本申請(qǐng)要求2015年6月10日遞交的日本專利申請(qǐng)No.2015-117543的優(yōu)先權(quán)，通過引用特將其全部公開內(nèi)容明確地并入本文。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及測量機(jī)的碰撞防止裝置。更具體地，本發(fā)明涉及在使被測物體與非接觸式探針相對(duì)移位的同時(shí)測量被測物體的尺寸等的測量機(jī)的碰撞防止裝置。

背景技術(shù)：

已知的使用非接觸式探針的測量機(jī)的示例為坐標(biāo)圖像測量裝置，該坐標(biāo)圖像測量裝置能夠使被測物體或非接觸式探針沿相互正交的X、Y和Z軸方向移位，并且能夠基于通過非接觸式探針得到的圖像測量被測物體的尺寸等。

在這種坐標(biāo)圖像測量裝置中，非接觸式探針被在與被測物體相鄰的位置處使用。特別地，在測量期間，非接觸式探針相對(duì)于被測物體沿三維方向移位。在這方面，非接觸式探針可能會(huì)因操作者的不注意、輸入計(jì)算機(jī)的坐標(biāo)的錯(cuò)誤設(shè)定等而與被測物體發(fā)生碰撞。

為了防止非接觸式探針、測量裝置主體、被測物體等因該碰撞而損壞，已經(jīng)提出一種用于測量機(jī)的碰撞防止裝置(日本特許第3831561號(hào)公報(bào))。在日本特許第3831561號(hào)公報(bào)所說明的碰撞防止裝置中，環(huán)狀碰撞檢測部被設(shè)置成覆蓋非接觸式探針，當(dāng)碰撞檢測部相對(duì)于非接觸式探針移位時(shí)，會(huì)檢測到相對(duì)移位并下達(dá)指令以停止移位或退避。

為了使日本特許第3831561號(hào)公報(bào)中說明的碰撞防止裝置在防止三維移 位中的任一方向上的碰撞方面有效，使用覆蓋非接觸式探針的外周的環(huán)狀碰撞檢測部。然而，在以下條件下，根據(jù)日本特許第3831561號(hào)公報(bào)的碰撞防止裝置可能不完全有效。

首先，在操作部分設(shè)置于探針的表面并且操作者操作該操作部分的情況下。利用上述碰撞防止裝置，環(huán)狀碰撞檢測部可能會(huì)隱藏該操作部分，從而可能防止操作者操作該探針上的該操作部分。

其次，在被測物體的被測表面是平坦的并且不包括高度方向上的凹凸的情況下。利用該被測物體，不存在在沿X軸方向和Y軸方向(這兩方向均沿著被測表面)移位時(shí)被碰撞的風(fēng)險(xiǎn)。僅防止在Z軸方向上的碰撞就足夠了。然而，上述碰撞防止裝置使用包圍Z軸區(qū)域的環(huán)狀碰撞檢測部。該構(gòu)造是過剩的。

再次，在探針的Z軸方向上的工作距離極小的情況下。利用上述碰撞防止裝置，為了響應(yīng)接觸，要求一定的移位距離。另外，即使當(dāng)環(huán)狀碰撞檢測部的一部分在沿Z軸方向移位的同時(shí)與被測物體的平坦表面接觸時(shí)，在一些情況下，直至沿Z軸方向進(jìn)一步移位并且環(huán)狀碰撞檢測部的大部分發(fā)生接觸為止，不能檢測到該接觸，從而不能使移位安全地停止。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的非限制性特征提供一種如下測量機(jī)的碰撞防止裝置：該碰撞防止裝置具有不覆蓋非接觸式探針的簡單結(jié)構(gòu)，并且即使當(dāng)Z軸方向上的移位距離小時(shí)也能夠檢測接觸。

本發(fā)明涉及在使被測物體和非接觸式探針相對(duì)移位的同時(shí)測量被測物體的尺寸等的測量機(jī)的碰撞防止裝置。該碰撞防止裝置包括：棒狀的沖突構(gòu)件，其與非接觸式探針并排地延伸；支撐機(jī)構(gòu)，其以使得沖突構(gòu)件的前端比非接觸式探針突出的方式支撐沖突構(gòu)件；以及開關(guān)，其檢測沖突構(gòu)件與被測 物體之間的碰撞。

利用本發(fā)明，使用支撐機(jī)構(gòu)使棒狀的沖突構(gòu)件與非接觸式探針并排地設(shè)置。在該情形下，沖突構(gòu)件的前端比非接觸式探針突出。因此，當(dāng)非接觸式探針靠近被測物體時(shí)，沖突構(gòu)件的前端會(huì)在非接觸式探針與被測物體之間發(fā)生碰撞之前與被測物體發(fā)生碰撞。通過開關(guān)檢測碰撞，從而能夠使移位停止。

在本發(fā)明中，沖突構(gòu)件為棒狀，因此沖突構(gòu)件不覆蓋非接觸式探針。即使在非接觸式探針包括操作部分的情況下，沖突構(gòu)件也不會(huì)妨礙操作者的操作。另外，因?yàn)闆_突構(gòu)件為棒狀，所以能夠使結(jié)構(gòu)比傳統(tǒng)的環(huán)狀碰撞檢測部的結(jié)構(gòu)簡單。另外，能夠在棒狀沖突構(gòu)件的前端與被測物體接觸時(shí)檢測到碰撞，從而能夠比傳統(tǒng)的環(huán)狀碰撞檢測部更可靠地執(zhí)行碰撞檢測和移位中止。

在根據(jù)本發(fā)明的測量機(jī)的碰撞防止裝置中，優(yōu)選地，沖突構(gòu)件包括沿該沖突構(gòu)件的長度方向伸縮的伸縮機(jī)構(gòu)。

在本發(fā)明中，伸縮機(jī)構(gòu)伸縮，由此能夠使沖突構(gòu)件的前端沿該沖突構(gòu)件的長度方向移位，從而減輕了被測物體被碰撞時(shí)的沖擊，并且能夠防止被測物體損壞等。同樣地，為了防止被測物體的損壞等，沖突構(gòu)件的前端可以由合成樹脂成型品構(gòu)成。

在根據(jù)本發(fā)明的測量機(jī)的碰撞防止裝置中，優(yōu)選地，支撐機(jī)構(gòu)包括能夠調(diào)節(jié)沖突構(gòu)件的長度方向上的支撐位置的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。

在本發(fā)明中，能夠通過調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)來調(diào)節(jié)沖突構(gòu)件的前端的位置。通過該調(diào)節(jié)，能夠調(diào)節(jié)沖突構(gòu)件的前端突出超過非接觸式探針的量，從而能夠調(diào)節(jié)碰撞檢測的特性。另外，即使在非接觸式探針的尺寸已經(jīng)發(fā)生變化的情況下，也能夠調(diào)節(jié)沖突構(gòu)件的支撐位置以適應(yīng)該變化。

在根據(jù)本發(fā)明的測量機(jī)的碰撞防止裝置中，優(yōu)選地，支撐機(jī)構(gòu)包括使沖突構(gòu)件退避的退避機(jī)構(gòu)。

在本發(fā)明中，使用退避機(jī)構(gòu)，能夠使沖突構(gòu)件從執(zhí)行碰撞檢測的位置 (即，能與被測物體接觸的位置)退避至不與被測物體接觸的位置。不與被測物體接觸的位置至少可以包括沖突構(gòu)件的前端不突出超過非接觸式探針的前端的狀態(tài)。因此，在不必進(jìn)行碰撞檢測情況下(例如，在非接觸式探針沿著被測物體的表面移位的情況下)，通過使沖突構(gòu)件提前退避，能夠在沖突構(gòu)件與被測物體之間的不必要的接觸發(fā)生之前防止該接觸。

在根據(jù)本發(fā)明的測量機(jī)的碰撞防止裝置中，優(yōu)選地，支撐機(jī)構(gòu)包括探針切換機(jī)構(gòu)，該探針切換機(jī)構(gòu)能夠根據(jù)非接觸式探針的種類來切換沖突構(gòu)件的長度方向上的支撐位置。

在本發(fā)明中，使用探針切換機(jī)構(gòu)，能夠根據(jù)非接觸式探針的種類來切換沖突構(gòu)件的支撐位置。因此，即使在非接觸式探針的種類已經(jīng)發(fā)生變化的情況下，也能夠相對(duì)于非接觸式探針以預(yù)定的關(guān)系維持沖突構(gòu)件的前端的位置。

根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種如下測量機(jī)的碰撞防止裝置：該碰撞防止裝置具有不覆蓋非接觸式探針的簡單結(jié)構(gòu)，并且即使當(dāng)Z軸方向上的移位距離小時(shí)也能夠檢測接觸。

附圖說明

在以下的詳細(xì)說明中，通過本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的非限定性示例、參照已注明的多個(gè)附圖來進(jìn)一步說明本發(fā)明，在附圖的若干視圖中，用相同的附圖標(biāo)記表示相似的部件，在附圖中：

圖1是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的坐標(biāo)測量裝置的主視圖；

圖2是根據(jù)上述實(shí)施方式的非接觸式探針和碰撞防止裝置的放大立體圖；

圖3是根據(jù)上述實(shí)施方式的碰撞防止裝置的相關(guān)部分的放大側(cè)視圖；

圖4是根據(jù)上述實(shí)施方式的碰撞防止裝置的未沖突狀態(tài)的截面圖；以及

圖5是根據(jù)上述實(shí)施方式的碰撞防止裝置的沖突狀態(tài)的截面圖。

具體實(shí)施方式

本文中示出的細(xì)節(jié)僅作為示例且僅用于示例性說明本發(fā)明的實(shí)施方式的目的，并且出于提供對(duì)本發(fā)明的原理和概念方面來說被認(rèn)為是最有用且最易理解的說明而提出。在這方面，不再試圖示出比對(duì)本發(fā)明的基本理解所必要的更詳細(xì)的本發(fā)明的結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)，結(jié)合附圖進(jìn)行說明可以使本領(lǐng)域技術(shù)人員明了在實(shí)踐中本發(fā)明的形式是如何實(shí)施的。

以下，參照附圖說明本發(fā)明的實(shí)施方式。

坐標(biāo)測量裝置

在圖1中，坐標(biāo)測量裝置10包括位于基臺(tái)11的上表面的臺(tái)架(stage)12和門狀的柱13?；瑒?dòng)件15支撐在柱13的橫梁14上?；瑒?dòng)件15具有被設(shè)置成向下指向的撞棒(ram)16，非接觸式探針17安裝于撞棒16的前端。

在坐標(biāo)測量裝置10中，臺(tái)架12能夠相對(duì)于基臺(tái)11沿X軸方向移位；滑動(dòng)件15能夠沿著橫梁14進(jìn)行Y軸移位；撞棒16能夠相對(duì)于滑動(dòng)件15進(jìn)行Z軸移位。這種沿著各軸的移位能夠使非接觸式探針17相對(duì)于臺(tái)架12移位至期望的三維位置。

工件9(被測物體)載置于臺(tái)架12。工件9的表面是平坦的，并且通過非接觸式探針17測量該表面的精細(xì)形狀。非接觸式探針17拍攝工件9的表面的圖像并通過圖像處理來測量該表面的精細(xì)形狀。

如圖2所示，非接觸式探針17包括矩形柱狀(rectangaular columnar)的探針主體171。向下延伸的鏡筒172設(shè)置于探針主體171。攝像用的光學(xué)系統(tǒng)收納在鏡筒172中，場鏡173設(shè)置于鏡筒172的底端。

當(dāng)利用非接觸式探針17測量工件9的表面時(shí)，場鏡173靠近工件9的表面。在該靠近期間，為了防止非接觸式探針17與工件9的表面之間發(fā)生碰撞，碰 撞防止裝置20設(shè)置于非接觸式探針17。

碰撞防止裝置20

碰撞防止裝置20包括作為沖突構(gòu)件(還稱作“桿”)的主軸21以及與非接觸式探針17并排地支撐主軸21的支撐機(jī)構(gòu)22(還稱作“支撐件”)。如圖3所示，主軸21的軸線Ab與非接觸式探針17的光路的軸線Ap平行地設(shè)置。

另外，主軸21的前端被支撐成比非接觸式探針17的場鏡173的前端突出。換言之，當(dāng)非接觸式探針17靠近工件9的表面時(shí)，主軸21的前端與工件9的表面之間的距離Db被限定成小于場鏡173的前端與工件9的表面之間的距離Dp(即，比場鏡173的前端與工件9的表面之間的距離Dp近)。

支撐機(jī)構(gòu)22

支撐機(jī)構(gòu)22包括支撐臂220、上部臂221、中間臂222和下部塊223。支撐臂220為矩形棒狀并向下指向地固定于探針主體17的底表面的一個(gè)角。上部臂221被形成為矩形棒狀。上部臂221的預(yù)定長度位于支撐臂220的表面(側(cè)表面)上，這兩個(gè)構(gòu)件通過擰緊多個(gè)螺栓而彼此固定。

中間臂222被形成為矩形棒狀。中間臂222的預(yù)定長度位于上部臂221的表面(與附接于支撐臂220的側(cè)表面正交的側(cè)表面)上，這兩個(gè)構(gòu)件通過擰緊多個(gè)螺栓而彼此固定。下部塊223被形成為箱狀并固定于中間臂222的底端部。另外，主軸21支撐在下部塊223的底表面?zhèn)取?/p>

調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)224、退避機(jī)構(gòu)225和探針切換機(jī)構(gòu)226設(shè)置于支撐臂220、上部臂221、中間臂222和下部塊223。

調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)224

通過松開使上部臂221和支撐臂220固定的多個(gè)螺栓，能夠沿上部臂221和支撐臂220的各長度方向微小距離地調(diào)節(jié)上部臂221相對(duì)于支撐臂220的固定位置。這樣構(gòu)成了調(diào)節(jié)主軸21的長度方向上的支撐位置的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)224。

使用這種調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)224，能夠調(diào)節(jié)主軸21的前端突出超過非接觸式探針 17的前端的量(以上記錄的距離Db與距離Dp之間的差)，從而能夠調(diào)節(jié)碰撞防止的靈敏度。

退避機(jī)構(gòu)225

通過松開使中間臂222和上部臂221固定的多個(gè)螺栓，能夠沿中間臂222和上部臂221的各長度方向以與調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)224的調(diào)節(jié)范圍相比大得多的距離地變更中間臂222相對(duì)于上部臂221的固定位置。這樣構(gòu)成使主軸21從正常支撐位置退避或縮回的退避機(jī)構(gòu)(還稱作“縮回件”)225。

使用這種退避機(jī)構(gòu)225，主軸21能夠退避，直至主軸21的前端部不突出超過非接觸式探針17的前端為止，從而能夠避免在不需要主軸21用于碰撞防止時(shí)主軸與工件9等之間的干涉。使用退避機(jī)構(gòu)225，主軸21的移位量為例如10mm。

探針切換機(jī)構(gòu)226

下部塊223和中間臂222彼此固定的部分被處理成能夠在多個(gè)位置處接合的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)(例如，具有鎖定件(latch)的導(dǎo)軌機(jī)構(gòu))，從而使下部塊223能夠在中間臂222的長度方向上的多個(gè)位置處固定。

在本示例中，根據(jù)非接觸式探針17的種類來限定能夠供下部塊223固定的多個(gè)位置。換言之，通過指定非接觸式探針17為第一探針時(shí)的第一位置和非接觸式探針17為第二探針時(shí)的第二位置，能夠使主軸21的前端相對(duì)于探針的前端以適當(dāng)?shù)耐怀隽慷ㄎ弧?/p>

這樣構(gòu)成能夠根據(jù)非接觸式探針17的種類來切換主軸21的長度方向上的支撐位置的探針切換機(jī)構(gòu)(還稱作“探針切換件”)226。使用探針切換機(jī)構(gòu)226，主軸21的例如向上和向下兩者的移位量為2.2mm。

主軸21

主軸21為由上述支撐機(jī)構(gòu)22與非接觸式探針17并排地支撐的棒狀構(gòu)件，使得主軸21的前端比非接觸式探針17突出。圖4和圖5示出了主軸21的內(nèi)部結(jié) 構(gòu)。另外，盡管圖4和圖5均為沿著主軸21的軸線Ab的截面圖，但是分別示出了彼此相差90°的取向處的截面。

在圖4和圖5中，主軸21包括中空筒狀的主軸主體211以及能夠移位穿出主軸主體211內(nèi)部的移位構(gòu)件212。主軸主體211的上端側(cè)從支撐機(jī)構(gòu)22的下部塊223的底表面?zhèn)炔迦胂虏繅K223，并且通過設(shè)定螺釘213固定就位。

端構(gòu)件216安裝于移位構(gòu)件212的頂端。端構(gòu)件216與主軸主體211的套筒215的頂端抵接，以限制向下移位。臺(tái)階形成于移位構(gòu)件212的中間部。歸因于該臺(tái)階，移位構(gòu)件212的上側(cè)遍及預(yù)定長度地具有比臺(tái)階靠下的部分的直徑小的直徑。螺旋彈簧214安裝于該小直徑部的外周。

螺旋彈簧214的底端與位于移位構(gòu)件212的中間部的臺(tái)階接合。套筒215設(shè)置在主軸主體211與移位構(gòu)件212之間，螺旋彈簧214的上端側(cè)接合于設(shè)置于套筒215的頂端的突起。

通過螺旋彈簧214對(duì)移位構(gòu)件212施加相對(duì)于主軸主體211向下的力。因此，移位構(gòu)件212受到螺旋彈簧214施加的向下的力，通常地維持了移位構(gòu)件212的移位下限(即，端構(gòu)件216與套筒215抵接的狀態(tài))。

合成樹脂制的片210安裝于移位構(gòu)件212的底端。在移位構(gòu)件212處于移位下限的常規(guī)狀態(tài)下，片210與主軸主體211的前端之間存在間隔Db0(參見圖4)。在該狀態(tài)下，如所記錄的，端構(gòu)件216和套筒215處于彼此接觸的狀態(tài)。

在該示例中，在片210碰到工件9等的情況下，當(dāng)有向上的外力施加于移位構(gòu)件212時(shí)，移位構(gòu)件212抵抗螺旋彈簧214的施力并向上移位，從而使到主軸主體211的前端的間隔減小至Db1(參見圖5)。在該狀態(tài)下，端構(gòu)件216遠(yuǎn)離套筒215，從而在這兩者之間產(chǎn)生間隔ΔDb。

以該方式，在主軸21中，移位構(gòu)件212相對(duì)于主軸主體211進(jìn)退，因而主軸21至片210的長度發(fā)生變化。這樣在主軸21中構(gòu)成伸縮機(jī)構(gòu)(還稱作“移位件”)219。在該情況下，片210的移位量(即，主軸21的伸縮量)為間隔 ΔDb＝Db0-Db1。間隔ΔDb(伸縮量)為例如1.2mm。

開關(guān)23

碰撞防止裝置20包括檢測主軸21與工件9之間的碰撞的開關(guān)23。開關(guān)23設(shè)置有：外筒231，其與主軸主體211的頂端連接；內(nèi)筒232，其與端構(gòu)件216連接；固定觸點(diǎn)233，其穿過外筒231的上部；以及移位觸點(diǎn)234，其穿過內(nèi)筒232的頂端附近。

固定觸點(diǎn)233和移位觸點(diǎn)234沿相互交叉的方向設(shè)置，并且能夠在各自的中間部位處彼此抵接。在移位構(gòu)件212處于移位下限的狀態(tài)下(參見圖4)，在主軸21中，端構(gòu)件216與套筒215彼此接觸，固定觸點(diǎn)233與移位觸點(diǎn)234也彼此接觸。由此固定觸點(diǎn)233和移位觸點(diǎn)234進(jìn)入電導(dǎo)通狀態(tài)。

同時(shí)，在片210與工件9發(fā)生碰撞的情況下，例如，在移位構(gòu)件212向上移位的情況下(參見圖5)，端構(gòu)件216與套筒215之間產(chǎn)生間隔ΔDb，固定觸點(diǎn)233與移位觸點(diǎn)234之間也產(chǎn)生間隔ΔDb。由此固定觸點(diǎn)233和移位觸點(diǎn)234進(jìn)入電絕緣狀態(tài)。因此，能夠通過在外部電路中監(jiān)測固定觸點(diǎn)233與移位觸點(diǎn)234之間是否存在導(dǎo)通來檢測主軸21與工件9之間的沖突。

如圖2所示，開關(guān)23配置于主軸21的頂端部并與該頂端部一起容納在下部塊223的內(nèi)部。另外，來自開關(guān)23的固定觸點(diǎn)233和移位觸點(diǎn)234的配線的路線為沿著支撐機(jī)構(gòu)22向上，并且該配線能夠經(jīng)由設(shè)置在探針主體171附近的配線盒235與探針主體171的配線連接。

實(shí)施方式的效果

根據(jù)上述實(shí)施方式能夠獲得以下優(yōu)點(diǎn)。在本實(shí)施方式中，使用支撐機(jī)構(gòu)22使棒狀的主軸21(沖突構(gòu)件)與非接觸式探針17并排地設(shè)置。在該情況下，主軸21的前端被配置成比非接觸式探針17突出。因此，當(dāng)非接觸式探針17靠近工件9(被測物體)時(shí)，主軸21的前端會(huì)在非接觸式探針17與工件9之間發(fā)生沖突之前與工件9發(fā)生碰撞。通過開關(guān)23檢測碰撞，從而能夠使移位停止。

在本實(shí)施方式中，主軸21為棒狀，因此主軸21不覆蓋非接觸式探針17。即使當(dāng)非接觸式探針17包括操作部分時(shí)，主軸21也不會(huì)妨礙操作者的操作。另外，因?yàn)橹鬏S21為棒狀，所以能夠使結(jié)構(gòu)比傳統(tǒng)的環(huán)狀碰撞檢測部的結(jié)構(gòu)簡單。另外，能夠在棒狀主軸21的前端與工件9接觸時(shí)檢測到碰撞，從而能夠比傳統(tǒng)的環(huán)狀碰撞檢測部更可靠地執(zhí)行碰撞檢測和移位中止。

在本實(shí)施方式中，主軸21包括伸縮機(jī)構(gòu)219。因此，主軸21能夠在主軸21的前端與工件9接觸時(shí)伸縮，并且主軸21的前端(片210)能夠沿主軸21的長度方向移位，從而能夠減輕當(dāng)與工件9發(fā)生碰撞時(shí)的沖擊，并且能夠防止工件9的表面損壞等。此外。在本實(shí)施方式中，合成樹脂制的片210設(shè)置于主軸21的前端，從而能夠防止工件9的表面在接觸時(shí)發(fā)生損壞等。

在本實(shí)施方式中，能夠通過調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)224調(diào)節(jié)主軸21的前端的位置。通過該調(diào)節(jié)，能夠調(diào)節(jié)主軸21的前端突出超過非接觸式探針17的量，從而能夠調(diào)節(jié)碰撞檢測的特性。另外，即使在非接觸式探針17的尺寸已經(jīng)發(fā)生變化的情況下，也能夠調(diào)節(jié)主軸21的支撐位置以適應(yīng)該變化。

在本實(shí)施方式中，使用退避機(jī)構(gòu)225，能夠使主軸21從在碰撞檢測期間能與工件9接觸的位置退避至不與工件9接觸的位置。因此，在不必進(jìn)行碰撞檢測的情況下(例如，在非接觸式探針17沿著工件9的表面移位的情況下)，通過使主軸21提前退避，能夠在主軸21與工件9之間的不必要的接觸發(fā)生之前防止該接觸。

在本實(shí)施方式中，使用探針切換機(jī)構(gòu)226，能夠根據(jù)非接觸式探針17的種類來切換主軸21的支撐位置。因此，即使在非接觸式探針17的種類已經(jīng)發(fā)生變化的情況下，也能夠相對(duì)于非接觸式探針17以預(yù)定的關(guān)系維持主軸21的前端的位置。

變型例

本發(fā)明不限于上述實(shí)施方式，而是包括在能夠?qū)崿F(xiàn)本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)的范圍 內(nèi)的變型。例如，在支撐機(jī)構(gòu)22中，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)224、退避機(jī)構(gòu)225和探針切換機(jī)構(gòu)226是非必須的，可以任意地省略這三個(gè)機(jī)構(gòu)。

另外，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)224、退避機(jī)構(gòu)225和探針切換機(jī)構(gòu)226均具有使主軸21移位的共同點(diǎn)，這三者中的任一者可以與其余者組合。另外，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)224、退避機(jī)構(gòu)225和探針切換機(jī)構(gòu)226不限于通過松開對(duì)應(yīng)的螺栓來調(diào)節(jié)主軸21的位置，而是代替地可以采用能夠調(diào)節(jié)位置的任意現(xiàn)有的構(gòu)造。

在上述實(shí)施方式中，主軸21包括伸縮機(jī)構(gòu)219。然而，伸縮機(jī)構(gòu)219不限于經(jīng)由主軸主體211和移位構(gòu)件212執(zhí)行進(jìn)退式伸縮，而是代替地可以通過形成具有彈性構(gòu)件的主軸21來伸縮。另外，主軸21還可以為不伸縮的構(gòu)件，并且可以通過位于主軸21的前端的片210來確保緩沖。

在上述實(shí)施方式中，使用主軸21的伸縮機(jī)構(gòu)219，通過伸縮使固定觸點(diǎn)233與移位觸點(diǎn)234之間的導(dǎo)通接通和斷開；然而，代替地，開關(guān)可以具有一些其它的構(gòu)造。例如，可以通過光學(xué)傳感器來檢測移位構(gòu)件212相對(duì)于主軸主體211的移位。另外，主軸21的前端可以始終具有導(dǎo)電性，從而可以檢測主軸21與工件9之間的電導(dǎo)通。

本發(fā)明可以用作在使被測物體和非接觸式探針相對(duì)移位的同時(shí)測量被測物體的尺寸等的測量機(jī)的碰撞防止裝置。

注意，已經(jīng)提供的前述示例僅是出于解釋的目的，而絕不理解為是限制本發(fā)明。盡管已經(jīng)參照示例性實(shí)施方式說明了本發(fā)明，但是應(yīng)當(dāng)理解，本文中已經(jīng)使用的詞語是描述性和說明性的詞語，而不是限制性的詞語。在不超出本發(fā)明各方面的范圍和精神的情況下，可以如目前陳述的和如修改的在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)進(jìn)行改變。雖然本文已經(jīng)參照特定的結(jié)構(gòu)、材料和實(shí)施方式描述了本發(fā)明，但是本發(fā)明不意在限于本文所公開的細(xì)節(jié)；而是，本發(fā)明延伸至諸如在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)的所有在功能上等同的結(jié)構(gòu)、方法和用途。

本發(fā)明不限于上述實(shí)施方式，可以在不脫離本發(fā)明范圍的情況下進(jìn)行各種改變和變型。