本發(fā)明涉及光刻領(lǐng)域，尤其涉及一種雙層對準(zhǔn)裝置和雙層對準(zhǔn)方法。

背景技術(shù)：

對準(zhǔn)系統(tǒng)是半導(dǎo)體設(shè)備中的一個(gè)核心分系統(tǒng)，其對準(zhǔn)精度往往直接決定了半導(dǎo)體光刻設(shè)備所能達(dá)到的套刻精度。機(jī)器視覺對準(zhǔn)系統(tǒng)以其結(jié)構(gòu)簡單、速度快、精度高等特點(diǎn)在半導(dǎo)體設(shè)備中得到了廣泛應(yīng)用。

相對于光刻機(jī)類設(shè)備通過物鏡連接掩模板與硅片這兩個(gè)層級的坐標(biāo)關(guān)系，構(gòu)造相對簡單的類光刻機(jī)設(shè)備沒有物鏡這種精密的光學(xué)設(shè)備，必須設(shè)計(jì)新的光學(xué)結(jié)構(gòu)和控制系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)雙層對準(zhǔn)。

專利us20090251699(a1)公布了一種雙層對準(zhǔn)方案，該方案是在雙層對準(zhǔn)對象之間設(shè)計(jì)一個(gè)可以移動(dòng)的分光鏡，該分光鏡可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)對上下兩層標(biāo)記成像，對準(zhǔn)時(shí)鏡頭移動(dòng)到對準(zhǔn)工位，對準(zhǔn)完成后鏡頭移出對準(zhǔn)工位。但是這種結(jié)構(gòu)方案運(yùn)動(dòng)臺和鏡頭都是獨(dú)立運(yùn)動(dòng)部件，機(jī)械結(jié)構(gòu)復(fù)雜，同時(shí)也會增加運(yùn)動(dòng)控制復(fù)雜度，對準(zhǔn)精度和可靠性相應(yīng)降低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明提供一種雙層對準(zhǔn)裝置，包括：

固定框架及設(shè)置在所述固定框架上的第一測量裝置及標(biāo)記板，所述標(biāo)記板設(shè)置有框架固定標(biāo)記；

運(yùn)動(dòng)臺以及設(shè)置于所述運(yùn)動(dòng)臺上的基準(zhǔn)標(biāo)記、運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記，和第二測量裝置；通過所述第一測量裝置，測量所述基準(zhǔn)標(biāo)記和所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記的相對位置關(guān)系，通過所述第二測量裝置，測量所述基準(zhǔn)標(biāo)記和所述框架固定標(biāo)記的相對位置關(guān)系，從而獲得所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記和所述框架固定標(biāo)記的最終相對位置關(guān)系，并根據(jù)所述最終相對位置關(guān)系移動(dòng)所述運(yùn)動(dòng)臺至設(shè)定位置。

可選的，所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記為設(shè)置在所述運(yùn)動(dòng)臺上被測對象上的標(biāo)記，可以 隨所述運(yùn)動(dòng)臺運(yùn)動(dòng)。

可選的，所述第二測量裝置為分光鏡，所述分光鏡使得所述框架固定標(biāo)記和基準(zhǔn)標(biāo)記同時(shí)進(jìn)入其兩個(gè)視場，以測量所述框架固定標(biāo)記和基準(zhǔn)標(biāo)記的相對位置。

可選的，所述框架固定標(biāo)記包括兩個(gè)標(biāo)記點(diǎn)，通過所述運(yùn)動(dòng)臺的移動(dòng)，分別使得該兩個(gè)標(biāo)記點(diǎn)進(jìn)入所述第二測量裝置的同一個(gè)視場，據(jù)此計(jì)算該兩個(gè)標(biāo)記點(diǎn)到基準(zhǔn)標(biāo)記的距離以及上述移動(dòng)的旋轉(zhuǎn)角度，以得出所述框架固定標(biāo)記和基準(zhǔn)標(biāo)記的相對位置。

可選的，通過所述運(yùn)動(dòng)臺的移動(dòng)使得所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記和基準(zhǔn)標(biāo)記分別進(jìn)入所述第一測量裝置的視場，所述第一測量裝置分別測量所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記和基準(zhǔn)標(biāo)記在所述運(yùn)動(dòng)臺上的位置，以得出所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記和基準(zhǔn)標(biāo)記的相對位置關(guān)系。

可選的，所述框架固定標(biāo)記和基準(zhǔn)標(biāo)記分別包括第一標(biāo)定標(biāo)記和第二標(biāo)定標(biāo)記，分別用于對所述第二測量裝置同固定框架的坐標(biāo)關(guān)系，以及所述第一測量裝置同運(yùn)動(dòng)臺的坐標(biāo)關(guān)系進(jìn)行靜態(tài)標(biāo)定。

可選的，所述第一測量裝置的數(shù)量有多個(gè)，多個(gè)第一測量裝置同時(shí)測量所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記和基準(zhǔn)標(biāo)記在所述運(yùn)動(dòng)臺上的位置。

可選的，所述的雙層對準(zhǔn)裝置還包括分別連接所述第二測量裝置和所述第一測量裝置的第一光源和第二光源，用于為所述第二測量裝置和所述第一測量裝置提供視場。

可選的，所述的雙層對準(zhǔn)裝置還包括連接所述第二測量裝置和第一測量裝置的兩個(gè)相機(jī)，通過在所述相機(jī)上對所述框架固定標(biāo)記、運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記和基準(zhǔn)標(biāo)記成像。

可選的，所述第二測量裝置包括：

兩個(gè)反光鏡，用于將所述第一光源的光分別反射為兩個(gè)視場，供所述框架固定標(biāo)記和基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)入，并未所述框架固定標(biāo)記和基準(zhǔn)標(biāo)記提供成像光；以及

兩個(gè)透鏡，分別用于透過入射光和成像光。

本發(fā)明還提供一種雙層對準(zhǔn)方法，包括：

提供固定框架以及設(shè)置于所述固定框架上的第一測量裝置及標(biāo)記板，所述 標(biāo)記板設(shè)置有框架固定標(biāo)記；

提供運(yùn)動(dòng)臺以及設(shè)置于所述運(yùn)動(dòng)臺上的運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記、基準(zhǔn)標(biāo)記和第二測量裝置；

第一測量裝置測量所述基準(zhǔn)標(biāo)記和所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記的相對位置關(guān)系；

第二測量裝置測量所述基準(zhǔn)標(biāo)記和所述框架固定標(biāo)記的相對位置關(guān)系；

獲得所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記和所述框架固定標(biāo)記的最終相對位置關(guān)系；以及

運(yùn)動(dòng)臺根據(jù)所述最終相對位置關(guān)系移動(dòng)至設(shè)定位置。

本發(fā)明提供一種雙層對準(zhǔn)裝置，包括固定框架及設(shè)置在所述固定框架上的第一測量裝置及標(biāo)記板，所述標(biāo)記板設(shè)置有框架固定標(biāo)記；運(yùn)動(dòng)臺以及設(shè)置于所述運(yùn)動(dòng)臺上的基準(zhǔn)標(biāo)記、運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記，和第二測量裝置；通過所述第一測量裝置，測量所述基準(zhǔn)標(biāo)記和所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記的相對位置關(guān)系，通過所述第二測量裝置，測量所述基準(zhǔn)標(biāo)記和所述框架固定標(biāo)記的相對位置關(guān)系，從而獲得所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記和所述框架固定標(biāo)記的最終相對位置關(guān)系，并根據(jù)所述最終相對位置關(guān)系移動(dòng)所述運(yùn)動(dòng)臺至設(shè)定位置。。本發(fā)明相應(yīng)地還提供一種雙層對準(zhǔn)方法，使用分光鏡結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)對兩條光路的同時(shí)成像，分光鏡安裝在運(yùn)動(dòng)臺上。系統(tǒng)中只有運(yùn)動(dòng)臺是運(yùn)動(dòng)部件，使用靜態(tài)標(biāo)定方法實(shí)現(xiàn)坐標(biāo)關(guān)系標(biāo)定，標(biāo)定精度不受運(yùn)動(dòng)臺定位精度影響，可以提高對準(zhǔn)精度。使用雙鏡頭或多鏡頭設(shè)計(jì)，配置靈活并能提高對準(zhǔn)效率。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一實(shí)施例所述雙層對準(zhǔn)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明一實(shí)施例所述雙層對準(zhǔn)裝置中第二測量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明一實(shí)施例所述雙層對準(zhǔn)裝置中框架固定標(biāo)記的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明一實(shí)施例所述雙層對準(zhǔn)裝置中基準(zhǔn)標(biāo)記的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明一實(shí)施例所述雙層對準(zhǔn)方法的流程圖；

圖6為本發(fā)明一實(shí)施例所述雙層對準(zhǔn)方法的具體流程圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡 化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實(shí)施例的目的。

本發(fā)明提供一種雙層對準(zhǔn)裝置，如圖1所示，包括：

固定框架40以及設(shè)置于所述固定框架40上的第一測量裝置50及標(biāo)記板41，所述標(biāo)記板41上設(shè)置有框架固定標(biāo)記20；

運(yùn)動(dòng)臺60以及設(shè)置于所述運(yùn)動(dòng)臺60上的基準(zhǔn)標(biāo)記30、運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70和第二測量裝置10；通過所述第一測量裝置50，測量所述基準(zhǔn)標(biāo)記30和所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70的相對位置關(guān)系，通過所述第二測量裝置10，測量所述基準(zhǔn)標(biāo)記30和所述框架固定標(biāo)記20的相對位置關(guān)系，從而獲得所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70和所述框架固定標(biāo)記20的最終相對位置關(guān)系，并根據(jù)所述最終相對位置關(guān)系關(guān)系移動(dòng)所述運(yùn)動(dòng)臺70至設(shè)定位置。

在本實(shí)施例中，上述第二測量裝置10為分光鏡，第一測量裝置50為鏡頭。雙層對準(zhǔn)裝置由分光鏡10、框架固定標(biāo)記20、基準(zhǔn)標(biāo)記30、固定框架40和標(biāo)記板41、鏡頭50、運(yùn)動(dòng)臺60、運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70、第二光源80和第一光源81、相機(jī)90和91組成。其中，框架固定標(biāo)記20固定在固定框架40上，不能移動(dòng)；而基準(zhǔn)標(biāo)記30固定在運(yùn)動(dòng)臺60上，可以隨運(yùn)動(dòng)臺60運(yùn)動(dòng)。固定框架40用于固定相機(jī)90、第二光源80、鏡頭50和標(biāo)記板41等組件，所述標(biāo)記板41連接所述固定框架41，用于設(shè)置框架固定標(biāo)記20。分別連接所述分光鏡10和所述鏡頭50的第一光源81和第二光源80，用于為所述分光鏡10和所述鏡頭50提供光源和視場。

運(yùn)動(dòng)臺60可以帶著分光鏡10、基準(zhǔn)標(biāo)記30和運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70運(yùn)動(dòng)，有x、y、z、rz、rx、ry6自由度。運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70是運(yùn)動(dòng)臺60上被測對象上的標(biāo)記，可以隨運(yùn)動(dòng)臺60運(yùn)動(dòng)。鏡頭50可以將基準(zhǔn)標(biāo)記30和運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70標(biāo)記成像在相機(jī)90的靶面。

本發(fā)明的雙層對準(zhǔn)裝置的目的是確定標(biāo)記板41與運(yùn)動(dòng)臺60的相對位置關(guān)系，也即框架固定標(biāo)記20和運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70的相對位置關(guān)系(坐標(biāo)位置轉(zhuǎn)換關(guān)系)。本發(fā)明設(shè)計(jì)專有光機(jī)結(jié)構(gòu)、坐標(biāo)位置轉(zhuǎn)換關(guān)系標(biāo)定和對準(zhǔn)策略流程實(shí)現(xiàn)對準(zhǔn)功能。

具體而言，測量所述框架固定標(biāo)記20和所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70的相對位置關(guān)系的方式是：分別測量所述框架固定標(biāo)記20和基準(zhǔn)標(biāo)記30的相對位置關(guān)系， 以及所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70和基準(zhǔn)標(biāo)記30的相對位置關(guān)系后，得出所述框架固定標(biāo)記20和所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70的相對位置關(guān)系。

測量所述框架固定標(biāo)記20和所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70的相對位置關(guān)系的過程即為本發(fā)明中的對準(zhǔn)過程，該過程具體如下：

步驟一：計(jì)算固定框架41同運(yùn)動(dòng)臺60位置關(guān)系，即計(jì)算框架固定標(biāo)記20同基準(zhǔn)標(biāo)記30的位置關(guān)系。分光鏡10使得所述框架固定標(biāo)記20和基準(zhǔn)標(biāo)記30同時(shí)進(jìn)入其兩個(gè)視場，以測量所述框架固定標(biāo)記20和基準(zhǔn)標(biāo)記30的相對位置。另外，如圖3所示，框架固定標(biāo)記20包括兩個(gè)標(biāo)記點(diǎn)201和202，通過所述運(yùn)動(dòng)臺60的移動(dòng)，分別使得該兩個(gè)標(biāo)記點(diǎn)進(jìn)入所述分光鏡10的同一個(gè)視場，據(jù)此計(jì)算該兩個(gè)標(biāo)記點(diǎn)到基準(zhǔn)標(biāo)記30的距離以及上述移動(dòng)的旋轉(zhuǎn)角度，以得出所述框架固定標(biāo)記20和基準(zhǔn)標(biāo)記30的相對位置。

步驟一具體為：

1、運(yùn)動(dòng)臺60移動(dòng)使標(biāo)記點(diǎn)201進(jìn)入分光鏡10的視場，此時(shí)基準(zhǔn)標(biāo)記30也在分光鏡10的另一個(gè)視場，計(jì)算標(biāo)記點(diǎn)201和基準(zhǔn)標(biāo)記30上標(biāo)記點(diǎn)302的相對距離；(如圖4所示，基準(zhǔn)標(biāo)記30包括標(biāo)記點(diǎn)302)

2、運(yùn)動(dòng)臺60移動(dòng)使標(biāo)記點(diǎn)202進(jìn)入分光鏡10的視場，移動(dòng)距離等于標(biāo)記點(diǎn)201和202的名義距離，此時(shí)標(biāo)記點(diǎn)302也在分光鏡10的視場，計(jì)算標(biāo)記點(diǎn)202和302的相對距離；

3、根據(jù)1和2結(jié)果計(jì)算出框架固定標(biāo)記20同基準(zhǔn)標(biāo)記30的標(biāo)記點(diǎn)302的相對位置關(guān)系，并計(jì)算標(biāo)記點(diǎn)201和202的旋轉(zhuǎn)角度rz，即固定框架40相對運(yùn)動(dòng)臺60的旋轉(zhuǎn)量rz，以及框架固定標(biāo)記20相對基準(zhǔn)標(biāo)記30位置。

步驟二：以鏡頭50安裝位置為基準(zhǔn)，計(jì)算運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70同基準(zhǔn)標(biāo)記30的相對位置。所述測量裝置還包括設(shè)置于所述固定框架40上的鏡頭50，通過所述運(yùn)動(dòng)臺60的移動(dòng)使得所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70和基準(zhǔn)標(biāo)記30分別進(jìn)入所述鏡頭50的視場，所述鏡頭50分別測量所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70和基準(zhǔn)標(biāo)記30在所述運(yùn)動(dòng)臺60上的位置，以得出所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70和基準(zhǔn)標(biāo)記30的相對位置關(guān)系。

步驟二具體為：

1、運(yùn)動(dòng)臺60移動(dòng)使運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70進(jìn)入鏡頭50視場，計(jì)算運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70的像素位置，并根據(jù)當(dāng)前運(yùn)動(dòng)臺60的坐標(biāo)位置計(jì)算運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70在運(yùn)動(dòng)臺60坐標(biāo)系位置；

2、運(yùn)動(dòng)臺60移動(dòng)使基準(zhǔn)標(biāo)記30進(jìn)入鏡頭50視場，計(jì)算基準(zhǔn)標(biāo)記30的像素位置，并根據(jù)當(dāng)前運(yùn)動(dòng)臺60的坐標(biāo)位置計(jì)算基準(zhǔn)標(biāo)記30在運(yùn)動(dòng)臺60坐標(biāo)系位置；

3、根據(jù)1和2結(jié)果計(jì)算運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70同基準(zhǔn)標(biāo)記30的相對位置關(guān)系；

步驟三：重復(fù)步驟一和二可以測得多個(gè)標(biāo)記相對位置，由于多點(diǎn)對準(zhǔn)模型精度較高，一般需要測出三個(gè)以上標(biāo)記位置。根據(jù)框架固定標(biāo)記20與基準(zhǔn)標(biāo)記30位置關(guān)系，以及基準(zhǔn)標(biāo)記30同運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70的位置關(guān)系，計(jì)算出框架固定標(biāo)記20同運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70的相對位置關(guān)系，也即上下兩層的對準(zhǔn)關(guān)系。

步驟四：移動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺60到步驟三計(jì)算出的坐標(biāo)位置，完成裝置的對準(zhǔn)動(dòng)作。

在另一實(shí)施例中，為提高對準(zhǔn)效率鏡頭50可以設(shè)置多個(gè)，以同時(shí)測量所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70和基準(zhǔn)標(biāo)記30在所述運(yùn)動(dòng)臺60上的位置。即同時(shí)執(zhí)行標(biāo)記位置測量，以提高對準(zhǔn)速度。

在本實(shí)施例中，所述分光鏡10詳細(xì)結(jié)構(gòu)圖如圖2所示，包括：兩個(gè)反光鏡102和104，用于將所述第一光源81的光分別反射為兩個(gè)視場，供所述框架固定標(biāo)記20和基準(zhǔn)標(biāo)記30進(jìn)入，并為所述框架固定標(biāo)記20和基準(zhǔn)標(biāo)記30提供成像光；以及兩個(gè)透鏡101和103，分別用于透過入射光和成像光。另外，在外部具有外殼保護(hù)結(jié)構(gòu)105進(jìn)行保護(hù)。第一光源81發(fā)出的光經(jīng)過鏡片組的反射和折射，可以同時(shí)為框架固定標(biāo)記20和基準(zhǔn)標(biāo)記30提供照明，框架固定標(biāo)記20和基準(zhǔn)標(biāo)記30可以同時(shí)在相機(jī)91上成像。

本發(fā)明需要完成的標(biāo)定有兩個(gè)：鏡頭10像素坐標(biāo)系同41的物理坐標(biāo)關(guān)系標(biāo)定；鏡頭50像素坐標(biāo)系同60的物理坐標(biāo)關(guān)系標(biāo)定，為避免運(yùn)動(dòng)臺定位精度對標(biāo)定精度影響，采用靜態(tài)標(biāo)定方法。如圖3和圖4所示，框架固定標(biāo)記20和基準(zhǔn)標(biāo)記30分別包括第一標(biāo)定標(biāo)記203和第二標(biāo)定標(biāo)記302，分別用于對所述分光鏡10同固定框架40的坐標(biāo)關(guān)系，以及所述鏡頭50同運(yùn)動(dòng)臺60的坐標(biāo)關(guān)系進(jìn)行靜態(tài)標(biāo)定。鏡頭10和鏡頭50標(biāo)定方法如下：

鏡頭10：框架固定標(biāo)記20設(shè)計(jì)如圖3所示，其中標(biāo)定標(biāo)記是203，標(biāo)定時(shí)標(biāo)記間距名義距離已知，根據(jù)鏡頭倍率可算出實(shí)際物理距離和每個(gè)標(biāo)定點(diǎn)相對左上角第一個(gè)點(diǎn)物理位置，使用圖像位置提取算法可以獲取每一個(gè)標(biāo)記相對左上角第一個(gè)標(biāo)記的像素坐標(biāo)位置，使用最小二乘法計(jì)算像素坐標(biāo)到物理坐標(biāo)的坐標(biāo)系轉(zhuǎn)化關(guān)系。由于標(biāo)記板41和運(yùn)動(dòng)臺60存在rz旋轉(zhuǎn)，對準(zhǔn)時(shí)需要先計(jì)算 旋轉(zhuǎn)量rz，計(jì)算方法如上對準(zhǔn)流程的步驟一所示，對準(zhǔn)時(shí)坐標(biāo)關(guān)系轉(zhuǎn)換需要增加rz選裝轉(zhuǎn)換。

鏡頭50：標(biāo)定流程相同，基準(zhǔn)標(biāo)記30標(biāo)記設(shè)計(jì)如圖4所示。

本發(fā)明還提供一種雙層對準(zhǔn)方法，如圖5所示，包括：

提供固定框架以及設(shè)置于所述固定框架上的框架固定標(biāo)記；

提供運(yùn)動(dòng)臺以及設(shè)置于所述運(yùn)動(dòng)臺上的運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記和測量裝置；

測量裝置測量所述框架固定標(biāo)記和所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記的相對位置關(guān)系；

運(yùn)動(dòng)臺根據(jù)所述相對位置關(guān)系移動(dòng)至設(shè)定位置。

本實(shí)施例所述的雙層對準(zhǔn)方法及前述雙層對準(zhǔn)裝置的使用方法，因此可以理解的是具有雙層對準(zhǔn)裝置的其他技術(shù)特征，在此不再贅述。本發(fā)明的雙層對準(zhǔn)方法的具體流程參見圖6，包括：

分別測量框架固定標(biāo)記20和基準(zhǔn)標(biāo)記30的坐標(biāo)關(guān)系，以及所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70和基準(zhǔn)標(biāo)記30的坐標(biāo)關(guān)系后，得出所述框架固定標(biāo)記20和所述運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70的坐標(biāo)關(guān)系；以及

移動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺60到計(jì)算結(jié)果位置。

其中，如圖6所示，測量框架固定標(biāo)記20和基準(zhǔn)標(biāo)記30的坐標(biāo)關(guān)系是通過計(jì)算標(biāo)記點(diǎn)201相對基準(zhǔn)標(biāo)記30的坐標(biāo)關(guān)系和計(jì)算標(biāo)記點(diǎn)202同基準(zhǔn)標(biāo)記30的坐標(biāo)關(guān)系獲得的。測量運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70和基準(zhǔn)標(biāo)記30的坐標(biāo)關(guān)系是通過計(jì)算運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記70相對鏡頭50的坐標(biāo)關(guān)系和計(jì)算基準(zhǔn)標(biāo)記30相對鏡頭50坐標(biāo)關(guān)系獲得的。

本發(fā)明提供一種雙層對準(zhǔn)裝置，包括固定框架及設(shè)置在固定框架上的第一測量裝置及標(biāo)記板，標(biāo)記板設(shè)置有框架固定標(biāo)記；運(yùn)動(dòng)臺以及設(shè)置于運(yùn)動(dòng)臺上的基準(zhǔn)標(biāo)記、運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記，和第二測量裝置；通過第一測量裝置測量基準(zhǔn)標(biāo)記和運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記的相對位置關(guān)系，通過第二測量裝置測量基準(zhǔn)標(biāo)記和框架固定標(biāo)記的相對位置關(guān)系，從而獲得運(yùn)動(dòng)臺標(biāo)記和框架固定標(biāo)記的最終相對位置關(guān)系，并根據(jù)最終相對位置關(guān)系移動(dòng)所述運(yùn)動(dòng)臺至設(shè)定位置。本發(fā)明相應(yīng)地還提供一種雙層對準(zhǔn)方法，系統(tǒng)中只有運(yùn)動(dòng)臺是運(yùn)動(dòng)部件。使用靜態(tài)標(biāo)定方法實(shí)現(xiàn)坐標(biāo)關(guān)系標(biāo)定，標(biāo)定精度不受運(yùn)動(dòng)臺定位精度影響，可以提高對準(zhǔn)精度。使用雙鏡頭或多鏡頭設(shè)計(jì)，配置靈活并能提高對準(zhǔn)效率。

顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明 的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包括這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。