本發(fā)明涉及檢查被排出到被排出體的液滴檢查裝置，利用該液滴檢查裝置的液滴檢查方法、程序和計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)介質(zhì)。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有技術(shù)中，已知利用有機(jī)el(electroluminescence：場(chǎng)致發(fā)光)的發(fā)光的發(fā)光二極管即有機(jī)發(fā)光二極管(oled：organiclightemittingdiode)。利用該有機(jī)發(fā)光二極管的有機(jī)el顯示器不僅薄且輕并且消耗電力低，而且還具有在響應(yīng)速度、視角、對(duì)比度方面優(yōu)異之類的優(yōu)點(diǎn)，所以近年來(lái)作為下一代平板顯示器(fpd：flatpaneldisplay)受到關(guān)注。

有機(jī)發(fā)光二極管具有在基板上的陽(yáng)極和陰極之間夾著有機(jī)el層的結(jié)構(gòu)。有機(jī)el層例如從陽(yáng)極側(cè)依次層疊空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層、電子注入層而形成。當(dāng)形成這些有機(jī)el層的各層(特別是空穴注入層、空穴傳輸層和發(fā)光層)時(shí)，例如使用以噴墨方式對(duì)基板上排出有機(jī)材料的液滴之類的方法。

但是，在有機(jī)發(fā)光二極管中，有機(jī)el層的各層分別由幾十nm的薄膜形成，所以如果在各層中的任意層例如產(chǎn)生液滴的排出不良，則其影響在使產(chǎn)品工作時(shí)顯著地顯現(xiàn)出來(lái)。因此，為了抑制這種液滴的排出不良。需要檢查排出的液滴。

例如，專利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了利用上述的噴墨方式的液滴排出裝置，在該液滴排出裝置中，設(shè)置有受到來(lái)自液體排出頭的檢查排除的檢查片、和對(duì)被檢查排出到該檢查片的液滴的擊中點(diǎn)進(jìn)行圖像識(shí)別的識(shí)別攝像機(jī)。在該液滴排出裝置中，基于識(shí)別攝像機(jī)的圖像識(shí)別，來(lái)檢查液體排出頭的各排出噴嘴是否正常排出液滴。

另外，例如在專利文獻(xiàn)2中提出了如下方案：從液滴排出頭的各排出噴嘴排出液滴，使其擊中被檢測(cè)紙，利用拍攝裝置拍攝擊中被檢測(cè)紙的液滴，基于所拍攝的圖像數(shù)據(jù)檢查液滴從噴嘴掉落或飛濺等排出噴嘴的排出不良。

另外，例如在專利文獻(xiàn)3中，提出了如下方案：當(dāng)如上所述拍攝液滴的擊中點(diǎn)時(shí)，利用包括切換式環(huán)照明器(能夠三色切換照明光)的排出檢查攝像機(jī)。具體而言，排出檢查攝像機(jī)根據(jù)液滴的種類(色調(diào))，利用切換式環(huán)照明器在切換到適當(dāng)?shù)念伾恼彰鞴庀屡臄z擊中點(diǎn)。

另外，例如在專利文獻(xiàn)4中也公開(kāi)了像這樣拍攝液滴的擊中點(diǎn)時(shí)，根據(jù)液滴的色調(diào)變更照明光的色調(diào)的方案。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2008-233833號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)2009-95725號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)3：日本特開(kāi)2010-82490號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)4：日本特開(kāi)2010-214318號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明想要解決的技術(shù)問(wèn)題

然而，形成有機(jī)el層時(shí)使用的有機(jī)材料通常為無(wú)色透明的或無(wú)色半透明的，所以難以賦予與排出該液滴的被排出體的對(duì)比度。特別是，當(dāng)被排出體也是無(wú)色透明或無(wú)色半透明時(shí)，賦予對(duì)比度變更難。另外，在有機(jī)材料的排出量為少量時(shí)，難以賦予液滴和被排出體的對(duì)比度。

這種情況下，即使利用專利文獻(xiàn)1、2所公開(kāi)的方法，如果照舊只是拍攝液滴，則無(wú)法適當(dāng)?shù)嘏臄z該液滴，另外，在專利文獻(xiàn)3、4中，雖然根據(jù)液滴的色調(diào)來(lái)改變照明光的色調(diào)，但該照明光為可視光時(shí)，還是無(wú)法適當(dāng)拍攝液滴。這樣，當(dāng)進(jìn)行液滴的檢查時(shí)，在計(jì)測(cè)液滴的大小或被排出體上的液滴的位置時(shí)，產(chǎn)生計(jì)測(cè)誤差。因此，液滴的檢查還有改善的余地。

本發(fā)明是鑒于上述的問(wèn)題而作出的，其目的在于適當(dāng)檢查被排出到被排出體的液滴。

用于解決技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)方案

為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明是一種液滴檢查裝置，其用于檢查排出到被排出體的液滴，上述液滴檢查裝置的特征在于，包括：將紫外線照射在存在上述液滴的上述被排出體上的照射區(qū)域的照射部；對(duì)上述液滴或上述被排出體發(fā)光的上述照射區(qū)域進(jìn)行拍攝的拍攝部；和基于由上述拍攝部拍攝的拍攝圖像，計(jì)測(cè)上述液滴的大小和上述被排出體上的上述液滴的位置的計(jì)測(cè)部。此外，本發(fā)明中的液體，除了粒狀的液滴之外，也包括以一定量排出到被排出體的液體。

根據(jù)本發(fā)明，從照射部對(duì)照射區(qū)域照射紫外線，使該照射區(qū)域的液滴或被排出體發(fā)光，然后由照射部拍攝該照射區(qū)域。該情況下，例如紫外線照射前的液滴為無(wú)色透明或無(wú)色半透明，或者即使液滴的排出量為少量，也使紫外線照射后的液滴或被排出體發(fā)光，由此在拍攝圖像中能夠提高液滴和被排出體的對(duì)比度。其結(jié)果是，基于該拍攝圖像，能夠適當(dāng)計(jì)測(cè)液滴的大小和被排出體上的液滴的位置，能夠抑制現(xiàn)有的計(jì)測(cè)誤差。并且，能夠適當(dāng)檢查被排出到被排出體的液滴。

上述液滴檢查裝置還可以包括：紫外線屏蔽濾光器，其設(shè)置在上述拍攝部的光軸上，用于屏蔽在上述被排出體上反射的紫外線。

上述拍攝部可以配置成該拍攝部的光軸與上述被排出體的主面垂直，上述照射部配置成從斜上方對(duì)上述液滴照射紫外線。

另外，上述拍攝部可以配置成該拍攝部的光軸與上述被排出體的主面垂直，上述照射部配置成從上述液滴的下方照射紫外線。

上述液滴檢查裝置還可以包括：用于使來(lái)自上述照射部的紫外線的光路朝向上述照射區(qū)域的光路變更部。

上述液滴檢查裝置可以設(shè)置在以噴墨方式對(duì)上述被排出體排出上述液滴的液滴排出裝置的內(nèi)部。

上述液滴可以是用于有機(jī)el層的有機(jī)材料。

根據(jù)另一觀點(diǎn)的本發(fā)明是一種液滴檢查方法，其用于檢查排出到被排出體的液滴，上述液滴檢查裝置的特征在于：從照射部將紫外線照射在存在上述液滴的上述被排出體上的照射區(qū)域，使該照射區(qū)域中的上述液滴或上述被排出體發(fā)光，由拍攝部對(duì)上述照射區(qū)域進(jìn)行拍攝，基于由上述拍攝部拍攝的拍攝圖像，計(jì)測(cè)上述液滴的大小和上述被排出體上的上述液滴的位置。

當(dāng)由上述拍攝部拍攝上述被排出體時(shí)，通過(guò)設(shè)置在該拍攝部的光軸上的紫外線屏蔽濾光器，屏蔽在上述被排出體上反射的紫外線。

上述液滴的檢查可以在以噴墨方式對(duì)上述被排出體排出上述液滴的液滴排出裝置的內(nèi)部進(jìn)行。

上述液滴可以是用于有機(jī)el層的有機(jī)材料。

另外，根據(jù)另一觀點(diǎn)的本發(fā)明，提供一種程序，在液滴檢查裝置的計(jì)算機(jī)上運(yùn)行，以使得由所述液滴檢查裝置執(zhí)行所述液滴檢查方法。

另外，根據(jù)另一觀點(diǎn)的本發(fā)明，提供一種可讀計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)介質(zhì)，其特征在于存儲(chǔ)有所述程序。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠適當(dāng)計(jì)測(cè)被排出到被排出體的液滴的大小和被排出體上的液滴的位置，能夠適當(dāng)檢查該液滴。

附圖說(shuō)明

圖1是表示本實(shí)施方式的液滴檢查裝置的結(jié)構(gòu)的概略的示意圖。

圖2是在液滴檢查裝置中拍攝的拍攝圖像的說(shuō)明圖。

圖3是表示不能進(jìn)行適當(dāng)?shù)囊旱螜z查的比較例的說(shuō)明圖。

圖4是表示另一實(shí)施方式的液滴檢查裝置的結(jié)構(gòu)的概略的示意圖。

圖5是表示另一實(shí)施方式的液滴檢查裝置的結(jié)構(gòu)的概略的示意圖。

圖6是表示另一實(shí)施方式的液滴檢查裝置的結(jié)構(gòu)的概略的示意圖。

圖7是表示包括液滴檢查裝置的基板處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的概略的平面圖。

圖8是表示有機(jī)發(fā)光二極管的結(jié)構(gòu)的概略的側(cè)視圖。

圖9是表示有機(jī)發(fā)光二極管的分隔壁多結(jié)構(gòu)的概略的平面圖。

附圖標(biāo)記

1液滴檢查裝置

10照射部

11拍攝部

12紫外線屏蔽濾光器

13a計(jì)測(cè)部

20檢查片

21液滴

22照射區(qū)域

30可視光成分

31紫外線

40、41光路變更部

100基板處理系統(tǒng)

140、160、180涂敷裝置

500有機(jī)發(fā)光二極管

530有機(jī)el層

531空穴注入層

532空穴傳輸層

533發(fā)光層

534電子傳輸層

535電子注入層

g玻璃基板。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。另外，本發(fā)明不限于以下所示的實(shí)施方式。

首先，參照?qǐng)D1，對(duì)本實(shí)施方式的液滴檢查裝置的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。圖1是表示液滴檢查裝置1的結(jié)構(gòu)的概略的示意圖。另外，各結(jié)構(gòu)要素的尺寸是為了便于容易技術(shù)上的理解，不一定對(duì)應(yīng)于實(shí)際尺寸。

液滴檢查裝置1包括照射部10、拍攝部11、紫外線屏蔽濾光器12和控制部13。液滴檢查裝置1的內(nèi)部維持在無(wú)光的暗處。并且，液滴檢查裝置1進(jìn)行被排出到作為被排出體的檢查片20的液滴21的檢查。另外，作為檢查對(duì)象的液滴21吸收紫外線而發(fā)光(磷光或熒光)。具體來(lái)說(shuō)，例如，如后所述，有機(jī)材料等為檢查對(duì)象。

照射部10配置成從傾上方對(duì)檢查片20上的液滴21照射紫外線。照射部10具有紫外線的光源(未圖示)，從該照射部10照射的紫外線的波長(zhǎng)例如為365nm。使用該波長(zhǎng)的紫外線時(shí)，能夠抑制在液滴檢查裝置1的內(nèi)部產(chǎn)生臭氧。并且，照射部10向被排出到檢查片20的液滴21照射紫外線。以下，將包括液滴21在內(nèi)、來(lái)自照射部10的紫外線照射的檢查片20上的區(qū)域稱作照射區(qū)域22。

拍攝部11向該拍攝部11的光軸與檢查片20的主面垂直的方向配置，在本實(shí)施方式中，配置在液滴21(照射區(qū)域22)的鉛垂上方。照射部11使用各種攝像機(jī)，例如能夠使用區(qū)域掃描攝像機(jī)。另外，攝像部11拍攝來(lái)自照射部10的紫外線所照射的檢查片20的照射區(qū)域22。拍攝部11拍攝的拍攝圖像輸出到后述的控制部13的計(jì)測(cè)部13a。

紫外線屏蔽濾光器12設(shè)置在拍攝部11的光軸上，在本實(shí)施方式中安裝在拍攝部11的透鏡11a。紫外線屏蔽濾光器12只要是屏蔽上述波長(zhǎng)的紫外線的行進(jìn)的，則可以使用任意的濾光器。另外，在檢查片20的照射區(qū)域22反射的紫外線被紫外線屏蔽濾光器12屏蔽而入射不到拍攝部11。

控制部13除了對(duì)液滴檢查裝置1中的照射部10和拍攝部11的動(dòng)作進(jìn)行控制以外，還基于由拍攝部11拍攝的拍攝圖像，計(jì)測(cè)液滴21的大小和檢查片20上的液滴21的位置(擊中位置)。控制部13具有計(jì)測(cè)部13a，在該計(jì)測(cè)部13a中，進(jìn)行上述的液滴21的大小和位置的計(jì)測(cè)。像這樣通過(guò)計(jì)測(cè)液滴21的大小，也能計(jì)測(cè)液滴21的重量。而且，因?yàn)轭A(yù)先判斷拍攝部11的位置，所以檢查片20上的液滴21的位置能夠根據(jù)該拍攝部11和檢查片20的關(guān)系來(lái)計(jì)測(cè)。另外，在計(jì)測(cè)部13a中，如上所述至少計(jì)測(cè)液滴21的大小和位置，但也可以計(jì)測(cè)除此之外的液滴21的尺寸或形狀。

控制部13例如為計(jì)算機(jī)，具有程序保存部(未圖示)。在程序保存部中除了用于控制照射部10和拍攝部11的動(dòng)作的程序外，還保存有對(duì)拍攝圖像進(jìn)行圖像處理的程序和基于該圖像處理過(guò)的數(shù)據(jù)計(jì)算液滴21的大小和檢查片20上的液滴21的位置的程序等。另外，上述程序也可以是例如計(jì)算機(jī)可讀取的硬盤(pán)(hd)、軟盤(pán)(fd)、光盤(pán)(cd)、磁光盤(pán)(mo)、存儲(chǔ)卡等計(jì)算機(jī)可讀取的存儲(chǔ)介質(zhì)中記錄，并且從該存儲(chǔ)介質(zhì)安裝到控制部13的程序。

接著，對(duì)利用如上所述那樣構(gòu)成的液滴檢查裝置1進(jìn)行的液滴21的檢查方法進(jìn)行說(shuō)明。

當(dāng)液滴21被排出到檢查片20時(shí)，將紫外線從照射部10照射到檢查片20上的照射區(qū)域22。這樣，位于照射區(qū)域22的液滴21吸收紫外線發(fā)光。其中，在照射區(qū)域22中，位于液滴21的周圍的檢查片20優(yōu)選使用即便紫外線照射也不發(fā)光的材料。

然后，由照射部11拍攝照射區(qū)域22。此時(shí)，在照射區(qū)域22發(fā)光的液滴21的可視光成分30和在照射區(qū)域22反射的紫外線31向鉛垂上方行進(jìn)，但上述紫外線31被紫外線屏蔽濾光器12屏蔽。

圖2表示由拍攝部11拍攝的拍攝圖像。如上所述在照射區(qū)域22中，液滴21發(fā)光，所以能夠提高液滴21和檢查片20的對(duì)比度。另外，當(dāng)檢查片20不發(fā)光時(shí)，能夠進(jìn)一步提高液滴21和檢查片20的對(duì)比度。

由拍攝部11所拍攝的拍攝圖像被輸出到控制部13的計(jì)測(cè)部13a。計(jì)測(cè)部13a中，基于拍攝圖像計(jì)測(cè)液滴21的大小和檢查片20上的液滴21的位置。這樣，進(jìn)行液滴21的檢查。

根據(jù)以上的實(shí)施方式，從照射部10向檢查片20上的液滴21照射紫外線，使該液滴21發(fā)光，然后由拍攝部11拍攝包含發(fā)光的液滴21的照射區(qū)域22。這種情況下，例如紫外線照射前的液滴21為無(wú)色透明或無(wú)色半透明的，或者即使液滴21的排出量為少量，通過(guò)使紫外線照射后的液滴21發(fā)光，仍能夠在拍攝圖像中提高液滴21和檢查片20的對(duì)比度。另外，當(dāng)在拍攝部11中拍攝照射區(qū)域22時(shí)，由紫外線屏蔽濾光器12屏蔽在照射區(qū)域22反射的紫外線31，所以能夠進(jìn)一步提高拍攝圖像中的液滴21與檢查片20的對(duì)比度。結(jié)果是，在控制部13的計(jì)測(cè)部13a中，基于該拍攝圖像，能夠適當(dāng)計(jì)測(cè)液滴21的大小和檢查片20上的液滴21的位置，能夠適當(dāng)檢查被排出到檢查片20的液滴21。

另外，在本實(shí)施方式中，當(dāng)檢查液滴21時(shí)，利用紫外線照射來(lái)使液滴21發(fā)光，但也可以使檢查片20發(fā)光。這種情況下，即使液滴21不發(fā)光，也能夠在拍攝部11拍攝的拍攝圖像中提高液滴21和檢查片20的對(duì)比度。另外，因?yàn)檫@樣不需要使液滴21發(fā)光，所以檢查對(duì)象的范圍擴(kuò)大，例如也能夠檢查抗蝕劑、色彩抗蝕劑、納米金屬墨等液滴21。

接著，對(duì)照射部10的配置進(jìn)行說(shuō)明。照射部10的配置只要紫外線31能適當(dāng)照射到照射區(qū)域22，則能夠任意選擇。例如，圖3示出紫外線31不能被適當(dāng)照射到照射區(qū)域22的比較例。如圖3所述，從照射部10照射的紫外線31照射到拍攝部11的透鏡11a的內(nèi)部時(shí)，該紫外線31被紫外線屏蔽濾光器12屏蔽，不到達(dá)檢查片20的照射區(qū)域22。因此，無(wú)法使液滴21或檢查片20發(fā)光，無(wú)法享受上述的本實(shí)施方式的效果。

對(duì)于這個(gè)問(wèn)題，在本實(shí)施方式中，因?yàn)檎丈洳?0配置成從斜上方對(duì)液滴21照射紫外線，所以能夠適當(dāng)?shù)貙⒆贤饩€從該照射部10照射到照射區(qū)域22。而且，在照射區(qū)域22反射的紫外線31不會(huì)過(guò)于變強(qiáng)烈，所以在紫外線屏蔽濾光器12中能夠可靠地屏蔽紫外線31。因此，在拍攝部11拍攝的拍攝圖像中，能夠進(jìn)一步提高液滴21和檢查片20的對(duì)比度。

另外，像這樣通過(guò)將照射部10配置在相對(duì)于液滴21位于斜上方的位置，能夠防止由擴(kuò)散光的影響導(dǎo)致拍攝圖像的質(zhì)量下降。而且，在提高拍攝圖像的質(zhì)量方面，也可以采用在照射部10和檢查片20之間配置聚光透鏡(未圖示)等的導(dǎo)光部件。

另外，照射部10的配置不限于如上述實(shí)施方式那樣相對(duì)于液滴21位于斜上方的位置，只要如上所述那樣紫外線31能適當(dāng)?shù)卣丈涞秸丈鋮^(qū)域22，就可以任意選擇。

例如，如圖4所示，照射部10也可以配置在照射區(qū)域22的鉛垂下方。這種情況下，能夠使紫外線31適當(dāng)?shù)貜恼丈洳?0照射到照射區(qū)域22。而且，與圖1所示的液滴檢查裝置1一樣，能夠減弱透射檢查片20的照射區(qū)域22的紫外線31，能夠在紫外線屏蔽濾光器12中可靠地屏蔽紫外線31。結(jié)果是，在拍攝部11拍攝的拍攝圖像中，能夠提高液滴21和檢查片20的對(duì)比度。

另外，例如也可以在液滴檢查裝置1中設(shè)置使來(lái)自照射部10的紫外線31的光路朝向照射區(qū)域22的光路變更部。例如，如圖5所示，可以在拍攝部11的下方設(shè)置反射鏡等光路變更部40?；蛘?，例如如圖6所示，可以在拍攝部11的透鏡11a的下部，設(shè)置作為與照射部10的光源連接的穹頂型的照明的光路變更部41。無(wú)論是哪一種情況，來(lái)自照射部10的紫外線31的光路均由光路變更部40、41變更為去往照射區(qū)域22。因此，能夠使紫外線31適當(dāng)?shù)貜恼丈洳?0照射到照射區(qū)域22，在拍攝部11拍攝的拍攝圖像中，能夠提高液滴21和檢查片20的對(duì)比度。

接著，對(duì)如上所述那樣構(gòu)成的液滴檢查裝置1的應(yīng)用例進(jìn)行說(shuō)明。圖7是表示包括液滴檢查裝置1的基板處理系統(tǒng)100的結(jié)構(gòu)的概略的說(shuō)明圖。在基板處理系統(tǒng)100中，形成有機(jī)發(fā)光二極管的有機(jī)el層。

首先，對(duì)有機(jī)發(fā)光二極管的結(jié)構(gòu)的概略和其制造方法進(jìn)行說(shuō)明。圖8是表示有機(jī)發(fā)光二極管500的結(jié)構(gòu)的概略的側(cè)視圖。如圖8所示，有機(jī)發(fā)光二極管500具有在玻璃基板g上將有機(jī)el層530夾在陽(yáng)極(anode)510和陰極(cathode)520之間的結(jié)構(gòu)。有機(jī)el層530從陽(yáng)極510側(cè)起依次層疊空穴注入層531、空穴傳輸層532、發(fā)光層533、電子傳輸層534和電子注入層535而形成。

當(dāng)制造有機(jī)發(fā)光二極管500時(shí)，首先在玻璃基板g上形成有陽(yáng)極510。陽(yáng)極510例如利用蒸鍍法形成。另外，在陽(yáng)極510例如可以使用由ito(indiumtinoxide：氧化銦錫)構(gòu)成的透明電極。

然后，在陽(yáng)極510上如圖9所示形成分隔壁540。分隔壁540例如通過(guò)進(jìn)行光刻處理或蝕刻處理等而被圖案化為規(guī)定的圖案。并且，在分隔壁540中在行方向(x方向)和列方向(y方向)排列地形成多個(gè)狹縫狀的開(kāi)口部541。并且，在該開(kāi)口部541的內(nèi)部如后所述那樣層疊有機(jī)el層530和陰極520而形成像素。其中，分隔壁540例如使用感光性聚酰亞胺樹(shù)脂。

然后，在分隔壁540的開(kāi)口部541內(nèi)，在陽(yáng)極510上形成有機(jī)el層530。具體而言，在陽(yáng)極510上形成空穴注入層531，在空穴注入層531上形成空穴傳輸層532，在空穴傳輸層532上形成發(fā)光層533，在發(fā)光層533上形成電子傳輸層534，在電子傳輸層534上形成電子注入層535。

在本實(shí)施方式中，空穴注入層531、空穴傳輸層532和發(fā)光層533分別在基板處理系統(tǒng)100中形成。即，在基板處理系統(tǒng)100中，依次進(jìn)行利用噴墨方式進(jìn)行的有機(jī)材料的涂敷處理、有機(jī)材料的減壓干燥處理、有機(jī)材料的燒制處理，形成這些空穴注入層531、空穴傳輸層532和發(fā)光層533。

另外，電子傳輸層534和電子注入層535分別例如利用蒸鍍法形成。

然后，在電子注入層535上形成陰極520。陰極520例如能夠使用蒸鍍法形成。另外，陰極520例如能夠使用鋁。

在這樣制造的有機(jī)發(fā)光二極管500中，通過(guò)在陽(yáng)極510和陰極520之間施加電壓，在空穴注入層531中注入的規(guī)定數(shù)量的空穴經(jīng)由空穴傳輸層532傳輸?shù)桨l(fā)光層533，并且，在電子注入層535中注入的規(guī)定數(shù)量的電子經(jīng)由電子傳輸層534傳輸?shù)桨l(fā)光層533。另外，在發(fā)光層533內(nèi)空穴和電子復(fù)合形成激發(fā)態(tài)的分子，該發(fā)光層533發(fā)光。

接著，參照對(duì)圖7所示的基板處理系統(tǒng)100進(jìn)行說(shuō)明。其中基板處理系統(tǒng)100中處理的玻璃基板g上預(yù)先形成有陽(yáng)極510和分隔壁540，在該基板處理系統(tǒng)100中形成空穴注入層531、空穴傳輸層532和發(fā)光層533。

基板處理系統(tǒng)100具有將搬入站110、處理站120和搬出站130連接成一體的結(jié)構(gòu)，其中，該搬入站101以盒c單位從外部搬入多個(gè)玻璃基板g到基板處理系統(tǒng)100，并從盒c取出處理前的玻璃基板g；處理站102包括對(duì)玻璃基板g實(shí)施規(guī)定的處理的多個(gè)處理裝置；搬出站103將處理后的玻璃基板g收納在盒c內(nèi)，將多個(gè)玻璃基板g以盒c單位從基板處理系統(tǒng)100搬出到外部。搬入站101、處理站102和搬出站103沿x方向依次排列配置。

搬入站101設(shè)置有盒載置臺(tái)110。盒載置臺(tái)110能夠?qū)⒍鄠€(gè)盒c在y方向載置成一列。即，搬入站101構(gòu)成為能夠保留多個(gè)玻璃基板g。

搬入站101還設(shè)有能夠在搬送路徑111上移動(dòng)的基板搬送體112，該搬送路徑111在y方向上延伸設(shè)置?；灏崴腕w112還設(shè)置成能夠在鉛垂方向和繞鉛垂方向移動(dòng)，能夠在盒c和處理站102之間搬送玻璃基板g。另外，基板搬送體112例如將玻璃基板g吸附保持著搬送。

處理站102從搬入站110側(cè)配置在x方向依次排列配置有空穴注入層120、空穴傳輸層形成部121和發(fā)光層形成部122，其中，空穴注入層形成部120形成空穴注入層531，空穴傳輸層形成部121形成空穴傳輸層532，發(fā)光層形成部122形成發(fā)光層533。

在空穴注入層形成部120從搬入站101側(cè)起在x方向依次排列配置有第一基板搬送區(qū)域130、第二基板搬送區(qū)域131和第三基板搬送區(qū)域132。各基板搬送區(qū)域130、131、132在x方向延伸設(shè)置，在該基板搬送區(qū)域130、131、132設(shè)置有用于搬送玻璃基板g的基板搬送裝置(未圖示)?；灏崴脱b置能夠在水平方向、鉛垂方向和繞鉛垂方向移動(dòng)，能夠?qū)⒉ＡЩ錱搬送到與這些基板搬送區(qū)域130、131、132相鄰設(shè)置的各裝置。

在搬入站101與第一基板區(qū)域130之間，設(shè)置有用于交接玻璃基板g的過(guò)渡裝置133。同樣，在第一基板搬送區(qū)域130與第二基板搬送區(qū)域131之間、以及第二基板搬送區(qū)域131與第三基板搬送區(qū)域132之間也分別設(shè)置有過(guò)渡裝置134、135。

在第一基板搬送區(qū)域130的y方向正向側(cè)，設(shè)置有在玻璃基板g(陽(yáng)極510)上涂敷用于形成空穴注入層531的有機(jī)材料的作為液滴排出裝置的涂敷裝置140。在涂敷裝置140中，以噴墨方式在玻璃基板g上的規(guī)定位置即分隔壁540的開(kāi)口部541的內(nèi)部涂敷有機(jī)材料。其中，本實(shí)施方式的有機(jī)材料是將用于形成空穴注入層531的規(guī)定的材料溶解于有機(jī)溶劑的溶液。

上述實(shí)施方式的液滴檢查裝置1配置在涂敷裝置140的內(nèi)部，進(jìn)行從液滴排出頭(未圖示)以噴墨方式排出的液滴21的檢查。其中，涂敷裝置140中的液滴檢查裝置1的配置能夠任意設(shè)定。

在第一基板搬送區(qū)域130的y方向負(fù)向側(cè)，設(shè)置有暫時(shí)收納多個(gè)玻璃基板g的緩沖裝置141。

在第二基板搬送區(qū)域131的y方向正向側(cè)和y方向負(fù)向側(cè)，層疊有多個(gè)用于對(duì)在涂敷裝置140中涂敷的有機(jī)材料進(jìn)行減壓干燥的減壓干燥裝置142，例如總共設(shè)置有五個(gè)。減壓干燥裝置142例如具有渦輪分子泵(未圖示)，并構(gòu)成為通過(guò)該渦輪分子泵將內(nèi)部氣氛減壓之例如1pa以下，以將有機(jī)材料干燥。

在第三基板搬送區(qū)域132的y方向正向側(cè)，多層層疊地設(shè)置有對(duì)在減壓干燥裝置142中干燥的有機(jī)材料進(jìn)行熱處理而燒制的熱處理裝置143，該熱處理裝置例如層疊為20層。熱處理裝置143在其內(nèi)部具有載置玻璃基板g的熱板(未圖示)，并構(gòu)成為利用該熱板燒制有機(jī)材料。

在第三基板搬送區(qū)域132的y方向負(fù)向側(cè)，設(shè)置有多個(gè)將在熱處理裝置143中熱處理過(guò)的玻璃基板g調(diào)整至規(guī)定的溫度，例如常溫的溫度調(diào)節(jié)裝置144。

其中，在空穴注入層形成部120中，這些涂敷裝置140、緩沖裝置141、減壓干燥裝置142、熱處理裝置143和溫度調(diào)節(jié)裝置144的數(shù)量和配置能夠任意選擇。

在空穴傳輸層形成部121從空穴注入層形成部120側(cè)起在x方向依次排列配置有第一基板搬送區(qū)域150、第二基板搬送區(qū)域151和第三基板搬送區(qū)域152。各基板搬送區(qū)域150、151、152在x方向延伸設(shè)置，在該基板搬送區(qū)域150、151、152設(shè)置有用于搬送玻璃基板g的基板搬送裝置(未圖示)?；灏崴脱b置能夠在水平方向、鉛垂方向和繞鉛垂方向移動(dòng)，能夠?qū)⒉ＡЩ錱搬送到與這些基板搬送區(qū)域150、151、152相鄰設(shè)置的各裝置。

另外，在第三基板搬送區(qū)域152相鄰設(shè)置有后述的熱處理裝置163和溫度調(diào)節(jié)裝置164，這些各裝置163、164的內(nèi)部維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。因此，在第三基板搬送區(qū)域152中，其內(nèi)部也維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。在以下的說(shuō)明中，低氧氣氛是指氧濃度低于大氣的氣氛，例如氧濃度為10ppm以下的氣氛。另外，低結(jié)露點(diǎn)氣氛是指結(jié)露點(diǎn)溫度低于大氣的氣氛，例如結(jié)露點(diǎn)溫度為-10℃以下的氣氛。另外，該低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛是例如利用氮?dú)獾炔换顫姎怏w維持的。

在空穴注入形成部201與第一基板區(qū)域150之間以及第一基板搬送區(qū)域150與第二基板搬送區(qū)域151之間，分別設(shè)置有用于交接玻璃基板g的過(guò)渡裝置153、154。在第二基板搬送區(qū)域151和第三基板搬送區(qū)域152之間，設(shè)置有能夠暫時(shí)收納玻璃基板g的加載鎖定(loadlock)裝置155。加載鎖定裝置155構(gòu)成為能夠切換內(nèi)部氣氛，即能夠切換低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛和大氣氣氛。

在第一基板搬送區(qū)域150的y方向正向側(cè)，設(shè)置有在玻璃基板g(空穴注入層531)上涂敷用于形成空穴傳輸層532的有機(jī)材料的作為液滴排出裝置的涂敷裝置160。在涂敷裝置160中，以噴墨方式在玻璃基板g上的規(guī)定位置即分隔壁540的開(kāi)口部541的內(nèi)部涂敷有機(jī)材料。其中，本實(shí)施方式的有機(jī)材料是將用于形成空穴傳輸層532的規(guī)定的材料溶解于有機(jī)溶劑的溶液。

上述實(shí)施方式的液滴檢查裝置1配置在涂敷裝置160的內(nèi)部，進(jìn)行從液滴排出頭(未圖示)以噴墨方式排出的液滴21的檢查。其中，涂敷裝置160中的液滴檢查裝置1的配置能夠任意設(shè)定。

在第一基板搬送區(qū)域150的y方向負(fù)向側(cè)，設(shè)置有暫時(shí)收納多個(gè)玻璃基板g的緩沖裝置161。

在第二基板搬送區(qū)域151的y方向正向側(cè)和y方向負(fù)向側(cè)，層疊有多個(gè)用于對(duì)在涂敷裝置160中涂敷的有機(jī)材料進(jìn)行減壓干燥的減壓干燥裝置162，例如總共設(shè)置有五個(gè)。減壓干燥裝置162例如具有渦輪分子泵(未圖示)，并構(gòu)成為由該渦輪分子泵將內(nèi)部氣氛減壓之例如1pa以下，以將有機(jī)材料干燥。

在第三基板搬送區(qū)域152的y方向正向側(cè)，多層層疊地設(shè)置有對(duì)在減壓干燥裝置162中干燥的有機(jī)材料進(jìn)行熱處理而燒制的熱處理裝置163，該熱處理裝置例如層疊為20層。熱處理裝置163在其內(nèi)部具有載置玻璃基板g的熱板(未圖示)，并構(gòu)成為利用該熱板燒制有機(jī)材料。另外，熱處理裝置163的內(nèi)部維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。

在第三基板搬送區(qū)域152的y方向負(fù)向側(cè)，設(shè)置有多個(gè)將在熱處理裝置163中熱處理過(guò)的玻璃基板g調(diào)整至規(guī)定的溫度，例如常溫的溫度調(diào)節(jié)裝置164。溫度調(diào)節(jié)裝置164的內(nèi)部維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。

其中，在空穴傳輸層形成部121中，這些涂敷裝置160、緩沖裝置161、減壓干燥裝置162、熱處理裝置163和溫度調(diào)節(jié)裝置164的數(shù)量和配置能夠任意選擇。

在發(fā)光層形成部122從空穴傳輸層形成部121側(cè)起在x方向依次排列配置有第一基板搬送區(qū)域170、第二基板搬送區(qū)域171和第三基板搬送區(qū)域172。各基板搬送區(qū)域170、171、172在x方向延伸設(shè)置，在該基板搬送區(qū)域170、171、172設(shè)置有用于搬送玻璃基板g的基板搬送裝置(未圖示)?；灏崴脱b置能夠在水平方向、鉛垂方向和繞鉛垂方向移動(dòng)，能夠?qū)⒉ＡЩ錱搬送到與這些基板搬送區(qū)域170、171、172相鄰設(shè)置的各裝置。

另外，在第三基板搬送區(qū)域172相鄰設(shè)置有后述的熱處理裝置183和溫度調(diào)節(jié)裝置184，這些各裝置183、184的內(nèi)部維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。因此，在第三基板搬送區(qū)域172中，其內(nèi)部也維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。

在空穴傳輸層形成部121與第一基板區(qū)域170之間以及第一基板搬送區(qū)域170與第二基板搬送區(qū)域171之間，分別設(shè)置有用于交接玻璃基板g的過(guò)渡裝置173、174。在第二基板搬送區(qū)域171和第三基板搬送區(qū)域172之間以及第三基板搬送區(qū)域172和搬出站103之間，設(shè)置有能夠暫時(shí)收納玻璃基板g的加載鎖定(loadlock)裝置175、176。加載鎖定裝置175、176構(gòu)成為能夠切換內(nèi)部氣氛，即能夠切換低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛和大氣氣氛。

在第一基板搬送區(qū)域170的y方向正向側(cè)，設(shè)置有在玻璃基板g(空穴傳輸層532)上涂敷用于形成發(fā)光層533的有機(jī)材料的作為液滴排出裝置的涂敷裝置180。在涂敷裝置180中，以噴墨方式在玻璃基板g上的規(guī)定位置即分隔壁540的開(kāi)口部541的內(nèi)部涂敷有機(jī)材料。其中，本實(shí)施方式的有機(jī)材料是將用于形成發(fā)光層533的規(guī)定的材料溶解于有機(jī)溶劑的溶液。

上述實(shí)施方式的液滴檢查裝置1配置在涂敷裝置180的內(nèi)部，進(jìn)行從液滴排出頭(未圖示)以噴墨方式排出的液滴21的檢查。其中，涂敷裝置180中的液滴檢查裝置1的配置能夠任意設(shè)定。

在第一基板搬送區(qū)域170的y方向負(fù)向側(cè)，設(shè)置有暫時(shí)收納多個(gè)玻璃基板的緩沖裝置181。

在第二基板搬送區(qū)域171的y方向正向側(cè)和y方向負(fù)向側(cè)，層疊有多個(gè)用于對(duì)在涂敷裝置180中涂敷的有機(jī)材料進(jìn)行減壓干燥的減壓干燥裝置182，例如總共設(shè)置有五個(gè)。減壓干燥裝置182例如具有渦輪分子泵(未圖示)，并構(gòu)成為由該渦輪分子泵將內(nèi)部氣氛減壓之例如1pa以下，以將有機(jī)材料干燥。

在第三基板搬送區(qū)域172的y方向正向側(cè)，多層層疊地設(shè)置有對(duì)在減壓干燥裝置182中干燥的有機(jī)材料進(jìn)行熱處理而燒制的熱處理裝置183，該熱處理裝置例如層疊為20層。熱處理裝置183在其內(nèi)部具有載置玻璃基板g的熱板(未圖示)，并構(gòu)成為利用該熱板燒制有機(jī)材料。另外，熱處理裝置183的內(nèi)部維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。

在第三基板搬送區(qū)域172的y方向負(fù)向側(cè)，設(shè)置有多個(gè)將在熱處理裝置183中熱處理過(guò)的玻璃基板g調(diào)整至規(guī)定的溫度，例如常溫的溫度調(diào)節(jié)裝置184。溫度調(diào)節(jié)裝置184的內(nèi)部維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。

其中，在發(fā)光層形成部122中，這些涂敷裝置180、緩沖裝置181、減壓干燥裝置182、熱處理裝置183和溫度調(diào)節(jié)裝置184的數(shù)量和配置能夠任意選擇。

搬出站103設(shè)置有盒載置臺(tái)190。盒載置臺(tái)190能夠?qū)⒍鄠€(gè)盒c在y方向載置成一列。即，搬出站103構(gòu)成為能夠保留多個(gè)玻璃基板g。

搬出站103還設(shè)有能夠在搬送路徑191上移動(dòng)的基板搬送體192，搬送路徑191在y方向上延伸設(shè)置?；灏崴腕w192還設(shè)置成能夠在鉛垂方向和繞鉛垂方向移動(dòng)，能夠在盒c和處理站102之間搬送玻璃基板g。另外，基板搬送體192例如將玻璃基板g吸附保持著搬送。

另外，搬出站103的內(nèi)部?jī)?yōu)選維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。

另外，以上的基板處理系統(tǒng)100可以設(shè)有控制部13。因此，涂敷裝置140、160、180的內(nèi)部設(shè)置的液滴檢查裝置1由控制部13控制。不過(guò)，在該控制部13的程序保存部(未圖示)，除了用于控制液滴檢查裝置1的程序之外，還保存有控制基板處理系統(tǒng)100的玻璃基板g的處理的程序。

另外，控制部13也具有數(shù)據(jù)保存部(未圖示)。在數(shù)據(jù)保存部例如預(yù)先保存有涂敷裝置140、160、180排出的液滴的大小和位置的正常數(shù)據(jù)，即與期望的大小和位置相適合的描述數(shù)據(jù)(比特圖數(shù)據(jù)(bitmapdata))。

接著，對(duì)利用如上所述構(gòu)成的基板處理系統(tǒng)100進(jìn)行的玻璃基板g的處理方法進(jìn)行說(shuō)明。

首先，收納有多個(gè)玻璃基板g的盒c被搬入到搬入站101，載置在盒載置臺(tái)110上。然后，由基板搬送體112從盒載置臺(tái)110上的盒c依次取出基板g。

從盒c中取出的基板g由基板搬送體112搬送到空穴注入層形成部120的過(guò)渡裝置133，進(jìn)而經(jīng)由第一基板搬送區(qū)域130搬送到涂敷裝置140。然后在涂敷裝置140中，以噴墨方式在玻璃基板g(陽(yáng)極510)上的規(guī)定的位置、即分隔壁540的開(kāi)口部541的內(nèi)部，涂敷空穴注入層531用的有機(jī)材料。

此處，在涂敷裝置140中，當(dāng)對(duì)玻璃基板g的涂敷處理結(jié)束時(shí)，由液滴檢查裝置1進(jìn)行從液滴排出頭(未圖示)排出的液滴21的檢查。具體而言，在液滴排出頭的下方配置檢查片20，從該液滴排出頭像檢查片20排出液滴21，用于檢查。在排出該液滴21后即刻，從照射部10對(duì)照射區(qū)域22照射紫外線使液滴21發(fā)光，然后由拍攝部11拍攝包含發(fā)光的液滴21的照射區(qū)域22。所拍攝的拍攝圖像輸出到控制部13的計(jì)測(cè)部13a，在該計(jì)測(cè)部13a中，基于拍攝圖像計(jì)測(cè)液滴21的大小和檢查片20上的液滴21的位置。這樣進(jìn)行液滴21的檢查。

其中，為了避免該液滴21隨時(shí)間相繼地干燥而產(chǎn)生大小變化，所以液滴21的檢查優(yōu)選如上所述在排出液滴21后即刻執(zhí)行。此處，例如在涂敷裝置140設(shè)置有多個(gè)液滴排出頭時(shí)，從最初的液滴排出頭排出液滴21開(kāi)始到最后的液滴排出液滴21為止存在時(shí)間差，在該期間排出的液滴21有可能隨時(shí)間相繼地干燥而發(fā)生大小變化?？紤]到這一點(diǎn)，為了如上所述檢查涂敷后即刻的液滴21，例如可以設(shè)置多個(gè)拍攝部11，也可以以能夠移動(dòng)的方式構(gòu)成拍攝部11。通過(guò)采用這種結(jié)構(gòu)，每當(dāng)液滴21從液滴排出頭排出時(shí)，能夠進(jìn)行該液滴21的檢查。

當(dāng)在計(jì)測(cè)部13a中計(jì)測(cè)出液滴21的大小和位置時(shí)，接著在控制部13中，進(jìn)行液滴21的大小和位置的計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)與預(yù)先保存的液滴的大小和位置的正常數(shù)據(jù)的比較。然后，當(dāng)計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)偏離正常數(shù)據(jù)時(shí)，進(jìn)行反饋控制使得涂敷裝置140的液滴排出頭排出正常的液滴21。其中，該液滴21的檢查和對(duì)液滴排出頭的反饋控制既可以對(duì)每個(gè)玻璃基板g進(jìn)行，也可以對(duì)每規(guī)定數(shù)量的玻璃基板g進(jìn)行。

另一方面，結(jié)束涂敷裝置140中的涂敷處理的玻璃基板經(jīng)由第一基板搬送區(qū)域130被搬送到過(guò)渡裝置134，進(jìn)而經(jīng)由第二基板搬送區(qū)域131搬送到減壓干燥裝置142。然后，在減壓干燥裝置142中其內(nèi)部氣氛被減壓，對(duì)涂敷在玻璃基板g上的有機(jī)材料進(jìn)行干燥。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第二基板搬送區(qū)域131搬送到過(guò)渡裝置135，進(jìn)而經(jīng)由第三基板搬送區(qū)域132搬送到熱處理裝置143。然后在熱處理裝置143中，將載置在熱板上的玻璃基板g加熱到規(guī)定的溫度，例如180℃，燒制該玻璃基板g的有機(jī)材料。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第三基板搬送區(qū)域132搬送到溫度調(diào)節(jié)裝置144。然后，在溫度調(diào)節(jié)裝置144中，將玻璃基板g的溫度調(diào)節(jié)至規(guī)定的溫度，例如常溫。這樣，在玻璃基板g(陽(yáng)極510)上形成空穴注入層531。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第三搬送區(qū)域132搬送到空穴傳輸層形成部121的過(guò)渡裝置153，進(jìn)而經(jīng)由第一基板搬送區(qū)域150搬送到涂敷裝置160。然后，在涂敷裝置160中，以噴墨方式在玻璃基板g(空穴注入層531)上涂敷空穴傳輸層532用的有機(jī)材料。此處，當(dāng)涂敷裝置160對(duì)玻璃基板g的涂敷處理結(jié)束時(shí)，進(jìn)行由液滴檢查裝置1進(jìn)行的液滴21的檢查和對(duì)液滴排出頭的反饋控制。這些液滴21的檢查和對(duì)液滴排出頭的反饋控制與在上述涂敷裝置140中進(jìn)行的一樣，所以省略說(shuō)明。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第一基板搬送區(qū)域150被搬送到過(guò)渡裝置154，進(jìn)而經(jīng)由第二基板搬送區(qū)域151搬送到減壓干燥裝置162。然后，在減壓干燥裝置162中其內(nèi)部氣氛被減壓，對(duì)涂敷在玻璃基板g上的有機(jī)材料進(jìn)行干燥。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第二基板搬送區(qū)域151搬送到加載鎖定裝置155。當(dāng)玻璃基板g搬入到加載鎖定裝置155中時(shí)，其內(nèi)部切換為低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。然后，加載鎖定裝置155的內(nèi)部與同樣維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛的第三基板搬送區(qū)域152的內(nèi)部連通。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第三基板搬送區(qū)域152搬送到熱處理裝置163。該熱處理裝置163的內(nèi)部也維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。然后在熱處理裝置163中，將載置在熱板上的玻璃基板g加熱到規(guī)定的溫度，例如200℃，燒制該玻璃基板g的有機(jī)材料。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第三基板搬送區(qū)域152搬送到溫度調(diào)節(jié)裝置164。該溫度調(diào)節(jié)裝置164的內(nèi)部也維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。然后，在溫度調(diào)節(jié)裝置164中，將玻璃基板g的溫度調(diào)節(jié)至規(guī)定的溫度，例如常溫。這樣，在玻璃基板g(空穴注入層531)上形成空穴傳輸層532。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第三搬送區(qū)域152搬送到發(fā)光層形成部122的過(guò)渡裝置173，進(jìn)而經(jīng)由第一基板搬送區(qū)域170搬送到涂敷裝置180。然后，在涂敷裝置180中，以噴墨方式在玻璃基板g(空穴傳輸層532)上涂敷發(fā)光層533用的有機(jī)材料。此處，當(dāng)涂敷裝置180對(duì)玻璃基板g的涂敷處理結(jié)束時(shí)，進(jìn)行由液滴檢查裝置1進(jìn)行的液滴21的檢查和對(duì)液滴排出頭的反饋控制。這些液滴21的檢查和對(duì)液滴排出頭的反饋控制與在上述涂敷裝置140中進(jìn)行的一樣，所以省略說(shuō)明。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第一基板搬送區(qū)域170被搬送到過(guò)渡裝置174，進(jìn)而經(jīng)由第二基板搬送區(qū)域171搬送到減壓干燥裝置182。然后，在減壓干燥裝置182中其內(nèi)部氣氛被減壓，對(duì)涂敷在玻璃基板g上的有機(jī)材料進(jìn)行干燥。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第二基板搬送區(qū)域171搬送到加載鎖定裝置175。當(dāng)玻璃基板g搬入到加載鎖定裝置175中時(shí)，其內(nèi)部切換為低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。然后，加載鎖定裝置175的內(nèi)部與同樣維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛的第三基板搬送區(qū)域172的內(nèi)部連通。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第三基板搬送區(qū)域172搬送到熱處理裝置183。該熱處理裝置183的內(nèi)部也維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。然后在熱處理裝置183中，將載置在熱板上的玻璃基板g加熱到規(guī)定的溫度，例如160℃，燒制該玻璃基板g的有機(jī)材料。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第三基板搬送區(qū)域172搬送到溫度調(diào)節(jié)裝置184。該溫度調(diào)節(jié)裝置184的內(nèi)部也維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。然后，在溫度調(diào)節(jié)裝置184中，將玻璃基板g的溫度調(diào)節(jié)至規(guī)定的溫度，例如常溫。這樣，在玻璃基板g(空穴傳輸層532)上形成發(fā)光層533。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第三基板搬送區(qū)域172搬送到加載鎖定裝置176。該加載鎖定裝置176的內(nèi)部維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。然后，使加載鎖定裝置176的內(nèi)部與同樣維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛的搬出站103的內(nèi)部連通。

接著，玻璃基板g由搬出站103的基板搬送體192搬送到盒載置臺(tái)190上的規(guī)定的盒c。這樣，結(jié)束基板處理系統(tǒng)100的一系列的對(duì)玻璃基板g的處理。

根據(jù)以上的實(shí)施方式，在涂敷裝置140、160、180的內(nèi)部設(shè)置有液滴檢查裝置1，所以能夠檢查從該涂敷裝置140、160、180的液滴排出頭排出的液滴21，進(jìn)而對(duì)液滴排出頭進(jìn)行反饋控制。因此，能夠抑制涂敷裝置140、160、180中的液滴21的排出不良，適當(dāng)控制液滴21的大小(即液滴21的重量)和排出到玻璃基板g的液滴21的位置，從而能夠在玻璃基板g上適當(dāng)?shù)赝糠笥袡C(jī)材料。

另外，以上實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)100的布局不限于圖7所示的布局，能夠任意設(shè)定。

另外，在以上的實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)100中，形成有空穴注入層531、空穴傳輸層532和發(fā)光層533，但也可以同樣形成有機(jī)發(fā)光二極管500的其他電子傳輸層534和電子注入層535。即，根據(jù)用于電子傳輸層534和電子注入層535的有機(jī)材料，分別進(jìn)行利用噴墨方式的有機(jī)材料的涂敷處理、有機(jī)材料的減壓干燥處理、有機(jī)材料的燒制處理，而在玻璃基板g上形成該電子傳輸層534和電子注入層535。另外，在這些電子傳輸層534和電子注入層535的涂敷處理中，也可以進(jìn)行液滴檢查裝置1對(duì)液滴21的檢查。

另外，作為液滴檢查裝置1的應(yīng)用例，說(shuō)明了形成有機(jī)發(fā)光二極管500的有機(jī)el層530的基板處理系統(tǒng)100，但液滴檢查裝置1的應(yīng)用例不限于此。例如，也可以將液滴檢查裝置1應(yīng)用于例如涂敷彩色抗蝕劑的基板處理系統(tǒng)等。

此外，作為液滴檢查裝置1的應(yīng)用例，說(shuō)明了噴墨方式的涂敷裝置140、160、180，但液滴檢查裝置1的應(yīng)用例不限于此。不限于以噴墨方式排出液滴的情況，例如也可以在連續(xù)排出固定量的涂敷液的涂敷裝置中應(yīng)用液滴檢查裝置1，檢查該涂敷液。此時(shí)，液滴檢查裝置1中，計(jì)測(cè)被排出到被排出體的涂敷液的大小(重量)和被排出體上的涂敷液的位置。另外，在本實(shí)施方式中，該固定量的涂敷液構(gòu)成本發(fā)明的液滴。

以上，參照附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明不限于此。如果是本領(lǐng)域技術(shù)人員，在權(quán)利要求書(shū)中記載的思想的范圍內(nèi)能夠想到各種變更例或修正例是顯而易見(jiàn)的，可以理解為這些內(nèi)容當(dāng)然也屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍。