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一種易于安裝的晶圓測(cè)試裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11351456

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本實(shí)用新型屬于晶圓側(cè)視裝置技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種易于安裝的晶圓測(cè)試裝置。背景技術(shù)芯片制造流程主要可分為IC設(shè)計(jì)、晶圓制程、晶圓測(cè)試及晶圓封裝四大步驟。在晶圓測(cè)試階段,通常是由測(cè)試機(jī)臺(tái)與探針卡共同構(gòu)建一個(gè)測(cè)試環(huán)境,在此環(huán)境下測(cè)試晶圓上的晶片,以確保各個(gè)晶片的電氣特性與功能都符合設(shè)計(jì)的規(guī)格和規(guī)范。未能通過測(cè)試的晶片將會(huì)被標(biāo)記為不良產(chǎn)品或者壞片,在其后的切割封裝階段將被剔除。只有通過測(cè)試的晶片才會(huì)被封裝為芯片?,F(xiàn)有晶圓測(cè)試裝置通常實(shí)在暴露的環(huán)境中進(jìn)行晶圓測(cè)試,容易受到空氣中塵埃等微小離子的干擾,對(duì)測(cè)試...
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