技術(shù)總結(jié)
光學(xué)窗口組件漏率檢測裝置及檢測方法，涉及光學(xué)窗口組件檢測技術(shù)領(lǐng)域，解決現(xiàn)有光學(xué)窗口組件漏率檢測技術(shù)耗時費(fèi)力且無法確定光學(xué)窗口組件自身漏率等問題，包括氦質(zhì)譜檢漏儀、第一快接法蘭、手動真空擋板閥、波紋管、He氣注射噴槍、底座、密閉容器和He標(biāo)準(zhǔn)漏孔；光學(xué)窗口組件與底座連接并置于密閉容器內(nèi)，且光學(xué)窗口組件與底座之間設(shè)置有O型密封圈；氦質(zhì)譜檢漏儀的出口處設(shè)置手動真空擋板閥；波紋管的兩端分別通過第一快接法蘭與手動真空擋板閥和底座連接，He標(biāo)準(zhǔn)漏孔通過第二快接法蘭與底座連接，He標(biāo)準(zhǔn)漏孔設(shè)置有球閥，用于控制He標(biāo)準(zhǔn)漏孔的開放與關(guān)閉；He氣注射槍向密閉容器內(nèi)注射氦氣。本裝置結(jié)構(gòu)簡單、操作方便。

技術(shù)研發(fā)人員：徐明林;徐振;徐偉;解鵬;王天聰;曲宏松
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
文檔號碼：201610595828
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.27
技術(shù)公布日：2016.11.16