本實(shí)用新型涉及數(shù)字檢測(cè)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種膜厚檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)：

眾所周知，薄片狀物品，例如紙張、票據(jù)、塑料薄膜以及紡織物品等的在線連續(xù)厚度測(cè)量，在其相對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品的生產(chǎn)、檢測(cè)、處理、回收等過程中的地位越來越重要。近年來，通過電極間的靜電感應(yīng)進(jìn)行薄膜厚度的檢測(cè)技術(shù)在不斷研究探索之中，例如在相關(guān)技術(shù)中的一種電容式紙厚傳感器，主要是通過將電容器的容量變化轉(zhuǎn)化成振蕩頻率的變化，再通過頻壓轉(zhuǎn)換模塊將頻率的變化轉(zhuǎn)換成電壓的變化。另外，相關(guān)技術(shù)中的一種材料厚度的檢測(cè)方法，主要是通過利用平板電容的極板作為厚度檢測(cè)的敏感器件，實(shí)測(cè)對(duì)象的厚度變化引起的電容活動(dòng)極板產(chǎn)生位移，導(dǎo)致平板電容器的容量發(fā)生變化。另外，相關(guān)技術(shù)中也有采用相對(duì)的公共電極和檢測(cè)電極形成檢測(cè)通道，當(dāng)待測(cè)對(duì)象經(jīng)過檢測(cè)通道時(shí)，改變了公共電極和檢測(cè)電極間的介質(zhì)的介電常數(shù)，相應(yīng)的檢測(cè)電極上感應(yīng)的電荷數(shù)量隨之發(fā)生變化，而且檢測(cè)電極上的輸出電壓大小也發(fā)生變化，通過檢測(cè)對(duì)象的厚度不同，公共電極和檢出電極間的介電常數(shù)也不相同，進(jìn)而檢測(cè)電極上感應(yīng)的電荷數(shù)量也不相同，檢測(cè)電極上的輸出電壓大小也不同。因此通過對(duì)檢測(cè)電極電壓信號(hào)的大小并進(jìn)行分析處理，可以計(jì)算出檢測(cè)對(duì)象的厚度。

然而，上述的幾種檢測(cè)方式，在膜厚檢測(cè)過程中，當(dāng)膜厚檢測(cè)裝置受到外界環(huán)境(例如溫度、噪音、濕度以及電磁)的干擾時(shí)，信號(hào)都會(huì)失真，從而會(huì)影響厚度檢測(cè)的準(zhǔn)確性。

針對(duì)上述相關(guān)技術(shù)中的膜厚檢測(cè)裝置容易受到環(huán)境干擾的問題，目前尚未提出有效的解決方案。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種膜厚檢測(cè)裝置，以至少解決相關(guān)技術(shù)中的膜厚檢測(cè)裝置容易受到環(huán)境干擾的技術(shù)問題。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的一個(gè)方面，提供了一種膜厚檢測(cè)裝置，包括：公共電極，檢測(cè)電極，公共電極電壓產(chǎn)生電路，檢測(cè)電極信號(hào)處理電路，公共電極與檢測(cè)電極在第一方向上相對(duì)且間隔設(shè)置，公共電極的第一公共面與檢測(cè)電極的第一檢測(cè)表面相對(duì)，第一公共面與第一檢測(cè)表面之間形成待測(cè)膜的檢測(cè)通道，其中，公共電極電壓產(chǎn)生電路，用于在公共電極上產(chǎn)生電壓，使得檢測(cè)電極上感應(yīng)出有效信號(hào)電壓；檢測(cè)電極信號(hào)處理電路包括：復(fù)位電壓時(shí)序控制電路，檢測(cè)電極有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序控制電路和差分放大器，其中，復(fù)位電壓時(shí)序控制電路，用于控制檢測(cè)電極進(jìn)行電壓復(fù)位；檢測(cè)電極有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序控制電路，用于轉(zhuǎn)送檢測(cè)電極上的有效信號(hào)電壓；差分放大器，用于對(duì)檢測(cè)電極上的復(fù)位電壓和有效信號(hào)電壓進(jìn)行差分放大后輸出用于檢測(cè)待測(cè)膜的有效信號(hào)。

可選地，裝置還包括：公共電極電壓時(shí)序控制電路，其中，公共電極電壓時(shí)序控制電路，用于產(chǎn)生控制信號(hào)，控制信號(hào)用于控制公共電極電壓產(chǎn)生電路加到公共電極上的電壓幅度和寬度適合預(yù)定信號(hào)的檢測(cè)。

可選地，檢測(cè)電極信號(hào)處理電路還包括：檢測(cè)電極復(fù)位電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序控制電路，用于在檢測(cè)電極進(jìn)行電壓復(fù)位后，轉(zhuǎn)送檢測(cè)電極上的復(fù)位電壓。

可選地，檢測(cè)電極信號(hào)處理電路還包括：移位時(shí)序控制電路，用于將檢測(cè)電極上的復(fù)位電壓和有效信號(hào)電壓傳輸?shù)讲罘址糯笃鞯膬蓚€(gè)輸入端。

可選地，裝置還包括：公共電極基板和檢測(cè)電極基板，其中，公共電極設(shè)置在公共電極基板的第一表面上，公共電極基板的第一表面與第一方向垂直，公共電極電壓產(chǎn)生電路設(shè)置在公共電極基板的第二表面；檢測(cè)電極基板與公共電極基板在第一方向上間隔設(shè)置，檢測(cè)電極基板的第一表面朝向公共電極基板的第一表面，并且與公共電極基板的第一表面平行，檢測(cè)電極設(shè)置在檢測(cè)電極基板的第一表面上，檢測(cè)電極信號(hào)處理電路設(shè)置在檢測(cè)電極基板的第二表面上。

可選地，裝置還包括：公共電極框體和檢測(cè)電極框體，其中，公共電極基板設(shè)置在公共電極框體上；檢測(cè)電極框體與公共電極框體在第一方向上間隔設(shè)置，檢測(cè)電極基板設(shè)置在檢測(cè)電極框體上。

可選地，裝置還包括：公共電極保護(hù)層和檢測(cè)電極保護(hù)層，其中，公共電極保護(hù)層設(shè)置在公共電極表面上；檢測(cè)電極保護(hù)層設(shè)置在檢測(cè)電極表面上。

可選地，裝置還包括：公共電極導(dǎo)電薄膜與檢測(cè)電極導(dǎo)電薄膜，其中，公共電極導(dǎo)電薄膜設(shè)置在公共電極與公共電極保護(hù)層之間；檢測(cè)電極導(dǎo)電薄膜設(shè)置在檢測(cè)電極與檢測(cè)電極保護(hù)層之間。

可選地，檢測(cè)電極為多個(gè)，多個(gè)檢測(cè)電極沿第二方向間隔設(shè)置，其中，第二方向與待測(cè)膜的移動(dòng)方向垂直，與第一方向垂直。

可選地，檢測(cè)電極為電極芯片，或者，檢測(cè)電極為感應(yīng)電荷的傳感器。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的另一方面，還提供了一種膜厚檢測(cè)方法，包括：公共電極電壓產(chǎn)生電路在公共電極上產(chǎn)生電壓，使得檢測(cè)電極上感應(yīng)出有效信號(hào)電壓，其中，公共電極與檢測(cè)電極在第一方向上相對(duì)且間隔設(shè)置，公共電極的第一公共面與檢測(cè)電極的第一檢測(cè)表面相對(duì)，第一公共面與第一檢測(cè)表面之間形成待測(cè)膜的檢測(cè)通道；檢測(cè)電極信號(hào)處理電路中的復(fù)位電壓時(shí)序控制電路控制檢測(cè)電極進(jìn)行電壓復(fù)位；檢測(cè)電極信號(hào)處理電路中的檢測(cè)電極有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序控制電路，轉(zhuǎn)送檢測(cè)電極上的有效信號(hào)電壓；檢測(cè)電極信號(hào)處理電路中的差分放大器，用于對(duì)檢測(cè)電極上的復(fù)位電壓和有效信號(hào)電壓進(jìn)行差分放大后輸出用于檢測(cè)待測(cè)膜的有效信號(hào)。

可選地，在檢測(cè)電極為多個(gè)的情況下，在檢測(cè)電極復(fù)位電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序的下降沿傳輸每個(gè)檢測(cè)電極上的復(fù)位電壓時(shí)，復(fù)位電壓時(shí)序控制電路控制復(fù)位電壓對(duì)每個(gè)檢測(cè)電極進(jìn)行復(fù)位；在檢測(cè)電極有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序的下降沿傳輸每個(gè)檢測(cè)電極的有效信號(hào)電壓時(shí)，公共電極電壓時(shí)序控制電路的控制信號(hào)控制公共電極電壓產(chǎn)生電路對(duì)公共電極上施加電壓。

采用本實(shí)用新型實(shí)施例的膜厚檢測(cè)裝置，包括：公共電極，檢測(cè)電極，公共電極電壓產(chǎn)生電路，檢測(cè)電極信號(hào)處理電路，公共電極與檢測(cè)電極在第一方向上相對(duì)且間隔設(shè)置，公共電極的第一公共面與檢測(cè)電極的第一檢測(cè)表面相對(duì)，第一公共面與第一檢測(cè)表面之間形成待測(cè)膜的檢測(cè)通道，其中，公共電極電壓產(chǎn)生電路，用于在公共電極上產(chǎn)生電壓，使得檢測(cè)電極上感應(yīng)出有效信號(hào)電壓；檢測(cè)電極信號(hào)處理電路包括：復(fù)位電壓時(shí)序控制電路，檢測(cè)電極有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序控制電路和差分放大器，其中，復(fù)位電壓時(shí)序控制電路，用于控制檢測(cè)電極進(jìn)行電壓復(fù)位；檢測(cè)電極有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序控制電路，用于轉(zhuǎn)送檢測(cè)電極上的有效信號(hào)電壓；差分放大器，用于對(duì)檢測(cè)電極上的復(fù)位電壓和有效信號(hào)電壓進(jìn)行差分放大后輸出用于檢測(cè)待測(cè)膜的有效信號(hào)，解決了相關(guān)技術(shù)中的膜厚檢測(cè)裝置容易受到環(huán)境干擾的問題，實(shí)現(xiàn)了膜厚檢測(cè)方法能夠避免環(huán)境干擾的技術(shù)效果。

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的膜厚檢測(cè)裝置的示意圖；

圖2是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的膜厚檢測(cè)裝置的公共電極和檢測(cè)電極的構(gòu)成示意圖；

圖3根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的膜厚檢測(cè)方法的流程圖；

圖4根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的膜厚檢測(cè)裝置的信號(hào)處理流程圖；

圖5根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的膜厚檢測(cè)裝置的信號(hào)處理圖；以及

圖6根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的膜厚檢測(cè)裝置各種信號(hào)的時(shí)序圖。

具體實(shí)施方式

為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本實(shí)用新型方案，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分的實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都應(yīng)當(dāng)屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

需要說明的是，本實(shí)用新型的說明書和權(quán)利要求書及上述附圖中的術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”等是用于區(qū)別類似的對(duì)象，而不必用于描述特定的順序或先后次序。應(yīng)該理解這樣使用的數(shù)據(jù)在適當(dāng)情況下可以互換，以便這里描述的本實(shí)用新型的實(shí)施例能夠以除了在這里圖示或描述的那些以外的順序?qū)嵤?。此外，術(shù)語(yǔ)“包括”和“具有”以及他們的任何變形，意圖在于覆蓋不排他的包含，例如，包含了一系列步驟或單元的過程、方法、系統(tǒng)、產(chǎn)品或設(shè)備不必限于清楚地列出的那些步驟或單元，而是可包括沒有清楚地列出的或?qū)τ谶@些過程、方法、產(chǎn)品或設(shè)備固有的其它步驟或單元。

實(shí)施例1

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的一個(gè)方面，提供了一種膜厚檢測(cè)裝置，包括：公共電極，檢測(cè)電極，公共電極電壓產(chǎn)生電路，檢測(cè)電極信號(hào)處理電路，公共電極與檢測(cè)電極在第一方向上相對(duì)且間隔設(shè)置，公共電極的第一公共面與檢測(cè)電極的第一檢測(cè)表面相對(duì)，第一公共面與第一檢測(cè)表面之間形成待測(cè)膜的檢測(cè)通道，其中，公共電極電壓產(chǎn)生電路用于在公共電極上產(chǎn)生電壓，使得檢測(cè)電極上感應(yīng)出有效信號(hào)電壓；檢測(cè)電極信號(hào)處理電路包括：復(fù)位電壓時(shí)序控制電路，檢測(cè)電極有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序控制電路和差分放大器，其中，復(fù)位電壓時(shí)序控制電路用于控制檢測(cè)電極進(jìn)行電壓復(fù)位；檢測(cè)電極有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序控制電路用于轉(zhuǎn)送檢測(cè)電極上的有效信號(hào)電壓；差分放大器用于對(duì)檢測(cè)電極上的復(fù)位電壓和有效信號(hào)電壓進(jìn)行差分放大后輸出用于檢測(cè)待測(cè)膜的有效信號(hào)。

通過上述實(shí)施例，采用差分放大器對(duì)檢測(cè)電極上的復(fù)位電壓和有效信號(hào)電壓進(jìn)行差分放大后輸出用于檢測(cè)待測(cè)膜的有效信號(hào)，由于采用在采集膜厚檢測(cè)裝置的初期輸出(也即，復(fù)位時(shí)的輸出)與真正的有效信號(hào)輸出進(jìn)行差分放大，有效地消除了環(huán)境因素的影響,解決了相關(guān)技術(shù)中的膜厚檢測(cè)裝置容易受到環(huán)境干擾的問題，實(shí)現(xiàn)了膜厚檢測(cè)方法能夠避免環(huán)境干擾的技術(shù)效果。

可選地，為使得公共電極電壓產(chǎn)生電路產(chǎn)生的電壓準(zhǔn)確,在本實(shí)用新型實(shí)施例的一種膜厚檢測(cè)裝置中，還包括：公共電極電壓時(shí)序控制電路，其中，公共電極電壓時(shí)序控制電路，用于產(chǎn)生控制信號(hào)，控制信號(hào)用于控制公共電極電壓產(chǎn)生電路加到公共電極上的電壓幅度和寬度適合預(yù)定信號(hào)的檢測(cè)。

為有效實(shí)現(xiàn)復(fù)位電壓的控制,可選地，在本實(shí)用新型實(shí)施例的一種膜厚檢測(cè)裝置中，檢測(cè)電極信號(hào)處理電路還包括：檢測(cè)電極復(fù)位電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序控制電路，用于在檢測(cè)電極進(jìn)行電壓復(fù)位后，轉(zhuǎn)送檢測(cè)電極上的復(fù)位電壓。

在將檢測(cè)電極上的復(fù)位電壓和有效信號(hào)電壓傳輸?shù)讲罘址糯笃鞯膬蓚€(gè)輸入端時(shí),可以采用多種方式,可選地，在本實(shí)用新型實(shí)施例的一種膜厚檢測(cè)裝置中，檢測(cè)電極信號(hào)處理電路還包括：移位時(shí)序控制電路，用于將檢測(cè)電極上的復(fù)位電壓和有效信號(hào)電壓傳輸?shù)讲罘址糯笃鞯膬蓚€(gè)輸入端。

為增加膜厚檢測(cè)裝置的牢固性,可選地，在本實(shí)用新型實(shí)施例的一種膜厚檢測(cè)裝置中，膜厚檢測(cè)裝置還包括：公共電極基板和檢測(cè)電極基板，其中，公共電極設(shè)置在公共電極基板的第一表面上，公共電極基板的第一表面與第一方向垂直，公共電極電壓產(chǎn)生電路設(shè)置在公共電極基板的第二表面；檢測(cè)電極基板與公共電極基板在第一方向上間隔設(shè)置，檢測(cè)電極基板的第一表面朝向公共電極基板的第一表面，并且與公共電極基板的第一表面平行，檢測(cè)電極設(shè)置在檢測(cè)電極基板的第一表面上，檢測(cè)電極信號(hào)處理電路設(shè)置在檢測(cè)電極基板的第二表面上。

較佳地，為進(jìn)一步加強(qiáng)膜厚檢測(cè)裝置的牢固性,在本實(shí)用新型實(shí)施例的一種膜厚檢測(cè)裝置中，膜厚檢測(cè)裝置還包括：公共電極框體和檢測(cè)電極框體，其中，公共電極基板設(shè)置在公共電極框體上；檢測(cè)電極框體與公共電極框體在第一方向上間隔設(shè)置，檢測(cè)電極基板設(shè)置在檢測(cè)電極框體上。

為保證公共電極和檢測(cè)電極具有很高的耐磨性和防腐蝕性,可選地，在本實(shí)用新型實(shí)施例的一種膜厚檢測(cè)裝置中，膜厚檢測(cè)裝置還包括：公共電極保護(hù)層和檢測(cè)電極保護(hù)層，其中，公共電極保護(hù)層設(shè)置在公共電極表面上；檢測(cè)電極保護(hù)層設(shè)置在檢測(cè)電極表面上。

為了增加檢測(cè)電極的電荷感應(yīng)強(qiáng)度,可選地，在本實(shí)用新型實(shí)施例的一種膜厚檢測(cè)裝置中，膜厚檢測(cè)裝置還包括：公共電極導(dǎo)電薄膜與檢測(cè)電極導(dǎo)電薄膜，其中，公共電極導(dǎo)電薄膜設(shè)置在公共電極與公共電極保護(hù)層之間；檢測(cè)電極導(dǎo)電薄膜設(shè)置在檢測(cè)電極與檢測(cè)電極保護(hù)層之間。

需要說明的是，上述檢測(cè)電極可以為多個(gè)，該多個(gè)檢測(cè)電極沿第二方向間隔設(shè)置，其中，第二方向與待測(cè)膜的移動(dòng)方向垂直，與第一方向垂直。

可選地，檢測(cè)電極可以為電極芯片，或者，檢測(cè)電極為感應(yīng)電荷的傳感器。

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的一個(gè)可選的實(shí)施例進(jìn)行說明。

圖1是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的膜厚檢測(cè)裝置的示意圖,如圖1所示，該膜厚檢測(cè)裝置包括：包括公共電極13和檢測(cè)電極23，公共電極電壓產(chǎn)生電路17、公共電極電壓時(shí)序控制電路18和檢測(cè)電極信號(hào)處理電路27。公共電極13設(shè)置在公共電極基板12的一側(cè)，公共電極電壓產(chǎn)生電路17、公共電極電壓時(shí)序控制電路18設(shè)置在公共電極基板12上另一側(cè)。檢測(cè)電極23設(shè)置在檢測(cè)電極基板22的一側(cè)，檢測(cè)電極信號(hào)處理電路27設(shè)置在檢測(cè)電極基板22的另一側(cè)。檢測(cè)電極信號(hào)處理電路27是由復(fù)位電壓、復(fù)位電壓時(shí)序控制電路、檢測(cè)電極復(fù)位電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序、檢測(cè)電極有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序、移位時(shí)序控制電路和差分放大電路組成。公共電極基板12和檢測(cè)電極基板22又分別設(shè)置在公共電極框體11和檢測(cè)電極框體21上。其中,通過差分放大電路對(duì)每個(gè)電極上的的復(fù)位電壓和有效信號(hào)電壓成對(duì)依次差分放大后進(jìn)行輸出，輸出電壓可以將每個(gè)電極受到的環(huán)境噪音影響消除掉，實(shí)現(xiàn)每個(gè)電極的精確掃描。檢測(cè)電極23與上述公共電極13在第一方向上相對(duì)且間隔設(shè)置，且上述公共電極13的第一公共表面與各上述檢測(cè)電極的第一檢測(cè)表面相對(duì)，上述第一公共表面與各上述第一檢測(cè)表面之間形成待測(cè)膜的檢測(cè)通道。上述檢測(cè)裝置中的檢測(cè)電極實(shí)際上可以包括多個(gè)檢測(cè)電極，且上述多個(gè)檢測(cè)電極為沿第二方向間隔設(shè)置，如設(shè)置成5DPI、10DPI、50DPI、100DPI等，檢測(cè)電極也可以使用專門的電極芯片。上述第二方向與上述待測(cè)膜的移動(dòng)方向垂直，且與上述第一方向垂直。

為了增加檢測(cè)電極的電荷感應(yīng)強(qiáng)度，在本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例中,還提供了一種優(yōu)選的膜厚檢測(cè)裝置,圖2是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的膜厚檢測(cè)裝置的公共電極和檢測(cè)電極的構(gòu)成示意圖,如圖2所示，在公共電極13和檢測(cè)電極23上分別設(shè)置導(dǎo)電薄膜14和24，導(dǎo)電薄膜為高導(dǎo)電性材料形成的薄膜，可以為金或銀等導(dǎo)電薄膜，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際情況選擇合適的導(dǎo)電薄膜；為了保證公共電極和檢測(cè)電極具有很高的耐磨性和防腐蝕性，需要在公共電極和其導(dǎo)電薄膜的表面涂覆保護(hù)層15、檢測(cè)電極和其導(dǎo)電薄膜的表面涂覆保護(hù)層25，保護(hù)層的材料最好具有顯著的導(dǎo)電性能、耐磨性和防腐蝕性，保證電極在涂覆保護(hù)層后，公共電極與檢測(cè)電極的感度依然很高，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際情況選擇合適的保護(hù)層材料。

實(shí)施例2

根據(jù)本實(shí)用新型另一個(gè)實(shí)施例，還提供了一種膜厚檢測(cè)方法的方法實(shí)施例，需要說明的是，在附圖的流程圖示出的步驟可以在諸如一組計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指令的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)中執(zhí)行，并且，雖然在流程圖中示出了邏輯順序，但是在某些情況下，可以以不同于此處的順序執(zhí)行所示出或描述的步驟，本實(shí)用新型實(shí)施例的膜厚檢測(cè)方法可以用于執(zhí)行本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的膜厚檢測(cè)裝置。以下對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的膜厚檢測(cè)方法進(jìn)行介紹。

在本實(shí)施例中，提供了一種膜厚檢測(cè)方法，圖3根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的膜厚檢測(cè)方法的流程圖，如圖3所示，該方法包括如下步驟：

步驟S302，公共電極電壓產(chǎn)生電路在公共電極上產(chǎn)生電壓，使得檢測(cè)電極上感應(yīng)出有效信號(hào)電壓，其中，公共電極與檢測(cè)電極在第一方向上相對(duì)且間隔設(shè)置，公共電極的第一公共面與檢測(cè)電極的第一檢測(cè)表面相對(duì)，第一公共面與第一檢測(cè)表面之間形成待測(cè)膜的檢測(cè)通道。

步驟S304，檢測(cè)電極信號(hào)處理電路中的復(fù)位電壓時(shí)序控制電路控制檢測(cè)電極進(jìn)行電壓復(fù)位。

步驟S306，檢測(cè)電極信號(hào)處理電路中的檢測(cè)電極有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序控制電路，轉(zhuǎn)送檢測(cè)電極上的有效信號(hào)電壓。

步驟S308，檢測(cè)電極信號(hào)處理電路中的差分放大器，用于對(duì)檢測(cè)電極上的復(fù)位電壓和有效信號(hào)電壓進(jìn)行差分放大后輸出用于檢測(cè)待測(cè)膜的有效信號(hào)。

通過上述步驟S302至步驟S308，采用差分放大器對(duì)檢測(cè)電極上的復(fù)位電壓和有效信號(hào)電壓進(jìn)行差分放大后輸出用于檢測(cè)待測(cè)膜的有效信號(hào)的方法，由于采用在采集膜厚檢測(cè)裝置的初期輸出(也即，復(fù)位時(shí)的輸出)與真正的有效信號(hào)輸出進(jìn)行差分放大，有效地消除了環(huán)境因素的影響,解決了相關(guān)技術(shù)中的膜厚檢測(cè)裝置容易受到環(huán)境干擾的問題，實(shí)現(xiàn)了膜厚檢測(cè)方法能夠避免環(huán)境干擾的技術(shù)效果。

可選地，在檢測(cè)電極為多個(gè)的情況下，在檢測(cè)電極復(fù)位電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序的下降沿傳輸每個(gè)檢測(cè)電極上的復(fù)位電壓時(shí)，復(fù)位電壓時(shí)序控制電路控制復(fù)位電壓對(duì)每個(gè)檢測(cè)電極進(jìn)行復(fù)位，需要說明的是，在檢測(cè)電極復(fù)位電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序的下降沿傳輸每個(gè)檢測(cè)電極上的復(fù)位電壓時(shí)復(fù)位，但也可以在下降沿到來之前加一定時(shí)間的復(fù)位電壓，避免復(fù)位不夠充分；在檢測(cè)電極有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序的下降沿傳輸每個(gè)檢測(cè)電極的有效信號(hào)電壓時(shí)，公共電極電壓時(shí)序控制電路的控制信號(hào)控制公共電極電壓產(chǎn)生電路對(duì)公共電極上施加電壓，需要指出的是，在檢測(cè)電極有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序的下降沿傳輸每個(gè)檢測(cè)電極的有效信號(hào)電壓時(shí)施加公共電極電壓，但也可以在在下降沿到來之前加一定時(shí)間的公共電極電壓，具體加多長(zhǎng)時(shí)間，可以根據(jù)被檢測(cè)對(duì)象的材質(zhì)來決定。

下面結(jié)合附圖,對(duì)膜厚檢測(cè)方法的信號(hào)處理,以及信號(hào)處理的時(shí)序進(jìn)行說明。

圖4根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的膜厚檢測(cè)裝置的信號(hào)處理流程圖，如圖4所示，該流程包括如下步驟：

步驟S402，每一行掃描啟動(dòng)信號(hào)SI。

步驟S404，復(fù)位電壓時(shí)序控制電路RESET控制復(fù)位電壓，使每個(gè)電極進(jìn)行復(fù)位。

步驟S406，檢測(cè)電極復(fù)位電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序RESET_T轉(zhuǎn)送檢測(cè)電極上的復(fù)位電壓信號(hào)VE_1RESET…VE_nRESET。

步驟S408，公共電極電壓時(shí)序控制電路的控制信號(hào)COM控制公共電極電壓產(chǎn)生電路，使其加到公共電極上的脈沖電壓幅度和寬度適合特定信號(hào)的檢測(cè)。

步驟S410，檢測(cè)電極有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序COM_T轉(zhuǎn)送檢測(cè)電極上的有效信號(hào)VE_1com…VE_ncom。

步驟S412，移位時(shí)序控制電路SEL控制每個(gè)電極的有效信號(hào)電壓Vcom和復(fù)位電壓VRESET成對(duì)依次傳輸?shù)讲罘址糯笃鞯膬蓚€(gè)輸入端。

步驟S414，差分放大器AMP將每個(gè)電極上的有效信號(hào)電壓和復(fù)位電壓成對(duì)依次差分放大后進(jìn)行輸出，信號(hào)為SIG。

在上述步驟S402至步驟S414中，在膜厚檢測(cè)裝置工作時(shí)，首先經(jīng)過每一行掃描啟動(dòng)信號(hào)SI后，復(fù)位電壓時(shí)序控制電路RESET控制復(fù)位電壓，使每個(gè)電極進(jìn)行復(fù)位；然后檢測(cè)電極復(fù)位電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序RESET_T轉(zhuǎn)送檢測(cè)電極上的復(fù)位電壓信號(hào)VE_1RESET…VE_nRESET。

圖5根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的膜厚檢測(cè)裝置中信號(hào)處理圖，如圖5所示，公共電極電壓時(shí)序控制電路的控制信號(hào)COM控制公共電極電壓產(chǎn)生電路，使其加到公共電極上的脈沖電壓幅度和寬度適合特定信號(hào)的檢測(cè)。檢測(cè)電極上感應(yīng)有效的原稿厚度電荷信號(hào)，經(jīng)過檢測(cè)電極信號(hào)處理電路中的檢測(cè)電極有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序COM_T轉(zhuǎn)送檢測(cè)電極上的有效信號(hào)VE_1com…VE_ncom，然后移位時(shí)序控制電路SEL控制每個(gè)電極的有效信號(hào)電壓Vcom和復(fù)位電壓VRESET成對(duì)依次傳輸?shù)讲罘址糯笃鞯膬蓚€(gè)輸入端，接下來差分放大器AMP將每個(gè)電極上的有效信號(hào)電壓和復(fù)位電壓成對(duì)依次差分放大后進(jìn)行輸出，信號(hào)為SIG，得到的SIG信號(hào)已將每個(gè)檢測(cè)電極上受到的環(huán)境噪音影響消除掉，解決了相關(guān)技術(shù)中的膜厚檢測(cè)裝置容易受到環(huán)境干擾的問題，實(shí)現(xiàn)了膜厚檢測(cè)方法能夠避免環(huán)境干擾的技術(shù)效果。

圖6根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的膜厚檢測(cè)裝置各種信號(hào)的時(shí)序圖，如圖6所示，膜厚檢測(cè)裝置工作時(shí)，經(jīng)每一行的掃描啟動(dòng)信號(hào)SI(第1個(gè)時(shí)鐘)后，復(fù)位電壓時(shí)序控制電路RESET控制復(fù)位電壓，使每個(gè)電極進(jìn)行復(fù)位。然后檢測(cè)電極復(fù)位電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序RESET_T(第h個(gè)時(shí)鐘)轉(zhuǎn)送檢測(cè)電極上的復(fù)位電壓信號(hào)VE_1RESET…VE_nRESET。然后公共電極電壓時(shí)序控制電路的控制信號(hào)COM(第i個(gè)時(shí)鐘開始，根據(jù)檢測(cè)對(duì)象的不同，合理控制公共電極加電壓的時(shí)間，即為控制COM的脈沖寬度)控制共通電極電壓產(chǎn)生電路，使其加到公共電極上的脈沖電壓幅度和寬度適合檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè)。檢測(cè)電極上感應(yīng)有效的原稿厚度電壓信號(hào)，經(jīng)過檢測(cè)電極信號(hào)處理電路中的檢測(cè)電極有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序COM_T轉(zhuǎn)送檢測(cè)電極上的有效電壓信號(hào)VE_1com…VE_ncom，然后移位時(shí)序控制電路SEL(第k1、k2…k+n-1、k+n個(gè)時(shí)鐘)控制每個(gè)電極的有效信號(hào)電壓Vcom和復(fù)位電壓VRESET成對(duì)依次傳輸?shù)讲罘址糯笃鞯膬蓚€(gè)輸入端。差分放大器AMP將每個(gè)電極上的的有效信號(hào)電壓和復(fù)位電壓成對(duì)依次差分放大后進(jìn)行輸出，信號(hào)為SIG(VE1、VE2…VEn-1、VEn)，得到的SIG信號(hào)已將每個(gè)檢測(cè)電極上受到的環(huán)境噪音影響消除掉。

需要說明的是，本實(shí)用新型實(shí)施例中檢測(cè)電極復(fù)位電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序RESET_T的下降沿傳輸每個(gè)電極上的復(fù)位電壓，因此RESET_T的下降沿時(shí)必須保證復(fù)位電壓時(shí)序控制電路RESET控制復(fù)位電壓對(duì)每個(gè)電極進(jìn)行復(fù)位；本實(shí)用新型實(shí)施例中檢測(cè)電極有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序COM_T的下降沿傳輸每個(gè)電極的有效電壓信號(hào)，因此COM_T的下降沿時(shí)必須保證公共電極電壓時(shí)序控制電路的控制信號(hào)COM控制公共電極電壓產(chǎn)生電路對(duì)公共電極上施加電壓；本實(shí)用新型實(shí)施例中檢測(cè)電極為感應(yīng)電荷的傳感器，因此在檢測(cè)電極不感應(yīng)有效厚度信號(hào)時(shí)，應(yīng)保證各檢測(cè)電極盡量處于復(fù)位狀態(tài)，即使復(fù)位電壓時(shí)序控制電路RESET在檢測(cè)電極有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序COM_T和公共電極電壓時(shí)序控制電路的控制信號(hào)COM以外的區(qū)域，保證最長(zhǎng)時(shí)間地控制復(fù)位電壓對(duì)每個(gè)電極進(jìn)行復(fù)位；本實(shí)用新型實(shí)施例提供的膜厚檢測(cè)裝置的檢測(cè)電極，不局限于一排檢測(cè)電極，二排及多排檢測(cè)電極也同樣適用。

上述本實(shí)用新型實(shí)施例序號(hào)僅僅為了描述，不代表實(shí)施例的優(yōu)劣。

在本實(shí)用新型的上述實(shí)施例中，對(duì)各個(gè)實(shí)施例的描述都各有側(cè)重，某個(gè)實(shí)施例中沒有詳述的部分，可以參見其他實(shí)施例的相關(guān)描述。

在本申請(qǐng)所提供的幾個(gè)實(shí)施例中，應(yīng)該理解到，所揭露的技術(shù)內(nèi)容，可通過其它的方式實(shí)現(xiàn)。其中，以上所描述的裝置實(shí)施例僅僅是示意性的，例如所述單元的劃分，可以為一種邏輯功能劃分，實(shí)際實(shí)現(xiàn)時(shí)可以有另外的劃分方式，例如多個(gè)單元或組件可以結(jié)合或者可以集成到另一個(gè)系統(tǒng)，或一些特征可以忽略，或不執(zhí)行。另一點(diǎn)，所顯示或討論的相互之間的耦合或直接耦合或通信連接可以是通過一些接口，單元或模塊的間接耦合或通信連接，可以是電性或其它的形式。

所述作為分離部件說明的單元可以是或者也可以不是物理上分開的，作為單元顯示的部件可以是或者也可以不是物理單元，即可以位于一個(gè)地方，或者也可以分布到多個(gè)單元上?？梢愿鶕?jù)實(shí)際的需要選擇其中的部分或者全部單元來實(shí)現(xiàn)本實(shí)施例方案的目的。

另外，在本實(shí)用新型各個(gè)實(shí)施例中的各功能單元可以集成在一個(gè)處理單元中，也可以是各個(gè)單元單獨(dú)物理存在，也可以兩個(gè)或兩個(gè)以上單元集成在一個(gè)單元中。上述集成的單元既可以采用硬件的形式實(shí)現(xiàn)，也可以采用軟件功能單元的形式實(shí)現(xiàn)。

所述集成的單元如果以軟件功能單元的形式實(shí)現(xiàn)并作為獨(dú)立的產(chǎn)品銷售或使用時(shí)，可以存儲(chǔ)在一個(gè)計(jì)算機(jī)可讀取存儲(chǔ)介質(zhì)中?；谶@樣的理解，本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案本質(zhì)上或者說對(duì)現(xiàn)有技術(shù)做出貢獻(xiàn)的部分或者該技術(shù)方案的全部或部分可以以軟件產(chǎn)品的形式體現(xiàn)出來，該計(jì)算機(jī)軟件產(chǎn)品存儲(chǔ)在一個(gè)存儲(chǔ)介質(zhì)中，包括若干指令用以使得一臺(tái)計(jì)算機(jī)設(shè)備(可為個(gè)人計(jì)算機(jī)、服務(wù)器或者網(wǎng)絡(luò)設(shè)備等)執(zhí)行本實(shí)用新型各個(gè)實(shí)施例所述方法的全部或部分步驟。而前述的存儲(chǔ)介質(zhì)包括：U盤、只讀存儲(chǔ)器(ROM，Read-Only Memory)、隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(RAM，Random Access Memory)、移動(dòng)硬盤、磁碟或者光盤等各種可以存儲(chǔ)程序代碼的介質(zhì)。

以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。