技術(shù)編號：6021210
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及化學(xué)品異常泄漏的處理設(shè)備，具體地說是一種化學(xué)品泄漏自動檢測回收裝置，應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中危險化學(xué)品異常泄漏的檢測回收。背景技術(shù)在半導(dǎo)體制程中，偶而會發(fā)生化學(xué)品的意外泄漏，需要及時安全地處理。尤其是刻蝕工藝，會涉及到很多強酸化學(xué)品，一旦泄漏，危害很大。傳統(tǒng)的化學(xué)品泄漏檢測無法解決已泄漏出的化學(xué)品，就需要操作人員直接面對高濃度的酸，操作非常不方便也不安全；而且，腐蝕性的化學(xué)品對人身損害較大，工作環(huán)境安全性差。發(fā)明內(nèi)容為了解決傳統(tǒng)化學(xué)品泄漏需要人工進行處...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。