專利名稱：一種化學(xué)品泄漏自動檢測回收裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及化學(xué)品異常泄漏的處理設(shè)備，具體地說是一種化學(xué)品泄漏自動檢測回收裝置，應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中危險化學(xué)品異常泄漏的檢測回收。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制程中，偶而會發(fā)生化學(xué)品的意外泄漏，需要及時安全地處理。尤其是刻蝕工藝，會涉及到很多強酸化學(xué)品，一旦泄漏，危害很大。傳統(tǒng)的化學(xué)品泄漏檢測無法解決已泄漏出的化學(xué)品，就需要操作人員直接面對高濃度的酸，操作非常不方便也不安全；而且，腐蝕性的化學(xué)品對人身損害較大，工作環(huán)境安全性差。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決傳統(tǒng)化學(xué)品泄漏需要人工進行處理而存在的上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種化學(xué)品泄漏自動檢測回收裝置。該自動檢測回收裝置可實現(xiàn)對異常泄漏的化學(xué)品進行回收，保證操作人員的人身安全。本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的:本發(fā)明包括漏液收集盒、漏液中轉(zhuǎn)TANK、化學(xué)品回收TANK及PUMP，其中漏液收集盒下部設(shè)有漏斗，該漏頭的下端插入位于漏液收集盒下方的漏液中轉(zhuǎn)TANK中；所述PUMP的進口通過進液管路與漏液中轉(zhuǎn)TANK相連通，PUMP的出口通過排液管路與化學(xué)品回收TANK相連通；在漏液中轉(zhuǎn)TANK及化學(xué)品回收TANK的內(nèi)部分別安裝有中轉(zhuǎn)TANK傳感器及回收TANK液位傳感器，所述PUMP與中轉(zhuǎn)TANK傳感器電連接。其中:所述PUMP與漏液中轉(zhuǎn)TANK之間的進液管路中設(shè)有電動閥，該電動閥與所述中轉(zhuǎn)TANK傳感器電連接；所述漏斗在豎直方向的截面為倒置的“八”字形，兩斜邊的夾角為鈍角，其中任一條斜邊的下部為與漏液中轉(zhuǎn)TANK內(nèi)壁平行的直邊；所述中轉(zhuǎn)TANK傳感器具有用于報警漏液中轉(zhuǎn)TANK中回收的化學(xué)品6已滿的上限位傳感器，以及用于檢測到回收的化學(xué)品6的下限位傳感器；所述回收TANK液位傳感器具有用于報警化學(xué)品回收TANK中回收的化學(xué)品已滿的上限位傳感器。本發(fā)明的優(yōu)點與積極效果為:1.本發(fā)明利用PUMP與電動閥及中轉(zhuǎn)TANK傳感器的配合，實現(xiàn)了對意外泄漏的化學(xué)品進行自動回收，防止對操作人員造成人身傷害。2.本發(fā)明的漏斗底部的斜邊設(shè)計，可防止回收的化學(xué)品液體飛濺。3.本發(fā)明的中轉(zhuǎn)TANK傳感器設(shè)有上限位傳感器及下限位傳感器，其中下限位傳感器可以檢測到漏液中轉(zhuǎn)TANK中是否有回收的化學(xué)品，而上限位傳感器可以在漏液中轉(zhuǎn)TANK中化學(xué)品已滿時報警，安全性高。4.本發(fā)明的回收TANK液位傳感器設(shè)有上限位傳感器,可在化學(xué)品回收TANK中回收的化學(xué)品已滿時進行報警。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；其中:1為漏液上集盒，2為漏斗，3為漏液中轉(zhuǎn)TANK(罐)，4為中轉(zhuǎn)TANK傳感器，5為電動閥，6為回收的化學(xué)品，7為排液管路，8為化學(xué)品回收TANK，9為回收TANK液位傳感器，10為PUMP (泵)，11為進液管路。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步詳述。如圖1所示，本發(fā)明包括漏液收集盒1、漏液中轉(zhuǎn)TANK3、電動閥5、中轉(zhuǎn)TANK傳感器4、電動閥5、化學(xué)品回收TANK8、回收TANK液位傳感器9及PUMP10，其中漏液收集盒I位于漏液中轉(zhuǎn)TANK3的上方、用于暫存意外泄漏的化學(xué)品，在漏液收集盒I的下表面設(shè)有漏斗2，該漏斗2在豎直方向的截面為倒置的“八”字形，兩斜邊的夾角為鈍角，其中任一條斜邊的下部為與漏液中轉(zhuǎn)TANK3內(nèi)壁平行的直邊；漏斗2的下端插入漏液中轉(zhuǎn)TANK3中，即圖1中漏斗2左側(cè)斜邊下部為直邊、緊貼在漏液中轉(zhuǎn)TANK3左側(cè)的內(nèi)壁，既便于漏斗2與漏液中轉(zhuǎn)TANK3定位，而且漏斗斜邊的設(shè)計還能夠防止化學(xué)品飛濺，避免對濺到操作人員的身體上造成傷害。PUMPlO位于漏液中轉(zhuǎn)TANK3與化學(xué)品回收TANK8之間，PUMPlO的進口通過進液管路11與漏液中轉(zhuǎn)TANK3相連通，PUMPlO的出口通過排液管路與化學(xué)品回收TANK8相連通；進液管路11的一端連接于PUMPlO的進口、負責(zé)進液，另一端插設(shè)在漏液中轉(zhuǎn)TANK3底部的出口，可以將漏液中轉(zhuǎn)TANK3中回收的化學(xué)品6全部回收，無殘留；排液管路7的一端連接于PUMPlO的出口，另一端伸至化學(xué)品回收TANK8的底部，以避免回收的化學(xué)品6由上流下引起飛濺。在漏液中轉(zhuǎn)TANK3及化學(xué)品回收TANK8的內(nèi)部分別安裝有中轉(zhuǎn)TANK傳感器4及回收TANK液位傳感器9，PUMPlO與中轉(zhuǎn)TANK傳感器4電連接；在PUMPlO與漏液中轉(zhuǎn)TANK3之間的進液管路11中設(shè)有電動閥5，該電動閥5位于漏液中轉(zhuǎn)TANK3的出口處、與中轉(zhuǎn)TANK傳感器4電連接。所述中轉(zhuǎn)TANK傳感器4具有上限位傳感器及下限位傳感器，其中上限位傳感器用于在漏液中轉(zhuǎn)TANK3中回收的化學(xué)品6已滿時報警，下限位傳感器用于檢測到回收的化學(xué)品6。所述回收TANK液位傳感器9具有上限位傳感器，用于化學(xué)品回收TANK8中回收的化學(xué)品6已滿時報警。本發(fā)明的中轉(zhuǎn)TANK傳感器4為市購產(chǎn)品，購置于東莞事興電子有限公司，型號為ZC-PP40I ；電動閥5為市購產(chǎn)品，購置于CKD公司，型號為AMDZ1-4U58BUS-2-FL-440978 ；PUMPlO為市購產(chǎn)品，購置于美國WILDEN公司，型號為p0.25 ;回收TANK液位傳感器9為市購產(chǎn)品，購置于東莞事興電子有限公司，型號為ZC-PP100I。本發(fā)明的工作原理為:工作時，漏液收集盒I用來暫存意外泄漏的化學(xué)品，液體的化學(xué)品經(jīng)過漏斗2收集到漏液中轉(zhuǎn)TANK3中，漏斗2的斜坡設(shè)計防止化學(xué)品飛濺。漏液中轉(zhuǎn)TANK3中設(shè)置了中轉(zhuǎn)TANK傳感器4，當(dāng)中轉(zhuǎn)TANK傳感器4的下限位傳感器檢測到回收的化學(xué)品6時，便發(fā)出信號驅(qū)動PUMP10、同時打開電動閥5，開始通過PUMPlO從漏液中轉(zhuǎn)TANK3中經(jīng)進液管路11泵出化學(xué)品，直至中轉(zhuǎn)TANK傳感器4的下限位傳感器檢測到無化學(xué)品，PUMPlO停止工作、關(guān)掉電動閥5，化學(xué)品經(jīng)過排液管路7最終收集到化學(xué)品回收TANK8中，化學(xué)品回收TANK8中設(shè)置了回收TANK液位傳感器9，回收TANK液位傳感器9的上限位傳感器起到警報作用，通知操作人員化學(xué)品回收TANK8已滿。
權(quán)利要求
1.一種化學(xué)品泄漏自動檢測回收裝置，其特征在于:包括漏液收集盒(I)、漏液中轉(zhuǎn)TANK (3)、化學(xué)品回收TANK (8)及PUMP (10)，其中漏液收集盒(I)下部設(shè)有漏斗(2)，該漏頭(2)的下端插入位于漏液收集盒⑴下方的漏液中轉(zhuǎn)TANK(3)中；所述PUMP(IO)的進口通過進液管路(11)與漏液中轉(zhuǎn)TANK(3)相連通，PUMP(IO)的出口通過排液管路與化學(xué)品回收TANK(8)相連通；在漏液中轉(zhuǎn)TANK(3)及化學(xué)品回收TANK(8)的內(nèi)部分別安裝有中轉(zhuǎn)TANK傳感器⑷及回收TANK液位傳感器(9)，所述PUMP (10)與中轉(zhuǎn)TANK傳感器(4)電連接。
2.按權(quán)利要求1所述的化學(xué)品泄漏自動檢測回收裝置，其特征在于:所述PUMP(IO)與漏液中轉(zhuǎn)TANK (3)之間的進液管路(11)中設(shè)有電動閥(5)，該電動閥(5)與所述中轉(zhuǎn)TANK傳感器⑷電連接。
3.按權(quán)利要求1或2所述的化學(xué)品泄漏自動檢測回收裝置，其特征在于:所述漏斗(2)在豎直方向的截面為倒置的“八”字形，兩斜邊的夾角為鈍角，其中任一條斜邊的下部為與漏液中轉(zhuǎn)TANK(3)內(nèi)壁平行的直邊。
4.按權(quán)利要求1或2所述的化學(xué)品泄漏自動檢測回收裝置，其特征在于:所述中轉(zhuǎn)TANK傳感器(4)具有用于報警漏液中轉(zhuǎn)TANK(3)中回收的化學(xué)品6已滿的上限位傳感器，以及用于檢測到回收的化學(xué)品6的下限位傳感器。
5.按權(quán)利要求1或2所述的化學(xué)品泄漏自動檢測回收裝置，其特征在于:所述回收TANK液位傳感器(9)具有用于報警化學(xué)品回收TANK(8)中回收的化學(xué)品(6)已滿的上限位傳感器。
全文摘要
本發(fā)明涉及化學(xué)品異常泄漏的處理設(shè)備，具體地說是一種化學(xué)品泄漏自動檢測回收裝置，包括漏液收集盒、漏液中轉(zhuǎn)TANK、電動閥、化學(xué)品回收TANK及PUMP，其中漏液收集盒下部設(shè)有漏斗，該漏頭的下端插入位于漏液收集盒下方的漏液中轉(zhuǎn)TANK中；所述PUMP的進口通過進液管路與漏液中轉(zhuǎn)TANK相連通，PUMP的出口通過排液管路與化學(xué)品回收TANK相連通；在漏液中轉(zhuǎn)TANK及化學(xué)品回收TANK的內(nèi)部分別安裝有中轉(zhuǎn)TANK傳感器及回收TANK液位傳感器，所述PUMP與中轉(zhuǎn)TANK傳感器電連接。本發(fā)明利用PUMP與電動閥及中轉(zhuǎn)TANK傳感器的配合，實現(xiàn)了對意外泄漏的化學(xué)品進行自動回收，防止對操作人員造成人身傷害。
文檔編號G01M3/02GK103091044SQ201110332739
公開日2013年5月8日 申請日期2011年10月27日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月27日
發(fā)明者孫東豐 申請人:沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司