技術總結
本實用新型提供前端開啟式晶圓傳送盒的內部環(huán)境取樣裝置，屬于半導體制造技術領域，包括：取樣蓋，取樣蓋的尺寸與前端開啟式晶圓傳送盒的尺寸相配合，取樣蓋與晶圓載體連接構成密閉空間，取樣蓋上設有安裝孔；密封塞，密封塞設置于安裝孔內，密封塞為空心管狀結構；取樣管，取樣管具有管狀部和球形部，球形部設置于管狀部的底部且與管狀部連通，球形部上均勻布設有至少三個進氣孔，管狀部設置于密封塞內，球形部位于密閉空間內。本實用新型的有益效果：取樣精度更高，更便捷的對前端開啟式晶圓傳送盒的內部環(huán)境進行監(jiān)控，更有效的對由于前端開啟式晶圓傳送盒的內部環(huán)境導致晶圓產生缺陷的案例進行取樣分析。

技術研發(fā)人員：嚴拯;方明海;廖璞;時寒;高云霞
受保護的技術使用者：武漢新芯集成電路制造有限公司
文檔號碼：201621438234
技術研發(fā)日：2016.12.26
技術公布日：2017.08.04