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一種熱探測器及其制備方法與流程

文檔序號:12904324閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種熱探測器及其制備方法,該熱探測器包括從上之下依次排列的微結(jié)構(gòu)陣列、介質(zhì)層、金屬層、鈍化層以及熱敏電阻層,微結(jié)構(gòu)陣列結(jié)構(gòu)對入射光進(jìn)行篩選并吸收具有窄帶光譜的紅外光,具有窄帶光譜的紅外光在諧振腔內(nèi)諧振,經(jīng)由金屬層將攜帶有窄帶光譜的紅外光轉(zhuǎn)化為攜帶有窄帶光譜的紅外光的強(qiáng)度的熱信號,熱敏電阻層將攜帶有窄帶光譜的紅外光的強(qiáng)度的熱信號轉(zhuǎn)化為攜帶有窄帶光譜的紅外光的強(qiáng)度的電阻信號,通過解調(diào)攜帶窄帶光譜的紅外光的強(qiáng)度信息的阻值信息獲得窄帶光譜的紅外光強(qiáng)度信息。

技術(shù)研發(fā)人員:易飛;李君宇;談小超;楊奧;郭頌;周侖;蔣順;侯銘銘
受保護(hù)的技術(shù)使用者:華中科技大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日:2017.06.23
技術(shù)公布日:2017.11.10
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