1.一種樣品缺陷檢測裝置，所述樣品缺陷檢測裝置包括：
用于產(chǎn)生并且執(zhí)行電子束的照射的電子束聚焦系統(tǒng)；
裝載鎖定室，
真空工作腔，所述真空工作腔與所述裝載鎖定室連接，所述電子束聚焦系統(tǒng)的電子束透鏡的鏡筒設(shè)置在所述真空工作腔中，且在所述真空工作腔中設(shè)置有傳輸裝置，
其中，所述傳輸裝置包括至少一個機(jī)械手，所述至少一個機(jī)械手中的每個機(jī)械手在第一位置、第二位置和第三位置之間進(jìn)行傳輸運(yùn)動，其中所述第一位置是從裝載鎖定室傳輸出待檢測樣品或?qū)z測后的樣品傳輸入到裝載鎖定室的位置，所述第二位置是從所述真空工作腔中的樣品臺傳輸出或傳輸入樣品的位置，第三位置是所述至少一個機(jī)械手等待傳輸樣品的等待位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樣品缺陷檢測裝置，其特征在于，
在所述第一位置處，所述至少一個機(jī)械手中僅一個所述機(jī)械手的一部分伸入到所述裝載鎖定室內(nèi)用于傳輸樣品。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的樣品缺陷檢測裝置，其特征在于，
所述傳輸裝置包括第一導(dǎo)軌、第二導(dǎo)軌、第一機(jī)械手和第二機(jī)械手，所述第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌彼此間隔地設(shè)置在所述真空工作腔的側(cè)壁表面上，所述第一機(jī)械手與所述第一導(dǎo)軌彼此滑動連接，所述第二機(jī)械手與所述第二導(dǎo)軌彼此滑動連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的樣品缺陷檢測裝置，其特征在于，
所述第一機(jī)械手和第二機(jī)械手的形狀均設(shè)置為L形狀，所述第一機(jī)械手和第二機(jī)械手均包括主體部和與所述主體部連接的前端部，所述第一機(jī)械手的主體部與所述第一導(dǎo)軌彼此滑動連接，第二機(jī)械手的主體部與所述第二導(dǎo)軌彼此滑動連接，在所述第一位置處所述第一機(jī)械手或者第二機(jī)械手的前端部伸入到所述裝載鎖定室內(nèi)用于傳輸樣品。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的樣品缺陷檢測裝置，其特征在于，
所述第一和第二機(jī)械手的前端部均包括第一前端部和第二前端部，所述第一前端部與所述第二前端部彼此平行設(shè)置，
所述第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌沿著真空工作腔與裝載鎖定室連接的方向彼此平行設(shè)置，且所述第一導(dǎo)軌設(shè)置在所述第二導(dǎo)軌的上方，
其中所述第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌中的每個包括一條導(dǎo)軌或多條彼此平行設(shè)置的導(dǎo)軌。
6.根據(jù)權(quán)利要求2-5中任一項所述的樣品缺陷檢測裝置，其特征在于，
在所述真空工作腔設(shè)置有樣品臺和升降機(jī)構(gòu)，所述樣品臺通過升降機(jī)構(gòu)的升降銷與所述樣品臺連接；在裝載鎖定室中設(shè)置有升降機(jī)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的樣品缺陷檢測裝置，其特征在于，
真空工作腔中的所述升降機(jī)構(gòu)設(shè)置在樣品臺的下方，
在所述第一位置或第二位置處，所述升降機(jī)構(gòu)的升降銷沿所述樣品缺陷檢測裝置的高度方向上升以提升所述樣品臺上的樣品，之后所述第一機(jī)械手或者第二機(jī)械手插入所述樣品與所述樣品臺之間，最后由所述第一機(jī)械手或第二機(jī)械手支撐所述樣品。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的樣品缺陷檢測裝置，其特征在于，
所述第一機(jī)械手或第二機(jī)械手在所述真空工作腔中的所述第三位置能夠避免對所述電子束透鏡的鏡筒形成干擾。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樣品缺陷檢測裝置，其特征在于，
所述真空工作腔和裝載鎖定室通過閘閥彼此連接，當(dāng)待檢測的樣品從所述裝載鎖定室傳輸至所述真空工作腔中時或者當(dāng)已檢測完成的樣品從所述真空工作腔傳輸至所述裝載鎖定室中時，所述閘閥為打開狀態(tài)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的樣品缺陷檢測裝置，其特征在于，
在所述裝載鎖定室的不與所述真空工作腔鄰接的一側(cè)上設(shè)置有開口，所述開口設(shè)置有門，當(dāng)所述門打開時，所述樣品缺陷檢測裝置通過所述開口裝載待檢測的樣品或者卸載已檢測完成的樣品。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樣品缺陷檢測裝置，其特征在于，
在電子束透鏡的鏡筒下面設(shè)置有用于調(diào)整電子束的電子束調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，在電子束透鏡的光軸處樣品臺的上表面上設(shè)置有束調(diào)整器。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樣品缺陷檢測裝置，其特征在于，
所述樣品是半導(dǎo)體硅片。