本發(fā)明所要解決的另一技術(shù)問題在于，提供一種用于在確定工件坐標或者加工工 件時減小旋轉(zhuǎn)設(shè)備誤差的方法，其要求較少的測量技術(shù)耗費和設(shè)計耗費來將旋轉(zhuǎn)設(shè)備相對 于旋轉(zhuǎn)對稱形狀的波紋度分析或者相對于制造旋轉(zhuǎn)對稱形狀時產(chǎn)生的波紋狀偏差的誤差 保持得較小。之前已經(jīng)闡述的方法尤其應(yīng)當(dāng)能以較小的耗費實現(xiàn)工件測量或者工件加工。 本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題還在于，提供一種用于實施所述方法的設(shè)備。
[0068] 本發(fā)明從這種認知出發(fā)，即尤其用于坐標測量儀和機床的旋轉(zhuǎn)設(shè)備在很多情況下 具有不同的誤差源，所述誤差源對旋轉(zhuǎn)設(shè)備的總誤差作出不同的誤差貢獻。這些不同的誤 差貢獻尤其是平移誤差，也就是旋轉(zhuǎn)軸線在旋轉(zhuǎn)運動期間沿直線方向運動，和旋轉(zhuǎn)誤差，也 就是旋轉(zhuǎn)軸線在根據(jù)旋轉(zhuǎn)設(shè)備的可相對彼此旋轉(zhuǎn)運動的部件的旋轉(zhuǎn)位置相對于不變的理 想旋轉(zhuǎn)軸線不同程度地傾斜和/或以不同方式傾斜于理想旋轉(zhuǎn)軸線地延伸。不同的誤差貢 獻尤其根據(jù)坐標測量裝置或機床的加工工具相對于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的工作位置和工作定向相互 抵消或者增強。但是如之前提到的，測量所述旋轉(zhuǎn)設(shè)備的可相對彼此旋轉(zhuǎn)的部分的當(dāng)前旋 轉(zhuǎn)位置的旋轉(zhuǎn)位置傳感器也可以更準確或不那么準確地進行所述測量。準確度取決于在旋 轉(zhuǎn)位置傳感器測量旋轉(zhuǎn)位置的地點處的不同誤差貢獻是相互抵消還是增強。
[0069] 此外，本發(fā)明所基于的認知是，在旋轉(zhuǎn)位置傳感器的確定旋轉(zhuǎn)位置測量地點或確 定的工作位置和工作定向中的單個誤差源對測量誤差或者對工件加工的影響小于在其它 旋轉(zhuǎn)位置測量地點或其它工作定向和工作位置中的影響。例如旋轉(zhuǎn)設(shè)備的實際旋轉(zhuǎn)軸線可 能圍繞垂直于理想旋轉(zhuǎn)軸線延伸的擺動軸線擺動。擺動運動是旋轉(zhuǎn)設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)部分圍繞 擺動軸線的旋轉(zhuǎn)運動。在此，擺動角(實際旋轉(zhuǎn)軸線與理想旋轉(zhuǎn)軸線之間的角)在旋轉(zhuǎn)設(shè)備 的旋轉(zhuǎn)運動期間改變。例如在沿平行于所述擺動軸線延伸并且沿軸向與理想旋轉(zhuǎn)軸線錯開 (也就是處于與擺動軸線不同的軸向位置上）的工作定向測量工件或者加工工件時，擺動運 動只起到很小的影響。由旋轉(zhuǎn)設(shè)備旋轉(zhuǎn)的工件在工作定向中的徑向位置不變。但相反，在坐 標測量裝置或者加工工具沿在與工作定向相同的軸向位置上垂直于理想旋轉(zhuǎn)軸線并且垂 直于所述工作定向延伸的方向定向時工件的徑向位置由于擺動運動而改變。根據(jù)與進行擺 動運動所圍繞的擺動軸線的軸向間距(所述軸向間距如所提到的那樣沿理想旋轉(zhuǎn)軸線的方 向確定），擺動運動的誤差增強或減弱。
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