1.一種膜厚檢測(cè)裝置，其特征在于，包括：公共電極，檢測(cè)電極，公共電極電壓產(chǎn)生電路，檢測(cè)電極信號(hào)處理電路，所述公共電極與所述檢測(cè)電極在第一方向上相對(duì)且間隔設(shè)置，所述公共電極的第一公共面與所述檢測(cè)電極的第一檢測(cè)表面相對(duì)，所述第一公共面與所述第一檢測(cè)表面之間形成待測(cè)膜的檢測(cè)通道，其中，
公共電極電壓產(chǎn)生電路，用于在所述公共電極上產(chǎn)生電壓，使得所述檢測(cè)電極上感應(yīng)出有效信號(hào)電壓；
檢測(cè)電極信號(hào)處理電路包括：復(fù)位電壓時(shí)序控制電路，檢測(cè)電極有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序控制電路和差分放大器，其中，所述復(fù)位電壓時(shí)序控制電路，用于控制所述檢測(cè)電極進(jìn)行電壓復(fù)位；所述檢測(cè)電極有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序控制電路，用于轉(zhuǎn)送所述檢測(cè)電極上的有效信號(hào)電壓；所述差分放大器，用于對(duì)所述檢測(cè)電極上的復(fù)位電壓和所述有效信號(hào)電壓進(jìn)行差分放大后輸出用于檢測(cè)所述待測(cè)膜的有效信號(hào)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：公共電極電壓時(shí)序控制電路，其中，所述公共電極電壓時(shí)序控制電路，用于產(chǎn)生控制信號(hào)，所述控制信號(hào)用于控制所述公共電極電壓產(chǎn)生電路加到所述公共電極上的電壓幅度和寬度適合預(yù)定信號(hào)的檢測(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述檢測(cè)電極信號(hào)處理電路還包括：檢測(cè)電極復(fù)位電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序控制電路，用于在所述檢測(cè)電極進(jìn)行電壓復(fù)位后，轉(zhuǎn)送所述檢測(cè)電極上的復(fù)位電壓。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述檢測(cè)電極信號(hào)處理電路還包括：移位時(shí)序控制電路，用于將檢測(cè)電極上的所述復(fù)位電壓和所述有效信號(hào)電壓傳輸?shù)剿霾罘址糯笃鞯膬蓚€(gè)輸入端。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：公共電極基板和檢測(cè)電極基板，其中，
所述公共電極設(shè)置在所述公共電極基板的第一表面上，所述公共電極基板的第一表面與所述第一方向垂直，所述公共電極電壓產(chǎn)生電路設(shè)置在所述公共電極基板的第二表面；
所述檢測(cè)電極基板與所述公共電極基板在所述第一方向上間隔設(shè)置，所述檢 測(cè)電極基板的第一表面朝向所述公共電極基板的第一表面，并且與所述公共電極基板的第一表面平行，所述檢測(cè)電極設(shè)置在所述檢測(cè)電極基板的第一表面上，所述檢測(cè)電極信號(hào)處理電路設(shè)置在所述檢測(cè)電極基板的第二表面上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：公共電極框體和檢測(cè)電極框體，其中，所述公共電極基板設(shè)置在所述公共電極框體上；所述檢測(cè)電極框體與所述公共電極框體在所述第一方向上間隔設(shè)置，所述檢測(cè)電極基板設(shè)置在所述檢測(cè)電極框體上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：公共電極保護(hù)層和檢測(cè)電極保護(hù)層，其中，所述公共電極保護(hù)層設(shè)置在所述公共電極表面上；所述檢測(cè)電極保護(hù)層設(shè)置在所述檢測(cè)電極表面上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：公共電極導(dǎo)電薄膜與檢測(cè)電極導(dǎo)電薄膜，其中，所述公共電極導(dǎo)電薄膜設(shè)置在所述公共電極與所述公共電極保護(hù)層之間；所述檢測(cè)電極導(dǎo)電薄膜設(shè)置在所述檢測(cè)電極與所述檢測(cè)電極保護(hù)層之間。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8任一所述的裝置，其特征在于，所述檢測(cè)電極為多個(gè)，所述多個(gè)檢測(cè)電極沿第二方向間隔設(shè)置，其中，所述第二方向與所述待測(cè)膜的移動(dòng)方向垂直，與所述第一方向垂直。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，所述檢測(cè)電極為電極芯片，或者，所述檢測(cè)電極為感應(yīng)電荷的傳感器。