本技術(shù)涉及半導(dǎo)體檢測(cè)，具體為手動(dòng)探針臺(tái)。

背景技術(shù)：

1、在芯片生產(chǎn)檢驗(yàn)過(guò)程中，需要對(duì)芯片參數(shù)進(jìn)行隨機(jī)抽取部分進(jìn)行抽樣檢測(cè)時(shí)，基本都使用手動(dòng)探針臺(tái)。手動(dòng)探針臺(tái)能精準(zhǔn)、快速的找到放置于承片盤(pán)上的晶圓或封裝后的芯片所需要測(cè)試的位置，測(cè)試人員調(diào)整探針座上的探針與需要測(cè)試的位置接觸，在芯片測(cè)試儀器上設(shè)置需要的測(cè)試參數(shù)，通過(guò)探針輸入到被測(cè)芯片上，實(shí)現(xiàn)對(duì)芯片參數(shù)的測(cè)試需求。

2、目前市場(chǎng)上手動(dòng)探針臺(tái)沒(méi)有快速移動(dòng)定位和微調(diào)對(duì)準(zhǔn)功能，大部分采用絲桿結(jié)構(gòu)來(lái)移動(dòng)和定位承片盤(pán)，進(jìn)行抽樣檢測(cè)時(shí)操作時(shí)移動(dòng)時(shí)間久，鎖緊絲桿時(shí)有位移現(xiàn)象發(fā)生，無(wú)法實(shí)現(xiàn)高精度操作，對(duì)于晶圓的移動(dòng)對(duì)準(zhǔn)極其不便。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供手動(dòng)探針臺(tái)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：手動(dòng)探針臺(tái)，包括：底座和設(shè)備臺(tái)面，所述底座頂部四角設(shè)有絲桿升降軸，所述絲桿升降軸頂端設(shè)有設(shè)備臺(tái)面，所述底座頂部?jī)蓚?cè)設(shè)有支座，所述支座頂部設(shè)有橫板，所述橫板頂部中央設(shè)有顯微鏡支架，所述顯微鏡支架一側(cè)設(shè)有顯微鏡，所述底座頂部?jī)蓚?cè)設(shè)有y軸直線滑軌，所述y軸直線滑軌上方設(shè)有y軸滑座，所述y軸滑座頂部設(shè)有彈性片，所述彈性片一端底部設(shè)有電磁鐵，所述電磁鐵能夠與底座頂面進(jìn)行磁力吸附；所述y軸滑座一側(cè)設(shè)有z型板，所述z型板之間設(shè)有支撐板，所述支撐板頂部設(shè)有x軸直線滑軌，所述x軸直線滑軌頂部設(shè)有x軸滑座，所述x軸滑座一側(cè)設(shè)有氣浮載物臺(tái)。

3、進(jìn)一步的，所述氣浮載物臺(tái)包括氣浮底座，所述氣浮底座一側(cè)與x軸滑座固定連接，所述氣浮底座頂部設(shè)有氣浮墊板，所述氣浮墊板頂部?jī)蓚?cè)設(shè)有x軸氣浮滑軌，所述x軸氣浮滑軌頂部設(shè)有x軸氣浮板，所述x軸氣浮板頂部?jī)蓚?cè)設(shè)有y軸氣浮滑軌，所述y軸氣浮滑軌頂部設(shè)有y軸氣浮板，所述y軸氣浮板頂部設(shè)有轉(zhuǎn)臺(tái)，所述轉(zhuǎn)臺(tái)頂部設(shè)有載物盤(pán)。

4、進(jìn)一步的，所述y軸氣浮板一側(cè)設(shè)有y軸頂塊，所述x軸氣浮板靠近y軸頂塊一側(cè)設(shè)有y軸螺紋套，所述y軸螺紋套內(nèi)部設(shè)有y軸氣浮調(diào)節(jié)螺桿。

5、進(jìn)一步的，所述氣浮墊板一側(cè)設(shè)有x軸螺紋套，所述x軸氣浮板靠近x軸螺紋套一側(cè)設(shè)有x軸頂塊，所述x軸螺紋套內(nèi)部設(shè)有x軸氣浮調(diào)節(jié)螺桿。

6、進(jìn)一步的，所述設(shè)備臺(tái)面頂部?jī)蓚?cè)設(shè)有線纜夾，所述設(shè)備臺(tái)面中部開(kāi)設(shè)有探針觀察槽，所述探針觀察槽頂部?jī)蓚?cè)設(shè)有探針座吸附板，所述橫板一側(cè)設(shè)有高度表。

7、進(jìn)一步的，所述z型板頂部位于彈性片上方設(shè)有防護(hù)罩，所述氣浮底座一側(cè)設(shè)有氣浮控制旋扭，所述氣浮控制旋扭用于控制x軸氣浮滑軌和y軸氣浮滑軌的啟動(dòng)和關(guān)閉，所述底座頂部一角設(shè)有升降控制旋扭，所述升降控制旋扭用于控制絲桿升降軸的升降。

8、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

9、本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置的底座、電磁鐵和氣浮載物臺(tái)實(shí)現(xiàn)了在手動(dòng)探針臺(tái)使用時(shí)，將被測(cè)晶圓或芯片放置于載物盤(pán)上，通過(guò)x軸直線滑軌和y軸直線滑軌的配合對(duì)氣浮載物臺(tái)進(jìn)行x軸和y軸方向的移動(dòng)，移動(dòng)至檢測(cè)工位后，啟動(dòng)電磁鐵，電磁鐵通電后吸附在底座頂部，對(duì)氣浮載物臺(tái)的x軸或者y軸位置進(jìn)行定位，防止探針檢測(cè)時(shí)發(fā)生位移，然后將探針座放置探針座吸附板上，安裝探針后，啟動(dòng)x軸氣浮滑軌和y軸氣浮滑軌，然后在顯微鏡下，通過(guò)x軸氣浮調(diào)節(jié)螺桿和y軸氣浮調(diào)節(jié)螺桿對(duì)載物盤(pán)的x軸以及y軸上的位置進(jìn)行微調(diào)，保證位置的精準(zhǔn)，然后通過(guò)升降控制旋鈕控制設(shè)備臺(tái)面升降，升降探針座與晶圓或者新品接觸與分離完成測(cè)試；檢測(cè)完成后，關(guān)閉電磁鐵，電磁鐵在彈性片的彈力作用下與底座分離，接觸鎖定；

10、整個(gè)手動(dòng)探針臺(tái)，通過(guò)電磁鐵實(shí)現(xiàn)氣浮載物臺(tái)的x軸和y軸的定位鎖定，可以快速鎖定位置，防止檢測(cè)過(guò)程中氣浮載物臺(tái)出現(xiàn)位移，通過(guò)氣浮載物臺(tái)對(duì)載物盤(pán)的x軸與y軸的微調(diào)操作，使移動(dòng)更加平整與快速，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度操作。

技術(shù)特征：

1.手動(dòng)探針臺(tái)，包括：底座(1)和設(shè)備臺(tái)面(3)，其特征在于：所述底座(1)頂部四角設(shè)有絲桿升降軸(2)，所述絲桿升降軸(2)頂端設(shè)有設(shè)備臺(tái)面(3)，所述底座(1)頂部?jī)蓚?cè)設(shè)有支座(6)，所述支座(6)頂部設(shè)有橫板(7)，所述橫板(7)頂部中央設(shè)有顯微鏡支架(8)，所述顯微鏡支架(8)一側(cè)設(shè)有顯微鏡(9)，所述底座(1)頂部?jī)蓚?cè)設(shè)有y軸直線滑軌(13)，所述y軸直線滑軌(13)上方設(shè)有y軸滑座(19)，所述y軸滑座(19)頂部設(shè)有彈性片(20)，所述彈性片(20)一端底部設(shè)有電磁鐵(21)，所述電磁鐵(21)能夠與底座(1)頂面進(jìn)行磁力吸附；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的手動(dòng)探針臺(tái)，其特征在于：所述氣浮載物臺(tái)包括氣浮底座(11)，所述氣浮底座(11)一側(cè)與x軸滑座(18)固定連接，所述氣浮底座(11)頂部設(shè)有氣浮墊板(22)，所述氣浮墊板(22)頂部?jī)蓚?cè)設(shè)有x軸氣浮滑軌(23)，所述x軸氣浮滑軌(23)頂部設(shè)有x軸氣浮板(24)，所述x軸氣浮板(24)頂部?jī)蓚?cè)設(shè)有y軸氣浮滑軌(25)，所述y軸氣浮滑軌(25)頂部設(shè)有y軸氣浮板(26)，所述y軸氣浮板(26)頂部設(shè)有轉(zhuǎn)臺(tái)(27)，所述轉(zhuǎn)臺(tái)(27)頂部設(shè)有載物盤(pán)(12)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的手動(dòng)探針臺(tái)，其特征在于：所述y軸氣浮板(26)一側(cè)設(shè)有y軸頂塊，所述x軸氣浮板(26)靠近y軸頂塊一側(cè)設(shè)有y軸螺紋套，所述y軸螺紋套內(nèi)部設(shè)有y軸氣浮調(diào)節(jié)螺桿(30)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的手動(dòng)探針臺(tái)，其特征在于：所述氣浮墊板(22)一側(cè)設(shè)有x軸螺紋套，所述x軸氣浮板(26)靠近x軸螺紋套一側(cè)設(shè)有x軸頂塊，所述x軸螺紋套內(nèi)部設(shè)有x軸氣浮調(diào)節(jié)螺桿(29)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的手動(dòng)探針臺(tái)，其特征在于：所述設(shè)備臺(tái)面(3)頂部?jī)蓚?cè)設(shè)有線纜夾(4)，所述設(shè)備臺(tái)面(3)中部開(kāi)設(shè)有探針觀察槽，所述探針觀察槽頂部?jī)蓚?cè)設(shè)有探針座吸附板(5)，所述橫板(7)一側(cè)設(shè)有高度表(10)。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的手動(dòng)探針臺(tái)，其特征在于：所述z型板(15)頂部位于彈性片(20)上方設(shè)有防護(hù)罩(14)，所述氣浮底座(11)一側(cè)設(shè)有氣浮控制旋扭(28)，所述氣浮控制旋扭(28)用于控制x軸氣浮滑軌(23)和y軸氣浮滑軌(25)的啟動(dòng)和關(guān)閉，所述底座(1)頂部一角設(shè)有升降控制旋扭，所述升降控制旋扭用于控制絲桿升降軸(2)的升降。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了手動(dòng)探針臺(tái)，包括：底座和設(shè)備臺(tái)面，所述底座頂部四角設(shè)有絲桿升降軸，所述絲桿升降軸頂端設(shè)有設(shè)備臺(tái)面，所述底座頂部?jī)蓚?cè)設(shè)有支座，所述支座頂部設(shè)有橫板，所述橫板頂部中央設(shè)有顯微鏡支架，所述顯微鏡支架一側(cè)設(shè)有顯微鏡，所述底座頂部?jī)蓚?cè)設(shè)有Y軸直線滑軌，本技術(shù)通過(guò)電磁鐵實(shí)現(xiàn)氣浮載物臺(tái)的X軸和Y軸的定位鎖定，可以快速鎖定位置，防止檢測(cè)過(guò)程中氣浮載物臺(tái)出現(xiàn)位移，通過(guò)氣浮載物臺(tái)對(duì)載物盤(pán)的X軸與Y軸的微調(diào)操作，使移動(dòng)更加平整與快速，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度操作。

技術(shù)研發(fā)人員：王科,殷明峰,夏云
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無(wú)錫嘉尼軒科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231226
技術(shù)公布日：2024/12/19