且例如可以固定在共同的支架2上,所述支架布置在位置固 定的裝置1上。圖4中的視圖應(yīng)示意性地理解。在實(shí)踐中,所述設(shè)備可以具有不同的機(jī)械設(shè) 計(jì)。
[0154] 具有測(cè)量方向s2、s3的測(cè)量傳感器朝校準(zhǔn)體4的第一球形區(qū)域K1定向。具有測(cè)量方 向s4、s5的測(cè)量傳感器朝校準(zhǔn)體4的第二球形區(qū)域K2定向。在此,球形區(qū)域ΚΙ、K2沿旋轉(zhuǎn)設(shè)備 11、12的實(shí)際旋轉(zhuǎn)軸線A1處于不同的軸向位置上。由圖4可以看出,實(shí)際旋轉(zhuǎn)軸線A1在所示 的旋轉(zhuǎn)位置中相對(duì)于理想旋轉(zhuǎn)軸線A2傾斜或者扭轉(zhuǎn)地延伸。
[0155] 在圖4的實(shí)施例中,校準(zhǔn)體4指的是桿,所述桿以其縱軸線沿實(shí)際旋轉(zhuǎn)軸線A1的方 向延伸并且在此具有所述球形區(qū)域K1、K2。所述球形區(qū)域K1、K2的中點(diǎn)優(yōu)選如圖4的例子所 示處于實(shí)際旋轉(zhuǎn)軸線Α上。備選的校準(zhǔn)體也是可行的。例如可以將圓柱體、如圖1至圖3中的 圓柱體13用作校準(zhǔn)體并且傳感器可以分別成對(duì)地朝不同的高度位置(或ζ位置)定向。傳感 器優(yōu)選分別成對(duì)地彼此垂直地定向。然而這并不是必須的,但這簡(jiǎn)化了對(duì)測(cè)量的分析。此外 優(yōu)選的是,具有四個(gè)測(cè)量傳感器的測(cè)量裝置垂直于理想旋轉(zhuǎn)軸線A2定向??蛇x地可以附加 地使用另一測(cè)量傳感器,其測(cè)量校準(zhǔn)體的上部(在圖4中即為第一球形區(qū)域K1)的ζ位置。
[0156] 在旋轉(zhuǎn)設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)部分11相對(duì)于固定部分12的不同旋轉(zhuǎn)位置中,例如以分別1° 的角間距,沿測(cè)量方向s2-s5分別測(cè)量與球形區(qū)域K1、K2的間距和/或球形區(qū)域K1、K2的位置 或者其表面。以此方式由四個(gè)測(cè)量傳感器在兩個(gè)不同的ζ位置上測(cè)量旋轉(zhuǎn)設(shè)備的總誤差的X 分量和 y分量。由此能夠確定旋轉(zhuǎn)設(shè)備的平移誤差和旋轉(zhuǎn)誤差。平移誤差由此定義,即其在 可能的工作位置的整個(gè)區(qū)域(例如整個(gè)高度,在此是ζ方向)上以相同方式作用,然而與可旋 轉(zhuǎn)部分的旋轉(zhuǎn)位置有關(guān)。但旋轉(zhuǎn)誤差在可能的工作位置的整個(gè)區(qū)域上不同地作用。關(guān)于此 還將根據(jù)圖5詳細(xì)闡述。一般而言,旋轉(zhuǎn)誤差和平移誤差均與可旋轉(zhuǎn)部分11的旋轉(zhuǎn)位置有 關(guān)。由此得出,通過(guò)唯一的測(cè)量傳感器或者在一個(gè)固定的工作定向中不能區(qū)分旋轉(zhuǎn)設(shè)備的 平移誤差和旋轉(zhuǎn)誤差。由此相反地得出,存在這樣的工作定向和工作位置,針對(duì)所述工作定 向和工作位置,平移誤差和旋轉(zhuǎn)誤差比針對(duì)其它工作位置和工作定向更好地(相對(duì)于更小 的誤差值而言)抵消。關(guān)于此還將詳細(xì)闡述。
[0157] 在以下還認(rèn)為,可以單獨(dú)地考慮并且校正校準(zhǔn)體和工件的偏心度和傾斜度。因此 以下認(rèn)為校準(zhǔn)體是理想的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的。
[0158] 由得到的旋轉(zhuǎn)設(shè)備誤差測(cè)量值例如可以在第一步驟中計(jì)算,哪個(gè)測(cè)量誤差在不同 于所述測(cè)量的其它z位置上可能出現(xiàn)。例如根據(jù)圖4描述的測(cè)量在圖5的下部的兩個(gè)z位置 zl、z2上進(jìn)行。圖5示出在坐標(biāo)系x、y、z的xz平面內(nèi)的視圖。實(shí)際旋轉(zhuǎn)軸線A1或者其在xz平面 內(nèi)的投影相對(duì)于理想旋轉(zhuǎn)軸線A2傾斜了角度α。因此,在位置zl上確定的與(存在于圍繞理 想旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)時(shí)的)理想情況的偏差例如小于在位置z2上的偏差。在z位置zl、z2上的誤 差之差為Αχ。由此可以針對(duì)第三z位置z3計(jì)算沿X方向與理想情況的偏差,如圖5所示。在z 位置z3中,與理想情況的偏差比在z位置zl上大Δ X'。以此方式,可以針對(duì)沿z方向的整個(gè)相 關(guān)區(qū)域計(jì)算沿X方向的偏差并且以類似的方式計(jì)算沿y方向的偏差,即按照以下用于X方向 偏差的方程:
[0159] x2 = xl+tan(a)*(z2_zl)
[0160] 在這個(gè)公式中,xl、x2表示實(shí)際旋轉(zhuǎn)軸線A1沿X方向的位置或者其在xz平面內(nèi)的投 影,zl、z2表示z位置并且a表示圖5所示的實(shí)際旋轉(zhuǎn)軸線A1與理想旋轉(zhuǎn)軸線A2之間的角。然 而,這個(gè)方程不只適用于誤差測(cè)量的兩個(gè)z位置,而且也分別適用于兩個(gè)任意的其它z位置, 包括測(cè)量位置和待計(jì)算的位置。y位置的計(jì)算以相同的方式進(jìn)行,方法是在方程中通過(guò)y2代 替χ2并且通過(guò)yl代替xl并且觀察實(shí)際旋轉(zhuǎn)軸線A1在yz平面內(nèi)的投影。此外,角度a也通過(guò)描 述在yz平面內(nèi)的傾斜的相應(yīng)傾斜角代替。
[0161] 在圖6中例如只顯示了旋轉(zhuǎn)設(shè)備沿X方向的平移誤差作為可旋轉(zhuǎn)部分(例如圖1至 圖4中的部分11)的旋轉(zhuǎn)位置的函數(shù)。如上所述,在各旋轉(zhuǎn)位置上,針對(duì)所有z位置的平移誤 差大小相同。
[0162] 如圖6所示,沿X方向的平移誤差在可旋轉(zhuǎn)部分旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中波動(dòng)。所示的是一整 次旋轉(zhuǎn),這在水平軸的刻度上也可以看出。沿豎直軸在約-5X10_ 6m至+5X10_6m之間的范圍 內(nèi)顯示了沿X方向的平移誤差分量。
[0163] 沿X方向作用(也就是例如由于實(shí)際旋轉(zhuǎn)軸線A1只圍繞y軸的傾斜產(chǎn)生)的相應(yīng)旋 轉(zhuǎn)誤差在圖7中示出。
[0164] 如上所述,平移誤差不以不同方式在z值的可能范圍內(nèi)作用。而由平移誤差和旋轉(zhuǎn) 誤差組成的總誤差基于與機(jī)械杠桿原理的類似性與z位置有關(guān)地波動(dòng)。如果可以只通過(guò)z位 置描述工作定向,例如因?yàn)楣ぷ鞫ㄏ蚩偸谴怪庇诶硐胄D(zhuǎn)軸線定向,則由圖6和圖7所示的 平移誤差和旋轉(zhuǎn)誤差得到圖8所示的總誤差,其與z位置有關(guān),也就是與能通過(guò)z位置明確描 述的工作位置有關(guān)。在此,總誤差是在可旋轉(zhuǎn)部分的一次完整旋轉(zhuǎn)中的誤差的最大值與最 小值之間的差值。
[0165] 在圖8中可以看出,在處于0至0.2之間的可能z位置的范圍內(nèi),總誤差處于1 X l(T6m 至9 ΧΙΟΛι的值之間并且大約在z = 0.12m時(shí)具有最小值。因此,如果只出現(xiàn)在圖6和圖7中所 示的誤差(即沒(méi)有沿y方向作用的誤差)或者如果工作定向平行于坐標(biāo)系的X軸定向,則推薦 選擇高度或z位置在〇.12m處的工作位置。在這種工作位置和所述工作定向中,旋轉(zhuǎn)設(shè)備的 誤差最小。
[0166] 相應(yīng)地適用于確定有利的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn),在所述旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)上,旋轉(zhuǎn) 位置測(cè)量裝置以最小的運(yùn)動(dòng)誤差測(cè)量旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)位置。然而在此必須考慮到,切向于 旋轉(zhuǎn)方向的運(yùn)動(dòng)誤差影響旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量誤差。而在坐標(biāo)測(cè)量裝置或者加工工具沿徑向定向 時(shí),沿徑向的運(yùn)動(dòng)誤差是重要的。因此,盡管針對(duì)旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)選擇了沿z方向的相同 工作位置,但位置沿旋轉(zhuǎn)方向相對(duì)于地點(diǎn)錯(cuò)移90°,在所述地點(diǎn)上應(yīng)布置有沿徑向定向的加 工工具或者這樣定向的坐標(biāo)測(cè)量裝置。
[0167] 現(xiàn)在將之前描述的只觀察沿X方向的誤差的情況擴(kuò)展為一般的情況,其中也可能 出現(xiàn)沿X方向的誤差或者工作定向不總是平行于X方向延伸。
[0168] 圖9和圖10示出與圖6和圖7相應(yīng)的、平移誤差(圖9)和旋轉(zhuǎn)誤差(圖10)的關(guān)系,所 述誤差沿y軸作用。在圖11中顯示了針對(duì)確定的工作定向的平移總誤差(也就是由圖6和圖9 所示的誤差組成的總誤差)。所述總誤差可以通過(guò)以下方程由沿X方向作用的誤差s x和沿y 方向作用的誤差sy計(jì)算得出:
[0170]在此,Θ表示根據(jù)圖2和圖3引入的工作定向角并且供表示旋轉(zhuǎn)設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)部分 的旋轉(zhuǎn)角,其也在圖6、圖7、圖9和圖10的圖表中以及在其它圖表中沿著水平軸線畫出。 [0171]通過(guò)將圖11與圖6和圖9相比較可以看出,沿X方向和y方向的誤差分量部分抵消。 在圖11中,誤差值處于比在圖6和圖9中更小的范圍內(nèi)。然而這與所選的工作定向有關(guān),也就 是例如與觸頭、傳感器或者工具相對(duì)于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的定向有關(guān)。工作定向選擇為θ = 45°。
[0172] 以相應(yīng)的方式可以計(jì)算總旋轉(zhuǎn)誤差,其與平移總誤差一樣取決于工作定向,即角 Θ,并且附加地取決于工作位置,即沿ζ方向的位置。
[0173] 因此在圖12至圖14中,只針對(duì)選出的三對(duì)工作位置和工作定向顯示沿X方向和y方 向的平移誤差的總誤差與沿X方向和y方向的旋轉(zhuǎn)的關(guān)系。因?yàn)樾D(zhuǎn)總誤差既與工作定向也 與工作位置有關(guān),所以這也適用于針對(duì)旋轉(zhuǎn)和平移的總誤差。相應(yīng)地又適用于確定旋轉(zhuǎn)位 置測(cè)量地點(diǎn)。因此,工作定向相應(yīng)于沿旋轉(zhuǎn)方向相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸線錯(cuò)移90°的位置。
[0174] 圖12中視圖的工作位置例如為0。工作定向同樣為0。總誤差在8.7μπι的范圍內(nèi)波 動(dòng)。在圖13的情況中,工作位置z = 0.144m。工作定向?yàn)? = 3.3rad(弧度)??傉`差的值在旋 轉(zhuǎn)設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)部分的一次旋轉(zhuǎn)中在〇.35μπι的范圍內(nèi)波動(dòng)。對(duì)于圖14中的結(jié)果,工作位置ζ =0.047m并且工作定向Θ = 〇. 34rad。誤差值在4.7μπι的范圍內(nèi)波動(dòng)。
[0175] 因此,屬于圖13中圖表的工作位置和工作定向在可旋轉(zhuǎn)部分的一次旋轉(zhuǎn)中產(chǎn)生了 最小的誤差并且因此在三對(duì)可能的工作位置和工作定向的比較中是值得推薦的。
[0176] 并不一定在所有情況下均在考慮可旋轉(zhuǎn)部分的一次完整旋轉(zhuǎn)時(shí)才進(jìn)行推薦。而是 也可以考慮這樣的測(cè)量任務(wù)或加工任務(wù),可旋轉(zhuǎn)部分按照所述任務(wù)可以只旋轉(zhuǎn)一圈中的部 分區(qū)域。因此,可能形成與針對(duì)完整旋轉(zhuǎn)不同的用于工作位置和工作定向的推薦。
[0177] 圖15示意性地示出具有旋轉(zhuǎn)設(shè)備、例如按照?qǐng)D1至圖4的旋轉(zhuǎn)設(shè)備的設(shè)備。旋轉(zhuǎn)設(shè) 備的可旋轉(zhuǎn)部分11可以相對(duì)于不可旋轉(zhuǎn)部分12旋轉(zhuǎn)。測(cè)量裝置21設(shè)計(jì)用于測(cè)量旋轉(zhuǎn)設(shè)備 11、12的誤差并且將相應(yīng)的誤差測(cè)量值輸入預(yù)測(cè)裝置23。所述預(yù)測(cè)裝置23設(shè)計(jì)用于由誤差 測(cè)量值確定旋轉(zhuǎn)設(shè)備11、12的(尤其是經(jīng)過(guò)濾的)預(yù)期誤差值,所述預(yù)期誤差值分別針對(duì)用 于確定工件坐標(biāo)的坐標(biāo)測(cè)量裝置(圖15中未示出)或者用于加工工件的機(jī)床的加工工具與 旋轉(zhuǎn)設(shè)備的相對(duì)的工作位置和工作定向進(jìn)行預(yù)期。作為備選或補(bǔ)充,預(yù)測(cè)裝置設(shè)計(jì)用于由 誤差測(cè)量值確定旋轉(zhuǎn)設(shè)備11、12的預(yù)期誤差值,它們分別針對(duì)旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)進(jìn)行預(yù)期。 確定裝置25與預(yù)測(cè)裝置23相連并且設(shè)計(jì)用于由旋轉(zhuǎn)設(shè)備11、12的預(yù)期誤差值確定至少一個(gè) 工作位置和/或工作定向,針對(duì)其所述旋轉(zhuǎn)設(shè)備11、12的預(yù)期誤差值是有利的。作為備選或 補(bǔ)充,確定裝置設(shè)計(jì)用于由預(yù)期誤差值確定至少一個(gè)有利的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)。至少一個(gè) 由確定裝置25確定的工作位置和/或工作定向被輸入至坐標(biāo)測(cè)量?jī)x或者機(jī)床的控制裝置 27,所述控制裝置尤其自動(dòng)地控制通過(guò)至少一個(gè)所確定的工作位置和/或工作定向?qū)ぜ?的測(cè)量或者對(duì)工件的加工。作為備選或補(bǔ)充,調(diào)節(jié)所確定的有利的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)。
[0178]在圖16中示出的支架構(gòu)造的坐標(biāo)測(cè)量?jī)x(KMG)211具有底座201,其上布置有可沿 笛卡爾坐標(biāo)系的Z方向運(yùn)動(dòng)的柱202、203。所述柱202、203與橫梁204共同構(gòu)成KMG211的支 架。所述橫梁204在其對(duì)置的端部上與柱202或203相連。未詳細(xì)示出的電動(dòng)機(jī)使柱202、203 沿Z方向進(jìn)行線性運(yùn)動(dòng)。在此,例如兩個(gè)柱202、203中的每一個(gè)均配置有電動(dòng)機(jī)。橫梁204與 橫向滑橇207相結(jié)合,所述橫向滑橇空氣支承地可在笛卡爾坐標(biāo)系的X方向上沿橫梁204運(yùn) 動(dòng)。橫向滑橇207相對(duì)于橫梁204的當(dāng)前位置可以根據(jù)比例尺分度206確定。橫梁204沿X方向 的運(yùn)動(dòng)通過(guò)另一電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)。在橫向滑橇207上布置有可沿豎直方向運(yùn)動(dòng)的頂尖套筒208, 所述頂尖套筒在其下端部通過(guò)安裝裝置210和旋轉(zhuǎn)設(shè)備205與坐標(biāo)測(cè)量裝置209相連。所述 坐標(biāo)測(cè)量裝置209具有折角的探頭215,具有探測(cè)球121的探針111可取下地布置在所述探頭 上。坐標(biāo)測(cè)量裝置209可以由另一電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)地相對(duì)于橫向滑橇207沿笛卡爾坐標(biāo)系的Y方 向運(yùn)動(dòng)。通過(guò)KMG的電機(jī),探頭209可以在橫梁204下方的區(qū)域內(nèi)運(yùn)動(dòng)到幾乎任何位置。此外, 旋轉(zhuǎn)設(shè)備205可以使探頭215圍繞Y軸旋轉(zhuǎn),因此探針111可以沿不同的方向定向。
[0179]在底座201上布置有旋轉(zhuǎn)臺(tái)217(也就是旋轉(zhuǎn)設(shè)備),其具有集成的旋轉(zhuǎn)位置傳感器 (圖16中未示出)。所述設(shè)備應(yīng)示意性地理解。在實(shí)踐中,旋轉(zhuǎn)臺(tái)217布置在這樣的位置上,在 所述位置上探針111或者另一探針可以盡可能地不受阻礙地從所有側(cè)面沿旋轉(zhuǎn)臺(tái)217的旋 轉(zhuǎn)軸線的徑向、也就是在盡可能任意的工作定向中探測(cè)布置于旋轉(zhuǎn)臺(tái)217上的工件(未示 出)。相應(yīng)地也盡可能在沿著旋轉(zhuǎn)設(shè)備217的旋轉(zhuǎn)軸線的延伸的整個(gè)高度區(qū)域內(nèi)適用于探針 的所有工作位置。
[0180] 按照本發(fā)明的一種優(yōu)選實(shí)施形式,首先在旋轉(zhuǎn)設(shè)備217上布置校準(zhǔn)體,如圖1至圖3 中的圓柱體或者圖4中的雙球桿。此外布置如在圖4中示意性示出的單獨(dú)的測(cè)量裝置,其具 有至少一個(gè)傳感器s2至s5,所述測(cè)量裝置用于測(cè)量旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)誤差。在此,傳感器和旋 轉(zhuǎn)設(shè)備的至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)位置傳感器優(yōu)選與坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的控制裝置相連,因此傳感器和至少 一個(gè)旋轉(zhuǎn)位置傳感器的測(cè)量值能夠由控制裝置檢測(cè)到并且進(jìn)行配置。每個(gè)測(cè)量的旋轉(zhuǎn)位置 相應(yīng)于傳感器s2至s5之一的至少掃一個(gè)測(cè)量值。相反,傳感器s2至s5的每個(gè)測(cè)量值配屬于 一個(gè)旋轉(zhuǎn)位置。如果只需要在沿軸向的確定工作位置上確定工作定向,則使用兩個(gè)傳感器、 例如在確定的工作位置上進(jìn)行測(cè)量的s2和s3就足夠了。
[0181] 坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的控制裝置可以針對(duì)不同的工作位置和/或工作定向計(jì)算預(yù)期誤差值 和/或經(jīng)過(guò)濾的預(yù)期誤差值并且由此確定坐標(biāo)測(cè)量裝置的至少一個(gè)有利布局,或者針對(duì)旋 轉(zhuǎn)設(shè)備與機(jī)床相結(jié)合的應(yīng)用,備選或附加地確定加工工具的有利布局。
[0182] 作為備選或補(bǔ)充,坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的控制裝置可以由預(yù)期誤差值或者經(jīng)過(guò)濾的預(yù)期誤 差值確定旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)位置傳感器的至少一個(gè)有利的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)。在此,不只在 此處描述的實(shí)施例的情況下,而且也對(duì)于本發(fā)明一般來(lái)說(shuō),之前提到的旋轉(zhuǎn)設(shè)備的第一部 分或第二部分的徑向位置的預(yù)期波動(dòng)和/或第一部分或第二部分相對(duì)于切向于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的 旋轉(zhuǎn)方向的波動(dòng)均相當(dāng)于預(yù)期誤差值或者經(jīng)過(guò)濾的預(yù)期誤差值。預(yù)期波動(dòng)是預(yù)期誤差。
[0183] 支架構(gòu)造的坐標(biāo)測(cè)量?jī)x只是坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的一個(gè)實(shí)施例,其坐標(biāo)測(cè)量裝置按照本發(fā) 明有利地布置。因此,也可以使用其它構(gòu)造方式的坐標(biāo)測(cè)量?jī)x,例如門架構(gòu)造方式或者鉸鏈 臂構(gòu)造方式。
[0184] 以下闡述測(cè)量旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)位置的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量裝置的例子。例如,旋轉(zhuǎn)位置 測(cè)量裝置可以集成在旋轉(zhuǎn)設(shè)備中,因此旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量裝置完全由旋轉(zhuǎn)設(shè)備的構(gòu)件包圍并且 由此受到保護(hù)以防外界因素影響(如圖20所示)。旋轉(zhuǎn)設(shè)備可以例如是如圖16所示的旋轉(zhuǎn) 臺(tái)。備選地,旋轉(zhuǎn)設(shè)備可以例如是具有至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)軸線的轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié)。這種轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié)可以例 如用于坐標(biāo)測(cè)量?jī)x,其中,坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的傳感器或觸頭通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié)與坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的其它 部分相連,因此轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié)可以使傳感器或觸頭進(jìn)入期望的旋轉(zhuǎn)位置。轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié)尤其也可以 具有兩個(gè)例如相互垂直延伸的旋轉(zhuǎn)軸線。優(yōu)選針對(duì)每個(gè)旋轉(zhuǎn)軸線均存在一個(gè)旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量 裝置。
[0185] 圖17中的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量裝置的俯視圖示出測(cè)量體75,其具有多個(gè)線狀的標(biāo)記82, 所述標(biāo)記在這個(gè)實(shí)施例中沿相對(duì)于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸線D的徑向、也就是垂直于旋轉(zhuǎn)軸線D 地延伸。在理想情況下,線狀的標(biāo)記82的角間距是恒定的,因此例如在具有360個(gè)標(biāo)記時(shí),角 間距為1°。線狀標(biāo)記在測(cè)量體上的這種布局在以下稱為分度圓盤。圖17還示出了坐標(biāo)系的X 軸和Y軸,其中,X軸和Y軸彼此垂直并且分別垂直于旋轉(zhuǎn)軸線D地延伸。還顯示了旋轉(zhuǎn)位置傳 感器74,其沿旋轉(zhuǎn)軸線D的軸向布置在分度圓盤的上方,也就是沿圖17的觀察方向布置在分 度圓盤之前。在實(shí)踐中,可以存在多于一個(gè)的這種傳感器。傳感器的光學(xué)檢測(cè)區(qū)域同時(shí)包含 一個(gè)或多個(gè)線狀的標(biāo)記82。檢測(cè)區(qū)域尤其是具有大約五個(gè)標(biāo)記82的區(qū)域,所述標(biāo)記直接處 于代表傳感器的矩形區(qū)域下方。隨著旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),標(biāo)記82依次地經(jīng)過(guò)檢測(cè)區(qū)域。傳 感器74布置在旋轉(zhuǎn)設(shè)備的第一部分上(未示出),而旋轉(zhuǎn)設(shè)備的第二部分具有分度圓盤。旋 轉(zhuǎn)設(shè)備的第一和第二部分能夠圍繞旋轉(zhuǎn)軸線D相對(duì)彼此旋轉(zhuǎn)。在所示實(shí)施例中,傳感器74的 旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)尤其是布置有傳感器74的地點(diǎn)。因?yàn)閭鞲衅?4在分度圓盤上具有檢測(cè)區(qū) 域,所述檢測(cè)區(qū)域通過(guò)分度圓盤的投影沿平行于旋轉(zhuǎn)軸線的方向成像在傳感器74上,所以 備選地也可以將檢測(cè)區(qū)域的地點(diǎn)定義為旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)。分別將旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)的中 點(diǎn)坐標(biāo)定位為地點(diǎn)的坐標(biāo),這種中點(diǎn)例如是沿分度圓盤的旋轉(zhuǎn)方向的檢測(cè)區(qū)域與旋轉(zhuǎn)軸線 間隔一定徑向距離的中點(diǎn),其處于標(biāo)記82的中心。
[0186] 分度圓盤的其它構(gòu)造也是可行的,例如具有線狀的標(biāo)記,它們平行于旋轉(zhuǎn)軸線D線 狀地在圓盤狀物體的外周上延伸。此外,相應(yīng)的不具有線狀標(biāo)記、而是具有磁性標(biāo)記的構(gòu)造 也是可行的。在這種情況下,傳感器74不以光學(xué)方式檢測(cè)線狀標(biāo)記,而是檢測(cè)由于磁性標(biāo)記 經(jīng)過(guò)而改變的磁場(chǎng)。
[0187] 圖18示出處于兩個(gè)不同位置中的測(cè)量體75,也就是按照?qǐng)D17的分度圓盤或者另一 分度圓盤。在第一位置中,分度圓盤用附圖標(biāo)記75表示,在第二位置中用75'表示。然而旋轉(zhuǎn) 位置傳感器不布置在分度圓盤之上,而是沿徑向布置在分度圓盤之外。傳感器74的四個(gè)可 能的旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)用附圖標(biāo)記74 &、7仙、74(:、74(1表示。在位置75中,旋轉(zhuǎn)軸線0處于分 度圓盤的中央。而在位置75'中,分度圓盤移動(dòng)了平移向量△ s。通過(guò)由于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)運(yùn) 動(dòng)期間的運(yùn)動(dòng)誤差造成的移動(dòng),分度圓盤平移式地相對(duì)于旋轉(zhuǎn)位置測(cè)量地點(diǎn)7