技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種氣流檢測(cè)裝置，應(yīng)用于無(wú)塵室的氣流檢測(cè)，其特征在于，包括：可移動(dòng)的呈矩形狀的本體；高度可調(diào)節(jié)的升降機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述本體上；風(fēng)速探測(cè)頭，設(shè)置于所述升降機(jī)構(gòu)的頂部；推動(dòng)單元，與所述升降機(jī)構(gòu)連接，用以控制所述升降機(jī)構(gòu)上升或者下降，使所述風(fēng)速探測(cè)頭達(dá)到預(yù)設(shè)高度對(duì)所述無(wú)塵室進(jìn)行氣流檢測(cè)。其技術(shù)方案的有益效果在于，通過(guò)升降機(jī)構(gòu)可代替人工手持風(fēng)速測(cè)量?jī)x進(jìn)行風(fēng)速測(cè)量，使檢測(cè)操作更加的安全，同時(shí)提高了檢測(cè)操作的效率，提高了測(cè)試精度。

技術(shù)研發(fā)人員：嚴(yán)拯;方明海;廖璞;魏敏;張婷
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢新芯集成電路制造有限公司
文檔號(hào)碼：201621336184
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.07
技術(shù)公布日：2017.05.31