減小尤其用于確定工件坐標(biāo)或加工工件的旋轉(zhuǎn)設(shè)備的誤差的制作方法
【專利說明】減小尤其用于確定工件坐標(biāo)或加工工件的旋轉(zhuǎn)設(shè)備的誤差
[0001] 本發(fā)明涉及一種用于減小旋轉(zhuǎn)設(shè)備的誤差的方法，所述旋轉(zhuǎn)設(shè)備具有第一部分和 能相對于第一部分圍繞旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)的第二部分以及用于測量第一部分和第 二部分相對彼此的旋轉(zhuǎn)位置的旋轉(zhuǎn)位置測量裝置，其中，所述旋轉(zhuǎn)位置測量裝置具有旋轉(zhuǎn) 位置傳感器和為了測量旋轉(zhuǎn)位置與旋轉(zhuǎn)位置傳感器共同作用的測量體，其中，所述旋轉(zhuǎn)位 置傳感器與第一部分相連并且測量體與第二部分相連或者旋轉(zhuǎn)位置傳感器與第二部分相 連并且測量體與第一部分相連。本發(fā)明還涉及一種能夠?qū)嵤┧龇椒ǖ脑O(shè)備。在此認(rèn)為旋 轉(zhuǎn)設(shè)備的誤差至少有一部分是可重復(fù)再現(xiàn)的。
[0002] 本發(fā)明還涉及一種用于在確定工件的坐標(biāo)或者在加工工件時減小旋轉(zhuǎn)設(shè)備的誤 差的方法。所述旋轉(zhuǎn)設(shè)備能夠在確定坐標(biāo)或加工工件期間使工件圍繞旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸線 進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。本發(fā)明還涉及一種能夠?qū)嵤┧龇椒ǖ脑O(shè)備。在此認(rèn)為旋轉(zhuǎn)設(shè)備的誤差至 少有一部分是可重復(fù)再現(xiàn)的。
[0003] 已知將工件可旋轉(zhuǎn)地支承，以便測量其坐標(biāo)或者加工工件。例如在坐標(biāo)測量技術(shù) 的領(lǐng)域，將工件布置在可旋轉(zhuǎn)的臺上(所謂的旋轉(zhuǎn)臺）。以此方式可以將工件置于不同的工 作定向，坐標(biāo)測量儀在所述工作定向中工作，也就是測量工件坐標(biāo)。在旋轉(zhuǎn)設(shè)備使工件圍繞 其旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)時，尤其可以連續(xù)地(例如掃描地)測量工件坐標(biāo)。
[0004] 相應(yīng)地適用于通過機(jī)床加工工件。工件可以被置于不同的工作定向中，以便工具 進(jìn)行加工。工件尤其可以在其被加工時連續(xù)地旋轉(zhuǎn)。
[0005] 工作定向尤其可以通過一個方向定義，所述方向垂直于旋轉(zhuǎn)軸線延伸并且經(jīng)過工 件表面上的一個點(diǎn)，在所述點(diǎn)上掃描或者說探測工件或者加工工件。因此，在通過觸頭對工 件進(jìn)行觸摸式掃描或者在加工工件時作用在工件上的力尤其可以垂直于旋轉(zhuǎn)軸線沿工作 定向的方向作用。
[0006] 在坐標(biāo)測量技術(shù)領(lǐng)域，通常有利于對工件進(jìn)行形狀檢驗(yàn)的是，通過觸頭探測工件， 所述觸頭在旋轉(zhuǎn)設(shè)備使工件旋轉(zhuǎn)期間具有相對于旋轉(zhuǎn)設(shè)備幾乎恒定的工作定向和工作位 置。工作位置和工作定向不是完全恒定的，因?yàn)楣ぜǔ２⒉皇蔷_地相對于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的 旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)對稱地布置和/或不是或不是精確地旋轉(zhuǎn)對稱地成型。例如，觸摸式探測工件 表面的坐標(biāo)測量儀觸頭可以由坐標(biāo)測量儀保持在固定位置和固定定向上，其中，與待測量 的工件形狀相關(guān)地，觸頭相對于觸頭支架偏轉(zhuǎn)不同的距離。通過幾乎恒定的工作定向和工 作位置，可以將由于位置相關(guān)和定向相關(guān)的坐標(biāo)測量儀誤差造成的坐標(biāo)測量誤差減至最 小。在這種情況下，旋轉(zhuǎn)設(shè)備的誤差對測量結(jié)果有重要影響。在很多情況下也能夠以這種方 式提高測量工件的速度。
[0007] 在坐標(biāo)測量技術(shù)領(lǐng)域中的一種特殊的測量任務(wù)在于，在尤其對工件的旋轉(zhuǎn)對稱區(qū) 域進(jìn)行形狀檢驗(yàn)時進(jìn)行波紋度分析。實(shí)際形狀與理想的旋轉(zhuǎn)對稱形狀的偏差通常顯示為波 紋曲線。但是旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運(yùn)動誤差、即旋轉(zhuǎn)設(shè)備的實(shí)際旋轉(zhuǎn)運(yùn)動與理想旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的偏差可 能導(dǎo)致波紋度分析的結(jié)果特別不準(zhǔn)確，尤其是比在測量工件的單個表面點(diǎn)的坐標(biāo)時更不準(zhǔn) 確。
[0008] 在通過機(jī)床加工工件時同理。在力求制造旋轉(zhuǎn)對稱的區(qū)域時，可能在不利的情況 下由于在加工期間使工件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運(yùn)動誤差產(chǎn)生具有特別大振幅的波紋。
[0009] 為了減小旋轉(zhuǎn)設(shè)備的誤差可以這樣設(shè)計旋轉(zhuǎn)設(shè)備，以使誤差符合規(guī)定。尤其可以 使用空氣支承件來支承旋轉(zhuǎn)設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)部分并且在電機(jī)驅(qū)動的旋轉(zhuǎn)設(shè)備中使用直接驅(qū) 動器。旋轉(zhuǎn)設(shè)備的誤差越小，設(shè)計耗費(fèi)就越高。
[0010] 作為備選或補(bǔ)充，可以通過坐標(biāo)測量儀測量旋轉(zhuǎn)設(shè)備的誤差，其中，將校準(zhǔn)體或校 準(zhǔn)體設(shè)備布置在旋轉(zhuǎn)設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)部分上(例如放置在旋轉(zhuǎn)臺上)并且進(jìn)行測量。然而，借 助也可測量工件的坐標(biāo)測量儀測量旋轉(zhuǎn)設(shè)備相對于所有六個可能的運(yùn)動自由度的誤差很 耗時。在精確度要求較高時，例如在旋轉(zhuǎn)設(shè)備經(jīng)歷溫度波動時，必須重復(fù)校準(zhǔn)。同理適用于 將工件可旋轉(zhuǎn)地保持在機(jī)床加工區(qū)域中的旋轉(zhuǎn)設(shè)備。在這種情況下，用于校準(zhǔn)的耗費(fèi)與坐 標(biāo)測量技術(shù)相比通常更大，因?yàn)樵谧鴺?biāo)測量技術(shù)領(lǐng)域中通常可將坐標(biāo)測量儀用于校準(zhǔn)，所 述坐標(biāo)測量儀在之后也進(jìn)行工件測量。
[0011] Eric Marsh在，，Precision Spindle Metrology"，ISBN 978-1-932078-77-0中， 尤其在第二章中描述了用于描繪精度螺桿的運(yùn)動誤差的方案。
[0012] W0 2013/007285 A1公開了一種用于測量工件坐標(biāo)和/或用于加工工件的裝置，其 中，所述裝置具有第一部分和可相對于第一部分運(yùn)動的第二部分，其中，除了可選附加地固 定在所述裝置上的觸頭的可移動性之外，附加地實(shí)現(xiàn)所述部分的可相對移動性，其在機(jī)械 探測工件以便通過觸頭從中性位置的偏轉(zhuǎn)測量坐標(biāo)時實(shí)現(xiàn)，其中，在第一或第二部分上布 置有測量體并且在另一部分也就是第二或第一部分上布置有至少一個傳感器，其中，所述 傳感器設(shè)計用于與測量體的位置相應(yīng)地并且因此與第一和第二部分的相對位置相應(yīng)地產(chǎn) 生測量信號。
[0013] W0 2013/007286 A1公開了一種校準(zhǔn)用于確定旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)位置的測量裝置的 方法，所述旋轉(zhuǎn)設(shè)備具有第一部分和可相對于第一部分圍繞旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)的第二部分。
[0014] DE 199 07 326 A1公開了一種用于高度精確地確定圍繞旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)的對象的 角位置的角測量系統(tǒng)。
[0015] W0 2011/064317 A2公開了一種用于角測量裝置的可無參考系地實(shí)施的校準(zhǔn)方 法。
[0016] EP 1 498691 A1公開了一種用于校正坐標(biāo)測量儀的測量結(jié)果的方法，其中連續(xù)地 探測工件，所述方法具有以下方法步驟:確定觸頭的動態(tài)彎折特性作為一維或多維的參數(shù) 場，尤其作為動態(tài)張量，在考慮觸頭加速度的情況下由參數(shù)場計算校正值，通過校正值校正 測量結(jié)果，其中，參數(shù)場描述了在相對于工件表面法向的觸頭加速度時的偏差。
[0017] DE 100 06 753 A1公開了一種用于坐標(biāo)測量儀的探頭的旋轉(zhuǎn)翻轉(zhuǎn)裝置，其具有至 少兩個用于按角度地定向探頭的轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)。
[0018] 在坐標(biāo)測量技術(shù)領(lǐng)域，要求旋轉(zhuǎn)設(shè)備例如在所謂的圓度檢驗(yàn)時具有較高精度，在 所述圓度檢驗(yàn)中，檢驗(yàn)工件的圓形輪廓(例如圓柱體的圓周面)與理想圓形的偏差。
[0019] 在其它情況下，與使用旋轉(zhuǎn)設(shè)備相關(guān)地進(jìn)行分度測量(也就是圍繞旋轉(zhuǎn)對稱軸線 沿旋轉(zhuǎn)方向的角間距），例如尺的角間距或者齒輪的齒面。為此相應(yīng)旋轉(zhuǎn)設(shè)備的能夠精確測 量的旋轉(zhuǎn)位置測量裝置，因?yàn)榉駝t只由于旋轉(zhuǎn)位置測量裝置的誤差就會產(chǎn)生相同大小的測 量誤差。在坐標(biāo)測量技術(shù)或機(jī)床的領(lǐng)域的其它情況下也需要能夠非常精確地測量的旋轉(zhuǎn)位 置測量裝置。
[0020] 在這些旋轉(zhuǎn)位置測量裝置中，出現(xiàn)所謂的偏心誤差并且對于誤差貢獻(xiàn)提供了很大 一部分?？偲恼`差基本上由用于支承旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的旋轉(zhuǎn)支承件的偏心誤差和旋 轉(zhuǎn)位置測量裝置的安裝誤差組成。已知通過調(diào)節(jié)在很大程度上消除總偏心誤差。最終總偏 心誤差對于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的總誤差的剩余誤差貢獻(xiàn)可以非常小。用于減小偏心誤差的另一可能 性在于，在相對于旋轉(zhuǎn)軸線彼此對置的位置上分別布置一個旋轉(zhuǎn)位置傳感器并且將其測量 結(jié)果這樣相互計算，從而要么消除偏心誤差要么計算出偏心誤差并且在接下來用于校正。
[0021] 坐標(biāo)測量技術(shù)領(lǐng)域的旋轉(zhuǎn)位置測量裝置通常具有測量體，所述測量體具有多個圍 繞旋轉(zhuǎn)軸線分布的標(biāo)記。測量原理的基礎(chǔ)是，標(biāo)記以相同大小的角區(qū)段圍繞旋轉(zhuǎn)軸線劃分。 因此，標(biāo)記的這種均勻布置的偏差稱為分度誤差。以相應(yīng)的耗費(fèi)能夠通過分開的測量確定 分度誤差。如果確定了測量體的角位置，則可以通過計算校正分度誤差。
[0022] 為了從一開始就減小已經(jīng)提到的偏心誤差，可以使用耗費(fèi)的旋轉(zhuǎn)軸承以支承旋轉(zhuǎn) 設(shè)備的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，其本身只會產(chǎn)生較小的偏心誤差。用于這種旋轉(zhuǎn)軸承的耗費(fèi)較高并且通 常還需要調(diào)校，以便進(jìn)一步減小偏心誤差。
[0023] 如果用于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸承耗費(fèi)較少，則不只需要容忍相對較大的偏心誤差， 而且還會出現(xiàn)附加的運(yùn)動誤差，也就是在旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動期間的不期望的平移運(yùn)動分 量和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動分量。原則上，旋轉(zhuǎn)設(shè)備的實(shí)際旋轉(zhuǎn)運(yùn)動與理想旋轉(zhuǎn)運(yùn)動不同的所有運(yùn)動分 量均為不期望的。在理想的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動中，當(dāng)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動時，旋轉(zhuǎn)設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)部分的所有 區(qū)域在該區(qū)域相對于旋轉(zhuǎn)軸線的徑向位置保持不變的情況下旋轉(zhuǎn)。結(jié)果是旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn) 軸線是位置固定的，也就是不進(jìn)行沿旋轉(zhuǎn)軸線方向或橫向于旋轉(zhuǎn)軸線的平移運(yùn)動并且也不 會傾斜。旋轉(zhuǎn)軸線的傾斜的意思等同于旋轉(zhuǎn)軸線的定向改變。
[0024] 旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運(yùn)動誤差可以被測量并且在旋轉(zhuǎn)設(shè)備之后的運(yùn)行中通過計算校正。然 而用于計算校正的耗費(fèi)非常高，尤其是因?yàn)檫\(yùn)動誤差通常具有非常小的振幅。尤其在旋轉(zhuǎn) 設(shè)備的旋轉(zhuǎn)位置測量裝置測量旋轉(zhuǎn)位置的地點(diǎn)處的校正非常耗費(fèi)，因?yàn)檫\(yùn)動誤差只導(dǎo)致角 秒的分?jǐn)?shù)范圍內(nèi)的旋轉(zhuǎn)位置測量誤差。用于確定旋轉(zhuǎn)位置誤差的已知方法還要求進(jìn)行可能 持續(xù)幾個小時的測量。在這種較長的測量時長內(nèi)，溫度也有可能變化，這又導(dǎo)致運(yùn)動誤差改 變。
[0025] 減小運(yùn)動誤差對旋轉(zhuǎn)位置測量的另一可能性在于，使用所謂的自支承件。其使得 旋轉(zhuǎn)位置測量裝置的布置在旋轉(zhuǎn)設(shè)備的可相對彼此旋轉(zhuǎn)的部分上的部件(例如具有標(biāo)記的 測量體和旋轉(zhuǎn)位置傳感器)共同產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運(yùn)動誤差。這種自支承件特別耗費(fèi)。
[0026] 尤其如果需要由旋轉(zhuǎn)設(shè)備使工件旋轉(zhuǎn)，所述工件具有至少一個與旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn) 軸線間隔較大距離布置的區(qū)域，則旋轉(zhuǎn)位置測量誤差特別強(qiáng)烈地影響通過坐標(biāo)測量儀測量 工件坐標(biāo)時的誤差或者通過機(jī)床加工工件時的誤差。如果從錯誤的旋轉(zhuǎn)位置出發(fā)對坐標(biāo)測 量儀或者機(jī)床進(jìn)行控制，則這會與徑向間距成比例地影響坐標(biāo)測量誤差或者加工。例如在 實(shí)踐中出現(xiàn)不超過1弧秒的旋轉(zhuǎn)位置測量誤差，其在徑向間距為0.2m時導(dǎo)致約為1微米的沿 相對于旋轉(zhuǎn)方向的切向的工件位置誤差。
[0027] 本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于，提供一種用于減小旋轉(zhuǎn)設(shè)備的誤差的方法，所 述方法減少了旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運(yùn)動誤差對旋轉(zhuǎn)位置測量的影響。本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題還 在于，提供一種用于執(zhí)行所述方法的設(shè)備。
[0028]本發(fā)明從這種基本理念出發(fā)，即旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運(yùn)動誤差，也就是與理想旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的 偏差，與旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)位置傳感器的旋轉(zhuǎn)位置測量地點(diǎn)有關(guān)地對旋轉(zhuǎn)位置測量的測量精 確度產(chǎn)生不同影響。如果旋轉(zhuǎn)設(shè)備的實(shí)際旋轉(zhuǎn)運(yùn)動與理想旋轉(zhuǎn)運(yùn)動相比導(dǎo)致旋轉(zhuǎn)設(shè)備沿相 對于旋轉(zhuǎn)方向的切向（也就是切向于圍繞旋轉(zhuǎn)軸線的旋轉(zhuǎn)方向）附加地運(yùn)動，這會使旋轉(zhuǎn)位 置測量出錯。因此，運(yùn)動誤差的針對旋轉(zhuǎn)位置測量裝置相關(guān)的部件沿切向于旋轉(zhuǎn)方向的方 向延伸并且在以下稱為切向運(yùn)動誤差并且與分別觀察的地點(diǎn)或者說位置有關(guān)。但本發(fā)明也 從這樣的認(rèn)知出發(fā)，即導(dǎo)致旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運(yùn)動誤差(尤其是也導(dǎo)致切向運(yùn)動誤差）的不同運(yùn)動 過程相互疊加并且在此取決于所觀察的旋轉(zhuǎn)設(shè)備地點(diǎn)而相互抵消或者增強(qiáng)。抵消或增強(qiáng)在 旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動過程中（尤其在完整旋轉(zhuǎn)一圈過程中）隨時間和地點(diǎn)不同而產(chǎn)生不同 的影響。如果觀察一個具體地點(diǎn)，即旋轉(zhuǎn)位置測量裝置測量旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)位置的旋轉(zhuǎn)位 置測量地點(diǎn)，則在旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的過程中抵消或增強(qiáng)發(fā)生變化。因此結(jié)果是切向運(yùn)動誤差在地 點(diǎn)上與旋轉(zhuǎn)位置測量地點(diǎn)有關(guān)并且在時間上與在旋轉(zhuǎn)位置測量地點(diǎn)處有影響的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動 的過程有關(guān)。
[0029] 在不同的可能的旋轉(zhuǎn)位置測量地點(diǎn)處，尤其是切向運(yùn)動誤差的振幅在旋轉(zhuǎn)運(yùn)動過 程中不同。術(shù)語"振幅"如通常一樣表示與理想旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的最大偏差。但是不只可以觀察該 振幅并且確定該振幅較小或者甚至最小的旋轉(zhuǎn)位置測量地點(diǎn)。而是也可以以其它方式觀察 旋轉(zhuǎn)運(yùn)動期間切向運(yùn)動誤差的變化曲線并且確定具有特別有利的變化曲線的旋轉(zhuǎn)位置測 量地點(diǎn)，其中"有利"可以通過至少一個預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)定義。例如，在坐標(biāo)測量技術(shù)中存在測量 任務(wù)或者在通過機(jī)床加工工件時存在加工任務(wù)，在所述任務(wù)中需要關(guān)注關(guān)于工件的外周或 內(nèi)周的理想圓形走向的某一階偏差的精確度。在圍繞旋轉(zhuǎn)軸線的完整旋轉(zhuǎn)一圈內(nèi)或者在旋 轉(zhuǎn)位置的預(yù)設(shè)范圍上（即尤其是一次整圈旋轉(zhuǎn)的一部分)具有三個偏差最大值和三個偏差 最小值的變化曲線例如為三階。三個最大值和三個最小值相當(dāng)于三個波紋。在將切向運(yùn)動 誤差描繪為地點(diǎn)函數(shù)(與理想旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的偏差作為旋轉(zhuǎn)位置的函數(shù))時當(dāng)然可能出現(xiàn)多階 的疊加。如果速度作為時間或地點(diǎn)的函數(shù)是已知的，例如在速度恒定時，地點(diǎn)函數(shù)與時間函 數(shù)(偏差作為旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的時間點(diǎn)的函數(shù))是等價的。本發(fā)明也不局限于觀察三階。而是可以 觀察切向運(yùn)動誤差的任意階。
[0030] 預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)也可以稱為需要滿足的預(yù)設(shè)條件。例如，在旋轉(zhuǎn)運(yùn)動中經(jīng)過的旋轉(zhuǎn)位 置區(qū)域上(尤其是在旋轉(zhuǎn)位置的預(yù)設(shè)區(qū)域上）的具有9個波紋(也就是9個偏差的最大值和最 小值)或者其它預(yù)設(shè)數(shù)量的波紋的切向運(yùn)動誤差的變化曲線是有利的。這所基于的理念是， 取決于所觀察的旋轉(zhuǎn)位置測量的角位置，可能出現(xiàn)不同數(shù)量的波紋和/或運(yùn)動誤差的振幅 在該階上(例如在9個波紋時）可能是不同大小的。因此，尤其為了滿足預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)，例如確 定旋轉(zhuǎn)位置測量地點(diǎn)，運(yùn)動誤差的振幅在該旋轉(zhuǎn)位置測量地點(diǎn)上相對于預(yù)設(shè)的階是最大 的。
[0031] 為了回到三階的例子，在這種情況下期望的是，由于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的三階運(yùn)動誤差造 成的旋轉(zhuǎn)位置傳感器的測量誤差特別小，由此能夠盡可能精確地測量工件的形狀。在這種 情況下三階也只是一個實(shí)施例。對于其它大于1的階可以相應(yīng)地進(jìn)行，方法例如是確定旋轉(zhuǎn) 位置測量地點(diǎn)，針對該地點(diǎn)，旋轉(zhuǎn)設(shè)備的切向運(yùn)動誤差相對于該階較小、最小或者滿足預(yù)設(shè) 的條件并且因此滿足標(biāo)準(zhǔn)(例如小于預(yù)設(shè)的極限值）。
[0032] 相應(yīng)地，也可以針對階(例如3至5個波紋）的至少一個范圍采取措施，其包含多于 一個階。不討論在圍繞旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸線或者圍繞工件的旋轉(zhuǎn)對稱軸線的旋轉(zhuǎn)上的偏差 的波紋數(shù)量(或者在旋轉(zhuǎn)位置的預(yù)設(shè)區(qū)域上的偏差的波紋數(shù)量），也可以討論頻率。
[0033] 作為對在角位置的區(qū)域(尤其是具有圍繞旋轉(zhuǎn)軸線的所有角位置的區(qū)域或者其部 分區(qū)域)上的切向運(yùn)動誤差的量度，尤其可以應(yīng)用所述區(qū)域內(nèi)的切向運(yùn)動誤差的振幅(也就 是地點(diǎn)函數(shù)或者時間函數(shù)的振幅)或者在將切向運(yùn)動誤差變換(尤其是傅里葉變換)到頻率 空間之后的振幅(也就是頻率空間內(nèi)的振幅）。
[0034] 基于之前描述的本發(fā)明的認(rèn)知建議，為了減小具有旋轉(zhuǎn)位置測量裝置的旋轉(zhuǎn)設(shè)備 的誤差，測量旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運(yùn)動誤差，也就是由于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的實(shí)際旋轉(zhuǎn)軸線和旋轉(zhuǎn)設(shè)備的理 想旋轉(zhuǎn)軸線之間的偏差產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)設(shè)備誤差，并且確定旋轉(zhuǎn)位置測量裝置的旋轉(zhuǎn)位置傳感 器的有利的旋轉(zhuǎn)位置測量地點(diǎn)。尤其確定旋轉(zhuǎn)位置測量地點(diǎn)，在其上運(yùn)動誤差影響較小、尤 其是小于其它可能的旋轉(zhuǎn)位置測量地點(diǎn)，和/或滿足預(yù)設(shè)的條件。在此，尤其可以如前所述 地以預(yù)設(shè)的測量任務(wù)或者加工任務(wù)為基礎(chǔ)，旋轉(zhuǎn)位置測量地點(diǎn)針對它們應(yīng)是有利的。
[0035] 運(yùn)動誤差例如可以在制造旋轉(zhuǎn)設(shè)備(例如旋轉(zhuǎn)臺或者旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié))時就已經(jīng)被測量。
[0036] 尤其建議:一種用于減小旋轉(zhuǎn)設(shè)備的誤差的方法，所述旋轉(zhuǎn)設(shè)備具有第一部分和 能相對于第一部分圍繞旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)的第二部分以及用于測量第一部分和第 二部分相對彼此的旋轉(zhuǎn)位置的旋轉(zhuǎn)位置測量裝置，其中，所述旋轉(zhuǎn)位置測量裝置具有旋轉(zhuǎn) 位置傳感器和為了測量旋轉(zhuǎn)位置與旋轉(zhuǎn)位置傳感器共同作用的測量體，其中，所述旋轉(zhuǎn)位 置傳感器與第一部分相連并且測量體與第二部分相連或者旋轉(zhuǎn)位置傳感器與第二部分相 連并且測量體與第一部分相連，并且其中，所述方法具有以下步驟：
[0037] -在一定的旋轉(zhuǎn)角范圍內(nèi)，也就是在第一部分和第二部分相對彼此的不同旋轉(zhuǎn)位 置下測量由于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的理想旋轉(zhuǎn)軸線的相應(yīng)的理想位置和理想定向與旋轉(zhuǎn)軸線的實(shí)際 位置和實(shí)際定向之間的偏差產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)設(shè)備的誤差并且得到相應(yīng)的誤差測量值，
[0038] -由所述誤差測量值針對旋轉(zhuǎn)位置傳感器的多個旋轉(zhuǎn)位置測量地點(diǎn)確定旋轉(zhuǎn)設(shè)備 的第一部分或第二部分的徑向位置的預(yù)期波動和/或第一部分或第二部分關(guān)于相對旋轉(zhuǎn)設(shè) 備的旋轉(zhuǎn)方向的切向的位置的波動，所述波動由于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動與圍繞理想旋轉(zhuǎn)軸 線的理想旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的偏差而產(chǎn)生，所述旋轉(zhuǎn)位置傳感器能夠在所述旋轉(zhuǎn)位置測量地點(diǎn)處測 量旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)位置，
[0039] -在考慮預(yù)期波動的情況下，確定旋轉(zhuǎn)位置傳感器的至少一個旋轉(zhuǎn)位置測量地點(diǎn)， 針對該旋轉(zhuǎn)位置測量地點(diǎn)，關(guān)于相對旋轉(zhuǎn)方向的切向的位置的預(yù)期波動
[0040] 〇小于針對其它可能的旋轉(zhuǎn)位置測量地點(diǎn)的預(yù)期波動和/或
[0041] 〇滿足預(yù)設(shè)的條件。
[0042] 此外建議:一種用于減小旋轉(zhuǎn)設(shè)備的誤差的設(shè)備，所述旋轉(zhuǎn)設(shè)備具有第一部分和 能相對于第一部分圍繞旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)的第二部分以及用于測