本實用新型屬于晶圓測試裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種背銀、背金晶圓測試穩(wěn)壓裝置。

背景技術(shù)：

在背金、背銀晶圓的產(chǎn)品測試過程中，chuck作為一個電極，需要對待測晶圓提供一定的電壓，現(xiàn)有背金、背銀晶圓產(chǎn)品的測試裝置中，提供電壓的接頭只有一個測試電極電壓接觸點，這樣會導(dǎo)致靠近電極接觸電的電壓比較適合，而越遠(yuǎn)離電壓接觸點的，測試電壓會逐漸衰減，進而影響晶圓的測試結(jié)果。

為了使chuck上wafer所得到的電極電壓是比較穩(wěn)定和統(tǒng)一的，因此需要提供一種背銀、背金晶圓測試穩(wěn)壓裝置，來保持電極電壓的穩(wěn)定和統(tǒng)一。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于提供一種背銀、背金晶圓測試穩(wěn)壓裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種背銀、背金晶圓測試穩(wěn)壓裝置，包括待測晶圓、穩(wěn)壓套環(huán)和電極接線，所述待測晶圓的外圈卡接有穩(wěn)壓套環(huán)，所述穩(wěn)壓套環(huán)通過電極接線電性連接于測試電極。

優(yōu)選的，所述穩(wěn)壓套環(huán)包括與待測晶圓外周邊緣相貼合的側(cè)環(huán)，所述側(cè)環(huán)邊緣的頂部固定連接于頂環(huán)的邊緣外周，所述側(cè)環(huán)和頂環(huán)通過橡膠一體化制成。

優(yōu)選的，所述側(cè)環(huán)內(nèi)壁固定連接有觸電片，所述觸電片與側(cè)環(huán)的高度相同，所述觸電片設(shè)置有6個并等間距分布在側(cè)環(huán)內(nèi)壁。

優(yōu)選的，所述觸電片的頂端均固定連接于導(dǎo)線，所述導(dǎo)線固定連接于電極接線。

優(yōu)選的，所述導(dǎo)線埋設(shè)在穩(wěn)壓套環(huán)的內(nèi)部。

本實用新型的技術(shù)效果和優(yōu)點：該背銀、背金晶圓測試穩(wěn)壓裝置，通過將穩(wěn)壓套環(huán)卡在待測晶圓上，將電極接線電性連接于測試電極，測試電壓通過導(dǎo)線均勻的傳遞至每個觸電片，通過在側(cè)環(huán)內(nèi)壁均勻設(shè)置個觸電片，可以在待測晶圓的外周均勻的對待測晶圓進行測試電極供壓，保證了待測晶圓上電壓的統(tǒng)一性和穩(wěn)定性。

附圖說明

圖1為本實用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型的穩(wěn)壓套環(huán)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實用新型的圖3中A處結(jié)構(gòu)放大示意圖。

圖中：1待測晶圓、2穩(wěn)壓套環(huán)、201側(cè)環(huán)、202頂環(huán)、3電極接線、4導(dǎo)線、5觸電片。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

本實用新型提供了如圖1-4所示的一種背銀、背金晶圓測試穩(wěn)壓裝置，包括待測晶圓1、穩(wěn)壓套環(huán)2和電極接線3，所述待測晶圓1的外圈卡接有穩(wěn)壓套環(huán)2，所述穩(wěn)壓套環(huán)2通過電極接線3電性連接于測試電極。

進一步的，所述穩(wěn)壓套環(huán)2包括與待測晶圓1外周邊緣相貼合的側(cè)環(huán)201，所述側(cè)環(huán)201邊緣的頂部固定連接于頂環(huán)202的邊緣外周，所述側(cè)環(huán)201和頂環(huán)202通過橡膠一體化制成，利用橡膠容易變形的特性，可以方便的將穩(wěn)壓套環(huán)2套在待測晶圓1的邊緣上。

進一步的，所述側(cè)環(huán)201內(nèi)壁固定連接有觸電片5，所述觸電片5與側(cè)環(huán)201的高度相同，所述觸電片5設(shè)置有6個并等間距分布在側(cè)環(huán)201內(nèi)壁，觸電片5與待測晶圓1相接觸的一面略微高出側(cè)環(huán)201的內(nèi)壁，當(dāng)穩(wěn)壓套環(huán)2卡在待測晶圓1的邊緣上時，觸電片5可以和待測晶圓1緊密接觸，有效的保證了導(dǎo)電性，通過在側(cè)環(huán)201內(nèi)壁均勻設(shè)置6個觸電片5，可以在待測晶圓1的外周均勻的對待測晶圓1進行測試電極供壓，保證了待測晶圓1上電壓的均勻性。

進一步的，所述觸電片5的頂端均固定連接于導(dǎo)線4，所述導(dǎo)線4固定連接于電極接線3，所述導(dǎo)線4埋設(shè)在穩(wěn)壓套環(huán)2的內(nèi)部，導(dǎo)線4采用剛性較大且電阻較小的材料制成環(huán)形，對穩(wěn)壓套環(huán)2的橡膠結(jié)構(gòu)可提供一定的支撐和定型作用，便于將穩(wěn)壓套環(huán)2卡在待測晶圓1上。

具體的，使用時，將穩(wěn)壓套環(huán)2卡在待測晶圓1上，將電極接線3電性連接于測試電極，測試電壓通過導(dǎo)線4均勻的傳遞至每個觸電片5，通過在側(cè)環(huán)201內(nèi)壁均勻設(shè)置6個觸電片5，可以在待測晶圓1的外周均勻的對待測晶圓1進行測試電極供壓，保證了待測晶圓1上電壓的統(tǒng)一性和穩(wěn)定性。

最后應(yīng)說明的是：以上所述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本實用新型，盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細(xì)的說明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進行等同替換,凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。