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板材檢查方法以及板材檢查裝置的制作方法

文檔序號(hào):5939578閱讀:123來源:國知局
專利名稱:板材檢查方法以及板材檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及對(duì)板材進(jìn)行攝像,基于此攝像的影像,檢查板材的板材檢查方法以及板材檢查裝置。
背景技術(shù)
近年來,各種在板材表面照射照明光,對(duì)在表面反射的反射光進(jìn)行攝像,基于此攝像的影像檢查板材的技術(shù)被提出來(例如,參照專利文獻(xiàn)I)。在專利文獻(xiàn)I中,作為檢查形成有多個(gè)透孔的萌罩板缺陷的方法,公開了如下方法:在萌罩板的一個(gè)主面照射透過用的照明光,并且在萌罩板的另一主面照射反射用的照明光,在萌罩板的另一主面?zhèn)?,以接收透過萌罩板的透過光和在萌罩板的另一主面反射的反射光的的方式對(duì)萌罩板進(jìn)行攝像,能夠不受萌罩板附著的異物的影響,正確地檢查萌罩板的缺陷?,F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:特開平6-341958號(hào)公報(bào)發(fā)明概述發(fā)明要解決的課題但是現(xiàn)有的照射透過光和反射光以對(duì)板材進(jìn)行攝像來檢查板材的缺陷的方法,例如,在比板材的側(cè)端面更靠外側(cè)的一個(gè)比板材的表面光量少的情況,比板材的側(cè)端部更靠外側(cè)和板材的表面之間的光量差很大的情況下,有把比側(cè)端部更靠外側(cè)的地方誤判為異物的危險(xiǎn)。所以,不能完全檢查到表面的側(cè)端部,檢查范圍到偏離側(cè)端面若干內(nèi)側(cè)的位置。這樣,現(xiàn)有的方法在板材表面的側(cè)端部附近存在不能檢查的范圍,即使表面的側(cè)端部附近有污垢、傷痕、電鍍不良、異物附著,也不能檢查出來這些。本發(fā)明是鑒于上述課題而研發(fā)的,其目的是提供一種能夠正確檢查在板材的表面的側(cè)端部附近的污垢、傷痕、電鍍不良、異物附著等的板材檢查方法以及板材檢查裝置。解決課題的手段本發(fā)明的解決所述課題的板材檢查方法,其特征在于,是一種對(duì)板材進(jìn)行攝像,基于該攝像的影像來檢查板材的板材檢查方法,所述板材檢查方法包含:對(duì)于板材,從板材的表面?zhèn)日丈浞瓷溆玫恼彰鞴?,并且從板材的背面?zhèn)日丈浔彻庥玫恼彰鞴獾牟襟E;從板材的表面?zhèn)葘?duì)包含板材的表面和比板材的側(cè)端部更靠外側(cè)的部分的范圍進(jìn)行攝像的步驟;基于該攝像的影像測(cè)定在板材的表面反射的反射光的光量和比板材的側(cè)端部更靠外側(cè)的部分的光量的步驟;為了使反射光的光量和比板材的側(cè)端部更靠外側(cè)的部分的光量變成在同一且預(yù)先設(shè)定的范圍的光量,調(diào)節(jié)反射用的照明光和背光用的照明光的光量的步驟;以及在光量已調(diào)節(jié)的狀態(tài),對(duì)包含板材的表面和比板材的側(cè)端部更靠外側(cè)的部分的范圍進(jìn)行攝像,基于此攝像的影像檢查板材的缺陷的步驟。本發(fā)明的板材檢查裝置,其特征在于,是一種對(duì)板材進(jìn)行攝像,基于該攝像的影像,檢查板材的板材檢查裝置,所述板材檢查裝置包含:反射照明光源,其與板材的表面相向配置且向板材的表面照射反射用的照明光;背光照明光源,其與板材的背面相向配置且向板材的背面照射背光用的照明光;攝像部,其對(duì)包含板材的表面和比板材的側(cè)端部更靠外側(cè)的部分的范圍進(jìn)行攝像;光量調(diào)節(jié)部,其基于通過攝像部攝像的影像,測(cè)定在板材的表面反射的反射光的光量和比板材的側(cè)端部更靠外側(cè)的部分的光量,為了使反射光的光量和比板材的側(cè)端部更靠外側(cè)的部分的光量變成在同一且預(yù)先設(shè)定的范圍的光量,調(diào)節(jié)反射照明光源和背光照明光源的光量;以及檢查部,其在通過光量調(diào)節(jié)部進(jìn)行過光量調(diào)節(jié)的反射用的照明光和背光用的照明光照射在板材的狀態(tài)下,基于通過攝像部攝像的影像,判斷板材的表面是否存在缺陷。發(fā)明的效果通過本發(fā)明,因?yàn)闉榱耸狗瓷涔獾墓饬亢捅劝宀牡膫?cè)端部更靠外側(cè)的部分的光量變成在同一且預(yù)先設(shè)定的范圍內(nèi)的光量,而調(diào)節(jié)反射用的照明光和背光用的照明光的光量,所以能夠使得進(jìn)行這樣光量調(diào)節(jié)后攝像的影像中的板材的表面和比板材的側(cè)端部更靠外側(cè)的部分的濃度差一致。因此在檢查板材缺陷的步驟中,能夠防止把比板材的側(cè)端部更靠外側(cè)的部分誤認(rèn)為異物,可以正確地檢查到板材的側(cè)端部有無缺陷。因此能夠在板材的表面的側(cè)端部附近有污垢、傷痕、電鍍不良、異物附著等情況下進(jìn)行正確地檢查。本說明書包含作為本申請(qǐng)優(yōu)先權(quán)基礎(chǔ)的日本國專利申請(qǐng)2010-255972號(hào)的說明書以及/或者附圖中記載的內(nèi)容。附圖的簡單說明

圖1是說明本實(shí)施方式中板材檢查裝置的構(gòu)成的立體圖。圖2是本實(shí)施方式中板材檢查裝置的構(gòu)成的示意圖。圖3是對(duì)沒有缺陷的板材進(jìn)行攝像的影像的示意圖。圖4是表示圖3的A部的照射光以及反射光的狀態(tài)的圖。圖5是對(duì)有缺陷的板材進(jìn)行攝像的影像的示意圖。圖6是表示圖5的B部的照射光以及反射光的狀態(tài)的圖。圖7是表示檢查對(duì)象的影像范圍和比較對(duì)象的影像范圍的設(shè)定例的一個(gè)示例的圖。圖8是表示檢查對(duì)象的影像范圍和比較對(duì)象的影像范圍的設(shè)定例的另一個(gè)示例的圖。實(shí)施發(fā)明的方式有關(guān)本發(fā)明的實(shí)施方式,在下面使用附圖進(jìn)行說明。圖1是說明本實(shí)施方式中板材檢查裝置的構(gòu)成的立體圖,圖2是本實(shí)施方式中板材檢查裝置的構(gòu)成的示意圖。板材檢查裝置I是檢查在板材W的表面Wa是否存在污垢、傷痕、電鍍不良、異物附著等缺陷的裝置,并且對(duì)板材W進(jìn)行攝像、基于攝像的影像判斷有無缺陷的處理。板材檢查裝置I具有:反射照明光源3,其向板材W的表面Wa照射反射用的照明光;背光照明光源2,其向板材W的背面照射背光用的照明光;攝像部4,其從板材W的表面Wa側(cè)對(duì)板材W進(jìn)行攝像;以及控制部5,其基于通過攝像部4攝像的影像,調(diào)節(jié)反射照明光源3和背光照明光源2的光量,從而檢查板材W的缺陷(參照?qǐng)D2)。板材W例如由用于鎳氫二次電池的芯體等的鋼板制的帶狀薄板部件構(gòu)成,在其兩面實(shí)施了電鍍處理。板材W通過沒有圖示的傳送裝置,以表面Wa配置在上側(cè)的形態(tài)被沿著縱向方向按照指定的速度傳送。反射照明光源3配置在板材W的表面Wa的相對(duì)方向,為了使得遍及板材W的橫向方向保持一定的亮度,向板材W的表面Wa照射照明光。背光照明光源2配置在板材W的背面的相對(duì)方向,向板材W的背面照射照明光。背光照明光源2在本實(shí)施方式中如圖2所示,具有比板材W在橫向方向上更突出的尺寸,使得從背光照明光源2向板材W的背面照射的照射光的一部分通過比板材W的側(cè)端部Wb更靠外側(cè)的部分且可被攝像部4接收。攝像部4配置在板材W的表面Wa的相對(duì)方向,且被構(gòu)成使得對(duì)包含板材W的表面Wa和直到比板材W的側(cè)端部Wb在橫向方向更靠外側(cè)的部分的范圍S進(jìn)行攝像??刂撇?由微型計(jì)算機(jī)等構(gòu)成,具備:A/D變換裝置,其將由攝像部4攝像的影像從模擬影像信號(hào)向數(shù)字影像信號(hào)變換;RAM,其將通過A/D變換裝置變換的數(shù)字影像信號(hào)作為影像數(shù)據(jù)進(jìn)行記憶;CPU,其進(jìn)行光量的調(diào)節(jié)、影像處理等各種計(jì)算處理;以及R0M,其存儲(chǔ)各種控制CPU的程序??刂撇?具有光量調(diào)節(jié)部6和檢查部7。光量調(diào)節(jié)部6基于由攝像部4攝像的影像進(jìn)行分別調(diào)節(jié)反射照明光源3和背光照明光源2的光量的光量調(diào)節(jié)處理。檢查部7在由光量調(diào)節(jié)部6進(jìn)行光量調(diào)節(jié)后,對(duì)由攝像部4攝像的影像,實(shí)施影像處理,從而進(jìn)行對(duì)板材W的缺陷進(jìn)行檢查的缺陷檢查處理。光量調(diào)節(jié)部6對(duì)應(yīng)作為檢查對(duì)象的板材W的種類,在預(yù)先設(shè)定的時(shí)機(jī)進(jìn)行光量調(diào)節(jié)。例如,板材W是鍍層比較厚的馬口鐵板,以從卷狀卷曲的狀態(tài)順序地被抽出以被檢查的方式,在卷的前端側(cè)和尾部側(cè)的表面Wa的光澤不同的情況下,也可以和檢查部7的缺陷檢查處理同步一直進(jìn)行光量調(diào)節(jié)。也就是說,在進(jìn)行缺陷檢查處理的情況下,也可以一直進(jìn)行光量調(diào)節(jié),基于在光量調(diào)節(jié)的狀態(tài)攝像的影像,進(jìn)行缺陷檢查處理。另外,在卷的前端側(cè)和尾部側(cè)的表面Wa的光澤變化比較小的板材W的情況下,和最初的缺陷檢查處理同步,可以只進(jìn)行一次光量調(diào)節(jié),省略這之后的和缺陷檢查處理同步的光量調(diào)節(jié)。另外,也可以在每隔預(yù)先設(shè)定的一定的攝像次數(shù),或者每隔一定的時(shí)間的時(shí)機(jī)進(jìn)行光量調(diào)節(jié)。作為缺陷檢查處理,檢查部7進(jìn)行影像范圍設(shè)定處理,其中將攝像部4攝像的影像劃分為多個(gè)影像范圍,從多個(gè)影像范圍中設(shè)定作為檢查對(duì)象的影像范圍的檢查對(duì)象影像范圍,和作為比較對(duì)象的其它多個(gè)影像范圍的比較對(duì)象影像范圍;進(jìn)行光量測(cè)定處理,其中測(cè)定由影像范圍設(shè)定處理設(shè)定的檢查對(duì)象影像范圍的光量和各比較對(duì)象影像范圍的光量;算出由光量測(cè)定處理測(cè)定的檢查對(duì)象影像范圍的光量和各比較對(duì)象影像范圍的平均光量的差分,進(jìn)行缺陷判斷處理,在差分在預(yù)先設(shè)定的閾值以上的情況下,判斷在板材W的表面Wa的檢查對(duì)象影像范圍的對(duì)應(yīng)部分存在缺陷。下面對(duì)有關(guān)具有所述構(gòu)成的板材檢查裝置I的板材檢查方法進(jìn)行說明。圖3是對(duì)沒有缺陷的板材進(jìn)行攝像的影像的示意圖,圖4是以斷面表示圖3的A部的照射光以及反射光的狀態(tài)的圖,圖5是對(duì)有缺陷的板材進(jìn)行攝像的影像的示意圖,圖6是以斷面表示圖5的B部的照射光以及反射光的狀態(tài)的圖。
本發(fā)明的板材檢查方法,最初進(jìn)行調(diào)節(jié)反射照明光源3的光量和背光照明光源2的光量的光量調(diào)節(jié)處理,然后,進(jìn)行檢查板材W的缺陷的缺陷檢查處理。首先,光量調(diào)節(jié)處理,在向板材W的表面Wa照射反射照明光源3的照明光的同時(shí),向板材W的背面照射背光照明光源2的照明光。然后,通過攝像部4對(duì)攝像范圍S攝像,攝像的影像從攝像部4輸入到控制部5??刂撇?的光量調(diào)節(jié)部6,基于攝像的影像,測(cè)定板材W的表面Wa反射的反射光12的光量和通過比板材W的側(cè)端部Wb更靠橫向方向外側(cè)的部分的背光11的光量,為了使得反射光12的光量以及背光11的光量變成在同一且預(yù)先設(shè)定的范圍內(nèi)的光量,進(jìn)行調(diào)節(jié)反射照明光源3和背光照明光源2的光量的控制。反射光12的光量以及背光11的光量被調(diào)節(jié)為在預(yù)先設(shè)定的下限閾值Thmin和上限閾值Thmax之間的允許范圍內(nèi)的值。下限閾值Thmin例如被設(shè)定為如蟲子等異物那樣的普通黑色的、吸收光的污垢的反射光的光量,上限閾值Thmax例如被設(shè)定為如電鍍的傷痕等那樣的普通白色的、反射光的污垢的反射光的光量。所以,例如如圖3所示,在這樣的光量調(diào)節(jié)后,能夠使得攝像的影像Cl中的板材W的表面Wa和比板材W的側(cè)端部Wb更靠橫向方向外側(cè)的部分的濃度差變小,可以防止檢查部7將比板材W的側(cè)端部Wb更靠橫向方向外側(cè)的部分誤認(rèn)為異物。另外,作為與板材W的表面Wa和比板材W的側(cè)端部Wb更靠橫向方向外側(cè)的部分的分界線的板材W的側(cè)端部Wb在影像C1、C2中沒有出現(xiàn),但是為了說明的方便,在圖3以及圖5中用假想的線將側(cè)端部Wb進(jìn)行了圖示。另外,如圖5以及圖6所不,由于電鍍不良導(dǎo)致板材W的原始表面X露出來,變?yōu)槿毕莸臅r(shí)候,原始表面X反射的反射光形成擴(kuò)散反射,其光量比影像C2的其它部分的光量,也就是說,板材W的電鍍表面反射的反射光12的光量以及背光11的光量要少。所以,在該部分的光量比下限閾值Thmin少的情況下,如圖5所示,影像C2中缺陷(原始表面X)就明顯地顯現(xiàn)出來。另外,雖然圖中沒有特別顯示,但是在板材W的表面Wa有傷痕的時(shí)候,傷痕的反射光的光量和其它部分的光量相比變多,在該部分的光量比上限閾值Thmax多的情況下,在影像中傷痕就明顯地顯現(xiàn)出來。接下來的缺陷檢查處理,進(jìn)行在由光量調(diào)節(jié)部6進(jìn)行光量調(diào)節(jié)的狀態(tài)下,通過攝像部4對(duì)板材W的表面Wa攝像,基于其攝像的影像,檢查板材W的缺陷的處理。攝像部4在規(guī)定的時(shí)機(jī),對(duì)以預(yù)先設(shè)定的一定速度,向著移動(dòng)方向F移動(dòng)的板材W進(jìn)行攝像。在此,包括板材W的表面Wa和比板材W的側(cè)端部Wb更靠橫向方向外側(cè)的部分的范圍S(參考圖1)被攝像。檢查部7進(jìn)行影像范圍設(shè)定處理(影像范圍設(shè)定裝置),其中將攝像部4攝像的影像劃分為多個(gè)影像范圍,從這些多個(gè)影像范圍中設(shè)定作為檢查對(duì)象的影像范圍的檢查對(duì)象影像范圍和作為比較對(duì)象的其它多個(gè)影像范圍的比較對(duì)象影像范圍。圖7以及圖8是示出檢查對(duì)象影像范圍和比較對(duì)象影像范圍的設(shè)定例之一例的圖,是示出設(shè)定影像范圍的狀態(tài)的一部分的放大圖。影像范圍20以例如在板材W的橫向方向上形成η列,在板材W的縱向方向上形成m列的方式,設(shè)定為棋盤格狀。而且,板材W的表面部分和比板材W的側(cè)端部Wb更靠橫向方向外側(cè)的部分按照一定比例設(shè)定。
在此,因?yàn)橐呀?jīng)進(jìn)行了光量調(diào)節(jié)處理,反射光12的光量和背光11的光量被調(diào)節(jié)為同一且預(yù)先設(shè)定的光量,所以影像范圍20的設(shè)定場所并不限定在板材W的表面,可以設(shè)定在包含比板材W的側(cè)端部Wb更靠橫向方向外側(cè)的部分的任意范圍。因此,這些多個(gè)影像范圍20中,對(duì)應(yīng)板材W的側(cè)端部Wb的位置的影像范圍20 (圖7是左側(cè)第2列,圖8是左側(cè)第3列)也可以配置在橫跨板材W的表面和比板材W的側(cè)端部Wb更靠橫向方向外側(cè)的部分之間的位置。檢查對(duì)象影像范圍21從這些多個(gè)影像范圍20中設(shè)定,將此檢查對(duì)象影像范圍21作為基準(zhǔn),設(shè)定比較對(duì)象影像范圍22。比較對(duì)象影像范圍22根據(jù)作為檢查對(duì)象的缺陷的大小被設(shè)定。例如,如圖7所示,在想要檢查具有容納在檢查對(duì)象影像范圍21中的程度的大小的缺陷時(shí),將鄰接檢查對(duì)象影像范圍21的多個(gè)影像范圍20設(shè)定為比較對(duì)象影像范圍22。另外,例如如圖8所示,在想要檢查在包含檢查對(duì)象影像范圍21的多個(gè)影像范圍20內(nèi)存在的大缺陷的時(shí)候,將僅僅距離檢查對(duì)象影像范圍21 —定程度的距離的位置存在的多個(gè)影像范圍20作為比較對(duì)象影像范圍22進(jìn)行設(shè)定。另外,檢查對(duì)象影像范圍21不限定在一個(gè)影像范圍20構(gòu)成的范圍,也可以由多個(gè)影像范圍20構(gòu)成檢查對(duì)象影像范圍21。如果進(jìn)行了所述的檢查對(duì)象影像范圍21和比較對(duì)象影像范圍22的設(shè)定,則接下來,要進(jìn)行對(duì)檢查對(duì)象影像范圍21的光量和各比較對(duì)象影像范圍22的光量進(jìn)行測(cè)定的處理(光量測(cè)定部)。光量的測(cè)定通過影像處理進(jìn)行。然后,根據(jù)檢查對(duì)象影像范圍21的光量和比較對(duì)象影像范圍22的光量的差分,判斷對(duì)應(yīng)檢查對(duì)象影像范圍21的部分是否存在缺陷(判斷裝置)。在此,從各比較對(duì)象影像范圍22的光量計(jì)算平均光量,求出檢查對(duì)象影像范圍21的光量和各比較對(duì)象影像范圍22的平均光量的差分。然后,在差分在預(yù)先設(shè)定的閾值以上的情況下,判斷為在對(duì)應(yīng)板材W的表面Wa的檢查對(duì)象影像范圍21的部分存在缺陷,在差分小于閾值的情況下,判斷為不存在缺陷。因?yàn)楸緦?shí)施方式的影像范圍20的板材W的表面部分和比板材W的側(cè)端部Wb更靠橫向方向外側(cè)的部分按照一定比例設(shè)定,所以容易使得不包含缺陷的影像范圍20的光量成為定值,能夠降低光量的測(cè)定誤差。因?yàn)橥ㄟ^所述板材檢查裝置I,基于攝像部4攝像的影像,測(cè)定板材W的表面Wa反射的反射光12的光量和比板材W的側(cè)端部Wb更靠橫向方向外側(cè)的部分的背光11的光量,為了使反射光12的光量以及背光11的光量變成在同一且預(yù)先設(shè)定的范圍內(nèi)的光量,調(diào)節(jié)反射照明光源3和背光照明光源2的光量,所以在該光量調(diào)節(jié)后,能夠使得所攝像的影像中的板材W的表面Wa和比板材W的側(cè)端部Wb更靠橫向方向外側(cè)的部分的濃度差變小。因此,對(duì)于檢查部7能夠防止將比板材W的側(cè)端部Wb更靠橫向方向外側(cè)的部分誤認(rèn)為異物,可以正確判斷板材W的側(cè)端部Wb附近有無缺陷。因此,在板材W的表面Wa的偵U端部Wb的附近存在污垢、傷痕、電鍍不良、異物附著的情況下,能夠?qū)⑦@些正確地檢查出來。另外,本發(fā)明并不限定于所述實(shí)施方式,不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)可以有各種變更。例如,在所述的實(shí)施方式中,將設(shè)定多個(gè)影像范圍20為棋盤格狀的情況作為例子進(jìn)行了說明,但是將其設(shè)定為一部分互相重疊的方式也可以。象這樣,通過將多個(gè)影像范圍設(shè)定為一部分互相重疊,能夠更加正確地把握缺陷的位置以及形狀。符號(hào)說明I板材檢查裝置2背光照明光源3反射照明光源4攝像部5控制部6光量調(diào)節(jié)部7檢查部11 背光12反射光20影像范圍21檢查對(duì)象影像范圍22比較對(duì)象影像范圍S攝像范圍W 板材Wa 表面Wb側(cè)端部X原始表面(缺陷)
權(quán)利要求
1.一種板材檢查方法,其特征在于,所述板材檢查方法是對(duì)板材進(jìn)行攝像,且基于該攝像的影像檢查所述板材的板材檢查方法, 所述板材檢查方法包含: 對(duì)于所述板材,從該板材的表面?zhèn)日丈浞瓷溆玫恼彰鞴猓⑶覐乃霭宀牡谋趁鎮(zhèn)日丈浔彻庥玫恼彰鞴獾牟襟E; 從所述板材的表面?zhèn)葘?duì)包含所述板材的表面和比該板材的側(cè)端部更靠外側(cè)的部分的范圍進(jìn)行攝像的步驟; 基于該攝像的影像測(cè)定在所述板材的表面反射的反射光的光量和比所述板材的側(cè)端部更靠外側(cè)的部分的光量的步驟; 為了使所述反射光的光量和比所述板材的側(cè)端部更靠外側(cè)的部分的光量變成在同一且預(yù)先設(shè)定的范圍的光量,調(diào)節(jié)所述反射用的照明光和所述背光用的照明光的光量的步驟; 在所述光量已調(diào)節(jié)的狀態(tài),對(duì)包含所述板材的表面和比所述板材的側(cè)端部更靠外側(cè)的部分的范圍進(jìn)行攝像,基于該攝像的影像檢查所述板材的缺陷的步驟。
2.如權(quán)利要求1所述的板材檢查方法,其特征在于, 在檢查所述板材的缺陷的步驟中, 將在調(diào)節(jié)所述光量之后攝像的影像劃分為多個(gè)影像范圍,測(cè)定該多個(gè)影像范圍中的作為檢查對(duì)象的影像范圍的光量和作為比較對(duì)象的其它多個(gè)影像范圍的平均光量,在所述檢查對(duì)象的影像范圍的光量和所述比較對(duì)象的影像范圍的平均光量的差分在預(yù)先設(shè)定的閾值以上的情況下,判斷在對(duì)應(yīng)于所述檢查對(duì)象的影像范圍的部分存在缺陷。
3.一種板材檢查裝置,其特征在于,所述板材檢查裝置是對(duì)板材進(jìn)行攝像,并且基于該攝像的影像檢查所述板材的缺陷的板材檢查裝置, 所述板材檢查裝置包含: 反射照明光源,其與所述板材的表面相向配置,并且向所述板材的表面照射反射用的照明光; 背光照明光源,其與所述板材的背面相向配置,并且向所述板材的背面照射背光用的照明光; 攝像部,其對(duì)包含所述板材的表面和比所述板材的側(cè)端部更靠外側(cè)的部分的范圍進(jìn)行攝像; 光量調(diào)節(jié)部,其基于通過所述攝像部攝像的影像,測(cè)定在所述板材的表面反射的反射光的光量和比所述板材的側(cè)端部更靠外側(cè)的部分的光量,并且為了使所述反射光的光量和比所述板材的側(cè)端部更靠外側(cè)的部分的光量變成在同一且預(yù)先設(shè)定的范圍的光量,調(diào)節(jié)所述反射照明光源和所述背光照明光源的光量;以及 檢查部,其在通過所述光量調(diào)節(jié)部進(jìn)行過光量調(diào)節(jié)的所述反射用的照明光和所述背光用的照明光照射于所述板材的狀態(tài)下,基于通過所述攝像部攝像的影像,判斷板材的表面是否存在缺陷。
4.如權(quán)利要求3所述的板材檢查裝置,其特征在于, 所述檢查部具有: 影像范圍設(shè)定裝置,其將通過所述攝像部攝像的影像劃分為多個(gè)影像范圍,并且從該多個(gè)影像范圍中設(shè)定成為檢查對(duì)象的影像范圍和成為比較對(duì)象的其他多個(gè)影像范圍; 光量測(cè)定部,其測(cè)定通過該影像范圍設(shè)定裝置設(shè)定的所述檢查對(duì)象的影像范圍的光量和所述比較對(duì)象的影像范圍的平均光量;以及 判斷部,其算出通過該光量測(cè)定部測(cè)定的所述檢查對(duì)象的影像范圍的光量和所述比較對(duì)象的影像范圍的平均光量的差分,并且在該差分在預(yù)先設(shè)定的閾值以上的情況下,判斷在對(duì)應(yīng)于所述檢查對(duì)象的影像范圍的`部分存在缺陷。
全文摘要
本發(fā)明的目的是提供一種能夠檢查在板材的表面的側(cè)端部附近的污垢、傷痕、電鍍不良、異物附著等的板材檢查方法以及板材檢查裝置。本發(fā)明從板材W的表面?zhèn)日丈浞瓷溆玫恼彰鞴?,并且從板材W的背面?zhèn)日丈浔彻庥玫恼彰鞴猓⑶依脭z像部4對(duì)包含板材W的表面和比板材W的側(cè)端部更靠外側(cè)的部分的范圍S進(jìn)行攝像。然后,基于此影像,測(cè)定在板材W的表面反射的反射光12的光量和比板材W的側(cè)端部Wb更靠外側(cè)的部分的背光11的光量,并且為了使這兩個(gè)光量變成在同一且預(yù)先設(shè)定的范圍的光量,調(diào)節(jié)反射用的照明光和背光用的照明光的光量。然后,在光量已調(diào)節(jié)的狀態(tài),對(duì)包含板材W的表面和比板材W的側(cè)端部Wb更靠外側(cè)的部分的范圍進(jìn)行攝像,基于此攝像的影像檢查板材W的缺陷。
文檔編號(hào)G01N21/88GK103154709SQ20118004581
公開日2013年6月12日 申請(qǐng)日期2011年11月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月16日
發(fā)明者松村修美, 今重薫, 矢崎伸二 申請(qǐng)人:東洋鋼鈑株式會(huì)社
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