技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種膜厚檢測裝置。其中，該裝置包括：公共電極，檢測電極，公共電極電壓產(chǎn)生電路，檢測電極信號處理電路，第一公共面與第一檢測表面之間形成待測膜的檢測通道，其中，公共電極電壓產(chǎn)生電路，用于在公共電極上產(chǎn)生電壓，使得檢測電極上感應(yīng)出有效信號電壓；檢測電極信號處理電路包括：復(fù)位電壓時(shí)序控制電路，檢測電極有效信號電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序控制電路和差分放大器，其中，復(fù)位電壓時(shí)序控制電路，用于控制檢測電極進(jìn)行電壓復(fù)位；檢測電極有效信號電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序控制電路，用于轉(zhuǎn)送檢測電極上的有效信號電壓；差分放大器，用于對檢測電極上的復(fù)位電壓和有效信號電壓進(jìn)行差分放大后輸出用于檢測待測膜的有效信號。

技術(shù)研發(fā)人員：姜利;林永輝;祁秀梅;孫明豐
受保護(hù)的技術(shù)使用者：威海華菱光電股份有限公司
文檔號碼：201720186290
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.28
技術(shù)公布日：2017.11.10