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一種背銀、背金晶圓測試穩(wěn)壓裝置的制作方法

文檔序號:11351455閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種背銀、背金晶圓測試穩(wěn)壓裝置,包括待測晶圓(1)、穩(wěn)壓套環(huán)(2)和電極接線(3),其特征在于:所述待測晶圓(1)的承載臺接有穩(wěn)壓套環(huán)(2),所述穩(wěn)壓套環(huán)(2)通過電極接線(3)電性連接于測試電極。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種背銀、背金晶圓測試穩(wěn)壓裝置,其特征在于:所述穩(wěn)壓套環(huán)(2)包括與待測晶圓(1)外周邊緣相貼合的側(cè)環(huán)(201),所述側(cè)環(huán)(201)邊緣的頂部固定連接于頂環(huán)(202)的邊緣外周,所述側(cè)環(huán)(201)和頂環(huán)(202)通過橡膠一體化制成。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種背銀、背金晶圓測試穩(wěn)壓裝置,其特征在于:所述側(cè)環(huán)(201)內(nèi)壁固定連接有觸電片(5),所述觸電片(5)與側(cè)環(huán)(201)的高度相同,所述觸電片(5)設(shè)置有6個并等間距分布在側(cè)環(huán)(201)內(nèi)壁。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種背銀、背金晶圓測試穩(wěn)壓裝置,其特征在于:所述觸電片(5)的頂端均固定連接于導(dǎo)線(4),所述導(dǎo)線(4)固定連接于電極接線(3)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種背銀、背金晶圓測試穩(wěn)壓裝置,其特征在于:所述導(dǎo)線(4)埋設(shè)在穩(wěn)壓套環(huán)(2)的內(nèi)部。

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