寶石柱存放、測(cè)量、標(biāo)識(shí)工裝的制作方法
【專利摘要】寶石柱存放、測(cè)量、標(biāo)識(shí)工裝，主要解決現(xiàn)有技術(shù)不能將襯底與加熱裝置之間精確隔開，導(dǎo)致加熱反應(yīng)溫度不易控制的技術(shù)問題。該工裝采用雙面分區(qū)方式，隔離不同的裝載區(qū)域，能夠滿足多種規(guī)格寶石柱同時(shí)、獨(dú)立的按照標(biāo)識(shí)存放的新型結(jié)構(gòu)。它包括一個(gè)雙面箱體，雙面箱體由上蓋及下蓋將主體扣合，上述主體依次設(shè)有寶石柱存放層、寶石柱測(cè)量量具存放層；上述寶石柱存放層上設(shè)有寶石柱標(biāo)識(shí)。其結(jié)構(gòu)緊湊合理，裝置內(nèi)包含多種規(guī)格的寶石柱測(cè)量量具，測(cè)量量具一端為寶石柱高度上公差，另一端為寶石柱高度下公差。通過規(guī)劃不同的分區(qū)結(jié)構(gòu)及分區(qū)形式，使寶石柱及寶石柱測(cè)量量具能準(zhǔn)確、快速的進(jìn)行取放，以滿足使用要求。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備。
【專利說明】寶石柱存放、測(cè)量、標(biāo)識(shí)工裝

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種新型的寶石柱存放、測(cè)量、標(biāo)識(shí)工裝，通過層級(jí)分區(qū)方式，來實(shí)現(xiàn)多種規(guī)格寶石柱的存放及標(biāo)識(shí)并可集成裝載多種寶石柱測(cè)量量具，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備。

【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備在進(jìn)行沉積反應(yīng)時(shí)，需要將襯底進(jìn)行加熱。為避免加熱時(shí)襯底與加熱裝置之間產(chǎn)生摩擦影響腔室內(nèi)部的顆粒度，需要支撐裝置將襯底與加熱裝置隔開。這樣一來，不易于控制加熱的傳導(dǎo)及襯底反應(yīng)溫度條件。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型以解決上述問題為目的，主要解決現(xiàn)有技術(shù)不能將襯底與加熱裝置之間精確隔開，導(dǎo)致加熱反應(yīng)溫度不易控制的技術(shù)問題。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用下述技術(shù)方案:寶石柱存放、測(cè)量、標(biāo)識(shí)工裝，該工裝采用雙面分區(qū)方式，隔離不同的裝載區(qū)域，能夠滿足多種規(guī)格寶石柱同時(shí)、獨(dú)立的按照標(biāo)識(shí)存放的新型結(jié)構(gòu)。該工裝包括一個(gè)雙面箱體，雙面箱體由上蓋(I)及下蓋(5)將主體扣合。上述主體依次設(shè)有寶石柱存放層(2)、寶石柱測(cè)量量具存放層(4)。上述寶石柱存放層(2)上設(shè)有寶石柱標(biāo)識(shí)(3)。
[0005]本實(shí)用新型的有益效果及特點(diǎn):結(jié)構(gòu)緊湊合理，由于采用雙面分區(qū)方式，隔離不同的裝載區(qū)域，能夠滿足多種規(guī)格寶石柱同時(shí)、獨(dú)立的按照標(biāo)識(shí)存放，一個(gè)裝置集合儲(chǔ)存、測(cè)量及標(biāo)識(shí)功能。裝置內(nèi)包含多種規(guī)格的寶石柱測(cè)量量具，測(cè)量量具一端為寶石柱高度上公差，另一端為寶石柱高度下公差。通過規(guī)劃不同的分區(qū)結(jié)構(gòu)及分區(qū)形式，能滿足多種規(guī)格寶石柱及寶石柱測(cè)量量具的存放，使寶石柱及寶石柱測(cè)量量具能準(zhǔn)確、快速的進(jìn)行取放，以滿足使用要求。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0006]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0007]圖中零件標(biāo)號(hào)分別代表:
[0008]1、上蓋；2、寶石柱存放層；3、寶石柱標(biāo)識(shí)；
[0009]4、寶石柱測(cè)量量具存放層；5、下蓋。
[0010]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。

【具體實(shí)施方式】
[0011]實(shí)施例1
[0012]參照?qǐng)D1，寶石柱存放、測(cè)量、標(biāo)識(shí)工裝，該工裝采用雙面分區(qū)方式，隔離不同的裝載區(qū)域，能夠滿足多種規(guī)格寶石柱同時(shí)、獨(dú)立的按照標(biāo)識(shí)存放的新型結(jié)構(gòu)。該工裝包括一個(gè)雙面箱體，雙面箱體由上蓋I及下蓋5將主體扣合。上述主體依次設(shè)有寶石柱存放層2、寶石柱測(cè)量量具存放層4。上述寶石柱存放層2上設(shè)有寶石柱標(biāo)識(shí)3。
[0013]使用時(shí)，如需要取用不同規(guī)格的寶石柱，只需要打開上蓋按照標(biāo)識(shí)取用即可。如需要使用寶石柱量具測(cè)量，則打開上蓋，即可取用相應(yīng)規(guī)格的寶石柱測(cè)量量具。寶石柱測(cè)量量具的使用，量具一端為寶石柱高度上公差，另一端為寶石柱高度下公差，上公差端能通過，下公差段不能通過時(shí)，寶石柱即在使用公差范圍內(nèi)，可正常進(jìn)行使用。
【權(quán)利要求】
1.一種寶石柱存放、測(cè)量、標(biāo)識(shí)工裝，其特征在于:該工裝采用雙面分區(qū)方式，隔離不同的裝載區(qū)域，該工裝包括一個(gè)雙面箱體，雙面箱體由上蓋及下蓋將主體扣合，上述主體依次設(shè)有寶石柱存放層、寶石柱測(cè)量量具存放層；上述寶石柱存放層上設(shè)有寶石柱標(biāo)識(shí)。
【文檔編號(hào)】G01B5/02GK203976911SQ201420379260
【公開日】2014年12月3日 申請(qǐng)日期:2014年7月10日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月10日
【發(fā)明者】吳鳳麗, 王燚 申請(qǐng)人:沈陽拓荊科技有限公司