專利名稱:一種寬帶束束流檢測的方法與裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及離子注入機(jī)的束流檢測。通過采用多個(gè)測束法拉第杯并聯(lián)后積分來得到寬帶束束流值以及角度值。
背景技術(shù):
半導(dǎo)體集成電路制造工藝已發(fā)展到12英寸晶片、納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)時(shí)期。隨著晶圓片尺寸越來越大,單元器件尺寸越來越小,對(duì)半導(dǎo)體工藝設(shè)備的性能要求也就越來越高。離子注入機(jī)是半導(dǎo)體集成電路器件制造工藝中必不可少的關(guān)鍵設(shè)備。為了提高離子注入機(jī)的性能,使其滿足現(xiàn)代大晶圓片、納米器件生產(chǎn)工藝的要求和適應(yīng)將來半導(dǎo)體工藝技術(shù)的發(fā)展,必須要開發(fā)高效的全自動(dòng)控制系統(tǒng)。在進(jìn)行束流檢測處理時(shí),通過移動(dòng)法拉第的往復(fù)運(yùn)動(dòng)來檢測束流的狀況。束流狀況包括束流的大小,束流的角度,束流的均勻性情況。通過電機(jī)帶·動(dòng)移動(dòng)法拉第來同運(yùn)動(dòng),會(huì)使的測束法拉第杯接收到的束流之發(fā)生變化,由此,可以根據(jù)移動(dòng)法拉第移動(dòng)過程中,接收到的束流值的峰值與測束法拉第杯接收的束流值的谷值,通過算法可以算出束流的角度值。均勻性的測量也是一個(gè)復(fù)雜的過程。在移動(dòng)法拉第移動(dòng)的過程中,測束法拉第杯同實(shí)際電機(jī)編碼位置對(duì)應(yīng)的值,即為此處的電流值。而在實(shí)際的測量過程中,這種同步或者測量時(shí)實(shí)現(xiàn)不了的,必須通過一定的方法和算法間接求得。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明主要是為了準(zhǔn)確的對(duì)寬帶束束流進(jìn)行檢測,在移動(dòng)法拉第杯(I)移動(dòng)過程中,六個(gè)測束法拉第杯接收到的束流的變化情況計(jì)算出束流的大小,角度以及均勻性。首先,選擇信號(hào)輸出端(11)與信號(hào)輸入端(8)聯(lián)通,在移動(dòng)法拉第杯(I)運(yùn)動(dòng)的過程中,記錄并聯(lián)接入采集系統(tǒng)中的(2),(4),(6)測束法拉第杯測得的束流,會(huì)得到如圖2所示的變化曲線。即,當(dāng)移動(dòng)法拉第杯(I)沒有擋住任何測束法拉第杯時(shí),測得的束流值為選擇的三個(gè)測束法拉第杯(2),(4),(6)接到的束流值的總和,設(shè)為IA(15),每個(gè)測束法拉第杯測得的束流值分別設(shè)為il, 2, 3.當(dāng)有測束法拉第杯被移動(dòng)法拉第杯(I)擋住時(shí),則測得的總束流IA便慢慢變小,直至達(dá)到最小(圖2中的波谷)。因?yàn)橐苿?dòng)法拉第杯(I)寬度比測束法拉第杯寬度大很多,所以波谷會(huì)持續(xù)一段時(shí)間。可知第一段波谷值123(16)為i2+i3,第二段波谷值113(17)為Ii+i3,第三段波谷值112(18)為il+i2.故通過計(jì)算可得到每個(gè)測束法拉第杯測得的束流值大小:il = IA-123...........................................<1>i2 = IA-113...........................................<2>i3 = IA-112...........................................<3>按照類似方法,將選擇信號(hào)輸出端(11)與信號(hào)輸入端(9)聯(lián)通,在移動(dòng)法拉第杯
(I)運(yùn)動(dòng)的過程中,記錄并聯(lián)接入采集系統(tǒng)中的(3),(5),(7)測束法拉第杯測得的束流,會(huì)得到如圖3所示的變化曲線。按照上述方法,可計(jì)算得到各測束法拉第杯對(duì)應(yīng)的束流值i4,
i5,i6。設(shè)測束法拉第杯的寬度為w mm.則可通過積分的方法算出整個(gè)有效范圍內(nèi)的束流大小。即,將有效區(qū)域劃分為6個(gè)小區(qū)域,按就近原則拷貝最近的測束法拉第杯的束流值大小。設(shè)總的束流值為I,則I = ((300/6) /w*il) + ((300/6) /w*i2) + ((300/6) /w*i3) + ((300/6) /w*i4) + ((300/6) Mi5) + ((300/6) Mi6)..........................................<4>同理,根據(jù)已知的6個(gè)點(diǎn)的束流值大小,可以計(jì)算出相應(yīng)的均勻性值。設(shè)束流平均值大小為,均勻性值為U,則
權(quán)利要求
1.一種寬帶束束流檢測的方法與裝置其特征在于:裝置中共用了六個(gè)測束法拉第(2),(3),(4),(5),(6),(7)來作為束流接收杯。
2.一種寬帶束束流檢測的方法與裝置其特征在于:此束流檢測是在Windows XP操作系統(tǒng)下進(jìn)行的,采用了 Windows操作系統(tǒng)的多媒體計(jì)時(shí)器技術(shù)來作為實(shí)時(shí)響應(yīng)觸發(fā)器。
3.一種寬帶束束流檢測的方法與裝置其特征在于:包含兩路信號(hào)輸入端(8),(9),通過選擇輸入端(11)來進(jìn)行束流輸入端選擇。
4.一種寬帶束束流檢測的方法與裝置其特征在于:移動(dòng)法拉第移動(dòng)(I)移動(dòng)兩次計(jì)算出束流大小,角度以及均勻性。
5.一種寬帶束束流檢測的方法與裝置其特征在于:在計(jì)算束流大小時(shí),采用多點(diǎn)近似方法,即,將有效區(qū)域劃分為6個(gè)小區(qū)域,按就近原則拷貝最近的測束法拉第杯的束流值大小,設(shè)總的束流值為I,則:I = ((300/6) Mi I) + ((300/6) Mi 2) + ((300/6) Mi 3) + ((300/6) Mi 4) + ((300/6) /w*i5) + ( (300/6)/w*i6)..........................................<4>
6.一種寬帶束束流檢測的方法與裝置其特征在于:在計(jì)算束流均勻性時(shí),只需根據(jù)已得到的6個(gè)點(diǎn)進(jìn)行計(jì)算,設(shè)均勻性值為u,則:
全文摘要
本發(fā)明闡述了一種寬帶束束流檢測的方法與裝置,裝置包括移動(dòng)法拉第杯(1),測束法拉第杯(2),(3),(4),(5),(6),(7),信號(hào)轉(zhuǎn)換器板(10),計(jì)算機(jī)(13),電機(jī)(14)。信號(hào)轉(zhuǎn)換板(10)包含信號(hào)輸入端(8),(9),選擇信號(hào)輸出端(11)。計(jì)算機(jī)(13)包含束流信號(hào)輸入端(12)。本發(fā)明特征測束法拉第杯(2),(4),(6)并聯(lián)后連接到(8)信號(hào)輸入端,測束法拉第杯(3),(5),(7)并聯(lián)后連接到(9)信號(hào)輸入端,通過選擇輸出端(11)選擇不同輸入端,利用這些裝置,在Windows XP系統(tǒng)下,以多媒體計(jì)時(shí)器技術(shù)為驅(qū)動(dòng)時(shí)鐘,通過兩次移動(dòng)法拉第杯(1)的移動(dòng),計(jì)算出束流大小,角度及均勻性。
文檔編號(hào)G01T1/29GK103094036SQ201110347069
公開日2013年5月8日 申請日期2011年11月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月7日
發(fā)明者周文龍, 彭立波 申請人:北京中科信電子裝備有限公司