技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種雙層對(duì)準(zhǔn)裝置，包括固定框架及設(shè)置在固定框架上的第一測(cè)量裝置及標(biāo)記板，標(biāo)記板設(shè)置有框架固定標(biāo)記；運(yùn)動(dòng)臺(tái)以及設(shè)置于運(yùn)動(dòng)臺(tái)上的基準(zhǔn)標(biāo)記、運(yùn)動(dòng)臺(tái)標(biāo)記，和第二測(cè)量裝置；通過(guò)第一測(cè)量裝置測(cè)量基準(zhǔn)標(biāo)記和運(yùn)動(dòng)臺(tái)標(biāo)記的相對(duì)位置關(guān)系，通過(guò)第二測(cè)量裝置測(cè)量基準(zhǔn)標(biāo)記和框架固定標(biāo)記的相對(duì)位置關(guān)系，從而獲得運(yùn)動(dòng)臺(tái)標(biāo)記和框架固定標(biāo)記的最終相對(duì)位置關(guān)系，并根據(jù)最終相對(duì)位置關(guān)系移動(dòng)所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)至設(shè)定位置。本發(fā)明相應(yīng)地還提供一種雙層對(duì)準(zhǔn)方法，系統(tǒng)中只有運(yùn)動(dòng)臺(tái)是運(yùn)動(dòng)部件。使用靜態(tài)標(biāo)定方法實(shí)現(xiàn)坐標(biāo)關(guān)系標(biāo)定，標(biāo)定精度不受運(yùn)動(dòng)臺(tái)定位精度影響，可以提高對(duì)準(zhǔn)精度。使用雙鏡頭或多鏡頭設(shè)計(jì)，配置靈活并能提高對(duì)準(zhǔn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：周許超;潘煉東;朱樹(shù)存
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.04.29
技術(shù)公布日：2017.11.07