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一種易于安裝的晶圓測試裝置的制作方法

文檔序號:11351456閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種易于安裝的晶圓測試裝置,包括測試箱(2)和測試臺(3),其特征在于:所述測試箱(2)的頂部固定連接有觀察鏡(1),所述測試箱(2)內(nèi)底部固定連接于底架(5),所述底架(5)的兩側(cè)均固定連接于安裝了測試探針的探針臂(4),所述底架(5)固定連接于測試臺(3)的底部,所述測試臺(3)表面活動鏈接于晶圓托盤(6)的底部,所述晶圓托盤(6)的上表面活動連接有卡固組件(10),所述晶圓托盤(6)底部通過軟管(603)固定連接于負壓發(fā)生裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種易于安裝的晶圓測試裝置,其特征在于:所述測試臺(3)包括固定連接于底架(5)的固定板(13),所述固定板(13)的上表面通過運動組件連接于活動板(14)的下表面,所述活動板(14)的上表面通過運動組件連接于晶圓托盤(6)的下表面。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種易于安裝的晶圓測試裝置,其特征在于:所述運動組件包括絲桿電機(8),所述絲桿電機(8)的轉(zhuǎn)軸固定連接于絲桿(7)的一端,所述絲桿(7)的另一端活動連接于軸承(11),所述絲桿(7)上套接有滑塊(12),其中所述絲桿電機(8)和軸承(11)固定連接于發(fā)生相對運動物體的上表面,所述滑塊(12)固定連接于發(fā)生相對運動物體的下表面。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種易于安裝的晶圓測試裝置,其特征在于:所述卡固組件(10)包括托架(103),所述托架(103)上插接有滑竿(101),所述滑竿(101)的底端滑動連接于晶圓托盤(6)表面上的槽道,所述滑竿(101)通過螺紋連接有鎖緊螺母(102)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種易于安裝的晶圓測試裝置,其特征在于:所述晶圓托盤(6)的內(nèi)部設(shè)有負壓室(602),所述負壓室(602)通過吸孔(601)連通于晶圓托盤(6)的上表面,所述負壓室(602)通過軟管(603)固定連接于負壓發(fā)生裝置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種易于安裝的晶圓測試裝置,其特征在于:所述晶圓托盤(6)在初始工位時位于觀察鏡(1)的正下方。

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