專利名稱：多種化學(xué)品藥液分離、重復(fù)使用裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中刻蝕部^H十對多種化學(xué)藥液再回收利用的 技術(shù)，具體為一種多種化學(xué)品藥液分離、重復(fù)使用裝置。
背景技術(shù)：
以槽式刻蝕為代表的傳統(tǒng)濕法刻蝕，刻蝕精度很難控制，由于溶劑微粒的沾 污而導(dǎo)致高的缺陷水平，不能用于大直徑小特征的晶圓加工。而單片刻蝕可以避 免溶劑微粒的沾污，卻會產(chǎn)生大量的化學(xué)廢液，在化學(xué)品回收利用方面是個(gè)空白。

實(shí)用新型內(nèi)容
為實(shí)現(xiàn)化學(xué)品的重復(fù)使用，本實(shí)用新型的目的在于提供一種多種化學(xué)品藥液 分離、重復(fù)使用裝置，可將多種化學(xué)藥液分離，再將回收的化學(xué)藥液配比成可重 復(fù)使用的濃度，實(shí)現(xiàn)再利用，該技術(shù)可大大減少刻蝕過程中化學(xué)藥液的浪費(fèi)。
本實(shí)用新型的技術(shù)方案是
一種多種化學(xué)品藥液分離、重復(fù)使用裝置，該裝置主要設(shè)有藥液杯、旋轉(zhuǎn)馬 達(dá)、導(dǎo)向電機(jī)、回收液罐、再生液罐，導(dǎo)向電機(jī)與一段管路連接，管路上端與藥 液杯連通，管路下端通過導(dǎo)向電機(jī)旋轉(zhuǎn)不同的方向與下面的至少一個(gè)收集杯口中 心對應(yīng)；回收液罐與再生液罐的一個(gè)入口通過管路相連，再生液罐的出口插設(shè)有 管路，該管路另一端至藥液杯上方，與晶片對應(yīng)。
所述的多種化學(xué)品藥液分離、重復(fù)《M裝置，還包括配比液罐、補(bǔ)酸控制器, 再生液罐的另一入口通過管路與配比液罐相連，在該管路上裝有泵；補(bǔ)酸控制器 的輸入端通過傳感器置于回收液罐中，補(bǔ)酸控制器的輸出端連接所述的泵，控制 泵的開啟或關(guān)閉。
所述的多種化學(xué)品藥液分離、重復(fù)使用裝置，在回收液罐與再生液罐的入口 相連的管路上安裝有泵。
所述的多種化學(xué)品藥液分離、重復(fù)使用裝置，在再生液罐出口插設(shè)的管路上 安裝有泵。
3所述的多種化學(xué)品藥液分離、重復(fù)使用裝置，在回收液罐與再生液罐的入口 相連的管路上安裝排污管，在該排污管上安裝排廢閥。
所述的多種化學(xué)品藥液分離、重復(fù)使用裝置，收集杯為三個(gè)，第一個(gè)收集杯 與一個(gè)回收液罐連通，第二個(gè)收集杯與另一個(gè)回收液罐連通，第三個(gè)收集杯連接 排污管。
所述的多種化學(xué)品藥液分離、重復(fù)使用裝置，藥液杯的內(nèi)側(cè)設(shè)置旋轉(zhuǎn)馬達(dá)， 承片臺安裝于旋轉(zhuǎn)馬達(dá)的軸上，晶片放置在承片臺上。 本實(shí)用新型的有益效果是
1、 以槽式刻蝕為代表的傳統(tǒng)濕法刻蝕成品率低，而應(yīng)用離心機(jī)旋轉(zhuǎn)的單片 刻蝕方式又導(dǎo)致大量化學(xué)品浪費(fèi)，本實(shí)用新型裝置可實(shí)現(xiàn)化學(xué)藥液再利用。該裝
置主要設(shè)有承片臺(CHUCK)、旋轉(zhuǎn)馬達(dá)、回收化學(xué)藥液的藥液罐、補(bǔ)酸控制器、 化學(xué)藥液泵等。本實(shí)用新型通過設(shè)于藥液杯(CUP)的下部不同藥液的回收切換 裝置，使化學(xué)品根據(jù)顯影液歸于不同的回收容器化學(xué)藥液灌中。多種化學(xué)品的重 復(fù)使用，是通過化學(xué)品,M嘗控制器，檢測相應(yīng)藥液的濃度來實(shí)現(xiàn)。
2、 本實(shí)用新型利用導(dǎo)向電機(jī)連接不同管路實(shí)現(xiàn)對化學(xué)藥液的分離，補(bǔ)酸控 制器的傳感器檢測藥液罐中的化學(xué)藥液，再通過兩個(gè)泵配比液罐中的藥液來調(diào)節(jié) 藥液濃度，再使用第三個(gè)泵來實(shí)現(xiàn)重復(fù)利用藥液的再次噴灑。


圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，1、晶片；2、承片臺(CHUCK); 3、 藥液杯(CUP); 4、旋轉(zhuǎn)馬達(dá)；5、導(dǎo)向電機(jī)；6、補(bǔ)酸控制器；7、泵I; 8、泵 II; 9、泵III; 10、排廢閥;11、配比液罐；12、回收液罐B; 13、再生液罐；14、 回收液罐A; 15、收集杯；16、管路。
具體實(shí)施方式
如圖l所示，本實(shí)用新型多種化學(xué)品藥液分離、重復(fù)使用裝置主要包括晶 片1、承片臺(CHUCK) 2、藥液杯(CUP) 3、旋轉(zhuǎn)馬達(dá)4、導(dǎo)向電機(jī)5、補(bǔ)酸 控制器6、泵17、泵118、泵IH9、排廢閥IO、配比液罐ll、回收液罐B12、再 生液罐13、回收液罐A14等，具體結(jié)構(gòu)如下
藥液杯3內(nèi)側(cè)設(shè)置旋轉(zhuǎn)馬達(dá)4，承片臺2安裝于旋轉(zhuǎn)馬達(dá)4的軸上，晶片1 放置在承片臺2上。導(dǎo)向電機(jī)5與 一段管路16連通，管路16上端與藥液樹CUP) 3緊密相連，管路16下端通過導(dǎo)向電機(jī)5旋轉(zhuǎn)不同的方向與下面三個(gè)收集杯口中心對應(yīng)；三個(gè)收集杯15之中，第一個(gè)收集杯與回收液罐B12連通，第二個(gè)收集 杯與回收液罐A14連通，第三個(gè)收集杯連接排污管；本實(shí)用新型中，第三個(gè)收集 杯連接排污管，其目的是用于排除工藝過程中，沒有回收價(jià)值的工藝液體，如 已污染的去離子水等。配比液罐11與再生液罐13的入口通過管路相連，在該管 路上裝有泵II8;回收液罐B12與再生液罐13的入口通過管路相連，在該管路上 裝有泵I7和排污管，在該排污管上安裝排廢閥10;再生液罐13的出口插設(shè)有 管路，該管路上安裝泵I119，該管路的另一端至藥液杯3上方，與晶片1對應(yīng)。 補(bǔ)酸控制器6輸入端通過傳感器置于回收液罐B12中，傳感器將測量的液體濃度 值輸入至補(bǔ)酸控制器6，補(bǔ)酸控制器6的輸出端連接泵I18，控制泵II8的開啟或 關(guān)閉。本實(shí)用新型中，補(bǔ)酸控制器6為常規(guī)技術(shù)；
本實(shí)用新型中，回收液罐A14的作用是收集與回收液罐B12不同的藥液；這 樣，可以將回收液罐A14與再生液罐13的入口通過管路相連，在該管路上裝有 泵和排污管。此時(shí)，可以將補(bǔ)酸控制器的傳感器置于回收液罐A14中，傳感器將 測量的液體濃度值輸入至補(bǔ)酸控制器，通過配比液罐11向再生液罐13中補(bǔ)充藥 液。根據(jù)需要，還可以設(shè)置更多的回收液罐，實(shí)現(xiàn)多種化學(xué)品藥液的分離和重復(fù) 艦
本實(shí)用新型的工作過程如下
藥液杯3內(nèi)側(cè)設(shè)置的旋轉(zhuǎn)馬達(dá)4，帶動(dòng)承片臺2上安裝的晶片1旋轉(zhuǎn)，藥液 于上方噴至晶片1，進(jìn)行藥液的涂敷。導(dǎo)向電機(jī)5帶動(dòng)可旋轉(zhuǎn)管路16,管路16 上端連接藥液杯3的底部開口，管路下端通過導(dǎo)向電機(jī)5旋轉(zhuǎn)不同的方向可與下 面三個(gè)收集杯15 口中心對應(yīng)，藥液杯3收集的化學(xué)品藥液通過管路輸入到收集杯 15中。收集杯口直徑比管路16直徑略大，可有效的防止液體濺出?；厥找汗轇12 是個(gè)中轉(zhuǎn)裝置，補(bǔ)酸控制器6測量回收液罐B12里面的液體濃度，泵I7把回收 液罐B12的液體打入再生液罐13,與泵II8連接的補(bǔ)酸控制器6通過換算控制泵 118把配比液罐11中的液體打入再生液罐13中，此時(shí)再生液罐13已經(jīng)是可重復(fù) 使用的化學(xué)藥品了。最后，通過泵III9把再生液罐13中的化學(xué)藥品噴灑到晶片1 上，實(shí)現(xiàn)回收再利用，廢棄化學(xué)藥品通過排廢閥10控制排出。
權(quán)利要求1、一種多種化學(xué)品藥液分離、重復(fù)使用裝置，其特征在于該裝置主要設(shè)有藥液杯、旋轉(zhuǎn)馬達(dá)、導(dǎo)向電機(jī)、回收液罐、再生液罐，導(dǎo)向電機(jī)與一段管路連接，管路上端與藥液杯連通，管路下端通過導(dǎo)向電機(jī)旋轉(zhuǎn)不同的方向與下面的至少一個(gè)收集杯口中心對應(yīng)；回收液罐與再生液罐的一個(gè)入口通過管路相連，再生液罐的出口插設(shè)有管路，該管路另一端至藥液杯上方，與晶片對應(yīng)。
2、 按照權(quán)利要求1所述的多種化學(xué)品藥液分離、重復(fù)使用裝置，其特征在于: 還包括配比液罐、補(bǔ)酸控制器，再生液罐的另一入口通過管路與配比液罐相連， 在該管路上裝有泵；補(bǔ)酸控制器的輸入端通過傳感器置于回收液罐中，補(bǔ)酸控制 器的輸出端連接所述的泵，控制泵的開啟或關(guān)閉。
3、 按照權(quán)利要求1所述的多種化學(xué)品藥液分離、重復(fù)使用裝置，其特征在于: 在回收液罐與再生液罐的入口相連的管路上安裝有泵。
4、 按照權(quán)利要求1所述的多種化學(xué)品藥液分離、重復(fù)使用裝置，其特征在于: 在再生液罐出口插設(shè)的管路上安裝有泵。
5、 按照權(quán)利要求1所述的多種化學(xué)品藥液分離、重復(fù)使用裝置，其特征在于: 在回收液罐與再生液罐的入口相連的管路上安裝排污管，在該排污管上安裝排廢 閥。
6、 按照權(quán)利要求1所述的多種化學(xué)品藥液分離、重復(fù)使用裝置，其特征在于: 收集杯為三個(gè)，第一個(gè)收集杯與一個(gè)回收液罐連通，第二個(gè)收集杯與另一個(gè)回收 液罐連通，第三個(gè)收集杯連接排污管。
7、 按照權(quán)利要求1所述的多種化學(xué)品藥液分離、重復(fù)使用裝置，其特征在于: 藥液杯的內(nèi)側(cè)設(shè)置旋轉(zhuǎn)馬達(dá)，承片臺安裝于旋轉(zhuǎn)馬達(dá)的軸上，晶片放置在承片臺 上。
專利摘要本實(shí)用新型是應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中刻蝕部分針對多種化學(xué)藥液再回收利用的技術(shù)，具體為一種多種化學(xué)品藥液分離、重復(fù)使用裝置，可將多種化學(xué)藥液分離，再將回收的化學(xué)藥液配比成可重復(fù)使用的濃度，實(shí)現(xiàn)再利用，該技術(shù)可大大減少刻蝕過程中化學(xué)藥液的浪費(fèi)。該裝置主要設(shè)有藥液杯、旋轉(zhuǎn)馬達(dá)、導(dǎo)向電機(jī)、回收液罐、再生液罐，導(dǎo)向電機(jī)與一段管路連接，管路上端與藥液杯連通，管路下端通過導(dǎo)向電機(jī)旋轉(zhuǎn)不同的方向與下面的至少一個(gè)收集杯口中心對應(yīng)；回收液罐與再生液罐的入口通過管路相連，再生液罐的出口插設(shè)有管路，該管路另一端至藥液杯上方，與晶片對應(yīng)。本實(shí)用新型通過不同藥液的回收切換裝置，使化學(xué)品根據(jù)顯影液歸于不同的回收容器化學(xué)藥液灌中。
文檔編號C23F1/46GK201330281SQ200820232008
公開日2009年10月21日 申請日期2008年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月24日
發(fā)明者孫東豐, 徐春旭 申請人:沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司