技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種樣品缺陷檢測(cè)裝置，屬于半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。該樣品缺陷檢測(cè)裝置包括：用于產(chǎn)生并執(zhí)行電子束照射的電子束聚焦系統(tǒng)；裝載鎖定室，真空工作腔，該真空工作腔與該裝載鎖定室連接，該電子束聚焦系統(tǒng)的電子束透鏡的鏡筒設(shè)置在該真空工作腔中，且在該真空工作腔中設(shè)置有傳輸裝置，其中，該傳輸裝置包括至少一個(gè)機(jī)械手，該至少一個(gè)機(jī)械手中的每個(gè)機(jī)械手在第一位置、第二位置和第三位置之間進(jìn)行傳輸運(yùn)動(dòng)，其中該第一位置是從裝載鎖定室傳輸出待檢測(cè)樣品或?qū)z測(cè)后的樣品傳輸入到裝載鎖定室的位置，該第二位置是從該真空工作腔中的樣品臺(tái)傳輸出或傳輸入樣品的位置，第三位置是該至少一個(gè)機(jī)械手等待傳輸樣品的等待位置。

技術(shù)研發(fā)人員：東條徹
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東方晶源微電子科技（北京）有限公司
文檔號(hào)碼：201610942049
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.25
技術(shù)公布日：2017.01.04