0] 為了回到之前描述的確定有利旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)的情況，不會(huì)由于擺動(dòng)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)致 旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量誤差的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)從旋轉(zhuǎn)軸線的視角觀察在垂直于理想旋轉(zhuǎn)軸線和 垂直于所述工作定向延伸的方向上。
[0071] 因此，解決上述技術(shù)問(wèn)題的方案在于，確定坐標(biāo)測(cè)量裝置或加工工具的至少一個(gè) 工作位置和/或工作定向，針對(duì)其旋轉(zhuǎn)設(shè)備的預(yù)期誤差較小和/或滿足預(yù)設(shè)的條件。關(guān)于旋 轉(zhuǎn)位置傳感器的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)，解決所述技術(shù)問(wèn)題的方案在于，確定至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)位 置測(cè)量地點(diǎn)，針對(duì)其旋轉(zhuǎn)設(shè)備的預(yù)期誤差較小和/或滿足預(yù)設(shè)的條件。所述預(yù)設(shè)的條件例如 要求，旋轉(zhuǎn)設(shè)備的誤差沒有達(dá)到或沒有超過(guò)確定的誤差值，或者要求波紋度(見上）的確定 階。尤其可以確定至少一個(gè)工作位置和/或工作定向或旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)，針對(duì)其旋轉(zhuǎn)設(shè)備 的誤差小于針對(duì)其它工作位置和/或工作定向或旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)的誤差。
[0072] 在確定至少一個(gè)工作位置和/或工作定向時(shí)，尤其可以考慮用于確定工件坐標(biāo)的 預(yù)設(shè)測(cè)量任務(wù)或用于加工工件的預(yù)設(shè)加工任務(wù)。例如，所述任務(wù)可以確定坐標(biāo)測(cè)量裝置或 加工工具的工作定向或者確定用于工作定向的可能或可靠的區(qū)域。同理適用于工作位置。 關(guān)于工作定向，如果兩個(gè)工作定向相互平行地延伸，也就是可以通過(guò)平行移動(dòng)相互重疊，則 這兩個(gè)工作定向尤其視為等同的。尤其可以將工作位置定義為軸向工作位置，也就是將工 作位置描述為與理想旋轉(zhuǎn)軸線重合的坐標(biāo)軸(例如Z軸）的坐標(biāo)值。在這種情況下，如果例如 在掃描工件或者加工工件時(shí)垂直于理想旋轉(zhuǎn)軸線施加力，則工作定向總是可以定義為垂直 于理想旋轉(zhuǎn)軸線延伸。
[0073]在確定旋轉(zhuǎn)位置傳感器的至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)時(shí)，尤其可以考慮用于確定 可通過(guò)旋轉(zhuǎn)設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)部件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的工件的坐標(biāo)的預(yù)設(shè)測(cè)量任務(wù)或者用于加工可通 過(guò)旋轉(zhuǎn)設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)部分進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的工件的預(yù)設(shè)加工任務(wù)。如果例如按照所述任務(wù)應(yīng)實(shí)現(xiàn) 這樣的結(jié)果，其相對(duì)于圍繞工件對(duì)稱軸線(其在理想情況下與旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸線一致)的 旋轉(zhuǎn)對(duì)稱性具有相對(duì)于預(yù)設(shè)的階(例如3階，也就是在圍繞對(duì)稱軸線旋轉(zhuǎn)一圈時(shí)具有三個(gè)最 大值和三個(gè)最小值)盡可能小的偏差幅度或者具有預(yù)設(shè)范圍的階，則可以這樣選擇旋轉(zhuǎn)位 置傳感器的地點(diǎn)，使得旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量誤差相對(duì)于測(cè)量任務(wù)或加工任務(wù)在該地點(diǎn)上是最小的 或者滿足預(yù)設(shè)的條件。
[0074]當(dāng)在說(shuō)明書中提到旋轉(zhuǎn)位置傳感器的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量誤差時(shí)，測(cè)量誤差只是涉及由 于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的實(shí)際旋轉(zhuǎn)軸線相對(duì)旋轉(zhuǎn)設(shè)備的理想旋轉(zhuǎn)軸線的運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的誤差分量。在此不 觀察所有其它的誤差分量，尤其是旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量裝置的誤差分量，其即使在旋轉(zhuǎn)設(shè)備進(jìn)行 理想旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)也會(huì)由于測(cè)量裝置的固有誤差(例如分度圓盤的分度的不均勻性)而出現(xiàn)， 以及由于旋轉(zhuǎn)軸線的偏心定位(尤其是由于用于支承旋轉(zhuǎn)軸線的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的偏心旋轉(zhuǎn)支 承)產(chǎn)生的誤差分量和由于旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量裝置的可旋轉(zhuǎn)部分的偏心定位產(chǎn)生的誤差分量。
[0075] 例如，加工工具只能在確定的工作定向中在機(jī)床上運(yùn)行。相應(yīng)地可以例如出于減 小測(cè)量誤差的原因這樣限制測(cè)量工件的坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的觸覺或光學(xué)觸頭的可移動(dòng)性，使得只 有一個(gè)工作定向或者不同工作定向的較小范圍是可行的。作為備選或補(bǔ)充，根據(jù)待測(cè)量或 待加工的工件可能只能將坐標(biāo)測(cè)量裝置或者加工工具布置在確定的工作位置中或者相對(duì) 于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的工作位置的確定區(qū)域內(nèi)。如果例如是非常長(zhǎng)的工件，應(yīng)測(cè)量其端部并且使其 沿旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸線的軸向定向，則可以例如將工件端部緊貼旋轉(zhuǎn)設(shè)備支架地布置或者 遠(yuǎn)離該支架地布置。
[0076] 因此再次強(qiáng)調(diào)，工作位置和工作定向均是參照旋轉(zhuǎn)設(shè)備而不是參照工件而言的。 關(guān)于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的誤差，大多只涉及或者主要涉及相對(duì)于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的工作位置和/或工作定 向。此外也可能存在其它影響旋轉(zhuǎn)設(shè)備誤差的因素，例如工件的重量、工件的慣性力矩、坐 標(biāo)測(cè)量裝置或者加工工具施加在工件上的力、工件的測(cè)量/加工的其它參數(shù)(例如工具的切 割深度)和/或旋轉(zhuǎn)設(shè)備使工件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)速度。在本發(fā)明的一種設(shè)計(jì)方案中，這些附加影 響因素的至少一個(gè)和/或這些影響因素的任意組合可能影響在相應(yīng)的工作定向和/或工作 位置中對(duì)于旋轉(zhuǎn)設(shè)備誤差的確定。例如，可以在相應(yīng)的影響因素或者影響因素的相應(yīng)組合 產(chǎn)生影響期間測(cè)量旋轉(zhuǎn)設(shè)備誤差。
[0077]在很多情況下，旋轉(zhuǎn)設(shè)備的平移誤差對(duì)旋轉(zhuǎn)設(shè)備的總誤差的貢獻(xiàn)比旋轉(zhuǎn)誤差小， 旋轉(zhuǎn)誤差由于實(shí)際旋轉(zhuǎn)軸線相對(duì)于理想旋轉(zhuǎn)軸線的傾斜(擺動(dòng))而產(chǎn)生。與機(jī)械杠桿原理類 似地，（沿旋轉(zhuǎn)軸線的軸向）與擺動(dòng)軸線的間距越大，旋轉(zhuǎn)誤差的影響越強(qiáng)。如之前提到的， 擺動(dòng)角在旋轉(zhuǎn)設(shè)備進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)期間改變。由于不隨旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)改變的恒定傾斜角產(chǎn)生的誤 差貢獻(xiàn)能夠以簡(jiǎn)單的方式確定并且例如進(jìn)行校正，方法是這樣改變實(shí)際的傾斜旋轉(zhuǎn)軸線的 定向，使得其與理想旋轉(zhuǎn)軸線重合。
[0078] 確定關(guān)于旋轉(zhuǎn)設(shè)備誤差的有利的工作位置和工作定向不只具有減小誤差的優(yōu)點(diǎn)， 而且能夠如以下描述地以特別小的測(cè)量耗費(fèi)進(jìn)行確定。因?yàn)槟軌蛞詼p小的誤差測(cè)量工件坐 標(biāo)或者加工工件，所以也可以減少用于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的設(shè)計(jì)耗費(fèi)。
[0079] 優(yōu)選不針對(duì)坐標(biāo)測(cè)量裝置或加工工具的所有可能的工作位置和/或工作定向測(cè)量 旋轉(zhuǎn)設(shè)備誤差和/或優(yōu)選不針對(duì)所有在預(yù)設(shè)測(cè)量任務(wù)或預(yù)設(shè)加工任務(wù)中出現(xiàn)的工作位置 和/或工作定向測(cè)量旋轉(zhuǎn)設(shè)備誤差。優(yōu)選的是，只針對(duì)旋轉(zhuǎn)設(shè)備的一些旋轉(zhuǎn)位置和只針對(duì)較 少的、例如兩個(gè)(相對(duì)于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸線)軸向的測(cè)量位置測(cè)量旋轉(zhuǎn)設(shè)備的誤差。至少 針對(duì)旋轉(zhuǎn)設(shè)備的至少兩個(gè)旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量針對(duì)每個(gè)軸向位置的誤差。備選地，可以在旋轉(zhuǎn)設(shè) 備的可旋轉(zhuǎn)部分進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)期間例如在旋轉(zhuǎn)軸線的至少一個(gè)軸向位置上連續(xù)地或者近 乎連續(xù)地測(cè)量旋轉(zhuǎn)設(shè)備的誤差。這可以例如通過(guò)使用電容式或官學(xué)的測(cè)量傳感器進(jìn)行，它 們測(cè)量與旋轉(zhuǎn)設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)部分共同旋轉(zhuǎn)的檢驗(yàn)體(也稱為校準(zhǔn)體)的位置或者相對(duì)位置。 優(yōu)選地，在任何情況下這樣測(cè)量旋轉(zhuǎn)軸線的誤差，從而考慮所有的誤差源或者所有主要的 誤差源。如果誤差源對(duì)旋轉(zhuǎn)設(shè)備的總誤差提供或者能夠提供主要貢獻(xiàn)，則所述誤差源為主 要的誤差源。
[0080] 尤其測(cè)量關(guān)于實(shí)際旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)與理想旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)之間的偏差的總自由度的旋轉(zhuǎn)設(shè)備 運(yùn)動(dòng)誤差，可選地不考慮沿旋轉(zhuǎn)軸線方向的平移自由度。在沿旋轉(zhuǎn)軸線軸向的不具有支承 旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)軸承的區(qū)段內(nèi)，可以檢測(cè)運(yùn)動(dòng)誤差的五個(gè)(或者可選地四個(gè)）自由度，也就 是總共三個(gè)平移自由度或者可選地橫向于旋轉(zhuǎn)軸線的兩個(gè)平移自由度和相對(duì)于兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng) 軸線的轉(zhuǎn)動(dòng)自由度，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸線橫向于旋轉(zhuǎn)軸線延伸。圍繞旋轉(zhuǎn)軸線的旋轉(zhuǎn)自由度是期 望的并且因此不屬于運(yùn)動(dòng)誤差。例如可以如還將根據(jù)附圖闡述的那樣測(cè)量旋轉(zhuǎn)設(shè)備的這種 軸向區(qū)段。
[0081] -種變型方案在于，通過(guò)測(cè)量在測(cè)量體(例如盤狀的尤其是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的測(cè)量體，在 其外周上也可以測(cè)量沿徑向的平移自由度)沿軸向的不同部位上的偏差來(lái)測(cè)量旋轉(zhuǎn)自由 度。如果在不同部位上出現(xiàn)沿軸向的不同偏差，則這基于圍繞至少一個(gè)橫向于旋轉(zhuǎn)軸線延 伸的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)誤差。在說(shuō)明書中，如果沒有另外明確說(shuō)明，則軸向理解為平行于 旋轉(zhuǎn)軸線延伸或者與旋轉(zhuǎn)軸線的方向一致的方向。盤狀的測(cè)量體例如可以是旋轉(zhuǎn)臺(tái)的集成 部分，例如盤狀的部分，其構(gòu)成用于承載待旋轉(zhuǎn)工件的旋轉(zhuǎn)臺(tái)表面。備選地，旋轉(zhuǎn)臺(tái)的另一 可旋轉(zhuǎn)部分可以用作測(cè)量體，所述另一可旋轉(zhuǎn)部分尤其具有垂直于旋轉(zhuǎn)軸線延伸的平坦表 面(例如所謂的旋轉(zhuǎn)臺(tái)花盤）。所述測(cè)量體或另一測(cè)量體的平坦表面可以與理想的平坦走向 具有偏差。在通過(guò)使用平坦表面測(cè)量旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)誤差之前、之中或之后，與理想的平坦 走向的已知偏差可以得到校正。以此方式改善運(yùn)動(dòng)誤差測(cè)量的精度。
[0082] 然而如果應(yīng)觀察和測(cè)量旋轉(zhuǎn)設(shè)備的關(guān)于旋轉(zhuǎn)設(shè)備軸向區(qū)段的運(yùn)動(dòng)誤差，所述軸向 區(qū)段具有至少一個(gè)用于支承旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)軸承，則可能由于旋轉(zhuǎn)軸承而出現(xiàn) 約束力。因此，取決于所述約束力，旋轉(zhuǎn)設(shè)備可能不再能夠被視為是抗彎剛性的，通常在不 帶旋轉(zhuǎn)軸承的軸向區(qū)段中將其視為抗彎剛性的。因此，在旋轉(zhuǎn)軸承的一個(gè)軸向側(cè)上測(cè)量的 運(yùn)動(dòng)誤差自由度不能或者不能在所有情況下轉(zhuǎn)用為旋轉(zhuǎn)軸承的對(duì)置軸向側(cè)上的運(yùn)動(dòng)誤差。 因此，在旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸承的兩個(gè)軸向側(cè)上在一些或所有運(yùn)動(dòng)自由度方面測(cè)量運(yùn)動(dòng)誤 差，由此能夠確定有利的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)和/或工作位置和/或工作定向。備選地，可以只 測(cè)量旋轉(zhuǎn)軸承的一個(gè)軸向側(cè)上的運(yùn)動(dòng)誤差并且只在這個(gè)軸向側(cè)上確定旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)。
[0083] 對(duì)于測(cè)量裝置的實(shí)施例還會(huì)更詳細(xì)地描述。例如，可以在旋轉(zhuǎn)設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)部分 上布置用于進(jìn)行測(cè)量的校準(zhǔn)體，其中，所述校準(zhǔn)體在至少兩個(gè)不同的軸向位置上具有相對(duì) 于實(shí)際旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的測(cè)量體，并且其中，在旋轉(zhuǎn)設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)部分的不同旋轉(zhuǎn)位置 下，分別在測(cè)量體的軸向位置上測(cè)量其沿兩個(gè)相互交叉的不同方向的徑向位置。以此方式 可以在軸向測(cè)量位置上直接測(cè)量與旋轉(zhuǎn)位置有關(guān)的徑向位置并且由此例如分別針對(duì)各旋 轉(zhuǎn)位置確定實(shí)際旋轉(zhuǎn)軸線相對(duì)于理想旋轉(zhuǎn)軸線的傾斜。取代唯一的校準(zhǔn)體也可以使用多個(gè) 校準(zhǔn)體的結(jié)構(gòu)。取代之前描述的校準(zhǔn)體例如也可以使用其它校準(zhǔn)體，例如多個(gè)校準(zhǔn)球，它們 并排布置在旋轉(zhuǎn)軸線的相同軸向位置上并且相互連接，例如形式為所謂的球板。通過(guò)本身 已知的測(cè)量方法可以針對(duì)旋轉(zhuǎn)設(shè)備的不同旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量球的球中點(diǎn)在空間中的位置(例如 其三維坐標(biāo)）。
[0084] 通過(guò)測(cè)量得到旋轉(zhuǎn)設(shè)備的測(cè)量誤差。由這些測(cè)量誤差可以確定旋轉(zhuǎn)設(shè)備的預(yù)期誤 差，它們分別針對(duì)坐標(biāo)測(cè)量裝置或者機(jī)床的加工工具的工作位置和工作定向進(jìn)行預(yù)期。在 此，尤其可以在所測(cè)量的誤差值之間進(jìn)行內(nèi)插和/或外推法。此外，可以在已經(jīng)確定的預(yù)期 誤差值之間進(jìn)行內(nèi)插和/或外推法。結(jié)果是例如針對(duì)坐標(biāo)測(cè)量裝置或者加工工具的可能的 工作位置區(qū)域和/或針對(duì)可能的工作定向區(qū)域分別得到了旋轉(zhuǎn)設(shè)備的預(yù)期誤差。預(yù)期誤差 在誤差測(cè)量的測(cè)量點(diǎn)處可能等于測(cè)量誤差，由所述預(yù)期誤差可以確定至少一個(gè)工作位置 和/或工作定向，尤其如已經(jīng)在之前針對(duì)旋轉(zhuǎn)設(shè)備誤差總體描述的那樣。
[0085] 尤其建議以下方案:一種用于在確定工件的坐標(biāo)或者在加工工件時(shí)減小旋轉(zhuǎn)設(shè)備 的誤差的方法，其中，所述旋轉(zhuǎn)設(shè)備能夠在確定坐標(biāo)或加工工件期間使工件圍繞旋轉(zhuǎn)設(shè)備 的旋轉(zhuǎn)軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，并且其中，所述方法具有以下步驟：
[0086] -在一定的旋轉(zhuǎn)角范圍內(nèi)，也就是在旋轉(zhuǎn)設(shè)備的兩個(gè)能相對(duì)彼此圍繞旋轉(zhuǎn)軸線進(jìn) 行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的部分的不同旋轉(zhuǎn)位置下，測(cè)量由于旋轉(zhuǎn)軸線的相應(yīng)的理想位置和理想定向與 旋轉(zhuǎn)軸線的實(shí)際位置和實(shí)際定向之間的偏差產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)設(shè)備的誤差（以下稱為:旋轉(zhuǎn)設(shè)備 的運(yùn)動(dòng)誤差)并且得到相應(yīng)的誤差測(cè)量值，
[0087] -由所述誤差測(cè)量值確定旋轉(zhuǎn)設(shè)備的經(jīng)過(guò)濾的預(yù)期誤差值，其是針對(duì)用于確定工 件坐標(biāo)的坐標(biāo)測(cè)量裝置或者用于加工工件的機(jī)床的加工工具與旋轉(zhuǎn)設(shè)備的多個(gè)相對(duì)的工 作位置和工作定向而預(yù)期得到的，也就是對(duì)于在旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的完整旋轉(zhuǎn)一圈或者 未足整圈旋轉(zhuǎn)期間在旋轉(zhuǎn)軸線的實(shí)際位置和實(shí)際定向與旋轉(zhuǎn)軸線的相應(yīng)的理想位置和理 想定向之間的偏差的、至少一個(gè)預(yù)設(shè)數(shù)量范圍內(nèi)的波紋或波動(dòng)進(jìn)行過(guò)濾或?yàn)V波處理得到 的，
[0088] -由旋轉(zhuǎn)設(shè)備的經(jīng)過(guò)濾的預(yù)期誤差值確定坐標(biāo)測(cè)量裝置或者加工工具的至少一個(gè) 工作位置和/或工作定向，針對(duì)所述至少一個(gè)工作位置和/或工作定向，旋轉(zhuǎn)設(shè)備的經(jīng)過(guò)濾 的預(yù)期誤差值在用于確定工件的坐標(biāo)的預(yù)設(shè)測(cè)量任務(wù)或用于加工工件的預(yù)設(shè)加工任務(wù)中
[0089] 〇小于針對(duì)其它工作位置和/或工作定向的預(yù)期誤差值和/或
[0090] 。滿足預(yù)設(shè)的條件。
[0091] 此外建議:一種用于在確定工件的坐標(biāo)或者在加工工件時(shí)減小旋轉(zhuǎn)設(shè)備的誤差的 設(shè)備，其中，所述旋轉(zhuǎn)設(shè)備能夠在確定坐標(biāo)或加工工件期間使工件圍繞旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸 線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，并且其中，所述設(shè)備具有：
[0092] -測(cè)量裝置，所述測(cè)量裝置設(shè)計(jì)用于在一定的旋轉(zhuǎn)角范圍內(nèi)，也就是在旋轉(zhuǎn)設(shè)備的 兩個(gè)能相對(duì)彼此圍繞旋轉(zhuǎn)軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的部分的不同旋轉(zhuǎn)位置下，測(cè)量由于旋轉(zhuǎn)軸線 的相應(yīng)的理想位置和理想定向與旋轉(zhuǎn)軸線的實(shí)際位置和實(shí)際定向之間的偏差產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn) 設(shè)備的誤差并且將相應(yīng)的誤差測(cè)量值輸出至預(yù)測(cè)裝置，
[0093] -預(yù)測(cè)裝置，所述預(yù)測(cè)裝置設(shè)計(jì)用于由所述誤差測(cè)量值確定旋轉(zhuǎn)設(shè)備的經(jīng)過(guò)濾的 預(yù)期誤差值，其是針對(duì)用于確定工件的坐標(biāo)的坐標(biāo)測(cè)量裝置或者用于加工工件的機(jī)床的加 工工具與旋轉(zhuǎn)設(shè)備的多個(gè)相對(duì)的工作位置和工作定向而預(yù)期得到的，也就是對(duì)于在旋轉(zhuǎn)設(shè) 備的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的完整旋轉(zhuǎn)一圈或者未足整圈旋轉(zhuǎn)期間在旋轉(zhuǎn)軸線的實(shí)際位置和實(shí)際定向 與旋轉(zhuǎn)軸線的相應(yīng)的理想位置和理想定向之間的偏差的、至少一個(gè)預(yù)設(shè)數(shù)量范圍內(nèi)的波紋 或波動(dòng)進(jìn)行過(guò)濾或?yàn)V波處理得到的，
[0094]-確定裝置，所述確定裝置設(shè)計(jì)用于由旋轉(zhuǎn)設(shè)備的經(jīng)過(guò)濾的預(yù)期誤差值確定坐標(biāo) 測(cè)量裝置或者加工工具的至少一個(gè)工作位置和/或工作定向，針對(duì)所述至少一個(gè)工作位置 和/或工作定向，旋轉(zhuǎn)設(shè)備的經(jīng)過(guò)濾的預(yù)期誤差值在用于確定工件的坐標(biāo)的預(yù)設(shè)測(cè)量任務(wù) 或用于加工工件的預(yù)設(shè)加工任務(wù)中
[0095] 〇小于針對(duì)其它工作位置和/或工作定向的預(yù)期誤差值和/或 [0096]。滿足預(yù)設(shè)的條件。
[0097]旋轉(zhuǎn)設(shè)備的每個(gè)經(jīng)過(guò)濾的預(yù)期誤差值適用于坐標(biāo)測(cè)量裝置或加工工具的多個(gè)相 對(duì)工作位置和工作定向之一，也就是配屬于一個(gè)工作位置、一個(gè)工作定向或者工作位置和 工作定向的一種組合。
[0098]尤其調(diào)節(jié)形成坐標(biāo)測(cè)量裝置或加工工具的所確定的工作位置和/或工作定向，也 就是在調(diào)節(jié)之后所述坐標(biāo)測(cè)量裝置或加工工具具有這個(gè)工作位置和/或工作定向。
[0099] 工作位置和/或工作定向的優(yōu)化所具有的優(yōu)點(diǎn)是，可以顯著提高波紋度分析的精 度。如果由于波紋造成的最大允許誤差非常小，則可能由于不利的工作位置和/或工作定向 就已經(jīng)達(dá)到這個(gè)誤差。本發(fā)明能夠避免這種不利的布置。
[0100] 測(cè)量旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)誤差的測(cè)量裝置尤其可以是坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的一部分，所述坐標(biāo) 測(cè)量?jī)x具有坐標(biāo)測(cè)量裝置，其有利的工作位置和/或工作定向得到確定。例如，坐標(biāo)測(cè)量裝 置在旋轉(zhuǎn)設(shè)備的不同旋轉(zhuǎn)位置和不同工作位置和/或工作定向上探測(cè)布置在旋轉(zhuǎn)設(shè)備上的 測(cè)量體，并且坐標(biāo)測(cè)量?jī)x以此方式確定運(yùn)動(dòng)誤差。坐標(biāo)測(cè)量?jī)x還可以具有預(yù)測(cè)裝置和確定 裝置。這不只適用于計(jì)算經(jīng)過(guò)濾的預(yù)期誤差值，而且也適用于計(jì)算預(yù)期誤差值的變型方案， 其不按照波紋階的預(yù)設(shè)范圍進(jìn)行過(guò)濾或者完全不進(jìn)行過(guò)濾。這些預(yù)期誤差值同樣可以用于 確定有利的工作位置和/或工作定向。上述方法步驟能夠在沒有過(guò)濾步驟和與之相關(guān)的步 驟(如變換到頻率空間和逆變換)的情況下以相同方式進(jìn)行。
[0101] 所述設(shè)備的這種設(shè)計(jì)方案或者所述方法的這種設(shè)計(jì)方案解決了以下問(wèn)題:如之前 提到的，可以確定旋轉(zhuǎn)設(shè)備(例如能夠布置待測(cè)量工件的旋轉(zhuǎn)臺(tái)）的誤差并且在運(yùn)行具有坐 標(biāo)測(cè)量?jī)x和旋轉(zhuǎn)設(shè)備的裝置期間通過(guò)計(jì)算進(jìn)行校正。然而存在這樣的坐標(biāo)測(cè)量?jī)x(相應(yīng)地 也存在這樣的機(jī)床），它們不具有用于通過(guò)計(jì)算校正旋轉(zhuǎn)設(shè)備誤差的功能。在另一種情況 下，應(yīng)避免用于計(jì)算校正的較高耗費(fèi)的成本。
[0102] 然而按照本發(fā)明，可以這樣設(shè)計(jì)坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的控制裝置，使得其能夠控制用于測(cè) 量旋轉(zhuǎn)設(shè)備運(yùn)動(dòng)誤差的測(cè)量裝置的功能。坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的控制裝置尤其可以具有相應(yīng)的軟 件。此外，控制裝置例如也可以通過(guò)相應(yīng)的軟件控制和/或?qū)嵤╊A(yù)測(cè)裝置和確定裝置的功 能。在這種情況下，本發(fā)明不只降低了用于減小旋轉(zhuǎn)設(shè)備誤差的耗費(fèi)。還尤其可以降低用于 測(cè)量運(yùn)動(dòng)誤差的耗費(fèi)，方法是按照說(shuō)明書其它地方提到的那樣測(cè)量運(yùn)動(dòng)誤差并且由此確定 坐標(biāo)測(cè)量裝置或加工工具的有利布局和/或有利的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)。尤其也可行的是，作 為對(duì)之前計(jì)算校正旋轉(zhuǎn)設(shè)備誤差的補(bǔ)充而實(shí)施本發(fā)明。由此實(shí)現(xiàn)了特別高的精度，因?yàn)檫€ 可以進(jìn)一步降低在總誤差的5%范圍內(nèi)的計(jì)算校正的剩余誤差。
[0103]因此，通過(guò)集成測(cè)量裝置、預(yù)測(cè)裝置和確定裝置可以克服這樣的缺點(diǎn)，即坐標(biāo)測(cè)量 儀不能接收用于校正旋轉(zhuǎn)設(shè)備誤差的校正數(shù)據(jù)。
[0104] -般來(lái)說(shuō)，不只在將測(cè)量裝置集成到坐標(biāo)測(cè)量?jī)x中時(shí)本發(fā)明才具有這樣的優(yōu)點(diǎn)， 即有利的工作位置和/或工作定向不只處于也測(cè)量了旋轉(zhuǎn)設(shè)備運(yùn)動(dòng)誤差的地點(diǎn)。而且由運(yùn) 動(dòng)誤差的測(cè)量值也可以針對(duì)其它工作位置和/或工作定向計(jì)算預(yù)期誤差值。由此可以避免， 只有來(lái)自旋轉(zhuǎn)設(shè)備說(shuō)明書的值能夠作為預(yù)期誤差，這些值不是相對(duì)確定的工作位置和/或 工作定向而言的。這些來(lái)自說(shuō)明書的誤差值通常比在有利的工作位置和/或工作定向上的 實(shí)際誤差值大很多。尤其在波紋度分析中，相對(duì)于給定階的波紋，來(lái)自旋轉(zhuǎn)設(shè)備說(shuō)明書的誤 差值通常比旋轉(zhuǎn)設(shè)備的實(shí)際誤差大很多。因此，通過(guò)過(guò)濾所測(cè)量的運(yùn)動(dòng)誤差值，通?？梢哉?到有利的工作位置和/或工作定向，其中預(yù)期的運(yùn)動(dòng)誤差值比來(lái)自旋轉(zhuǎn)設(shè)備說(shuō)明書的總計(jì) 誤差小很多。但是計(jì)算預(yù)期運(yùn)動(dòng)誤差的可能性也在以下情況下有所幫助，即，在坐標(biāo)測(cè)量?jī)x 或者機(jī)床運(yùn)行時(shí)需要通過(guò)旋轉(zhuǎn)設(shè)備使工件旋轉(zhuǎn)，所述工件由于其特性(尤其是其形狀)而不 允許設(shè)置在坐標(biāo)測(cè)量裝置或者加工工具的所確定的有利工作位置和/或工