專利名稱：多孔板表面檢查方法以及多孔板表面檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對具有多個透孔部的多孔板進(jìn)行攝像，基于此攝像的影像來檢查多孔板表面的多孔板表面檢查方法以及多孔板表面檢查裝置。
背景技術(shù)：
近年來，各種在板材表面照射照明光，對在表面反射的反射光進(jìn)行攝像，基于此攝像的影像檢查板材表面的技術(shù)被提出來(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。在專利文獻(xiàn)I中，作為檢查萌罩板缺陷的方法，公開了以下方法:在向萌罩板的一個主面照射透過用的照明光的同時，向萌罩板的另一主面照射反射用的照明光，并且在萌罩板的另一主面?zhèn)?，以接收透過萌罩板的透過光和在萌罩板的另一主面反射的反射光的的方式對萌罩板進(jìn)行攝像，從而不受萌罩板附著的異物的影響，正確地檢查萌罩板的缺陷?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本特開平6-341958號公報發(fā)明概要發(fā)明要解決的課題但是在現(xiàn)有的照射透過光和反射光以對多孔板的表面進(jìn)行攝像來檢查多孔板的缺陷的方法中，例如，在透過多孔板的透孔部的透過光的光量比在多孔板的表面反射的反射光的光量暗時，且在反射光和透過光之間的光量的差別很大時，有把透孔部誤判為異物的危險。所以，正確檢查多孔板表面的污垢、傷痕、電鍍不良、異物附著等是困難的。本發(fā)明是鑒于上述課題而研發(fā)的，其目的是為了提供一種能夠正確檢查出多孔板的表面的污垢、傷痕、電鍍不良、異物附著等的多孔板表面檢查方法以及多孔板表面檢查裝置。發(fā)明解決課題的手段本發(fā)明的解決所述課題的多孔板表面檢查方法，其特征在于，是一種對具有多個透孔部的多孔板進(jìn)行攝像，基于該攝像的影像，檢查多孔板表面的多孔板表面檢查方法，所述多孔板表面檢查方法包含:對于多孔板從該多孔板的表面?zhèn)日丈浞瓷溆玫恼彰鞴猓⑶覐亩嗫装宓谋趁鎮(zhèn)日丈浔彻庥玫恼彰鞴獾牟襟E；從多孔板的表面?zhèn)葘Χ嗫装宓谋砻孢M(jìn)行攝像的步驟；基于該攝像的影像測定多孔板的表面反射的反射光的光量和透過多孔板的孔部的透過光的光量的步驟；為了使反射光的光量和透過光的光量相同并且變成在預(yù)先設(shè)定的范圍內(nèi)的光量，調(diào)節(jié)反射用的照明光和背光用的照明光的光量的步驟；在光量已調(diào)節(jié)的狀態(tài)，對多孔板的表面進(jìn)行攝像，基于此攝像的影像檢查多孔板的缺陷的步驟。通過本發(fā)明，因為為了使反射光的光量和透過光的光量相同并且變成在預(yù)先設(shè)定的范圍內(nèi)的光量，而調(diào)節(jié)反射用的照明光和背光用的照明光的光量，所以能夠使得進(jìn)行這樣光量調(diào)節(jié)后攝像的影像中的多孔板的表面和多孔板的透孔部的濃度差變小。
因此在檢查多孔板缺陷的工程中，能夠防止把多孔板的透孔部誤認(rèn)為異物，可以正確地判斷多孔板的表面有無缺陷。因此在多孔板的表面有污垢、傷痕、電鍍不良、異物附著等情況下能夠正確地檢出這些。較為理想的是，在檢查多孔板的缺陷的步驟中，將在調(diào)節(jié)光量之后攝像的影像劃分為多個影像范圍，從多個影像范圍中設(shè)定作為檢查對象的影像范圍的檢查對象影像范圍和作為比較對象的其它多個影像范圍的比較對象影像范圍，測定檢查對象影像范圍的光量和比較對象影像范圍的光量，在檢查對象影像范圍的光量和比較對象影像范圍的光量的差分在事先設(shè)定的閾值以上的情況下，判斷在檢查對象影像范圍對應(yīng)的部分存在缺陷。較為理想的是，在多孔板具有將多個透孔部配設(shè)在列方向，且將配設(shè)在該列方向的多個透孔部的列在寬度方向配設(shè)多個的構(gòu)成的情況下，在檢查多孔板的缺陷的步驟中，將大于一個透孔部大的，且列方向的尺寸具有從該透孔部到和位于列方向一側(cè)的其它透孔部的分界部分的尺寸長度、寬度方向的尺寸具有從透孔部到和位于寬度方向一側(cè)的其它透孔部的分界部分的尺寸長度的，范圍設(shè)定為檢查對象影像范圍，并且在相對檢查對象影像范圍在列方向偏移的位置將具有和檢查對象影像范圍相同尺寸的范圍設(shè)定為比較對象影像范圍。另外，較為理想的是，在檢查多孔板的缺陷的步驟中，在對于檢查對象影像范圍在各列方向上偏離的位置，設(shè)定多個比較對象影像范圍。本發(fā)明的多孔板表面檢查裝置，其特征在于，是對具有多個透孔部的多孔板進(jìn)行攝像，基于該攝像的影像，檢查多孔板的表面的多孔板表面檢查裝置，所述多孔板表面檢查裝置包含:反射照明光源，其與多孔板的表面相向配置，且向多孔板的表面照射反射用的照明光；背光照明光源，其與多孔板的背面相向配置，且向多孔板的背面照射背光用的照明光；攝像部，其對多孔板的表面進(jìn)行攝像；光量調(diào)節(jié)部，其基于通過攝像部攝像的影像，測定多孔板的表面反射的反射光的光量和透過多孔板的透孔部的透過光的光量，且為了使反射光的光量和透過光的光量相同并且變成在事先設(shè)定的范圍內(nèi)的光量，調(diào)節(jié)反射照明光源和背光照明光源的光量；以及檢查部，通過光量調(diào)節(jié)部進(jìn)行過光量調(diào)節(jié)的反射用的照明光和背光用的照明光照射在多孔板的狀態(tài)下，基于通過攝像部攝像的影像，檢查多孔板的缺陷。通過本發(fā)明，因為為了使反射光的光量和透過光的光量相同并且在事先設(shè)定的范圍內(nèi)，而調(diào)節(jié)反射用的照明光和背光用的照明光的光量，所以能夠使得進(jìn)行這樣光量調(diào)節(jié)后攝像的影像中的多孔板的表面和多孔板的透孔部的濃度差變小。因此能夠防止把多孔板的透孔部誤認(rèn)為異物，可以正確地判斷多孔板的表面有無缺陷。因此能夠正確地檢查出在多孔板的表面有污垢、傷痕、電鍍不良、異物附著等情況。進(jìn)一步，檢查部具有影像范圍設(shè)定裝置，其將通過攝像部攝像的影像劃分多個影像范圍，并且從該多個影像范圍中設(shè)定成為檢查對象的影像范圍的檢查對象影響范圍和成為比較對象的其他影像范圍的比較對象影響范圍；光量測定裝置，其測定通過影像范圍設(shè)定裝置設(shè)定的檢查對象影像范圍的光量和比較對象影像范圍的光量；判斷裝置，其算出通過光量測定裝置測定的檢查對象影像范圍的光量和比較對象影像范圍的光量的差分，該差分在事先設(shè)定的閾值以上的情況下，判斷在對應(yīng)檢查對象的影像范圍的部分存在缺陷。進(jìn)一步，在多孔板具有將多個透孔部配設(shè)在列方向，且將配設(shè)在該列方向的多個透孔部的列在寬度方向配設(shè)多個的構(gòu)成的情況下，影像范圍設(shè)定裝置將大于一個透孔部大的，且列方向的尺寸具有從該透孔部到和位于列方向一側(cè)的其它透孔部的分界部分的尺寸長度、寬度方向的尺寸具有從所述透孔部到和位于寬度方向一側(cè)的其它透孔部的分界部分的尺寸長度的，范圍設(shè)定為檢查對象影像范圍，并且在相對該檢查對象影像范圍在列方向偏離的位置將具有和檢查對象影像范圍相同尺寸的范圍設(shè)定為比較對象影像范圍。通過本發(fā)明，能夠把檢查對象影像范圍以及比較對象影像范圍的透孔部的面積和表面的面積的比例設(shè)定為定值。因此，能夠使沒有缺陷的范圍內(nèi)的光量維持一個定值，減小測定誤差。因此，特別是在沿著列方向具有透孔部Wc的部分和不具有透孔部Wc部分的存在比例按規(guī)定正確排列的多孔板的情況，能夠正確地進(jìn)行檢查。影像范圍設(shè)定裝置也可以在相對檢查對象影像范圍在各個列方向偏離的位置設(shè)定多個比較對象影像范圍而構(gòu)成。發(fā)明的效果通過本發(fā)明的多孔板表面檢查方法以及裝置，因為為了使反射光的光量和透過光的光量相同并且變成在事先設(shè)定的范圍內(nèi)的光量，而調(diào)節(jié)反射用的照明光和背光用的照明光的光量，所以能夠使得進(jìn)行這樣光量調(diào)節(jié)后攝像的影像中的多孔板的表面和多孔板的透孔部的濃度差變小。因此，在檢查多孔板的缺陷的工程中，能夠防止把多孔板的透孔部誤認(rèn)為異物，可以正確地判斷多孔板的表面有無缺陷。因此能夠正確地檢查出在多孔板的表面有污垢、傷痕、電鍍不良、異物附著等情況。本說明書包含作為本申請優(yōu)先權(quán)基礎(chǔ)的日本國專利申請2010-255947號的說明書以及/或者附圖中記載的內(nèi)容。附圖的簡單說明

圖1是說明本實施方式中多孔板表面檢查裝置的構(gòu)成的立體圖。圖2是本實施方式中多孔板表面檢查裝置的構(gòu)成的示意圖。圖3是對沒有缺陷的多孔板進(jìn)行攝像的影像的示意圖。圖4是以斷面示出圖3的A部的照射光以及反射光的狀態(tài)的圖。圖5是對有缺陷的多孔板進(jìn)行攝像的影像的示意圖。圖6是以斷面示出圖5的B部的照射光以及反射光的狀態(tài)的圖。圖7是示出檢查對象影像范圍和比較對象影像范圍的設(shè)定例中的一個示例的圖。圖8是示出對應(yīng)于圖7的比較例的圖。實施發(fā)明的方式有關(guān)本發(fā)明的實施方式，在下面使用附圖進(jìn)行說明。圖1是說明本實施方式中多孔板表面檢查裝置的構(gòu)成的立體圖，圖2是本實施方式中多孔板表面檢查裝置的構(gòu)成的示意圖。多孔板表面檢查裝置I是檢查在具有多個透孔部Wc (參考圖7)的多孔板W的表面Wa是否存在污垢、傷痕、電鍍不良、異物附著等缺陷的裝置，對多孔板W攝像，基于該攝像的影像進(jìn)行判斷有無缺陷的處理。多孔板表面檢查裝置I具有:反射照明光源3，其向多孔板W的表面Wa照射反射用的照明光；背光照明光源2，其向多孔板W的背面照射背光用的照明光；攝像部4，其從多孔板W的表面Wa側(cè)對多孔板W進(jìn)行攝像；以及控制部5，其基于通過攝像部4攝像的影像來調(diào)節(jié)反射照明光源3和背光照明光源2的光量并檢查多孔板W的缺陷(參照圖2)。多孔板W例如由用于鎳氫二次電池的芯體等的鋼板制的帶狀薄板部件構(gòu)成，在其兩面實施了電鍍處理。多孔板W通過沒有圖示的傳送裝置，以表面Wa配置在上側(cè)的形態(tài)被沿著縱向方向按照指定的速度傳送。多孔板W具有多個透孔部Wc。各透孔部Wc例如具有俯視為大致矩形的開口形狀，并且以沿著多孔板W的縱向方向的方式設(shè)置在列方向。而且透孔部Wc的列在寬度方向上配設(shè)多個以并排配置。反射照明光源3配置在多孔板W的表面Wa的相對方向，為了使得遍及多孔板W的寬度方向保持一定的亮度，向多孔板W的表面Wa照射照明光。背光照明光源2配置在多孔板W的背面的相對方向，為了使得遍及多孔板W的寬度方向保持一定的亮度，向多孔板W的背面照射照明光。在本實施方式中，如圖2所示，背光照明光源2具有比多孔板W在寬度方向上更突出的尺寸，使得從背光照明光源2向多孔板W的背面照射的照射光的一部分，透過透孔部Wc而成為透過光，且可被攝像部4接收。攝像部4配置在多孔板W的表面Wa的相對方向，以對包括多孔板W的表面Wa和比多孔板W的側(cè)端部Wb更靠寬度方向外側(cè)的部分的范圍S進(jìn)行攝像的方式構(gòu)成?？刂撇?由微型計算機等構(gòu)成，具備:A/D變換裝置，其將由攝像部4攝像的影像從模擬影像信號向數(shù)字影像信號變換；RAM，其將通過A/D變換裝置變換的數(shù)字影像信號作為影像數(shù)據(jù)進(jìn)行記憶；CPU，其進(jìn)行光量的調(diào)節(jié)、影像處理等各種計算處理；以及R0M，其存儲各種控制CPU的程序。控制部5具有光量調(diào)節(jié)部6和檢查部7。光量調(diào)節(jié)部6基于由攝像部4攝像的影像進(jìn)行分別對反射照明光源3和背光照明光源2的光量進(jìn)行調(diào)節(jié)的光量調(diào)節(jié)處理。檢查部7在由光量調(diào)節(jié)部6進(jìn)行光量調(diào)節(jié)后，對由攝像部4攝像的影像，實施影像處理，進(jìn)行對多孔板W的缺陷進(jìn)行檢查的缺陷檢查處理。光量調(diào)節(jié)部6對應(yīng)作為檢查對象的多孔板W的種類，在預(yù)先設(shè)定的時機進(jìn)行光量調(diào)節(jié)。例如，多孔板W是鍍層比較厚的馬口鐵板，以從卷狀卷曲的狀態(tài)順序地被抽出以被檢查的方式，在卷的前端側(cè)和尾部側(cè)的表面Wa的光澤不同的情況下，也可以和檢查部7的缺陷檢查處理同步一直進(jìn)行光量調(diào)節(jié)。也就是說，在進(jìn)行缺陷檢查處理的情況下，也可以一直進(jìn)行光量調(diào)節(jié)，基于在光量調(diào)節(jié)的狀態(tài)攝像的影像，進(jìn)行缺陷檢查處理。另外，在卷的前端側(cè)和尾部側(cè)的表面Wa的光澤變化比較小的多孔板W的情況下，和最初的缺陷檢查處理同步，可以只進(jìn)行一次光量調(diào)節(jié)，省略這之后的和缺陷檢查處理同步的光量調(diào)節(jié)。另外，也可以在每隔預(yù)先設(shè)定的一定的攝像次數(shù)，或者每隔一定的時間的時機進(jìn)行光量調(diào)節(jié)。作為缺陷檢查處理，檢查部7進(jìn)行影像范圍設(shè)定處理，其中將攝像部4攝像的影像劃分為多個影像范圍，從多個影像范圍中設(shè)定作為檢查對象的影像范圍的檢查對象影像范圍，和作為比較對象的其它多個影像范圍的比較對象影像范圍；進(jìn)行光量測定處理，其中測定由影像范圍設(shè)定處理設(shè)定的檢查對象影像范圍的光量和比較對象影像范圍的光量；進(jìn)行缺陷判斷處理，其中算出由光量測定處理測定的檢查對象影像范圍的光量和比較對象影像范圍的光量的差分，在差分在預(yù)先設(shè)定的閾值以上的情況下，判斷在多孔板W的表面Wa的檢查對象影像范圍的對應(yīng)部分存在缺陷。下面對有關(guān)利用所述的多孔板表面檢查裝置I的多孔板表面檢查方法進(jìn)行說明。圖3是對表面沒有缺陷的多孔板進(jìn)行攝像的影像的示意圖，圖4是以斷面示出圖3的A部的照射光以及反射光的狀態(tài)的圖，圖5是對表面有缺陷的多孔板進(jìn)行攝像的影像的示意圖，圖6是以斷面示出圖5的B部的照射光以及反射光的狀態(tài)的圖，圖7是檢查對象影像范圍和比較對象影像范圍的設(shè)定例中的一個示例的圖，是對一部分放大而示出的圖。本發(fā)明的多孔板表面檢查方法，最初進(jìn)行調(diào)節(jié)反射照明光源3的光量和背光照明光源2的光量的光量調(diào)節(jié)處理，然后，進(jìn)行檢查多孔板W的缺陷的缺陷檢查處理。首先，在光量調(diào)節(jié)處理中，在向多孔板W的表面Wa照射反射照明光源3的照明光的同時，向多孔板W的背面照射背光照明光源2的照明光。然后，通過攝像部4對攝像范圍S攝像。所攝像的影像從攝像部4輸入到控制部5。控制部5的光量調(diào)節(jié)部6，基于攝像的影像，測定在多孔板W的表面Wa反射的反射光12的光量和透過多孔板W的透孔部Wc的透過光11的光量，為了使得反射光12的光量以及透過光11的光量相同并且變成在預(yù)先設(shè)定的范圍內(nèi)的光量，進(jìn)行調(diào)節(jié)反射照明光源3和背光照明光源2的光量的控制。反射光12的光量以及透過光11的光量被調(diào)節(jié)為在預(yù)先設(shè)定的下限閾值Thmin和上限閾值Thmax之間的允許范圍內(nèi)的值。下限閾值Thmin例如被設(shè)定為如蟲子等異物那樣的普通黑色的、吸收光的污垢的反射光的光量，上限閾值Thmax例如被設(shè)定為如電鍍的傷痕等那樣的普通白色的、反射光的污垢的反射光的光量。所以，例如如圖3所示，在這樣的光量調(diào)節(jié)后，能夠使得攝像的畫像Cl中的多孔板W的表面Wa和多孔板W的透孔部Wc的濃度差變小，可以防止檢查部7將多孔板W的透孔部Wc誤認(rèn)為異物。另外，雖然在圖3中，為了說明方便，在影像Cl中用假想的線表示了多孔板W的側(cè)端部Wb，但是因為透過光11的光量和反射光12的光量是被調(diào)節(jié)為相同，實際的影像中多孔板W的表面Wa和比多孔板W的側(cè)端部Wb更靠寬度方向外側(cè)的部分沒有濃度差，或者濃度差比較小，不可能認(rèn)出影像Cl中的側(cè)端部Wb。另外，如圖5以及圖6所示，在異物X附著在多孔板W的表面Wa而變成缺陷的時候，在異物X反射的反射光12'變成擴散反射，其光量比影像C2的其它部分的光量，也就是說，比反射光12的光量以及透過其它透孔部Wc的透過光11的光量要少。所以，在該部分的光量比下限閾值Thmin少的情況下，如圖5所示那樣，影像C2中的異物X就明顯地顯現(xiàn)出來。另外，雖然圖中沒有特別顯示，在多孔板W的表面Wa有傷痕的時候，傷痕的反射光的光量和其它部分的光量相比變多，在該部分的光量比上限閾值Thmax多的情況下，影像中的傷痕就明顯地顯現(xiàn)出來。缺陷檢查處理，進(jìn)行在由光量調(diào)節(jié)部6進(jìn)行光量調(diào)節(jié)的狀態(tài)下，通過攝像部4對多孔板W的表面Wa攝像，基于該攝像的影像，檢查多孔板W的缺陷的處理。攝像部4在規(guī)定的時機,對以預(yù)先設(shè)定的一定速度，向著移動方向F移動的多孔板W進(jìn)行攝像。在此，包括多孔板W的表面Wa和比多孔板W的側(cè)端部Wb更靠外側(cè)的部分的范圍S被攝像(參考圖1以及圖2)。如圖7所示，檢查部7進(jìn)行影像處理范圍設(shè)定處理(影像處理范圍設(shè)定裝置)，其中將攝像部4攝像的影像劃分為多個影像范圍，從多個影像范圍中設(shè)定作為檢查對象的影像范圍的檢查對象影像范圍21和作為比較對象的其它多個影像范圍的比較對象影像范圍22-24。檢查對象影像范圍21和比較對象影像范圍22-24，具有在各范圍內(nèi)包含透孔部Wc的至少一部分和多孔板W的表面Wa的一部分兩者的大小，在以任意的時機對向移動方向F移動的多孔板W進(jìn)行攝像的情況下，設(shè)定為在各范圍內(nèi)總是加入一定面積的透孔部Wc和表面Wa的大小(尺寸)，并設(shè)定為使得各范圍21-24內(nèi)的透孔部Wc的面積和表面Wa的面積的比例為定值。例如，在本實施方式中，如圖7所示，檢查對象影像范圍21是比一個透孔部Wc大的范圍，列方向的大小Ld設(shè)定為從該透孔部Wc到和位于列方向一側(cè)的其它透孔部Wc的分界部分為止的尺寸長度，寬度方向的大小Lw設(shè)定為從該透孔部Wc到和位于寬度方向一側(cè)的其它透孔部Wc的分界部分為止的尺寸長度。比較對象影像范圍22-24具有和檢查對象影像范圍21相同的尺寸，設(shè)定在相對于檢查對象影像范圍21在各個列方向偏離的位置。例如如圖7所示，本實施方式的比較對象影像范圍22-24以檢查對象影像范圍21為基準(zhǔn)，在從檢查對象影像范圍21向多孔板W的移動方向F偏離的位置并且設(shè)定在一部分互相重疊的位置。另外，雖然所述的實施方式以設(shè)定在互相相鄰的比較對象影像范圍22-24的一部分相互重疊的位置的情況為例進(jìn)行了說明，但是也可以設(shè)定在只是相隔規(guī)定的距離的位置，能夠通過檢查出的缺陷的大小變更設(shè)定的位置。例如，通過把各比較對象影像范圍22-24設(shè)定在一部分重疊的位置，能夠檢查出容納在檢查對象影像范圍21內(nèi)那樣大小的缺陷。另外，通過把各比較對象影像范圍22-24設(shè)定在互相只是相隔規(guī)定距離的位置，可以檢查出相比檢查對象影像范圍21更大的尺寸的缺陷。如果進(jìn)行了所述的檢查對象影像范圍21和比較對象影像范圍22-24的設(shè)定，則接下來，要進(jìn)行測定檢查對象影像范圍21的光量和比較對象影像范圍22-24的光量的處理(光量測定裝置)。光量的測定通過影像處理進(jìn)行。然后，從檢查對象影像范圍21的光量和比較對象影像范圍22-24的光量的差分，判斷對應(yīng)檢查對象影像范圍21的部分是否存在缺陷(判斷裝置)。在此，從各比較對象影像范圍22-24的光量計算平均光量，求出檢查對象影像范圍21的光量和比較對象影像范圍22-24的平均光量的差分。然后，在差分在預(yù)先設(shè)定的閾值以上的情況下，判斷在對應(yīng)多孔板W的表面Wa的檢查對象影像范圍21的部分存在缺陷，在差分小于閾值的情況下，判斷不存在缺陷。圖8是對于本實施方式的比較例的內(nèi)容的說明圖，是圖7的對應(yīng)圖。例如如圖8的比較例所示，在把檢查對象影像范圍31和比較對象影像范圍32-34并列設(shè)定在多孔板W的寬度方向的情況下，每個范圍的透孔部Wc的面積和表面Wa的面積不同，容易受寬度方向的濃度差的影響。所以，各范圍31-34之間的濃度差比較大，成為干擾部分，有誤認(rèn)為缺陷的危險。對此，因為本實施方式把檢查對象影像范圍21以及比較對象影像范圍22-24排列在多孔板W的移動方向，將透孔部Wc的面積和表面Wa的面積設(shè)定為一定比例，所以能夠使得不沒有缺陷的范圍內(nèi)的光量成為定值，能夠降低測定誤差。因此，對于象多孔板這樣，沿著移動方向(列方向)具有透孔部Wc的部分和不具有透孔部Wc的部分的存在比例按規(guī)定正確排列，能夠正確地進(jìn)行檢查。通過所述多孔板表面檢查裝置I，基于攝像部4攝像的影像，測定在多孔板W的表面Wa反射的反射光12的光量和透過多孔板W的透孔部Wc的透過光11的光量，為了使反射光12的光量以及透過光11的光量相同并且變成在預(yù)先設(shè)定的范圍內(nèi)的光量，調(diào)節(jié)反射照明光源3和背光照明光源2的光量，所以在這樣的光量調(diào)節(jié)后，能夠使得攝像的影像中的多孔板W的表面Wa和透孔部Wc的濃度差變小。因此，對于檢查部7能夠防止將多孔板W的透孔部Wc誤認(rèn)為異物，可以正確判斷多孔板W的表面Wa有無缺陷。因此，在多孔板W的表面Wa存在污垢、傷痕、電鍍不良、異物附著的情況下，能夠?qū)⑦@些正確地檢查出來。另外，本發(fā)明并不限定于所述實施方式，在不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)可以有各種變更。符號說明I多孔板表面檢查裝置2背光照明光源3反射照明光源4攝像部5控制部6光量調(diào)節(jié)部7檢查部11透過光12反射光21檢查對象影像范圍22-24比較對象影像范圍S攝像范圍W多孔板Wa 表面Wb側(cè)端部Wc透孔部X異物(缺陷)
權(quán)利要求
1.一種多孔板表面檢查方法,其特征在于，所述多孔板表面檢查方法是對具有多個透孔部的多孔板進(jìn)行攝像，且基于該攝像的影像來檢查所述多孔板的表面的多孔板表面檢查方法， 所述多孔板表面檢查方法包括: 對于所述多孔板從該多孔板的表面?zhèn)日丈浞瓷溆玫恼彰鞴?，并且從所述多孔板的背面?zhèn)日丈浔彻庥玫恼彰鞴獾牟襟E； 從所述多孔板的表面?zhèn)葘λ龆嗫装宓谋砻孢M(jìn)行攝像的步驟； 基于該攝像的影像測定在所述多孔板的表面反射的反射光的光量和透過所述多孔板的孔部的透過光的光量的步驟； 為了使所述反射光的光量和所述透過光的光量相同并且變成在預(yù)先設(shè)定的范圍的光量，調(diào)節(jié)所述反射用的照明光和所述背光用的照明光的光量的步驟；以及 在所述光量已調(diào)節(jié)的狀態(tài)，對所述多孔板的表面進(jìn)行攝像，基于此攝像的影像檢查所述多孔板的缺陷的步驟。
2.如權(quán)利要求1所述的多孔板表面檢查方法，其特征在于， 在檢查所述多孔板的缺陷的步驟中， 將在調(diào)節(jié)所述光量之后攝像的影像劃分為多個影像范圍，從該多個影像范圍中設(shè)定作為檢查對象的影像范圍的檢查對象影像范圍和作為比較對象的其它多個影像范圍的比較對象影像范圍，測定所述檢查對象影像范圍的光量和所述比較對象影像范圍的光量，在所述檢查對象影像范圍的光量和所述比較對象影像范圍的光量的差分在預(yù)先設(shè)定的閾值以上的情況下，判斷在所述多孔板的表面的所述檢查對象影像范圍對應(yīng)的部分存在缺陷。
3.如權(quán)利要求2所述的多孔板表面檢查方法，其特征在于， 在所述多孔板具有將所述多個透孔部配設(shè)在列方向，且將配設(shè)在該列方向的所述多個透孔部的列在寬度方向配設(shè)多個的構(gòu)成的情況下， 在檢查所述多孔板的缺陷的步驟中， 將大于所述一個透孔部的，且列方向的尺寸具有從該透孔部到和位于列方向一側(cè)的其它透孔部的分界部分的尺寸長度、寬度方向的尺寸具有從所述透孔部到和位于寬度方向一側(cè)的其它透孔部的分界部分的尺寸長度的，范圍設(shè)定為所述檢查對象影像范圍，并且 在相對該檢查對象影像范圍在列方向偏移的位置，將具有和所述檢查對象影像范圍相同尺寸的范圍設(shè)定為所述比較對象影像范圍。
4.如權(quán)利要求3所述的多孔板表面檢查方法，其特征在于， 在檢查所述多孔板的缺陷的步驟中， 在相對所述檢查對象影像范圍在各列方向上偏離的位置，設(shè)定多個所述比較對象影像范圍。
5.一種多孔板表面檢查裝置，其特征在于，所述多孔板表面檢查裝置是對具有多個透孔部的多孔板進(jìn)行攝像，基于該攝像的影像來檢查所述多孔板的表面的多孔板表面檢查裝置， 所述多孔板表面檢查裝置包括: 反射照明光源，其與所述多孔板的表面相向配置，且向所述多孔板的表面照射反射用的照明光；背光照明光源，其與所述多孔板的背面相向配置，且向所述多孔板的背面照射背光用的照明光； 攝像部，其對所述多孔板的表面進(jìn)行攝像； 光量調(diào)節(jié)部，其基于通過所述攝像部攝像的影像，測定在所述多孔板的表面反射的反射光的光量和透過所述多孔板的透孔部的透過光的光量，為了使所述反射光的光量和所述透過光的光量相同且變成在預(yù)先設(shè)定的范圍內(nèi)的光量，調(diào)節(jié)所述反射照明光源和所述背光照明光源的光量；以及 檢查部，其在通過所述光量調(diào)節(jié)部進(jìn)行過光量調(diào)節(jié)的所述反射用的照明光和所述背光用的照明光照射在所述多孔板的狀態(tài)下，基于通過所述攝像部攝像的影像來檢查所述多孔板的缺陷。
6.如權(quán)利要求5所述的多孔板表面檢查裝置，其特征在于， 所述檢查部具有: 影像范圍設(shè)定裝置，其將通過所述攝像部攝像的影像劃分多個影像范圍，并且從該多個影像范圍中設(shè)定作為檢查對象的影像范圍的檢查對象影響范圍和作為比較對象的其他影像范圍的比較對象影響范圍； 光測定裝置，其測定通過該影像范圍設(shè)定裝置設(shè)定的所述檢查對象影像范圍的光量和所述比較對象影像范圍的光量；以及 判斷裝置，其算出通過該光量測定裝置測定的所述檢查對象影像范圍的光量和所述比較對象影像范圍的光量的差分，在該差分在預(yù)先設(shè)定的閾值以上的情況下，判斷在對應(yīng)所述檢查對象的影像范圍的部分存在缺陷。
7.如權(quán)利要求6所述的多孔板表面檢查裝置，其特征在于， 在所述多孔板具有將所述多個透孔部配設(shè)在列方向，且將配設(shè)在該列方向的所述多個透孔部的列在寬度方向配設(shè)多個的構(gòu)成的情況下， 所述影像范圍設(shè)定裝置， 將大于所述一個透孔部的，且列方向的尺寸具有從該透孔部到和位于列方向一側(cè)的其它透孔部的分界部分的尺寸長度、寬度方向的尺寸具有從所述透孔部到和位于寬度方向一側(cè)的其它透孔部的分界部分的尺寸長度的，范圍設(shè)定為所述檢查對象影像范圍，并且 在相對該檢查對象影像范圍在列方向偏離的位置，將具有和所述檢查對象影像范圍相同尺寸的范圍設(shè)定為所述比較對象影像范圍。
8.如權(quán)利要求7所述的多孔板表面檢查裝置，其特征在于， 所述影像范圍設(shè)定裝置， 在相對所述檢查對象影像范圍在各列方向上偏離的位置，設(shè)定多個所述比較對象影像范圍。
全文摘要
本發(fā)明的目的是提供一種能夠正確檢查在多孔板的表面的污垢、傷痕、電鍍不良、異物附著等的多孔板表面檢查方法以及裝置。本發(fā)明從多孔板W的表面?zhèn)日丈浞瓷溆玫恼彰鞴?，并且從多孔板W的背面?zhèn)日丈浔彻庥玫恼彰鞴?，利用攝像部4對多孔板W的表面Wa進(jìn)行攝像。然后，基于此影像，測定在多孔板W的表面Wa反射的反射光12的光量和透過多孔板W的透孔部Wc的透過光11的光量，為了使這兩個光量相同并且在事先設(shè)定的范圍內(nèi)，調(diào)節(jié)反射用的照明光和背光用的照明光的光量。然后，在光量已調(diào)節(jié)的狀態(tài)，對多孔板W的表面Wa進(jìn)行攝像，基于此攝像的影像檢查多孔板W的表面Wa的缺陷。
文檔編號G01N21/89GK103119424SQ20118004600
公開日2013年5月22日 申請日期2011年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月16日
發(fā)明者松村修美, 今重薫, 矢崎伸二 申請人:東洋鋼鈑株式會社